JP6646778B1 - 導電性ボール搭載装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】マスクに設けられた載置孔を介して導電性ボールを基板に搭載する工程を行う上で工程不具合の発生を防止することができ、非常に小さなサイズの導電性ボールも効果的に基板に搭載することができる構造を持つ導電性ボール搭載装置を提供する。【解決手段】導電性ボール搭載装置は、マスク１００が支持プレート２００によって支持された状態でマスクの載置孔１０１に導電性ボールＢを搭載する。マスクの上面に接触する、各載置孔に搭載された導電性ボールを、載置孔に搭載された状態を維持するように保持する保持部４００は、載置孔に導電性ボールを搭載した状態で、マスク、支持プレートおよびフラックスが塗布された基板１０のうちの少なくとも一つを移送して、マスクの下側に基板を配置させる。【選択図】図１

Description

本発明は、導電性ボール搭載装置に係り、さらに詳細には、マスクに設けられた載置孔を介して導電性ボールを基板に搭載する工程を行う上で工程不具合の発生を防止することができ、非常に小さなサイズの導電性ボールも効果的に基板に搭載することができる構造を持つ導電性ボール搭載装置に関する。
ＬＳＩ（Ｌａｒｇｅ Ｓｃａｌｅ Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）デバイス、ＬＣＤ（Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）を始めとした半導体装置などを実装するとき、電気的接続のために半田ボール（ｓｏｌｄｅｒ ｂａｌｌ）などの導電性ボールを用いる場合が多い。
導電性ボールは、直径１ｍｍ程度以下の微細な粒子形態である。このような導電性ボールは、基板に搭載されて基板の電気的実装に使用される。通常、載置孔が設けられたマスクは、フラックスが塗布された基板上に配置され、導電性ボールは載置孔を介して基板に移されてフラックスによって一時的に接着され、それにより導電性ボールは基板に実装される。
最近では、半導体装置が集積化・小型化されるにつれて、導電性ボールのサイズも非常に小さくなった。また、マスクを用いてマウントされる導電性ボールの個数も非常に増加してきた。
これにより、数万個または数十万個以上の１００μｍよりも小さなサイズの導電性ボールをマスクを介して基板に実装する工程を効果的に行うことができる導電性ボール搭載装置が必要とされてきた。
このように小さなサイズの導電性ボールをマウントする場合、導電性ボールのサイズと同程度の厚さを有するマスクを使用する。このように薄い厚さのマスクを使用する場合、マスクのマウンディングホールに導電性ボールがマウントされない不具合が発生する可能性が高くなる。また、載置孔に導電性ボールをマウントする時間も増える。
したがって、速い速度でマスクの載置孔に導電性ボールを搭載しながらも、導電性ボールが載置孔に搭載されない不具合の発生可能性を下げることができる導電性ボール搭載装置が必要とされている。
このように薄いマスクを使用する場合、マスクが撓む変形が起こり易い。また、マスクの下側に配置される基板も撓み易い構造である。このように基板とマスクが撓んで変形すると、基板とマスクとの間にギャップが発生して、載置孔に搭載された導電性ボールがギャップを介して抜け出してしまう不具合が発生するおそれがある。このように載置孔の周辺に存在しうる基板とマスクとの間のギャップを介して導電性ボールが抜け出すことも工程不具合の原因となる。また、このようなギャップにより、一つの載置孔に導電性ボールが２つ搭載される不具合が発生するおそれもある。
このような不具合が発生しないように、マスクの変形を防止しながらも多数の小型導電性ボールをマスクを介して速く基板に実装することができる導電性ボール搭載装置が求められる。
本発明は、上述したような課題を解決するために案出されたもので、その目的は、小さなサイズの導電性ボールを抜け落ちなく速やかに基板に実装することができる導電性ボール搭載装置を提供することにある。
