JP2009267353A - 導電性ボール除去方法、導電性ボール載置方法、導電性ボール除去装置及び導電性ボール載置装置 - Google Patents

Abstract

【課題】導電性ボールが飛散することなく、余剰な導電性ボールを確実に除去できる導電性ボール除去方法、導電性ボール載置方法、導電性ボール除去装置及び導電性ボール載置装置を提供する。
【解決手段】パッド２７を有する基板上に、パッド２７に対応した複数の貫通部１２Ａを有するマスク１２を配置し、マスク１２の上から導電性ボール３８を載置した後、パッド２７上に直接載置されなかった導電性ボール３８を除去する方法において、導電性ボール３８を付着させるシート部材８２をマスク１２に当接する当接工程を有し、シート部材８２に導電性ボール３８を付着させて導電性ボール３８を除去する。
【選択図】図３

Description

本発明は、導電性ボール除去方法、導電性ボール載置方法、導電性ボール除去装置及び導電性ボール載置装置に係り、特に複数のパッドを有する配線基板又はシリコンウェハ等の半導体基板上に、複数の貫通孔を有するマスクの上から導電性ボールを載置した後、パッド上に直接載置されなかった導電性ボールを除去する導電性ボール除去方法、導電性ボール載置方法、導電性ボール除去装置及び導電性ボール載置装置に関する。

ＬＳＩ（Large Scale Integration）、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）等の半導体デバイスを実装基板にフリップチップ実装する際に、導電性金属からなる微小粒子を、半導体デバイスの電極パッドと実装基板の電極パッドとの間に挟んで、加熱圧着することにより、電気的な接続が行われている。この微小粒子としては、半田などの導電性ボールが用いられている。

このような導電性ボールを用いてパッド間の接続を行うためには、加熱圧着の前に、意図して配列された全てのパッドの上に導電性ボールを一つずつ載置する必要がある。そこで、パッドの配列通りに載置するために、パッドと同一の配列を有するマスクの上から、パッド上に載置するのに十分な数の導電性ボールを落下させる方法が広く行われている。

上記のようなマスクを使用して導電性ボールを落下させる載置方法は簡便な方法であるが、マスク上に余剰の導電性ボールが載置されることとなる。図１に、マスクの上に余剰の導電性ボールが載置されている様子を示す。配線基板１８の上面に形成されたパッド２７に載置するために、マスク１２を通して導電性ボール３８を落下させた結果、マスク１２の上に導電性ボールが載置された箇所と、直接パッド２７に載置された導電性ボールの上にさらに一個の導電性ボールが載置された箇所が発生している。

従って、載置後、版離れ前にマスク上の余剰の導電性ボールを除去する必要が生ずる。もし除去が不十分なまま版離れすると、パッドの上に導電性ボールが二つ重なった箇所（ダブルボール）が発生し、パッド間の短絡不良の原因となるからである。図２に、版離れ後にダブルボールが発生している様子を示す。

このような余剰の導電性ボールの除去方法としては、ブラシを使用する方法とエアブローを使用する方法がある。

ブラシを使用する方法であるが、ブラシを用いて導電性ボールを移動して除去する方法である。特許文献１には、導電繊維が植毛されたブラシ状のスキージを用いて導電性ボールを移動させる方法が開示されている。また特許文献２には、複数のスウィープ部材が多重に配置されたスキージを用いて導電性ボールを移動させる方法の例が開示されている。さらに特許文献３には、マスクの表面に繊維状のスウィープ部材が当接し、変形しながら移動することにより、導電性ボールを移動させる方法の例が開示されている。

また、エアブローを使用する方法であるが、エアブローにより噴出されるエアの力を駆動力として導電性ボールを移動させる方法である。特許文献２には、エアーノズルを配したヘッドを用いて、導電性ボールを移動させる方法の例が開示されている。さらに特許文献３には、マスクに対して斜め上方から空気を噴出して導電性ボールを吹払う方式の除去用ヘッドを用いて導電性ボールを除去する方法の例が開示されている。
特開平９−１４８３３２号公報 特開２００６−１９７４１号公報 特開２００６−１７３１９５号公報

ところが、従来用いられてきた導電性ボールの除去方法には、以下のような問題があった。

ブラシを使用する方法には、ブラシを連続して使用した時に導電性ボールがブラシ内に入り込み除去が十分にできない、という問題があった。ブラシを連続して使用すると、植毛の中に導電性ボールが入って抜けなくなり、その後の導電性ボールの除去が困難になり、また一度植毛の中に入った導電性ボールが、既に除去が済んだ領域に落ちることがあり、確実な除去ができなくなる。

また、エアブローを使用する方法には、エアにより導電性ボールが飛散するといった問題があった。飛散すると、既に除去が済んだ領域にボールが戻ることがあり、確実な除去ができなくなる。

さらに、マスクを押し付ける力が大きいと、基板のパッドに塗布されたフラックスがマスクに付着し、導電性ボールを除去した後に、別の配線基板に導電性ボールを載置することができなくなる。

本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、導電性ボールを飛散させることがなく、余剰な導電性ボールを確実に除去するための導電性ボール除去方法、導電性ボール載置方法、導電性ボール除去装置及び導電性ボール載置装置を提供することを目的とする。

上記の課題を解決するために本発明では、次に述べる各手段を講じたことを特徴とするものである。

本発明は、
複数のパッドを有する基板上に、前記パッドに対応した複数の貫通孔を有するマスクを配置し、前記マスクの上から導電性ボールを載置した後、前記パッド上に直接載置されなかった導電性ボールを除去する導電性ボール除去方法において、
導電性ボールを付着させるシート部材を当接機構を用いて前記マスクに当接する当接工程を有し、
前記シート部材に前記導電性ボールを付着させて前記導電性ボールを除去することを特徴とする。

また、上記発明において、
前記当接機構は、前記シート部材を前記マスクに当接する当接部を備え、
前記当接工程は、前記当接部の自重により前記シート部材を前記マスクに当接してもよい。

また、上記発明において、
前記当接機構は、前記シート部材を前記マスクに当接する当接部と、該当接部を支持し、該当接部と一体で上下動可能な支持部とを備え、
前記当接工程は、前記当接部及び前記支持部の自重により前記シート部材を前記マスクに当接してもよい。

また、上記発明において、
前記当接部は、中空の部材を含んでもよい。

また、上記発明において、
前記当接部は、弾性力を有する弾性部材を含んでもよい。

また、上記発明において、
前記当接工程は、前記当接機構が風圧により前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする。

また、上記発明において、
前記当接工程は、前記当接機構が弾性力を有する弾性部材を介して前記シート部材に付勢し、前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする。

また、本発明は、
複数のパッドを有する基板上に、前記パッドに対応した複数の貫通孔を有するマスクを配置し、前記マスクの上から導電性ボールを載置した後、前記パッド上に直接載置されなかった導電性ボールを除去する導電性ボール除去方法において、
導電性ボールを付着させるシート部材を該シート部材の自重により前記マスクに当接する当接工程を有し、
前記シート部材に前記導電性ボールを付着させて前記導電性ボールを除去することを特徴とする。

また、上記発明において、
更に、前記シート部材を前記マスク上で移動させる移動工程を有してもよい。

また、上記発明において、
更に、前記マスクに当接される前記シート部材の当接面を前記シート部材の移動する速度に対応して更新する更新工程を有してもよい。

なお、ここで当接とは近接の意味も含み、シート部材をマスクに接触させなくても近づけるだけでよいものとする。

また、本発明は、
複数のパッドを有する基板に設けられたマスクに残る導電性ボールを除去する導電性ボール除去方法において、
当接機構を用いて、シート部材を、該シート部材と前記マスクの対向する距離が前記導電性ボールの直径よりも小さくなるように前記マスクに近接させるか、又は前記マスクに当接させる当接工程を有し、
前記シート部材に前記導電性ボールを付着させて前記導電性ボールを除去することを特徴とする。

また、本発明の導電性ボール載置方法は、
複数のパッドを有する基板上に、前記パッドに対応した複数の貫通孔を有するマスクの上から導電性ボールを載置する載置工程と、
導電性ボールを付着させるシート部材を当接機構を用いて前記マスクに当接する当接工程とを有し、
前記パッド上に直接載置されなかった導電性ボールを前記シート部材に付着して除去し、直接前記パッド上に導電性ボールを載置することを特徴とする。

また、上記発明において、
前記当接機構は、前記シート部材を前記マスクに当接する当接部を備え、
前記当接工程は、前記当接部の自重により前記シート部材を前記マスクに当接してもよい。

また、上記発明において、
前記当接機構は、前記シート部材を前記マスクに当接する当接部と、該当接部を支持し、該当接部と一体で上下動可能な支持部とを備え、
前記当接工程は、前記当接部及び前記支持部の自重により前記シート部材を前記マスクに当接してもよい。

また、上記発明において、
前記当接部は、中空の部材を含んでもよい。

また、上記発明において、
前記当接部は、弾性力を有する弾性部材を含んでもよい。

また、上記発明において、
前記当接工程は、前記当接機構が風圧により前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする。

また、上記発明において、
前記当接工程は、前記当接機構が弾性力を有する弾性部材を介して前記シート部材に付勢し、前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする。

また、本発明の導電性ボール載置方法は、
複数のパッドを有する基板上に、前記パッドに対応した複数の貫通孔を有するマスクの上から導電性ボールを載置する載置工程と、
導電性ボールを付着させるシート部材を該シート部材の自重により前記マスクに当接する当接工程とを有し、
前記パッド上に直接載置されなかった導電性ボールを前記シート部材に付着して除去し、直接前記パッド上に導電性ボールを載置することを特徴とする。

また、本発明は、
複数のパッドを有する基板上に、前記パッドに対応した複数の貫通孔を有するマスクの上から導電性ボールが載置された後、前記パッド上に直接載置されなかった導電性ボールを除去する導電性ボール除去装置において、
導電性ボールを付着させるシート部材と、
前記シート部材を前記マスクに当接する当接機構とを有することを特徴とする。

また、本発明において、
前記当接機構は、前記シート部材を前記マスクに当接する当接部を備え、該当接部の自重により前記シート部材を前記マスクに当接してもよい。

また、本発明において、
前記当接機構は、前記シート部材を前記マスクに当接する当接部と、該当接部を支持し、該当接部と一体で上下動可能な支持部とを備え、前記当接部及び前記支持部の自重により前記シート部材を前記マスクに当接してもよい。

また、本発明において、
前記当接部は、中空の部材を含んでもよい。

また、本発明において、
前記当接部は、弾性力を有する弾性部材を含んでもよい。

また、上記発明において、
前記当接機構は、風圧により前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする。

また、上記発明において、
前記当接機構は、弾性力を有する弾性部材を介して前記シート部材に付勢し、前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする。

また、本発明は、
複数のパッドを有する基板上に、前記パッドに対応した複数の貫通孔を有するマスクの上から導電性ボールが載置された後、前記パッド上に直接載置されなかった導電性ボールを除去する導電性ボール除去装置において、
自重により前記マスクに当接され、導電性ボールを付着させるシート部材を有することを特徴とする。

また、上記発明において、
前記当接機構は、前記シート部材が前記マスクに当接した状態で、前記マスクに当接される前記シート部材の当接面の延在方向に直交して摺動する首振機構を有してもよい。

