JP2011114303A - 導電性ボールの搭載装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】
ボール貯溜手段へ除去手段が吸着保持する導電性ボールを回収し、ボール貯溜手段からボール搭載手段へ導電性ボールを供給することで、回収や供給が容易な導電性ボールの搭載装置とする。
【解決手段】
配列マスクと、配列マスク上に導電性ボールを供給するボール搭載手段とを備えて、ボール搭載手段で配列マスクの貫通孔を介して被搭載物の搭載箇所に搭載する導電性ボールの搭載装置とする。
配列マスク上方を移動可能に設けられ、ボール搭載手段により配列マスクに供給された導電性ボールのうち、配列マスク上に残存する導電性ボールをボール吸着体に吸着して除去する除去手段と、配列マスク上方を移動可能とする除去手段の移動手段と、移動手段の移動可能な範囲にボール貯溜手段とを設ける。
除去手段をボール貯溜手段上に移動させ、除去した導電性ボールを落下させることにより導電性ボールを回収する装置とする。
【選択図】 図1
Description
第1に、被搭載物上に所定のパターンで形成されている搭載箇所に合わせて貫通孔が設けられた配列マスクと、前記配列マスク上方を移動可能に設けられ、該配列マスク上に導電性ボールを供給するボール搭載手段とを備える。
第2に、前記ボール搭載手段を前記配列マスク上方に位置させ、前記ボール搭載手段が保持する導電性ボールを前記配列マスク上に供給することにより、前記配列マスクの貫通孔を介して被搭載物の搭載箇所に搭載する導電性ボールの搭載装置とする。
第3に、前記配列マスク上方を移動可能に設けられ、前記ボール搭載手段により前記配列マスクに供給された導電性ボールのうち、該配列マスク上に残存する導電性ボールを真空源と接続されるケーシングの下面に設けられるボール吸着体に吸着して該配列マスク上から除去する除去手段と、前記配列マスク上方を移動可能とする除去手段の移動手段と、該移動手段の移動可能な範囲に導電性ボールを貯溜するボール貯溜手段とを設ける。
第4に、前記除去手段を前記ボール貯溜手段上に移動させ、前記除去手段が除去した導電性ボールを落下させることにより該導電性ボールを回収することを特徴とする導電性ボールの搭載装置とする。
上記除去手段を、上記配列マスク上で上記ケーシングと真空源との接続を解除して、上記ボール吸着体に吸着した上記導電性ボールを前記配列マスクに落下させて上記被搭載物上の搭載箇所に導電性ボールを搭載することによりボール搭載手段と兼用したこと。
本発明において、導電性ボールの被搭載物としては、半導体ウエハ(以後、単にウエハと表記する)や、電子回路基板や、セラミック基板などがあり、それらの導電性ボール搭載箇所として電極が形成されている。実施例では導電性ボールは半田ボール1、被搭載物はウエハ2とする半田ボールマウンタを用いる。
2・・・・・・・・・・・・・ウエハ
3・・・・・・・・・・・・・ボール配列マスク
4、4’、24、24’・・・・ボール貯溜トレイ
5・・・・・・・・・・・・・ボールカップ
6・・・・・・・・・・・・・ウエハ載置ステージ
7・・・・・・・・・・・・・半田ボール供給装置
11、12・・・・・・・・・ベース部材
8、9、10・・・・・・・・駆動モータ
13、14、15・・・・・・ボールねじ
18・・・・・・・・・・・・昇降ベース
31・・・・・・・・・・・・貫通孔
40・・・・・・・・・・・・ベース
51・・・・・・・・・・・・開口部
52・・・・・・・・・・・・ボール吸着体
53・・・・・・・・・・・・上部空間
54・・・・・・・・・・・・下部空間
55・・・・・・・・・・・・吸引通路
57・・・・・・・・・・・・電磁開閉弁
58・・・・・・・・・・・・レギュレータ
59・・・・・・・・・・・・真空源
60・・・・・・・・・・・・アース
61・・・・・・・・・・・・バイブレータ
71・・・・・・・・・・・・ボール供給路
Claims (3)
- 被搭載物上に所定のパターンで形成されている搭載箇所に合わせて貫通孔が設けられた配列マスクと、
前記配列マスク上方を移動可能に設けられ、該配列マスク上に導電性ボールを供給するボール搭載手段とを備え、
前記ボール搭載手段を前記配列マスク上方に位置させ、前記ボール搭載手段が保持する導電性ボールを前記配列マスク上に供給することにより、前記配列マスクの貫通孔を介して被搭載物の搭載箇所に搭載する導電性ボールの搭載装置において、
前記配列マスク上方を移動可能に設けられ、前記ボール搭載手段により前記配列マスクに供給された導電性ボールのうち、該配列マスク上に残存する導電性ボールを真空源と接続されるケーシングの下面に設けられるボール吸着体に吸着して該配列マスク上から除去する除去手段と、前記配列マスク上方を移動可能とする除去手段の移動手段と、
該移動手段の移動可能な範囲に導電性ボールを貯溜するボール貯溜手段とを設け、
前記除去手段を前記ボール貯溜手段上に移動させ、前記除去手段が除去した導電性ボールを落下させることにより該導電性ボールを回収する
ことを特徴とする導電性ボールの搭載装置。
- 上記除去手段を、
上記配列マスク上で上記ケーシングと真空源との接続を解除して、上記ボール吸着体に吸着した上記導電性ボールを前記配列マスクに落下させて上記被搭載物上の搭載箇所に導電性ボールを搭載することによりボール搭載手段と兼用した
ことを特徴とする請求項1記載の導電性ボールの搭載装置。
- 上記ボール搭載手段に対し、上記ボール貯溜手段上で上記ケーシングと真空源を接続することにより、前記ボール搭載手段に導電性ボールを吸着させて導電性ボールを供給することを特徴とする請求項1又は2記載の導電性ボールの搭載装置。
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