上記の目的を解決するために、本発明の導電性ボール搭載装置は、導電性ボールが搭載されるように設けられた多数の載置孔を備えるマスクと、前記マスクの下面に接触して前記各載置孔の下部を塞ぐことによって前記マスクの変形を防止するように前記マスクを支持する支持プレートと、前記マスクが前記支持プレートによって支持された状態で前記マスクの載置孔に前記導電性ボールを搭載する載置部と、前記マスクの上面に接触して、前記マスクの各載置孔に搭載された導電性ボールが、前記載置孔に搭載された状態を維持するようにする保持部と、前記保持部が前記マスクの載置孔に導電性ボールが搭載された状態を維持した状態で前記マスク、前記支持プレート、およびフラックスが塗布された基板のうちの少なくとも一つを移送して、前記マスクの下側に前記基板を配置させる移送ユニットと、前記載置部、前記保持部および前記移送ユニットの操作を制御する制御部と、を含むことを特徴とする。
本発明の導電性ボール搭載装置は、マスクの変形を防止して導電性ボールの抜け落ちなく高い品質で導電性ボール搭載工程を行うことができるという効果がある。
また、本発明の導電性ボール搭載装置は、非常に小さなサイズの導電性ボールの基板に搭載する工程を効果的に行うことができるという効果がある。
本発明の一実施形態に係る導電性ボール搭載装置の構成図である。 図１に示された導電性ボール搭載装置の作動を説明するための図である。 図１に示された導電性ボール搭載装置の作動を説明するための図である。 図１に示された導電性ボール搭載装置の作動を説明するための図である。 図１に示された導電性ボール搭載装置の作動を説明するための図である。 図５に対応する本発明の他の実施形態を示す図である。
以下、本発明に係る導電性ボール搭載装置を図面を参照して詳細に説明する。
図１は本発明の一実施形態に係る導電性ボール搭載装置の構成図である。
図１を参照すると、本実施形態の導電性ボール搭載装置は、マスク１００、支持プレート２００、載置部３００および保持部４００を含んで構成される。
マスク１００は、薄い金属平板の形状に形成される。マスク１００には、多数の載置孔１０１が設けられる。基板１０に導電性ボールＢを実装するために、マスク１００を使用する。基板１０に導電性ボールＢを実装しようとする位置と対応する、マスク１００上の位置に載置孔１０１が設けられる。マスク１００の載置孔１０１に２つ以上の導電性ボールＢが搭載されることを防止するために、マスク１００は、導電性ボールＢの直径とほぼ同じかそれよりも少し大きい厚さに形成される。
支持プレート２００はマスク１００の下側に配置される。支持プレート２００は、後述する移送ユニット５００によってマスク１００に対して相対移動できるように設置される。支持プレート２００は、マスク１００の下面に接触する位置に配置され、マスク１００の下面を支持する。マスク１００は、厚さに比べて非常に広い形で形成されているので、自重によって下側に変形し易い構造となっている。支持プレート２００は、マスク１００の下面に接触した状態でマスク１００を支持してマスク１００の変形を防止する役割を果たす。また、支持プレート２００がマスク１００の下面に接触すると、マスク１００に設けられた載置孔１０１の下部を塞ぐ役割を果たす。その結果、マスク１００の載置孔１０１に搭載される導電性ボールＢが支持プレート２００によって下方に抜けずに載置孔１０１に収容された状態が維持される。
本実施形態の支持プレート２００は、発光部２０１と多孔性材質の第１吸着部材２１０を備える。第１吸着部材２１０は、平板状に形成され、マスク１００の下面に接触するように配置される。第１吸着部材２１０に真空ポンプが連結されると、載置孔１０１に下方に流れる空気の流れが、載置孔１０１に導電性ボールＢが搭載されることを誘導する。また、第１吸着部材２１０は、導電性ボールＢが載置孔１０１から抜け出さずに載置孔１０１に収容された状態で第１吸着部材２１０に付着されるようにする。本実施形態の場合、支持プレート２００の第１吸着部材２１０は透明材質で形成される。支持プレート２００の発光部２０１はＬＥＤランプから構成される。発光部２０１から光を発生させると、透明材質の第１吸着部材２１０を介して光が透過し、マスク１００の下面と載置孔１０１を照らす。