また、上記発明において、
前記シート部材が前記マスクに当接された状態で、前記シート部材を前記マスクの上で移動させる移動機構を有してもよい。

また、上記発明において、
前記マスクに当接される前記シート部材の当接面を前記シート部材が移動される速度に対応して更新する更新機構を有してもよい。

また、上記発明において、
前記当接機構を複数有してもよい。

また、本発明は、
基板上の複数のパッドに対応した複数の貫通孔を有するマスクと、
前記マスクの上から導電性ボールを載置する載置機構と、
導電性ボールを付着させるシート部材と、
前記シート部材を前記マスクに当接する当接機構とを有し、
前記パッド上に直接載置されなかった導電性ボールが前記シート部材に付着されて除去され、直接前記パッド上に導電性ボールが載置されることを特徴とする導電性ボール載置装置を提供するものである。

また、本発明において、
前記当接機構は、前記シート部材を前記マスクに当接する当接部を備え、該当接部の自重により前記シート部材を前記マスクに当接してもよい。

また、本発明において、
前記当接機構は、前記シート部材を前記マスクに当接する当接部と、該当接部を支持し、該当接部と一体で上下動可能な支持部とを備え、前記当接部及び前記支持部の自重により前記シート部材を前記マスクに当接してもよい。

また、本発明において、
前記当接部は、中空の部材を含んでもよい。

また、本発明において、
前記当接部は、弾性力を有する弾性部材を含んでもよい。

また、上記発明において、
前記当接機構は、風圧により前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする。

また、上記発明において、
前記当接機構は、弾性力を有する弾性部材を介して前記シート部材に付勢し、前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする。

また、本発明は、
基板上の複数のパッドに対応した複数の貫通孔を有するマスクと、
前記マスクの上から導電性ボールを載置する載置機構と、
導電性ボールを付着させるシート部材とを有し、
前記パッド上に直接載置されなかった導電性ボールが、自重により前記マスクに当接される前記シート部材に付着されて除去され、直接前記パッド上に導電性ボールが載置されることを特徴とする導電性ボール載置装置を提供するものである。

本発明によれば、導電性ボールを飛散させることがなく、余剰な導電性ボールを確実に除去することができる。

次に、本発明を実施するための最良の形態について図面と共に説明する。

（第１の実施の形態）
図３を用いて、本発明の第１の実施の形態に係る導電性ボール除去装置を説明する。図３は、導電性ボール除去装置８０を説明する図であり、マスク１２の上方に配置された当接機構８４がシート部材８２をマスク１２に当接し、パッド２７に直接載置されなかった導電性ボール３８を除去している状態を模式的に示している。また、図３において、Ｚ，Ｚ方向は鉛直方向、Ｘ，Ｘ方向はＺ，Ｚ方向と直交する方向をそれぞれ示している。

図３を参照するに、第１の実施の形態の導電性ボール除去装置８０は、シート部材８２と、当接機構８４と、移動機構９０と、更新機構９２とから構成され、ステージ１１上に保持された配線基板１８及び配線基板１８上に固定されたマスク１２の上に設けられている。

始めに、ステージ１１により保持される配線基板１８の構成について説明する。配線基板１８は、フリップチップ等に用いられる配線基板であり、基板本体２３と、パッド２７と、ソルダーレジスト２９と、粘着材３５とを有する。基板本体２３の材料としては、例えば、ガラスエポキシ樹脂を用いることができる。パッド２７は、基板本体２３の上面２３Ａに設けられている。パッド２７には、粘着材３５を介して、配線基板１８の外部接続端子となる１つの導電性ボール３８が載置される。導電性ボール３８は、例えば、半田ボール、銅コアボール、樹脂コアボールを用いることができる。銅コアボールとは、銅からなるコアボールに半田を被覆したものである。樹脂コアボールとは、樹脂からなるコアボールに半田を被覆したものである。また、導電性ボール３８の直径は、例えば、１０〜１００μｍとすることができる。ソルダーレジスト２９は、基板本体２３の上面２３Ａに設けられており、パッド２７を露出する開口部２９Ａを有する。粘着材３５は、開口部２９Ａに露出されたパッド２７上に設けられている。粘着材３５は、導電性ボール３８をパッド２７上に仮固定するためのものである。粘着材３５としては、例えば、フラックスやはんだペースト等を用いることができる。なお、配線基板１８は、電子回路が形成されたウェハ等の半導体基板でも良い。

上記構成とされた配線基板１８は、粘着材３５が形成された複数のパッド２７が導電性ボール除去装置８０と対向するように、ステージ１１に保持されている。

ステージ１１は、配線基板１８を保持するためのものである。マスク１２は、ソルダーレジスト２９に形成されたレジスト膜４１を介して、配線基板１８上に固定されている。マスク１２は、複数の貫通部１２Ａを有する。貫通部１２Ａは、パッド２７の形成位置に対応する部分のマスク１２を貫通するように形成されている。貫通部１２Ａの直径Ｒ１は、１つの導電性ボール３８のみが通過可能な大きさ（導電性ボール３８の直径Ｒ２よりも少し大きい大きさ）とされている。具体的には、導電性ボール３８の直径Ｒ２が１００μｍの場合、マスク１２の貫通部１２Ａの直径Ｒ１は、例えば、１２０μｍとすることができる。また、マスク１２の材料としては、例えば、金属を用いることができる。なお、レジスト膜４１を形成せず、配線基板１８上にマスク１２を直接配置してもよい。

シート部材８２は、パッド２７に直接載置されなかった導電性ボール３８を除去するためのものである。シート部材８２としては、布、紙等の繊維、あるいはＰＥＴ等のフィルム、粘着フィルムが用いられ、マスク１２に当接される面に静電気による付着力、繊維によりからめ取る作用、あるいは粘着力を有する。シート部材８２がマスク１２に当接されると、パッド２７に直接載置されなかった導電性ボール３８が、シート部材８２の有する静電気に伴う付着力により付着される。シート部材８２としては、例えば、ヤング率０．１〜１００ＭＰａ、厚さ５０〜５００μｍの布を用いることができる。

当接機構８４は、シート部材８２をマスク１２に当接させるためのものである。当接機構８４は、スキージ８６、シリンダ８８からなる。スキージ８６は、シート部材８２をマスク１２に当接させるための部材である。図４に、スキージ８６の斜視図を示す。図４に示すように、スキージ８６は、一方向に沿って長く、それと直交する方向に沿って短い板状の形状を有しており、シート部材８２を帯状の当接面７６を以ってマスク１２に当接することができる形状を有している。スキージ８６としては、例えば、ヤング率３０〜３００ＧＰａ、厚さ０．０５〜２０ｍｍ、長さ１００〜３００ｍｍのメタルスキージが用いられる。シリンダ８８は、スキージ８６がマスク１２と当接するときの圧力、あるいはある一定の間隔をもって近接する場合の高さを制御するためのものである。シリンダ８８としては、例えば、エアシリンダが用いられる。

図５は、スキージ８６が、シート部材８２を当接面７６においてマスク１２に当接する様子を示している。ここで、当接とは一般に接触させることを意味するが、本発明において、当接とは近接の意味も含み、シート部材８２をマスク１２に接触させなくても近づけるだけでよいものとする。シート部材８２をマスク１２に接触させなくても、シート部材８２とマスク１２の対向する距離Ｄ１が導電性ボール３８の直径Ｒ２より小さくなれば、パッド２７に直接載置されずマスク１２の表面に載置された導電性ボール３８をシート部材８２に付着させ除去することが可能であるからである。ただし、パッド２７に直接載置された導電性ボール３８の上に載置された導電性ボール３８（ダブルボール）の上面は、マスク１２の表面に載置された導電性ボール３８より若干低い高さＨ１にある。従って、Ｄ１はＤ１＜Ｈ１の範囲で固定され、シリンダ８８により制御される。

このような当接機構８４を用いることにより、パッド２７に直接載置されなかった導電性ボール３８をシート部材８２に付着させるか、又はマスク１２の周縁部に移動させることができる。

移動機構９０は、シート部材８２をマスク１２に当接させたままマスク１２上を移動させるためのものである。図３に示すように、ステージ１１に平行して移動するための台車７２、レール７４からなる。移動機構９０には、当接機構８４のシリンダ８８が固定されており、当接機構８４のスキージ８６をマスク１２に当接させたままマスク１２上を移動させることができる。

このような移動機構９０を用いることにより、パッド２７に直接載置されなかった導電性ボール３８をシート部材８２に付着させる工程をマスク１２の全面にわたって行うことができる。

更新機構９２は、マスク１２に当接されるシート部材８２の当接面７６をシート部材８２の移動する速度に応じて更新するためのものである。図３に示すように、更新機構９２は、モータで回転駆動される巻出しローラ９４、巻取りローラ９６からなる。シート部材８２は、ロール状になって巻出しローラ９４に装填されている。シート部材８２が当接機構８４によりマスク１２に当接された状態で、移動機構９０によりマスク１２上を移動する場合、巻出しローラ９４、巻取りローラ９６が移動機構９０の移動する速度Ｖ１に応じて回転し、シート部材８２がスキージ８６を速度Ｖ２で通過するようにシート部材８２を供給巻取りする。即ち、マスク１２に当接するシート部材８２の当接面７６は、速度Ｖ２で更新される。結果として、巻出しローラ９４から巻出されたシート部材８２は、当接面７６でマスク１２上に当接し、導電性ボール３８が付着した後、巻取りローラ９６に巻取られる。

ここで、Ｖ２＞Ｖ１の場合、シート部材８２は、当接面７６を更新しながらマスク１２に当接する。一方、Ｖ２＜Ｖ１の場合、マスク１２上での移動にシート部材８２の更新が追いつかず、一度導電性ボール３８が付着した当接面７６に再び別の導電性ボール３８が当接することになり、導電性ボール３８の付着除去を確実に行うことができなくなる。従って、Ｖ２はＶ１より大きくなるように設定される。

このような更新機構９２を用いることによって、シート部材８２がマスク１２に当接する当接面７６を、当接機構８４のマスク１２の上での移動速度Ｖ１に応じて更新することができ、常に付着力の保持された状態でマスク１２に当接することができる。従って、パッド２７に直接載置されなかった導電性ボール３８の除去を逃したり、一度シート部材８２に付着された導電性ボール３８をマスク１２の上に再び落とすことがなく、除去を確実に行うことができる。

図６〜図１０は、本発明の第１の実施の形態に係る導電性ボール除去装置を用いた導電性ボール除去方法を説明するための工程図である。図６〜図１０において、先に説明した図３に示す構造体と同一構成部分には、同一符号を付す。

図６〜図１０を参照して、本発明の第１の実施の形態に係る導電性ボール除去方法について説明する。

始めに、図６に示すのは、マスク１２の上からパッド２７に導電性ボール３８を載置する工程が終わった後の配線基板１８の上の導電性ボール３８の状態である。複数のパッド２７の全てにそれぞれ１つの導電性ボール３８が載置されているが、マスク１２の上には余剰の導電性ボール３８が存在する。また、パッド２７に載置された導電性ボール３８の上面の高さは、マスク１２の上面の高さより若干低いため、マスク１２の上面からマスク１２の貫通部１２Ａに嵌合し、既に載置された導電性ボール３８の上に二重に導電性ボール３８が載置された状態（ダブルボール）となるものもある。

次に、図７に示す工程では、マスク１２とシート部材８２とが対向するように配置され、シート部材８２、当接機構８４、移動機構９０、更新機構９２、を具備する導電性ボール除去装置８０において、当接機構８４を用い、シート部材８２をマスク１２に当接する。具体的には、当接機構８４を構成するシリンダ８８を用いて、当接機構８４のスキージ８６をマスク１２に近づけ、図５で示されたある距離Ｄ１で対向するように保持する。

次に、図８に示す工程では、導電性ボール除去装置８０の移動機構９０により、Ｄ１の距離でマスク１２と当接されたシート部材８２が、移動速度Ｖ１でマスク１２の上を移動させられる。具体的には、移動機構９０を構成する台車７２、レール７４により、移動機構９０が移動させられる。

さらに、図９に示す工程では、導電性ボール除去装置８０が、移動機構９０により移動速度Ｖ１で移動させられるのに加え、導電性ボール除去装置８０の更新機構９２により、シート部材８２がマスク１２に当接させられる当接面７６が、更新速度Ｖ２で更新され、余剰の導電性ボール３８が順次除去される。具体的には、Ｖ２をＶ１より大きくする。その結果、一度シート部材８２に付着された導電性ボール３８をマスク１２の上に再び落とすことがなく、導電性ボール３８の除去ができる。

最後に、図１０は、導電性ボール除去装置８０による導電性ボール３８の除去工程が全て終了した直後の状態を示す工程図である。余剰の導電性ボール３８が全てシート部材８２によって付着され、巻取りローラ９６に巻き取られて除去され、マスク１２の上には、直接パッド２７上に載置された導電性ボール３８だけが残っている。配線基板１８の全面において導電性ボール３８の除去を行った後、導電性ボール除去装置８０の当接機構８４のシリンダ８８を用いて、シート部材８２はマスク１２から離間される。

以上述べたように、本実施の形態の導電性ボール除去装置によれば、導電性ボール３８を付着するシート部材８２をマスク１２に当接しながら、移動機構９０および更新機構９２を用いて、シート部材８２のマスク１２に当接する当接面７６を更新しながらマスク１２上を移動することにより、パッド２７に直接載置されなかった導電性ボール３８をマスク１２から確実に除去することができる。あるいは、導電性ボール３８が載置された配線基板１８を取りはずしてから、導電性ボール３８を除去してもよい。

なお、本実施の形態では、シート部材８２として静電気による付着力を有する布を用いる場合を例に挙げて説明したが、導電性ボール３８を付着させることができるならば、静電気以外の力も用いることができる。また、シート部材８２は、ロール状に巻出し巻取りが可能であるならば、紙等の、布以外の繊維あるいはフィルムを使用することができる。

（第１の実施の形態の第１の変形例）
次に、図１１を参照し、第１の実施の形態の第１の変形例について説明する。

本変形例に係る導電性ボール除去装置は、第１の実施の形態において、シート部材８２として薄い部材を用いるところ、本変形例においては、より厚い部材を用いるか、より柔らかい材料を用いるかによって、シート部材８２に柔軟性を付与することが、第１の実施の形態と異なる。

具体的には、シート部材８２として、第１の実施の形態において、ヤング率０．１〜１００ＭＰａ、厚さ５０〜５００μｍの布を用いるところ、本変形例では、ヤング率０．１〜１．０ＭＰａ、厚さ０．１〜１ｍｍの布を用いる。例えば、厚さ０．５ｍｍのフェルト（ヤング率０．５ＭＰａ）が挙げられる。配線基板１８の各層の厚みが生産工程のばらつきで異なり、一部凹凸が存在するような場合、シート部材８２に柔軟性を付与することにより、図１１に示すように、凹凸に追従することができるようになる。

このように、本変形例によれば、シート部材８２に柔軟性を付与することにより、配線基板１８に凹凸が存在し、又は配線基板１８に反りが存在した場合でも、シート部材８２とマスク１２が確実に当接し、パッド２７に直接載置されなかった導電性ボール３８を除去する工程において生産性を向上させることができる。

図１１においては、判りやすいように、配線基板１８の凹凸等を誇張して示している。

また、本変形例においては、シート部材８２の厚さを厚くすると同時に柔らかい材料に替えた例を示したが、厚さ又は柔らかさの一方だけを変化させても、同様の効果が得られる。

（第１の実施の形態の第２の変形例）
次に、図１２を参照し、第１の実施の形態の第２の変形例について説明する。

本変形例に係る導電性ボール除去装置は、第１の実施の形態において、スキージ８６として硬い部材を用いるところ、本変形例においては、より薄い部材を用いるか、より柔らかい材料を用いるかによって、スキージ８６に柔軟性を付与することが、第１の実施の形態と異なる。

具体的には、スキージ８６として、第１の実施の形態において、ヤング率３０〜３００ＧＰａ、厚さ０．０５〜２０ｍｍのメタルスキージを用いるところ、本変形例では、ヤング率５〜５００ＭＰａ、厚さ０．０１〜２０ｍｍの樹脂スキージを用いる。例えば、厚さ５ｍｍのシリコンラバースキージ（ヤング率３０ＭＰａ）が用いられる。配線基板１８の各層の厚みが生産工程のばらつきで異なり、一部凹凸が存在するような場合、スキージ８６に柔軟性を付与することにより、図１２に示すように、凹凸に追従することができるようになる。

このように、本変形例によれば、スキージ８６に柔軟性を付与することにより、配線基板１８に凹凸が存在し、又は配線基板１８に反りが存在した場合でも、シート部材８２とマスク１２が確実に当接し、パッド２７に直接載置されなかった導電性ボール３８を除去する工程において生産性を向上させることができる。

なお、本変形例においては、スキージ８６の厚さを薄くすると同時に柔らかい材料に替えた例を示したが、厚さ又は柔らかさの一方だけを変化させても、同様の効果が得られる。

（第１の実施の形態の第３の変形例）
次に、図１３を参照し、第１の実施の形態の第３の変形例について説明する。

本変形例に係る導電性ボール除去装置は、第１の実施の形態において、移動機構９０の進行方向に直交して長手方向を有する一体のスキージ８６を用いるところ、本実施例においては、長手方向に長さを分割し、短いスキージ８６を複数個設け、スキージ８６の各々に首振機構７８を設けたことが、第１の実施の形態と異なる。

具体的には、スキージ８６として、第１の実施の形態において、長さ１００〜３００ｍｍのスキージを用いるところ、本実施例では、長さ５〜５０ｍｍのスキージを複数個配設した構造のものを用いる。例えば、長さ１０ｍｍのスキージを５ｍｍの間隔で隣接して配設して用いる構造が挙げられる。配線基板１８の各層の厚みが生産工程のばらつきで異なり、一部凹凸が存在するような場合、複数のスキージ８６を用いることにより、図１３に示すように、凹凸に追従することができる。

さらに、図１３に示すように、複数のスキージ８６の上部に首振機構７８を設けることができる。首振機構７８は、シート部材８２がマスク１２に当接した状態で、マスク１２に当接されるシート部材８２の当接面７６の延在方向に直交して摺動するものである。このような首振機構７８を設けることにより、配線基板１８に細かな凹凸が存在しても、その周辺でスキージ８６が摺動して自由に動くことができ、より確実に配線基板１８の凹凸に追従することができる。

このように、本変形例によれば、スキージ８６を複数個設け、首振機構７８を設けることにより、配線基板１８に凹凸が存在し、又は配線基板１８に反りが存在した場合でも、シート部材８２とマスク１２が確実に当接し、パッド２７に直接載置されなかった導電性ボール３８を除去する工程において生産性を向上させることができる。更に、延在方向に平行に傾くようにしてもよい。

なお、本変形例においては、スキージ８６を分割して複数設けると同時に首振機構７８を設けた例を示したが、スキージ８６を複数設けること又は首振機構７８を設けることの一方だけを実施しても、同様の効果が得られる。

（第１の実施の形態の第４の変形例）
次に、図２１を参照し、第１の実施の形態の第４の変形例について説明する。

本変形例に係る導電性ボール除去装置８０Ａは、第１の実施の形態において、当接機構８４がスキージ８６をシート部材８２に当接するところ、本変形例においては、当接機構８４Ａが空気を噴出し、その風圧によってシート部材８２を当接することが、第１の実施の形態と異なる。

具体的には、第１の実施の形態において、当接機構８４として、スキージ８６、シリンダ８８を用い、スキージ８６としてメタルスキージを用い、シリンダ８８としてエアシリンダを用いるところ、本変形例では、当接機構８４Ａとして、エアノズル８６Ａ、シリンダ８８を用いる。シリンダ８８として、第１の実施の形態と同様に、例えば、エアシリンダを用いることができる。エアノズル８６Ａは、エアノズル８６Ａの先端からシート部材８２に向けて空気を吹付け、シート部材８２に吹付けられた空気の風圧によってシート部材８２をマスク１２に当接するための部材である。図２２に、エアノズル８６Ａの斜視図を示す。図２２に示すように、エアノズル８６Ａの底面は、一方向に沿って長く、それと直交する方向に沿って短い帯状の形状を有する。またエアノズル８６Ａの底面には、空気を噴出する複数のオリフィス８７が穿設されている。例えば、１００ｍｍ×６ｍｍの帯状の底面を有するエアノズルであって、０．９ｍｍ×０．９ｍｍの正方形の断面形状を有するオリフィス８７が、３２個等間隔で一列に並んで穿設されたものを用いることができる。

図２３は、エアノズル８６Ａから噴出された空気の風圧によって、シート部材８２が当接面７６においてマスク１２に当接される様子を示している。第１の実施の形態において説明したように、導電性ボール３８を除去するためのシート部材８２のマスク１２への当接とは近接の意味も含み、シート部材８２をマスク１２に接触させなくても近づけるだけでよい。シート部材８２をマスク１２に接触させなくても、シート部材８２とマスク１２の対向する距離Ｄ１が、マスク１２の上面とダブルボールとして載置された導電性ボール３８の上面との距離Ｈ１よりも小さくなるように制御されればよい。従って、Ｄ１は、シリンダ８８の高さ及びエアノズル８６Ａから噴出される空気の圧力を調整することによって、Ｄ１＜Ｈ１の範囲になるように制御される。

ここで、シート部材８２を強い力でマスク１２に当接させた場合、マスク１２が強く押されて配線基板１８に当接し、配線基板１８に塗布された粘着材３５がマスク１２に付着し、マスク１２の貫通部１２Ａを閉塞するため、マスク１２を用いて別の配線基板１８に導電性ボール３８を載置することができない。

しかし、エアノズル８６Ａを用いて空気を噴出し、シート部材８２を風圧でマスク１２に当接させることによって、シート部材８２を弱い力でマスク１２に当接させることができ、マスク１２の貫通部１２Ａを粘着材３５で閉塞することがなく、マスク１２を用いて別の配線基板１８に導電性ボール３８を載置するときに、確実に導電性ボール３８を載置することができる。

また、本変形例に係る導電性ボール除去装置８０Ａを用いた導電性ボール除去方法は、当接機構８４Ａとして、エアノズル８６Ａ、シリンダ８８を用いること以外は、図６〜図１０に示される本発明の第１の実施の形態に係る導電性ボール除去方法と同一である。

以上、本変形例によれば、シート部材８２をエアノズル８６Ａから噴出される空気の風圧によってマスク１２に当接させることにより、マスク１２を強く当接してマスク１２の貫通部１２Ａを配線基板１８に塗布された粘着材３５で閉塞させることがなく、導電性ボール３８を除去した後に、別の配線基板１８に確実に導電性ボール３８を載置することができる。