載置部３００はマスク１００の上側に配置される。載置部３００は、移送ユニット５００によって水平方向に移送される。本実施形態の場合、サイクロンヘッド型の載置部３００が使用される。サイクロンヘッドは、円筒状チャンバーの内部に多数の導電性ボールＢが収容され、そのチャンバーの内部に圧縮空気が噴射される構造で構成される。本実施形態の場合、公知の様々な構造のサイクロンヘッドが載置部３００として使用できる。載置部３００がマスク１００の上面に沿って動くと、載置部３００のチャンバー内部に収容された導電性ボールＢが任意の方向に動いてから、載置部３００の下側の載置孔１０１に搭載される。場合によっては、サイクロンヘッドと異なる構造を持つ載置部を使用することも可能である。マスク１００に対して動くブラシやスキージなどを備えた形の載置部を用いてマスク１００に導電性ボールＢを搭載するように構成することも可能である。
保持部４００はマスク１００の上側に配置される。保持部４００は、移送ユニット５００によって水平方向と上下方向に移送されるように設置される。保持部４００は、マスク１００の上面に接触して導電性ボールＢを載置孔１０１に搭載された状態にホールドする。すなわち、マスク１００の下側の支持プレート２００が移されてマスク１００の下面を支持しなくても、保持部４００は、導電性ボールＢが下方に抜け落ちずに載置孔１０１に収容された状態となるようにする。
保持部４００は、様々な構成が使用できる。代表的に、先立って説明した第１吸着部材２１０と類似した構造の吸着部材や静電チャックなどが保持部４００として使用できる。本実施形態の場合、静電チャックを備えた構造の保持部４００を例として説明する。保持部４００の静電チャックは、印加された電力によって静電気力を発生させて物体をクランプする役割を果たす。本実施形態の場合、保持部４００の静電チャックは、マスク１００の上面に接触してマスク１００と各載置孔１０１に収容された導電性ボールＢをクランプする。制御部が静電チャックの静電気力を除去すると、載置孔１０１に収容された導電性ボールＢは下方に落ちる。
移送ユニット５００は、支持プレート移送部５１０と保持部移送部５３０と基板移送部５２０を備える。上述したように、移送ユニット５００の支持プレート移送部５１０は、マスク１００に対して支持プレート２００を移送する。移送ユニット５００の保持部移送部５３０は、マスク１００に対して保持部４００を移送する。また、移送ユニット５００の基板移送部５２０は、マスク１００に対して基板１０を水平方向および上下方向に移送する。
本実施形態の場合、導電性ボールＢを付着させるためのフラックスがパッド１１に塗布された基板１０を基板移送部５２０がマスク１００の下側で動かす。基板移送部５２０は、必要に応じて基板１０のマスク１００の下面に近接した状態へ移送する。
移送ユニット５００は、載置部３００と後述する検査カメラ６００などのその他の構成を移送する機能も行う。
制御部は、前述した保持部４００と移送ユニット５００と保持部４００を含む主要構成の作動を制御する。
検査カメラ６００はマスク１００の上側に配置される。検査カメラ６００は、移送ユニット５００によって必要な方向に移動できるように設置される。検査カメラ６００は、その下側に配置されたマスク１００を撮影する。検査カメラ６００で撮影された映像は、制御部に伝達され、載置孔１０１に導電性ボールＢがマウントされた状態を検査する用途に使用される。
分離ユニットは、保持部４００に付いている導電性ボールＢを保持部４００から分離する役割を果たす。上述したように、導電性ボールＢは、静電チャックによって保持部４００に付いており、静電チャックの作動を中止させると、導電性ボールＢは保持部４００から離れる。分離ユニット５３０は、導電性ボールＢが保持部４００からさらによく離れるように役立てる役割を果たす。
本実施形態の場合、移送ユニット５００の保持部移送部５３０が分離ユニット５３０の機能を行う。静電チャックの静電気力が除去された状態で、保持部移送部５３０が保持部４００をマスク１００に対して水平方向にスライドさせると、保持部４００に付いていた導電性ボールＢがさらによく離れる。