（第１の実施の形態の第５の変形例）
次に、図２４を参照し、第１の実施の形態の第５の変形例について説明する。

本変形例に係る導電性ボール除去装置８０Ｂは、第１の実施の形態において、当接機構８４がスキージ８６をシート部材８２に当接するところ、本変形例においては、シート部材８２が自重によってマスク１２に当接されることが、第１の実施の形態と異なる。

具体的には、第１の実施の形態において、当接機構８４として、スキージ８６、シリンダ８８を用い、スキージ８６としてメタルスキージを用い、シリンダ８８としてエアシリンダを用いるところ、本変形例では、当接機構を用いず、シート部材８２は、自重によって垂下し、マスク８２に当接される。本変形例においても、シート部材８２とマスク１２の対向する距離Ｄ１は、マスク１２の上面とダブルボールとして載置された導電性ボール３８の上面との距離Ｈ１よりも小さくなるように制御される。Ｄ１の制御は、特に限定されるものではないが、例えば巻取りローラ９６及び巻出しローラ９４を上下に移動させることによって行うことができる。

ここで、シート部材８２を強い力でマスク１２に当接させた場合、マスク１２が強く押されて配線基板１８に当接し、配線基板１８に塗布された粘着材３５がマスク１２に付着し、マスク１２の貫通部１２Ａを閉塞してしまうため、マスク１２を用いて別の配線基板１８に導電性ボール３８を載置することができない。

一方、本変形例によれば、自重によってシート部材８２をマスク１２へ当接することにより、シート部材８２を弱い力でマスク１２に当接させることができ、マスク１２を強く当接してマスク１２の貫通部１２Ａを配線基板１８に塗布された粘着材３５で閉塞させることがなく、導電性ボール３８を除去した後に、別の配線基板１８に確実に導電性ボール３８を載置することができる。

また、本変形例に係る導電性ボール除去装置８０Ｂを用いた導電性ボール除去方法は、当接機構８４を用いず、シート部材８２が自重によって自身をマスク１２に当接すること以外は、図６〜図１０に示される本発明の第１の実施の形態に係る導電性ボール除去方法と同一である。

（第１の実施の形態の第６の変形例）
次に、図２５を参照し、第１の実施の形態の第６の変形例について説明する。

本変形例に係る導電性ボール除去装置８０Ｃは、第１の実施の形態において、当接機構８４がスキージ８６をシート部材８２に当接するところ、本変形例においては、当接機構８４Ｃが弾性力を有する弾性部材を介してシート部材８２に付勢し、シート部材８２をマスク１２に当接することが、第１の実施の形態と異なる。

具体的には、第１の実施の形態において、当接機構８４として、スキージ８６、シリンダ８８を用い、スキージ８６としてメタルスキージを用い、シリンダ８８としてエアシリンダを用いるところ、本変形例では、スキージ８６の代わりに、弾性力を有する弾性部材であるスポンジ８６Ｃを用いる。スポンジ８６Ｃは、マスク１２への当接面が、一方向に沿って長く、それと直交する方向に沿って短い矩形状の形状を有し、アームを介してシリンダ８８に接続される。スポンジ８６Ｃは、シート部材８２をマスク１２に当接させるための部材である。

スポンジ８６Ｃのマスク１２への当接面７６は、例えば１００ｍｍ×２０ｍｍの矩形状の面である。また、スポンジ８６Ｃの材質は、例えばポリウレタン、メラミン樹脂、ゴム等を用いることができる。

図２６は、スポンジ８６Ｃによって、シート部材８２が当接面７６においてマスク１２に当接される様子を示している。本変形例においても、シート部材８２とマスク１２の対向する距離Ｄ１は、マスク１２の上面とダブルボールとして載置された導電性ボール３８の上面との距離Ｈ１よりも小さくなるように制御される。

ここで、シート部材８２を強い力でマスク１２に当接させた場合、マスク１２が強く押されて配線基板１８に当接し、配線基板１８に塗布された粘着材３５がマスク１２に付着し、マスク１２の貫通部１２Ａを閉塞してしまうため、マスク１２を用いて別の配線基板１８に導電性ボール３８を載置することができない。

一方、本変形例によれば、スポンジ８６Ｃによってシート部材８２をマスク１２へ当接することにより、シート部材８２を弱い力でマスク１２に当接させることができ、マスク１２を強く当接してマスク１２の貫通部１２Ａを配線基板１８に塗布された粘着材３５で閉塞させることがなく、導電性ボール３８を除去した後に、別の配線基板１８に確実に導電性ボール３８を載置することができる。

また、本変形例に係る導電性ボール除去装置８０Ｃを用いた導電性ボール除去方法は、スキージ８６の代わりに、弾性力を有する弾性部材であるスポンジ８６Ｃを用いること以外は、図６〜図１０に示される本発明の第１の実施の形態に係る導電性ボール除去方法と同一である。

なお、本変形例において、弾性力を有する弾性部材としてスポンジ８６Ｃを用い、スポンジ８６Ｃをシート部材８２に当接し、シート部材８２をマスク１２へ当接するが、弾性力を有する弾性部材であればよく、特にスポンジ８６Ｃに限定されるものではない。

（第１の実施の形態の第７の変形例）
次に、図３０を参照し、第１の実施の形態の第７の変形例について説明する。

本変形例に係る導電性ボール除去装置８０Ｄは、第１の実施の形態において、当接機構がシリンダ８８によってスキージ８６の位置を制御するところ、本変形例においては、当接機構８４Ｄが、シート部材をマスクに当接する当接部を備え、当接部の自重によりシート部材をマスクに当接することが、第１の実施の形態と異なる。

当接部の自重が大きい場合は、シリンダ、バネ等により自重を軽減する機構を設けてもよい。

図３０を参照するに、本変形例の導電性ボール除去装置８０Ｄは、シート部材８２と、当接機構８４Ｄと、移動機構９０と、更新機構９２とから構成され、ステージ１１上に保持された配線基板１８及び配線基板１８上に固定されたマスク１２の上に設けられている。

シート部材８２、移動機構９０、更新機構９２、ステージ１１、配線基板１８は、第１の実施の形態と同様である。また、マスク１２が、ソルダーレジスト２９に形成されたレジスト膜４１を介して、配線基板１８上に固定され、複数の貫通部１２Ａを有することは、第１の実施の形態と同様である。さらに、貫通部１２Ａが、パッド２７の形成位置に対応する部分のマスク１２を貫通するように形成されており、貫通部１２Ａの直径Ｒ１が、１つの導電性ボール３８のみが通過可能な大きさ（導電性ボール３８の直径Ｒ２よりも少し大きい大きさ）とされていることも、第１の実施の形態と同様である。

また、当接機構８４Ｄは、スキージ８６Ｄ、スキージ支持部８８Ｄ、保持部８９Ａ、腕部８９Ｂを有する。

スキージ８６Ｄは、第１の実施の形態と同様に、シート部材８２をマスク１２に当接させるための部材である。スキージ８６Ｄは、本発明における当接部に相当し、スキージ支持部８８Ｄは、本発明における支持部に相当する。

スキージ８６Ｄの外形は、第１の実施の形態において図４を用いて説明したスキージ８６の外形と同様であり、一方向に沿って長く、それと直交する方向に沿って短い板状の形状を有している。自重でシート部材８２をマスク１２に当接する力を小さくするために、第１の実施の形態の第２の変形例において説明したヤング率５〜５００ＭＰａ、厚さ０．０１〜２０ｍｍの樹脂スキージが用いられる。本変形例では、一例として、厚さ５ｍｍのシリコンラバースキージ（ヤング率３０ＭＰａ）が用いられる。また、図３０の一部断面に示すように、スキージ８６Ｄは、自重でシート部材８２をマスク１２に当接する力を小さくするために、中空の部材よりなる。

スキージ支持部８８Ｄは、スキージ８６Ｄを支持し、スキージ８６Ｄと一体で上下動が可能な部分である。保持部８９Ａは、移動機構９０に固定されており、スキージ８６Ｄ及びスキージ支持部８８Ｄを一体で上下動可能に保持する。保持部８９Ａとして、スキージ支持部８８Ｄが上下動可能なベアリング又はローラ等が移動機構９０の下方に腕部８９Ｂを介して固定されてなる部材を用いることができる。図３０には、保持部８９Ａとしてベアリングを用いた例を示す。

すなわち、スキージ支持部８８Ｄは、保持部８９Ａ及び移動機構９０の何れにも拘束されず上下動可能である。従って、一体として構成されるスキージ８６Ｄ及びスキージ支持部８８Ｄは、スキージ８６Ｄ及びスキージ支持部８８Ｄの自重で下方に一体で移動し、シート部材８２の上方からシート部材８２をスキージ８６Ｄ及びスキージ支持部８８Ｄの自重に等しい下向きの力で付勢する。それによって、スキージ８６Ｄは、シート部材８２をマスク１２に当接する。また、シート部材８２をマスク１２に当接する力を弱くするために、図３０の一部断面に示すように、スキージ支持部８８Ｄも、中空の部材よりなる。

ここで、シート部材８２をマスク１２に当接する力が弱いことによる効果を、図３１を用いて説明する。図３１は、マスクに当接する力が強い場合に、粘着材がマスクに付着している状態を模式的に示す図である。マスク１２に当接する力が強い場合、マスク１２が配線基板１８に押し付けられ、パッド２７のフラックス等よりなる粘着材３５がマスク１２に付着する。すると、図３１に示すように、マスク１２の貫通部１２Ａに粘着材３５が付着して貫通部１２Ａを閉塞してしまい、その後連続して導電性ボール３８を除去する作業を行うことができなくなってしまう。

一方、本変形例のように、シリンダを用いず、中空のスキージ８６Ｄ及び中空のスキージ支持部８８Ｄを用いることにより、シート部材８２をマスク１２に当接する力を弱くすることができる。その結果、マスク１２が配線基板１８に押し付けられる力も弱くなる。従って、マスク１２を強く当接してマスク１２の貫通部１２Ａを配線基板１８に塗布されたフラックス等の粘着材３５で閉塞させることがない。そのため、導電性ボール３８を除去した後に、別の配線基板１８に確実に導電性ボール３８を載置することができる。

なお、本変形例では、当接部として中空のスキージを用いるが、スキージの自重が軽くなるのであれば、例えば軽量の樹脂等を用いてもよく、特に中空のスキージに限定されるものではない。また、スキージ支持部についても、スキージ支持部の自重が軽くなるのであれば、例えば軽量の樹脂等を用いてもよく、特に中空のスキージ支持部に限定されるものではない。

（第１の実施の形態の第８の変形例）
次に、図３２を参照し、第１の実施の形態の第８の変形例について説明する。

本変形例に係る導電性ボール除去装置８０Ｅは、第１の実施の形態の第７の変形例において、当接部として中空のスキージ８６Ｄを用いるところ、本変形例においては、当接部としてスポンジ８６Ｅを用いることが、第１の実施の形態と異なる。

図３２を参照するに、本変形例の導電性ボール除去装置８０Ｅは、シート部材８２と、当接機構８４Ｅと、移動機構９０と、更新機構９２とから構成され、ステージ１１上に保持された配線基板１８及び配線基板１８上に固定されたマスク１２の上に設けられている。

シート部材８２、移動機構９０、更新機構９２、ステージ１１、配線基板１８、マスク１２は、第１の実施の形態の第７の変形例と同様である。

また、当接機構８４Ｅは、スポンジ８６Ｅ、スポンジ支持部８８Ｅ、保持部８９Ａ、腕部８９Ｂを有する。スポンジ８６Ｅは、本発明における当接部に相当し、スポンジ支持部８８Ｅは、本発明における支持部に相当する。

スポンジ支持部８８Ｅが、スポンジ８６Ｅを支持し、スポンジ８６Ｅと一体で上下動可能な部分であること、またスポンジ支持部８８Ｅが、移動機構９０の下方に腕部８９Ｂを介して固定されるベアリング又はローラ等よりなる保持部８９Ａにより保持されることは、第１の実施の形態の第７の変形例と同様である。

一方、本変形例では、第１の実施の形態の第７の変形例におけるスキージの代わりに、スポンジ８６Ｅを用いる。スキージの代わりに、スポンジ８６Ｅを用いるのは、第１の実施の形態の第６の変形例と同様である。従って、例えばスポンジ８６Ｅのマスク１２への当接面７６は、例えば１００ｍｍ×２０ｍｍの矩形状の面である。また、スポンジ８６Ｅの材質は、例えばポリウレタン、メラミン樹脂、ゴム等を用いることができる。

本変形例によれば、スキージよりもやわらかいスポンジ８６Ｅによってシート部材８２をマスク１２に当接することにより、シート部材８２を弱い力でマスク１２に当接することができる。その結果、第１の実施の形態の第７の変形例と同様に、マスク１２を強く当接してマスク１２の貫通部１２Ａを配線基板１８に塗布されたフラックス等の粘着材３５で閉塞させることがない。従って、導電性ボール３８を除去した後に、別の配線基板１８に確実に導電性ボール３８を載置することができる。

なお、本変形例では、当接部としてスポンジを用いるが、スポンジの自重が軽くなるのであれば、例えば中空のスポンジを用いてもよい。

（第１の実施の形態の第９の変形例）
次に、図３３を参照し、第１の実施の形態の第９の変形例について説明する。

本変形例に係る導電性ボール除去装置８０Ｆは、第１の実施の形態の第８の変形例において、スポンジ８６Ｅがスポンジ支持部８８Ｅと一体で上下動可能に設けられるところ、本変形例においては、スポンジ支持部を有さず、スポンジ８６Ｆは他の何れの部材からも支持されずにシート部材１２に自重で載ることが、第１の実施の形態の第８の変形例と異なる。

図３３を参照するに、本変形例の導電性ボール除去装置８０Ｆは、シート部材８２と、当接機構８４Ｆと、移動機構９０と、更新機構９２とから構成され、ステージ１１上に保持された配線基板１８及び配線基板１８上に固定されたマスク１２の上に設けられている。

シート部材８２、移動機構９０、更新機構９２、ステージ１１、配線基板１８、マスク１２は、第１の実施の形態の第８の変形例と同様である。

一方、当接機構８４Ｆは、スポンジ支持部を備えず、スポンジ８６Ｆのみを備える。スポンジ８６Ｆは、図３３の紙面に垂直な方向に沿って長く、図３３の紙面に平行な断面が略円形の円筒形状の部材である。

また、スポンジの材質として、例えばポリウレタン、メラミン樹脂、ゴム等を用いることができるのは、第１の実施の形態の第８の変形例と同様である。このような柔らかい材質を用いることにより、基板の凹凸を吸収しながら広い面積でシート部材８２に接触し、シート部材８２に弱い力でマスク１２に当接することができる。

以上のように、円筒形状のスポンジ８６Ｆを用いることにより、シート部材８２を下方に付勢する力はスポンジ８６Ｆの自重のみとなり、シート部材８２をマスク１２に当接する力を弱くすることができる。その結果、マスク１２が配線基板１８に押し付けられる力も弱くなる。従って、第１の実施の形態の第８の変形例と同様に、マスク１２を強く当接してマスク１２の貫通部１２Ａを配線基板１８に塗布されたフラックス等の粘着材３５で閉塞させることがない。そのため、導電性ボール３８を除去した後に、別の配線基板１８に確実に導電性ボール３８を載置することができる。

なお、本変形例では、スポンジ８６Ｆは、独立してあるが、スポンジ８６Ｆが略自重に等しい下向きの力でシート部材８２に付勢できればよく、移動機構９０、巻出しローラ９４、巻取りローラ９６の何れかから細い紐状の部材によって支持されてもよい。

（第２の実施の形態）
図１４を用いて、本発明の第２の実施の形態に係る導電性ボール載置装置を説明する。本実施の形態に係る導電性ボール載置装置１１０は、導電性ボール載置機構１３０と、第１の実施の形態で説明した導電性ボール除去装置８０とを組合せた構成となっており、第１の実施の形態とは、導電性ボール載置機構１３０を有するところが異なる。従って、第１の実施の形態との違いである導電性ボール載置機構１３０を中心に説明する。

図１４は、導電性ボール載置装置１１０を説明する図であり、マスク１２の上方に配置された導電性ボール載置機構１３０からマスク１２上に複数の導電性ボール３８を落下させ、パッド２７に直接載置されない余剰の導電性ボール３８を導電性ボール除去装置８０で除去する様子を模式的に示している。また、図１４において、Ｚ，Ｚ方向は鉛直方向、Ｘ，Ｘ方向はＺ，Ｚ方向と直交する方向をそれぞれ示している。なお、以下の説明に用いる図１４乃至２０に示した構成のうち、第１の実施の形態で説明した導電性ボール除去装置８０の図３に示した構成と対応する構成については、先に説明した構成と同一符号を付して、その説明を省略する。

図１４を参照するに、導電性ボール載置装置１１０は、導電性ボール載置機構１３０と、導電性ボール除去装置８０とから構成され、ステージ１１上に保持された配線基板１８及び配線基板１８上に固定されたマスク１２の上に設けられている。

導電性ボール載置機構１３０は、導電性ボール収容装置１３と、板体１４と、からなる。導電性ボール収容装置１３は、複数の導電性ボール３８を収容しており、マスク１２の上方に配置されている。

板体１４は、導電性ボール収容体１３の下端部を覆うように、導電性ボール収容体１３に設けられている。板体１４は、板体１４とマスク１２との間にマスク１２上に落下した導電性ボール３８が挟まらないように、マスク１２の上方に離間した位置に配置されている。導電性ボール３８の直径Ｒ２が１００μｍの場合、板体１４とマスク１２との間の距離Ｄ２は、例えば、１ｍｍ〜１０ｍｍとすることができる。板体１４は、１つの導電性ボール３８が通過可能な大きさとされた複数の貫通部４３を有する。導電性ボール３８の直径Ｒ２が１００μｍの場合、貫通部４３の直径Ｒ３は、例えば、１０５μｍ〜１１０μｍとすることができる。

板体１４は、一度に多くの導電性ボール３８がマスク１２上に落下しないように、マスク１２上に落下させる導電性ボール３８の数を調整するためのものである。板体１４の厚さＭ１は、例えば、８０μｍとすることができる。また、板体の材料としては、例えば、金属を用いることができる。

このように、マスク１２上に落下した導電性ボール３８が板体１４とマスク１２との間に挟まらないように、マスク１２から離間した位置に導電性ボール収容体１３及び板体１４を配置することにより、例えば、配線基板１８に反りが存在した場合でも、導電性ボール収容体１３及び板材１４とマスク１２とが接触したり、導電性ボール収容体１３及び板体１４とマスク１２との間に導電性ボール３８が挟まれたりすることがなくなるため、複数のパッド２７に導電性ボール３８を載置する工程における生産性を向上させることができる。

こうして、マスク１２上に落下した複数の導電性ボール３８のうち、マスク１２の貫通部１２Ａに入った導電性ボール３８のみが粘着材３５が形成されたパッド２７上に載置される。

一方、直接パッド２７に載置されず、マスク１２の上又はダブルボールとなってパッド２７に載置されている導電性ボール３８は、導電性ボール除去装置８０によって、配線基板１８上から除去される。導電性ボール除去装置８０は、第１の実施の形態で説明した導電性ボール除去装置８０をそのまま用いるものである。従って、図３に示す構造体と同一構成部分には、先に説明した構成と同一符号を付して、その説明を省略する。

このような導電性ボール除去装置８０を設けることにより、マスク１２に落下した複数の導電性ボール３８のうち、粘着材３５が形成されたパッド２７上に載置されなかった導電性ボール３８を除去することができる。

図１５〜図２０は、本発明の第２の実施の形態に係る導電性ボール載置装置を用いた導電性ボール載置方法を説明するための工程図である。図１５〜図２０において、先に説明した図３に示す構造体と同一構成部分には、同一符号を付す。また、図１９、図２０において、Ｃは配線基板１８を切断する位置（以下、「切断位置Ｃ」とする）を示している。

図１５〜図２０を参照して、本発明の第２の実施の形態に係る導電性ボール載置方法について説明する。

始めに、図１５に示す工程では、周知の手法により、複数のパッド２７に粘着材３５が設けられた配線基板１８を形成する。

次いで、図１６に示す工程では、ソルダーレジスト２９上にレジスト膜４１を形成し、その後、このレジスト膜４１を介して、配線基板１８上に複数の貫通部１２Ａを有したマスク１２を固定する。このとき、マスク１２は、貫通部１２Ａがパッド２７上に形成された粘着材３５を露出するように配置する。

次いで、図１７に示す工程では、マスク１２と板体１４とが対向するように、図１７に示す構造体をステージ１１上に固定する。導電性ボール載置装置１１０の説明で述べた通り、マスク１２上に落下される複数の導電性ボール３８がマスク１２と板体１４との間に挟まれないように、板体１４とマスク１２との間の距離Ｄ２は、例えば、１ｍｍ〜１０ｍｍとすることができる。

次いで、図１８に示す工程では、板体１４とマスク１２とが対向する状態で、複数の導電性ボール３８を収容した導電性ボール収容体１３を移動させた後、導電性ボール収容体１３を振動させて、板体１４の複数の貫通部４３から複数の導電性ボール３８をマスク１２上に落下させて、粘着材３５が形成された複数のパッド２７上にそれぞれ１つの導電性ボール３８を載置する。

次いで、マスク１２上に残った余分な導電性ボール３８を導電性ボール除去装置８０により除去する。この導電性ボール除去装置８０による導電性ボール除去方法は、第１の実施の形態で説明した図６〜図１０の工程を行うため、ここではその詳細な説明を省略する。シート部材８２を当接機構８４によりマスク１２に当接させ、移動機構９０によりシート部材８２の当接面７６をマスク１２上で移動させ、同時に更新機構９２によりシート部材８２の当接面７６を更新することにより、余剰な導電性ボール３８を確実に除去することができる。

また、導電性ボール除去装置８０による導電性ボール除去は、導電性ボール載置機構１３０による導電性ボール載置と並行して行ってもよい。導電性ボール除去と導電性ボール載置とを並行して行うことにより、導電性ボール除去及び導電性ボール載置に要する時間を短縮することが可能となるため、生産性を向上させることができる。

以上の方法により、全てのパッド２７上に各々一個の導電性ボール３８を載置することができる。

次いで、図１９に示す工程では、マスク１２が固定された配線基板１８をステージ１１から取り外し複数の導電性ボール３８が載置された配線基板１８からレジスト膜４１及びマスク１２を除去する。その後、導電性ボール３８を溶融させて、パッド２７に導電性ボール３８を接合させた後、粘着材３５を洗浄により除去する。

次いで、図２０に示す工程では、ダイサーにより、複数の導電性ボール３８が接合された配線基板１８を切断位置Ｃに沿って切断する。これにより、導電性ボール３８を備えた複数の配線基板１８が製造される。