以下、上述したように構成された導電性ボール搭載装置の作動について説明する。
まず、図２に示すように、移送ユニット５００を作動させて支持プレート２００をマスク１００の下面に接触させる。このような状態で、制御部は、載置部３００を作動させてマスク１００の各載置孔１０１に導電性ボールＢを搭載する。
このように支持プレート２００をマスク１００の下面に接触させることにより、マスク１００の弛みや撓みを防止することができる。半導体工程の高度化に伴い、１００μｍより小さなサイズの導電性ボールＢを使用する場合が多くなった。このような場合、マスク１００が非常に微細に変形しても、導電性ボールＢ搭載工程の不具合をもたらすおそれがある。本発明の場合、支持プレート２００を用いてマスク１００の下面を支持した状態で載置部３００を作動させるので、マスク１００の弛みや撓みを防止しながら効果的に導電性ボールＢ搭載工程を行うことができるという利点がある。よって、載置孔１０１に導電性ボールＢが搭載されないか、載置孔１０１に搭載された導電性ボールＢがマスク１００の変形により発生した隙間から抜け出す場合の発生を防止することができる。
また、上述したように、支持プレート２００の第１吸着部材２１０によってマスク１００の下面を吸着するので、マスク１００は、支持プレート２００の上面に密着した状態で平らな状態を維持する。第１吸着部材２１０に加わる真空がマスク１００の下面だけでなく載置孔１０１にも伝達されるので、導電性ボールＢがさらに効果的に載置孔１０１に搭載される。導電性ボールＢが載置孔１０１に搭載されると、導電性ボールＢは、真空によって第１吸着部材２１０の上面に吸着された状態に維持される。したがって、載置部３００によって加わる圧縮空気または他の導電性ボールＢとの衝突が作用しても、導電性ボールＢは載置孔１０１から抜け出さなくなる。結果として、マスク１００の載置孔１０１に導電性ボールＢを搭載する工程を行う時間が短縮される。
載置部３００が導電性ボールＢ搭載工程を完了すると、制御部は、図３に示すように、載置部３００をマスク１００の一側に移して待機させる。次に、制御部は、発光部２０１を作動させてＬＥＤランプを点灯させる。発光部２０１から発生した光は、透明材質で形成された第１吸着部材２１０を介してマスク１００の下面に照射される。
制御部は移送ユニット５００を作動させて検査カメラ６００をマスク１００の上側に移送し、検査カメラ６００はマスク１００を撮影する。マスク１００の載置孔１０１に導電性ボールＢが搭載されていない場合、発光部２０１から発生した光が載置孔１０１を介して上側に照らされる。
制御部は、検査カメラ６００で撮影した映像を用いて、マスク１００の載置孔１０１に導電性ボールＢが搭載された状態を検査する。制御部は、載置孔１０１が明るく撮影されるか否かを基準に、載置孔１０１が空いているか否かを非常に容易に検査することができる。空いている載置孔１０１の位置を制御部が把握すると、再び載置部３００を作動させて該当位置に導電性ボールＢを搭載する。制御部が移送ユニット５００を作動させて、空いている載置孔１０１の位置に載置部３００を移送し、載置部３００を作動させて、空いている載置孔１０１に導電性ボールＢを搭載する。
このように透明材質の第１吸着部材２１０と発光部２０１と検査カメラ６００を用いて導電性ボールＢの搭載有無を非常に簡単に検査することができる。また、空いている載置孔１０１には直ちに導電性ボールＢを搭載することができる。このように載置部３００の作動後に直ちに導電性ボールＢの搭載有無を検査することができるので、本発明によって導電性ボールＢ搭載工程の品質を向上させかつ工程の速度を飛躍的に向上させることができる。
上述したように導電性ボールＢの載置孔１０１搭載工程が完了すると、図３に示すように、保持部４００によって導電性ボールＢをホールドする工程を行う。まず、移送ユニット５００は、載置部３００をマスク１００の縁部へ移送する。次に、制御部は、移送ユニット５００によって保持部４００をマスク１００の上面に接触させる。このような状態で、制御部は、保持部４００を作動させる前または直後に第１吸着部材２１０の作動を中止させる。