本実施の形態の導電性ボールの載置方法によれば、導電性ボール載置機構１３０から導電性ボール３８をマスク１２上に落下させ、シート部材８２を更新させながら移動させる導電性ボール除去装置８０を用いることにより、配線基板全面にわたって、余剰の導電性ボール３８を除去することができる。また、配線基板１８に反りが存在した場合でも、導電性ボール載置機構１３０又は導電性ボール除去装置８０とマスク１２とが接触したり、導電性ボール載置機構１３０又は導電性ボール除去装置８０とマスク１２との間に導電性ボール３８が挟まれたりすることがなくなるため、複数のパッド２７に導電性ボール３８を載置する工程における生産性を向上させることができる。

（第２の実施の形態の第１の変形例）
次に、図２７を参照し、第２の実施の形態の第１の変形例について説明する。

本変形例に係る導電性ボール載置装置１１０Ａは、第２の実施の形態において、第１の実施の形態に係る導電性ボール除去装置８０を用いるところ、本変形例においては、第１の実施の形態の第４の変形例に係る導電性ボール除去装置８０Ａを用いることが、第２の実施の形態と異なる。

図２７は、導電性ボール載置装置１１０Ａを説明する図であり、マスク１２の上方に配置された導電性ボール載置機構１３０からマスク１２上に複数の導電性ボール３８を落下させ、パッド２７に直接載置されない余剰の導電性ボール３８を導電性ボール除去装置８０Ａで除去する様子を模式的に示している。また、図２７において、Ｚ，Ｚ方向は鉛直方向、Ｘ，Ｘ方向はＺ，Ｚ方向と直交する方向をそれぞれ示している。

図２７を参照するに、導電性ボール載置装置１１０Ａは、導電性ボール載置機構１３０と、導電性ボール除去装置８０Ａとから構成され、ステージ１１上に保持された配線基板１８及び配線基板１８上に固定されたマスク１２の上に設けられている。

本変形例において、導電性ボール載置機構１３０の構造及び導電性ボール３８の載置の機能は、第２の実施の形態と同一である。

一方、マスク１２の上又はダブルボールとなってパッド２７に載置されている導電性ボール３８は、導電性ボール除去装置８０Ａによって、配線基板１８上から除去される。導電性ボール除去装置８０Ａは、第１の実施の形態の第４の変形例で説明した導電性ボール除去装置８０Ａをそのまま用いる。

このような導電性ボール除去装置８０Ａを設けることにより、パッド２７上に載置されなかった導電性ボール３８を確実に除去することができる。また、エアノズル８６Ａによってシート部材８２が弱い力でマスク１２へ当接されるため、マスク１２を強く当接することによってマスク１２に粘着材３５が付着し、貫通部１２Ａが閉塞することがなく、導電性ボール３８を除去した後に、別の配線基板１８に確実に導電性ボール３８を載置することができる。

また、本変形例に係る導電性ボール載置装置を用いた導電性ボール載置方法は、図１５〜図２０に示される本発明の第２の実施の形態に係る導電性ボール載置装置１１０を用いた導電性ボール載置方法と同一である。

ただし、図１８に示す工程で複数のパッド２７上にそれぞれ１つの導電性ボール３８を載置した後、マスク１２上に残った余分な導電性ボール３８を除去する工程を、導電性ボール除去装置８０Ａを用いて行う。即ち、第１の実施の形態に示される図６〜図１０の工程を行うところ、図６〜図１０における導電性ボール除去装置８０の代わりに導電性ボール除去装置８０Ａを用いる。導電性ボール除去装置８０Ａの導電性ボール３８を除去する機能は、導電性ボール除去装置８０と同様であり、余剰な導電性ボール３８を確実に除去することができる。

また、導電性ボール除去装置８０Ａによる導電性ボール除去を、導電性ボール載置機構１３０による導電性ボール載置と並行して行うことができ、それによって導電性ボール除去及び導電性ボール載置に要する時間を短縮することが可能となるのは、第２の実施の形態と同様である。

以上の方法により、全てのパッド２７上に各々一個の導電性ボール３８を載置することができる。

その後、図１９及び図２０に示す工程は、第２の実施の形態と同一である。

本変形例の導電性ボールの載置方法によれば、導電性ボール除去装置８０Ａを用いることにより、配線基板１８全面にわたって、余剰の導電性ボール３８を除去することができる。エアノズル８６Ａによってシート部材８２が弱い力でマスク１２へ当接されるため、マスク１２を強く当接することによってマスク１２に粘着材３５が付着し、貫通部１２Ａが閉塞することがなく、導電性ボール３８を除去した後に、別の配線基板１８に確実に導電性ボール３８を載置することができる。従って、複数のパッド２７に導電性ボール３８を載置する工程における生産性を向上させることができる。

（第２の実施の形態の第２の変形例）
次に、図２８を参照し、第２の実施の形態の第２の変形例について説明する。

本変形例に係る導電性ボール載置装置１１０Ｂは、第２の実施の形態において、第１の実施の形態に係る導電性ボール除去装置８０を用いるところ、本変形例においては、第１の実施の形態の第５の変形例に係る導電性ボール除去装置８０Ｂを用いることが、第２の実施の形態と異なる。

図２８は、導電性ボール載置装置１１０Ｂを説明する図であり、マスク１２の上方に配置された導電性ボール載置機構１３０からマスク１２上に複数の導電性ボール３８を落下させ、パッド２７に直接載置されない余剰の導電性ボール３８を導電性ボール除去装置８０Ｂで除去する様子を模式的に示している。また、図２８において、Ｚ，Ｚ方向は鉛直方向、Ｘ，Ｘ方向はＺ，Ｚ方向と直交する方向をそれぞれ示している。

図２８を参照するに、導電性ボール載置装置１１０Ｂは、導電性ボール載置機構１３０と、導電性ボール除去装置８０Ｂとから構成され、ステージ１１上に保持された配線基板１８及び配線基板１８上に固定されたマスク１２の上に設けられている。

本変形例において、導電性ボール載置機構１３０の構造及び導電性ボール３８の載置の機能は、第２の実施の形態と同一である。

一方、マスク１２の上又はダブルボールとなってパッド２７に載置されている導電性ボール３８は、導電性ボール除去装置８０Ｂによって、配線基板１８上から除去される。導電性ボール除去装置８０Ｂは、第１の実施の形態の第５の変形例で説明した導電性ボール除去装置８０Ｂをそのまま用いる。

このような導電性ボール除去装置８０Ｂを設けることにより、パッド２７上に載置されなかった導電性ボール３８を確実に除去することができる。また、自重によってシート部材８２が弱い力でマスク１２へ当接されるため、マスク１２を強く当接することによってマスク１２に粘着材３５が付着し、貫通部１２Ａが閉塞することがなく、導電性ボール３８を除去した後に、別の配線基板１８に確実に導電性ボール３８を載置することができる。

また、本変形例に係る導電性ボール載置装置を用いた導電性ボール載置方法は、図１５〜図２０に示される本発明の第２の実施の形態に係る導電性ボール載置装置１１０を用いた導電性ボール載置方法と同一である。

ただし、図１８に示す工程で複数のパッド２７上にそれぞれ１つの導電性ボール３８を載置した後、マスク１２上に残った余分な導電性ボール３８を除去する工程を、導電性ボール除去装置８０Ｂを用いて行う。即ち、第１の実施の形態に示される図６〜図１０の工程を行うところ、図６〜図１０における導電性ボール除去装置８０の代わりに導電性ボール除去装置８０Ｂを用いる。導電性ボール除去装置８０Ｂの導電性ボール３８を除去する機能は、導電性ボール除去装置８０と同様であり、余剰な導電性ボール３８を確実に除去することができる。

また、導電性ボール除去装置８０Ｂによる導電性ボール除去を、導電性ボール載置機構１３０による導電性ボール載置と並行して行うことができ、それによって導電性ボール除去及び導電性ボール載置に要する時間を短縮することが可能となるのは、第２の実施の形態と同様である。

以上の方法により、全てのパッド２７上に各々一個の導電性ボール３８を載置することができる。

その後、図１９及び図２０に示す工程は、第２の実施の形態と同一である。

本変形例の導電性ボールの載置方法によれば、導電性ボール除去装置８０Ｂを用いることにより、配線基板１８全面にわたって、余剰の導電性ボール３８を除去することができる。自重によってシート部材８２が弱い力でマスク１２へ当接されるため、マスク１２を強く当接することによってマスク１２に粘着材３５が付着し、貫通部１２Ａが閉塞することがなく、導電性ボール３８を除去した後に、別の配線基板１８に確実に導電性ボール３８を載置することができる。従って、複数のパッド２７に導電性ボール３８を載置する工程における生産性を向上させることができる。

（第２の実施の形態の第３の変形例）
次に、図２９を参照し、第２の実施の形態の第３の変形例について説明する。

本変形例に係る導電性ボール載置装置１１０Ｃは、第２の実施の形態において、第１の実施の形態に係る導電性ボール除去装置８０を用いるところ、本変形例においては、第１の実施の形態の第６の変形例に係る導電性ボール除去装置８０Ｃを用いることが、第２の実施の形態と異なる。

図２９は、導電性ボール載置装置１１０Ｃを説明する図であり、マスク１２の上方に配置された導電性ボール載置機構１３０からマスク１２上に複数の導電性ボール３８を落下させ、パッド２７に直接載置されない余剰の導電性ボール３８を導電性ボール除去装置８０Ｃで除去する様子を模式的に示している。また、図２９において、Ｚ，Ｚ方向は鉛直方向、Ｘ，Ｘ方向はＺ，Ｚ方向と直交する方向をそれぞれ示している。

図２９を参照するに、導電性ボール載置装置１１０Ｃは、導電性ボール載置機構１３０と、導電性ボール除去装置８０Ｃとから構成され、ステージ１１上に保持された配線基板１８及び配線基板１８上に固定されたマスク１２の上に設けられている。

本変形例において、導電性ボール載置機構１３０の構造及び導電性ボール３８の載置の機能は、第２の実施の形態と同一である。

一方、マスク１２の上又はダブルボールとなってパッド２７に載置されている導電性ボール３８は、導電性ボール除去装置８０Ｃによって、配線基板１８上から除去される。導電性ボール除去装置８０Ｃは、第１の実施の形態の第６の変形例で説明した導電性ボール除去装置８０Ｃをそのまま用いる。

このような導電性ボール除去装置８０Ｃを設けることにより、パッド２７上に載置されなかった導電性ボール３８を確実に除去することができる。また、スポンジ８６Ｃによってシート部材８２が弱い力でマスク１２へ当接されるため、マスク１２を強く当接することによってマスク１２に粘着材３５が付着し、貫通部１２Ａが閉塞することがなく、導電性ボール３８を除去した後に、別の配線基板１８に確実に導電性ボール３８を載置することができる。

また、本変形例に係る導電性ボール載置装置を用いた導電性ボール載置方法は、図１５〜図２０に示される本発明の第２の実施の形態に係る導電性ボール載置装置１１０を用いた導電性ボール載置方法と同一である。

ただし、図１８に示す工程で複数のパッド２７上にそれぞれ１つの導電性ボール３８を載置した後、マスク１２上に残った余分な導電性ボール３８を除去する工程を、導電性ボール除去装置８０Ｃを用いて行う。即ち、第１の実施の形態に示される図６〜図１０の工程を行うところ、図６〜図１０における導電性ボール除去装置８０の代わりに導電性ボール除去装置８０Ｃを用いる。導電性ボール除去装置８０Ｃの導電性ボール３８を除去する機能は、導電性ボール除去装置８０と同様であり、余剰な導電性ボール３８を確実に除去することができる。