制御部が保持部４００の静電チャックを作動させると、静電チャックから発生した静電気力によって、マスク１００と導電性ボールＢは保持部４００の下面に密着する。制御部が第１吸着部材２１０の作動を中止させたので、第１吸着部材２１０によって支持プレート２００に密着していたマスク１００と導電性ボールＢは、自然に保持部４００の下面に密着する。このとき、導電性ボールＢは、マスク１００の載置孔１０１に搭載された状態を維持しながら、静電チャックに付着する。マスク１００が静電チャックに密着した状態なので、載置孔１０１の上部に、導電性ボールＢが抜け出す隙間が存在しなくなる。結果として、導電性ボールＢは、堅固に保持部４００に付着した状態を維持する。このような状態で、移送ユニット５００が支持プレート２００をマスク１００の下面から離れるようにしても、導電性ボールＢはマスク１００から離脱しなくなる。
次いで、制御部は、図４に示すように、支持プレート２００を他所に移し、基板１０をマスク１００の下面に近接する位置まで移送する。このとき、制御部は、移送ユニット５００の基板移送部５２０を制御して、基板１０をマスク１００に対して水平方向に整列し、マスク１００の下面に近接する位置に基板１０を上昇させる。基板移送部５２０は、基板１０の下面を吸着する方法でクランプしてマスク１００に対して移送する。この時、基板移送部５２０は、基板１０がマスク１００にできる限り近づきながら接触はしない程度の位置まで基板１０をマスク１００に対して近接させることが良い。
その次に、図５に示すように、保持部４００に付いている導電性ボールＢを離して基板１０に付着させる工程を行う。制御部が保持部４００の作動を中止させると、静電チャックの静電気力がもはや作用しなくなる。保持部４００に付いていた導電性ボールＢは、載置孔１０１を経由して下側の基板１０上に落ちる。導電性ボールＢが付着すべき基板１０のパッド１１には、フラックス（ｆｌｕｘ）が予め塗布されているので、基板１０上に落とされた導電性ボールＢは、フラックスによって基板１０に一時的に接着される。このような導電性ボールＢは、続いて基板１０と共にリフローで加熱されて基板１０に接着される。
保持部４００に残っている静電気力や、保持部４００と導電性ボールＢとの間に自体的に発生した静電気力などの原因により、一部の導電性ボールＢは、保持部４００から離れずに残っていることがある。特に、１００μｍ以下の非常に小さな導電性ボールＢを使用する場合には、このような現象が発生する確率が高くなる。
このように導電性ボールＢが保持部４００から容易に離れない場合のために、分離ユニットを使用することができる。
分離ユニット５３０は、保持部４００から導電性ボールＢを分離させるための構成である。保持部４００から導電性ボールＢを分離するための分離ユニットは、様々な構成が使用できる。例えば、マスク１００と保持部４００との間に圧縮空気を噴射して保持部４００から導電性ボールＢを分離することが可能である。また、保持部４００に小さな衝撃を加える形の分離ユニットを構成して使用することも可能である。
本実施形態では、保持部４００を移送する保持部移送部５３０を分離ユニットとして用いる場合を例として説明する。制御部が保持部４００の作動を中止させると、導電性ボールＢが基板１０に落ちる。図５に示すように、保持部移送部５３０を用いて保持部４００をマスク１００に対して水平方向に微細にスライドさせる。保持部４００のスライディングによって導電性ボールＢが載置孔１０１を介して基板１０に落ちる現象が加速される。導電性ボールＢが載置孔１０１に収容された状態なので、保持部４００が水平方向に動いても、導電性ボールＢは動かない。導電性ボールＢは、載置孔１０１に留まってから下方に落ちる。自重によって下方に落ちた導電性ボールＢは、基板１０に付着する。このような分離ユニット５３０を使用することにより、導電性ボールＢを基板１０に付着させる工程の品質と作業速度を向上させることができる。すなわち、導電性ボールＢ搭載工程の不具合率を大幅に減らすことが可能である。