また、導電性ボール除去装置８０Ｃによる導電性ボール除去を、導電性ボール載置機構１３０による導電性ボール載置と並行して行うことができ、それによって導電性ボール除去及び導電性ボール載置に要する時間を短縮することが可能となるのは、第２の実施の形態と同様である。

以上の方法により、全てのパッド２７上に各々一個の導電性ボール３８を載置することができる。

その後、図１９及び図２０に示す工程は、第２の実施の形態と同一である。

本変形例の導電性ボールの載置方法によれば、導電性ボール除去装置８０Ｃを用いることにより、配線基板１８全面にわたって、余剰の導電性ボール３８を除去することができる。スポンジ８６Ｃによってシート部材８２が弱い力でマスク１２へ当接されるため、マスク１２を強く当接することによってマスク１２に粘着材３５が付着し、貫通部１２Ａが閉塞することがなく、導電性ボール３８を除去した後に、別の配線基板１８に確実に導電性ボール３８を載置することができる。従って、複数のパッド２７に導電性ボール３８を載置する工程における生産性を向上させることができる。

（第２の実施の形態の第４の変形例）
次に、図３４を参照し、第２の実施の形態の第４の変形例について説明する。

本変形例に係る導電性ボール載置装置１１０Ｄは、第２の実施の形態において、第１の実施の形態に係る導電性ボール除去装置８０を用いるところ、本変形例においては、第１の実施の形態の第７の変形例に係る導電性ボール除去装置８０Ｄを用いることが、第２の実施の形態と異なる。

図３４は、導電性ボール載置装置１１０Ｄを説明する図であり、マスク１２の上方に配置された導電性ボール載置機構１３０からマスク１２上に複数の導電性ボール３８を落下させ、パッド２７に直接載置されない余剰の導電性ボール３８を導電性ボール除去装置８０Ｄで除去する様子を模式的に示している。また、図３４において、Ｚ，Ｚ方向は鉛直方向、Ｘ，Ｘ方向はＺ，Ｚ方向と直交する方向をそれぞれ示している。

図３４を参照するに、導電性ボール載置装置１１０Ｄは、導電性ボール載置機構１３０と、導電性ボール除去装置８０Ｄとから構成され、ステージ１１上に保持された配線基板１８及び配線基板１８上に固定されたマスク１２の上に設けられている。

本変形例において、導電性ボール載置機構１３０の構造及び導電性ボール３８の載置の機能は、第２の実施の形態と同様である。

一方、マスク１２の上又はダブルボールとなってパッド２７に載置されている導電性ボール３８は、導電性ボール除去装置８０Ｄによって、配線基板１８上から除去される。導電性ボール除去装置８０Ｄは、第１の実施の形態の第７の変形例で説明した導電性ボール除去装置８０Ｄをそのまま用いる。

このような導電性ボール除去装置８０Ｄを設けることにより、パッド２７上に載置されなかった導電性ボール３８を確実に除去することができる。また、中空のスキージ８６Ｄによってシート部材８２が弱い力でマスク１２へ当接されるため、マスク１２を強く当接することによってマスク１２に粘着材３５が付着し、貫通部１２Ａが閉塞することがなく、導電性ボール３８を除去した後に、別の配線基板１８に確実に導電性ボール３８を載置することができる。

また、本変形例に係る導電性ボール載置装置を用いた導電性ボール載置方法は、図１５〜図２０に示される本発明の第２の実施の形態に係る導電性ボール載置装置１１０を用いた導電性ボール載置方法と同一である。

ただし、図１８に示す工程で複数のパッド２７上にそれぞれ１つの導電性ボール３８を載置した後、マスク１２上に残った余分な導電性ボール３８を除去する工程を、導電性ボール除去装置８０Ｄを用いて行う。即ち、第１の実施の形態に示される図６〜図１０の工程を行うところ、図６〜図１０における導電性ボール除去装置８０の代わりに導電性ボール除去装置８０Ｄを用いる。導電性ボール除去装置８０Ｄの導電性ボール３８を除去する機能は、導電性ボール除去装置８０と同様であり、余剰な導電性ボール３８を確実に除去することができる。

また、導電性ボール除去装置８０Ｄによる導電性ボール除去を、導電性ボール載置機構１３０による導電性ボール載置と並行して行うことができ、それによって導電性ボール除去及び導電性ボール載置に要する時間を短縮することが可能となるのは、第２の実施の形態と同様である。

以上の方法により、全てのパッド２７上に各々一個の導電性ボール３８を載置することができる。

その後、図１９及び図２０に示す工程は、第２の実施の形態と同様である。

本変形例の導電性ボールの載置方法によれば、導電性ボール除去装置８０Ｄを用いることにより、配線基板１８から余剰の導電性ボール３８を除去することができる。中空のスキージ８６Ｄによってシート部材８２が弱い力でマスク１２へ当接されるため、マスク１２を強く当接することによってマスク１２に粘着材３５が付着し、貫通部１２Ａが閉塞することがなく、導電性ボール３８を除去した後に、別の配線基板１８に確実に導電性ボール３８を載置することができる。従って、複数のパッド２７に導電性ボール３８を載置する工程における生産性を向上させることができる。

なお、本変形例において、第１の実施の形態の第７の変形例に係る導電性ボール除去装置８０Ｄに代え、第１の実施の形態の第８の変形例に係る導電性ボール除去装置８０Ｅ又は第１の実施の形態の第９の変形例に係る導電性ボール除去装置８０Ｆを用いることもできる。導電性ボール除去装置８０Ｅ、８０Ｆを用いる場合の導電性ボール載置装置をそれぞれ１１０Ｅ、１１０Ｆとし、導電性ボール載置装置１１０Ｅ、１１０Ｆを、図３５、図３６を用いて説明する。

図３５は、導電性ボール載置装置１１０Ｅを説明する図であり、マスク１２の上方に配置された導電性ボール載置機構１３０からマスク１２上に複数の導電性ボール３８を落下させ、パッド２７に直接載置されない余剰の導電性ボール３８を導電性ボール除去装置８０Ｅで除去する様子を模式的に示している。図３６は、導電性ボール載置装置１１０Ｆを説明する図であり、マスク１２の上方に配置された導電性ボール載置機構１３０からマスク１２上に複数の導電性ボール３８を落下させ、パッド２７に直接載置されない余剰の導電性ボール３８を導電性ボール除去装置８０Ｆで除去する様子を模式的に示している。また、図３５、図３６において、Ｚ，Ｚ方向は鉛直方向、Ｘ，Ｘ方向はＺ，Ｚ方向と直交する方向をそれぞれ示している。

導電性ボール除去装置８０Ｅ、８０Ｆを用いる場合においては、導電性ボール除去装置８０Ｄを用いる場合の中空のスキージ８６Ｄに代え、スポンジ８６Ｅ、８６Ｆを用いてシート部材８２をマスク１２に当接する。スポンジ８６Ｅ、８６Ｆによってシート部材８２が弱い力でマスク１２へ当接されるため、マスク１２を強く当接することによってマスク１２に粘着材３５が付着し、貫通部１２Ａが閉塞することがない。そのため、導電性ボール３８を除去した後に、別の配線基板１８に確実に導電性ボール３８を載置することができる。従って、導電性ボール除去装置８０Ｅ、８０Ｆを用いる場合においても、複数のパッド２７に導電性ボール３８を載置する工程における生産性を向上させることができる。

以上、本発明の好ましい実施の形態について記述したが、本発明はかかる特定の実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲内に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。

また、パッドが下向きになるように基板を設置し、その下にボール除去装置８０を配置してもよい。

従来の導電性ボール載置方法における導電性ボール載置後の状態を表す断面図である。 従来の導電性ボール載置方法における導電性ボール載置後の状態を表す断面図である。 本発明の第１の実施の形態に係る導電性ボール除去装置が導電性ボールを除去する様子を模式的に示す図である。 本発明の第１の実施の形態に係る導電性ボール除去装置を説明するための図であり、当接機構を構成するスキージの斜視図である。 本発明の第１の実施の形態に係る導電性ボール除去装置を説明するための図であり、シート部材がマスクに当接される当接面付近の拡大図である。 本発明の第１の実施の形態に係る導電性ボール除去方法を説明するための工程図（その１）である。 本発明の第１の実施の形態に係る導電性ボール除去方法を説明するための工程図（その２）である。 本発明の第１の実施の形態に係る導電性ボール除去方法を説明するための工程図（その３）である。 本発明の第１の実施の形態に係る導電性ボール除去方法を説明するための工程図（その４）である。 本発明の第１の実施の形態に係る導電性ボール除去方法を説明するための工程図（その５）である。 本発明の第１の実施の形態の第１の変形例に係る導電性ボール除去装置を説明するための図であり、シート部材がマスクに当接される当接面付近の拡大図である。 本発明の第１の実施の形態の第２の変形例に係る導電性ボール除去装置を説明するための図であり、シート部材がマスクに当接される当接面付近の拡大図である。 本発明の第１の実施の形態の第３の変形例に係る導電性ボール除去装置を説明するための図であり、当接機構を構成するスキージがマスクに当接している様子を示す斜視図である。 本発明の第２の実施の形態に係る導電性ボール載置装置が導電性ボールを載置及び除去する様子を模式的に示す図である。 本発明の第２の実施の形態に係る導電性ボール載置方法を説明するための工程図（その１）である。 本発明の第２の実施の形態に係る導電性ボール載置方法を説明するための工程図（その２）である。 本発明の第２の実施の形態に係る導電性ボール載置方法を説明するための工程図（その３）である。 本発明の第２の実施の形態に係る導電性ボール載置方法を説明するための工程図（その４）である。 本発明の第２の実施の形態に係る導電性ボール載置方法を説明するための工程図（その５）である。 本発明の第２の実施の形態に係る導電性ボール載置方法を説明するための工程図（その６）である。 本発明の第１の実施の形態の第４の変形例に係る導電性ボール除去装置が導電性ボールを除去する様子を模式的に示す図である。 本発明の第１の実施の形態の第４の変形例に係る導電性ボール除去装置を説明するための図であり、当接機構を構成するエアノズルの斜視図である。 本発明の第１の実施の形態の第４の変形例に係る導電性ボール除去装置を説明するための図であり、シート部材がマスクに当接される当接面付近の拡大図である。 本発明の第１の実施の形態の第５の変形例に係る導電性ボール除去装置が導電性ボールを除去する様子を模式的に示す図である。 本発明の第１の実施の形態の第６の変形例に係る導電性ボール除去装置が導電性ボールを除去する様子を模式的に示す図である。 本発明の第１の実施の形態の第６の変形例に係る導電性ボール除去装置を説明するための図であり、シート部材がマスクに当接される当接面付近の拡大図である。 本発明の第２の実施の形態の第１の変形例に係る導電性ボール載置装置が導電性ボールを載置及び除去する様子を模式的に示す図である。 本発明の第２の実施の形態の第２の変形例に係る導電性ボール載置装置が導電性ボールを載置及び除去する様子を模式的に示す図である。 本発明の第２の実施の形態の第３の変形例に係る導電性ボール載置装置が導電性ボールを載置及び除去する様子を模式的に示す図である。 本発明の第１の実施の形態の第７の変形例に係る導電性ボール除去装置が導電性ボールを除去する様子を模式的に示す図である。 本発明の第１の実施の形態の第７の変形例に係る導電性ボール除去装置を説明するための図であり、マスクに当接する力が強い場合に、粘着材がマスクに付着している状態を模式的に示す図である。 本発明の第１の実施の形態の第８の変形例に係る導電性ボール除去装置が導電性ボールを除去する様子を模式的に示す図である。 本発明の第１の実施の形態の第９の変形例に係る導電性ボール除去装置が導電性ボールを除去する様子を模式的に示す図である。 本発明の第２の実施の形態の第４の変形例に係る導電性ボール載置装置が導電性ボールを載置及び除去する様子を模式的に示す図（その１）である。 本発明の第２の実施の形態の第４の変形例に係る導電性ボール載置装置が導電性ボールを載置及び除去する様子を模式的に示す図（その２）である。 本発明の第２の実施の形態の第４の変形例に係る導電性ボール載置装置が導電性ボールを載置及び除去する様子を模式的に示す図（その３）である。

符号の説明

１１ ステージ
１２ マスク
１２Ａ 貫通部
１３ 導電性ボール収容体
１４ 板体
１８ 配線基板
２３ 基板本体
２３Ａ 上面
２７ パッド
２９ ソルダーレジスト
２９Ａ 開口部
３５ 粘着材
３８ 導電性ボール
４１ レジスト膜
４３ 貫通部
７２ 台車
７４ レール
７６ 当接面
７８ 首振機構
８０、８０Ａ、８０Ｂ、８０Ｃ、８０Ｄ、８０Ｅ、８０Ｆ 導電性ボール除去装置
８２ シート部材
８４、８４Ａ、８４Ｃ、８４Ｄ、８４Ｅ、８４Ｆ 当接機構
８６、８６Ｄ スキージ
８６Ａ エアノズル
８６Ｃ、８６Ｅ、８６Ｆ スポンジ
８７ オリフィス
８８ シリンダ
８８Ｄ スキージ支持部
８８Ｅ スポンジ支持部
８９Ａ 保持部
８９Ｂ 腕部
９０ 移動機構
９２ 更新機構
９４ 巻出しローラ
９６ 巻取りローラ
１１０、１１０Ａ、１１０Ｂ、１１０Ｃ、１１０Ｄ、１１０Ｅ、１１０Ｆ 導電性ボール載置装置
１３０ 導電性ボール載置機構

Ｃ 切断位置
Ｄ１、Ｄ２ 距離
Ｍ１ 厚さ
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３ 直径

Claims (39)

1. 複数のパッドを有する基板上に、前記パッドに対応した複数の貫通孔を有するマスクを配置し、前記マスクの上から導電性ボールを載置した後、前記パッド上に直接載置されなかった導電性ボールを除去する導電性ボール除去方法において、
   導電性ボールを付着させるシート部材を当接機構を用いて前記マスクに当接する当接工程を有し、
   前記シート部材に前記導電性ボールを付着させて前記導電性ボールを除去することを特徴とする導電性ボール除去方法。
2. 前記当接機構は、前記シート部材を前記マスクに当接する当接部を備え、
   前記当接工程は、前記当接部の自重により前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする請求項１記載の導電性ボール除去方法。
3. 前記当接機構は、前記シート部材を前記マスクに当接する当接部と、該当接部を支持し、該当接部と一体で上下動可能な支持部とを備え、
   前記当接工程は、前記当接部及び前記支持部の自重により前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする請求項１記載の導電性ボール除去方法。
4. 前記当接部は、中空の部材を含むことを特徴とする請求項２又は３記載の導電性ボール除去方法。
5. 前記当接部は、弾性力を有する弾性部材を含むことを特徴とする請求項２又は３記載の導電性ボール除去方法。
6. 前記当接工程は、前記当接機構が風圧により前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする請求項１記載の導電性ボール除去方法。
7. 前記当接工程は、前記当接機構が弾性力を有する弾性部材を介して前記シート部材に付勢し、前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする請求項１記載の導電性ボール除去方法。
8. 複数のパッドを有する基板上に、前記パッドに対応した複数の貫通孔を有するマスクを配置し、前記マスクの上から導電性ボールを載置した後、前記パッド上に直接載置されなかった導電性ボールを除去する導電性ボール除去方法において、
   導電性ボールを付着させるシート部材を該シート部材の自重により前記マスクに当接する当接工程を有し、
   前記シート部材に前記導電性ボールを付着させて前記導電性ボールを除去することを特徴とする導電性ボール除去方法。
9. 更に、前記シート部材を前記マスク上で移動させる移動工程を有することを特徴とする請求項１乃至８何れか一項に記載の導電性ボール除去方法。
10. 更に、前記マスクに当接される前記シート部材の当接面を前記シート部材の移動する速度に対応して更新する更新工程を有することを特徴とする請求項１乃至９何れか一項に記載の導電性ボール除去方法。
11. 複数のパッドを有する基板に設けられたマスクに残る導電性ボールを除去する導電性ボール除去方法において、
    当接機構を用いて、シート部材を、該シート部材と前記マスクの対向する距離が前記導電性ボールの直径よりも小さくなるように前記マスクに近接させるか、又は前記マスクに当接させる当接工程を有し、
    前記シート部材に前記導電性ボールを付着させて前記導電性ボールを除去することを特徴とする導電性ボール除去方法。
12. 複数のパッドを有する基板上に、前記パッドに対応した複数の貫通孔を有するマスクの上から導電性ボールを載置する載置工程と、
    導電性ボールを付着させるシート部材を当接機構を用いて前記マスクに当接する当接工程とを有し、
    前記パッド上に直接載置されなかった導電性ボールを前記シート部材に付着して除去し、直接前記パッド上に導電性ボールを載置することを特徴とする導電性ボール載置方法。
13. 前記当接機構は、前記シート部材を前記マスクに当接する当接部を備え、
    前記当接工程は、前記当接部の自重により前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする請求項１２記載の導電性ボール載置方法。
14. 前記当接機構は、前記シート部材を前記マスクに当接する当接部と、該当接部を支持し、該当接部と一体で上下動可能な支持部とを備え、
    前記当接工程は、前記当接部及び前記支持部の自重により前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする請求項１２記載の導電性ボール載置方法。
15. 前記当接部は、中空の部材を含むことを特徴とする請求項１３又は１４記載の導電性ボール載置方法。
16. 前記当接部は、弾性力を有する弾性部材を含むことを特徴とする請求項１３又は１４記載の導電性ボール載置方法。
17. 前記当接工程は、前記当接機構が風圧により前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする請求項１２記載の導電性ボール載置方法。
18. 前記当接工程は、前記当接機構が弾性力を有する弾性部材を介して前記シート部材に付勢し、前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする請求項１２記載の導電性ボール載置方法。
19. 複数のパッドを有する基板上に、前記パッドに対応した複数の貫通孔を有するマスクの上から導電性ボールを載置する載置工程と、
    導電性ボールを付着させるシート部材を該シート部材の自重により前記マスクに当接する当接工程とを有し、
    前記パッド上に直接載置されなかった導電性ボールを前記シート部材に付着して除去し、直接前記パッド上に導電性ボールを載置することを特徴とする導電性ボール載置方法。
20. 複数のパッドを有する基板上に、前記パッドに対応した複数の貫通孔を有するマスクの上から導電性ボールが載置された後、前記パッド上に直接載置されなかった導電性ボールを除去する導電性ボール除去装置において、
    導電性ボールを付着させるシート部材と、
    前記シート部材を前記マスクに当接する当接機構とを有することを特徴とする導電性ボール除去装置。
21. 前記当接機構は、前記シート部材を前記マスクに当接する当接部を備え、該当接部の自重により前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする請求項２０記載の導電性ボール除去装置。
22. 前記当接機構は、前記シート部材を前記マスクに当接する当接部と、該当接部を支持し、該当接部と一体で上下動可能な支持部とを備え、前記当接部及び前記支持部の自重により前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする請求項２０記載の導電性ボール除去装置。
23. 前記当接部は、中空の部材を含むことを特徴とする請求項２１又は２２記載の導電性ボール除去装置。
24. 前記当接部は、弾性力を有する弾性部材を含むことを特徴とする請求項２１又は２２記載の導電性ボール除去装置。
25. 前記当接機構は、風圧により前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする請求項２０記載の導電性ボール除去装置。
26. 前記当接機構は、弾性力を有する弾性部材を介して前記シート部材に付勢し、前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする請求項２０記載の導電性ボール除去装置。
27. 複数のパッドを有する基板上に、前記パッドに対応した複数の貫通孔を有するマスクの上から導電性ボールが載置された後、前記パッド上に直接載置されなかった導電性ボールを除去する導電性ボール除去装置において、
    自重により前記マスクに当接され、導電性ボールを付着させるシート部材を有することを特徴とする導電性ボール除去装置。
28. 前記当接機構は、前記シート部材が前記マスクに当接した状態で、前記マスクに当接される前記シート部材の当接面の延在方向に直交して摺動する首振機構を有することを特徴とする請求項２０記載の導電性ボール除去装置。
29. 前記シート部材が前記マスクに当接された状態で、前記シート部材を前記マスクの上で移動させる移動機構を有することを特徴とする請求項２０乃至２８何れか一項に記載の導電性ボール除去装置。
30. 前記マスクに当接される前記シート部材の当接面を前記シート部材が移動される速度に対応して更新する更新機構を有することを特徴とする請求項２０乃至２９何れか一項に記載の導電性ボール除去装置。
31. 前記当接機構を複数有することを特徴とする請求項２０乃至３０何れか一項に記載の導電性ボール除去装置。
32. 基板上の複数のパッドに対応した複数の貫通孔を有するマスクと、
    前記マスクの上から導電性ボールを載置する載置機構と、
    導電性ボールを付着させるシート部材と、
    前記シート部材を前記マスクに当接する当接機構とを有し、
    前記パッド上に直接載置されなかった導電性ボールが前記シート部材に付着されて除去され、直接前記パッド上に導電性ボールが載置されることを特徴とする導電性ボール載置装置。
33. 前記当接機構は、前記シート部材を前記マスクに当接する当接部を備え、該当接部の自重により前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする請求項３２記載の導電性ボール載置装置。
34. 前記当接機構は、前記シート部材を前記マスクに当接する当接部と、該当接部を支持し、該当接部と一体で上下動可能な支持部とを備え、前記当接部及び前記支持部の自重により前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする請求項３２記載の導電性ボール載置装置。
35. 前記当接部は、中空の部材を含むことを特徴とする請求項３３又は３４記載の導電性ボール載置装置。
36. 前記当接部は、弾性力を有する弾性部材を含むことを特徴とする請求項３３又は３４記載の導電性ボール載置装置。
37. 前記当接機構は、風圧により前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする請求項３２記載の導電性ボール載置装置。
38. 前記当接機構は、弾性力を有する弾性部材を介して前記シート部材に付勢し、前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする請求項３２記載の導電性ボール載置装置。
39. 基板上の複数のパッドに対応した複数の貫通孔を有するマスクと、
    前記マスクの上から導電性ボールを載置する載置機構と、
    導電性ボールを付着させるシート部材とを有し、
    前記パッド上に直接載置されなかった導電性ボールが、自重により前記マスクに当接される前記シート部材に付着されて除去され、直接前記パッド上に導電性ボールが載置されることを特徴とする導電性ボール載置装置。

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