本発明は、上述したように、平板状の支持プレート２００を用いてマスク１００を支持した状態で導電性ボールＢを載置孔１０１に搭載する工程を行うので、マスク１００の弛みや反り（ｗａｒｐａｇｅ）などの変形を防止しつつ導電性ボールＢ搭載工程を行うことができるという利点がある。このようにマスク１００の変形を防止すると、非常に小さなサイズの導電性ボールＢを搭載する場合、非常に薄い厚さのマスク１００を使用する場合でも、導電性ボールＢ搭載工程の不具合を効果的に防止することができる。
また、図４に示すように、支持プレート２００がマスク１００の下面を支持しない場合でも、保持部４００がマスク１００および導電性ボールＢを上側からホールドおよび支持するので、マスク１００の変形を防止する。これにより、本発明は、載置孔１０１に搭載された導電性ボールＢが抜け出すことを防止する効果がある。
また、図５に示すように、基板１０の下面を基板移送部５２０によって平らに支持した状態で導電性ボールＢを基板１０にボンディングするので、基板１０の変形も防止される。よって、載置孔１０１に搭載された導電性ボールＢが基板１０のパッド１１に付着せずに漏れる現象の発生を防止することができるという利点がある。
以上、本発明について好適な例を挙げて説明したが、本発明の範囲が先立って説明および図示した形態に限定されるものではない。
例えば、支持プレート２００の第１吸着部材２１０は透明材質で形成されると説明したが、透明でない第１吸着部材を使用することも可能である。また、支持プレートが第１吸着部材２１０を備えず、単にマスク１００の下面を支持する形で本発明の導電性ボール搭載装置を構成することも可能である。吸着機能はないが、一部分が透明材質で形成されて載置孔１０１を照らすことが可能な構造の支持プレートを用いて、本発明の導電性ボール搭載装置を構成することも可能である。
また、検査カメラ６００を備えない形態の導電性ボール搭載装置を構成することも可能である。
また、先立って、保持部４００は静電チャックを備えてマスク１００と導電性ボールＢをホールドすると説明したが、図６に示すような構造の保持部４１０を使用することも可能である。この場合、保持部４１０は多孔性材質の第２吸着部材４１１を備える。第２吸着部材４１１は、載置孔１０１に搭載された状態の導電性ボールＢをマスク１００の上面に接触した状態で上側から吸着する。すなわち、図６に示した形態の保持部４１０は、マスク１００と導電性ボールＢを吸着する方式でマスク１００および導電性ボールＢをホールドする。この場合、基板１０がマスク１００の下側に配置されると、制御部は、保持部４００の第２吸着部材４１１の作動を中止させて、載置孔１０１に搭載された導電性ボールＢが基板１０に落ちるようにする。
また、上述したような分離ユニットを備えない構造の導電性ボール搭載装置を構成することも可能であり、上述したような他の構造の分離ユニットを有する導電性ボール搭載装置を構成することも可能である。
また、先立ってサイクロンヘッド型の載置部３００を使用する場合を例として説明したが、他の構造の載置部を用いてマスク１００の載置孔１０１に導電性ボールＢを搭載するように導電性ボール搭載装置を構成することも可能である。
また、先立って、基板移送部５２０は、基板１０の下面を吸着して固定し移送すると説明したが、吸着以外の他の方法で基板１０を固定し移送する構造の基板移送部を構成することも可能である。
Ｂ 導電性ボール
１０ 基板
１１ パッド
１００ マスク
１０１ 載置孔
２００ 支持プレート
２１０ 第１吸着部材
２０１ 発光部
３００ 載置部
４００、４１０ 保持部
４１１ 第２吸着部材
５００ 移送ユニット
５１０ 支持プレート移送部
５２０ 基板移送部
５３０ 保持部移送部
６００ 検査カメラ

Claims (13)

  1. 導電性ボールが搭載されるように設けられた多数の載置孔を備えるマスクと；
    前記マスクの下面に接触して前記各載置孔の下部を塞いだ状態で前記マスクの変形を防止するように前記マスクを支持する支持プレートと；
    前記マスクが前記支持プレートによって支持された状態で前記マスクの載置孔に前記導電性ボールを搭載する載置部と；
    前記マスクの上面に接触して、前記マスクの各載置孔に搭載された導電性ボールが、前記載置孔に搭載された状態を維持するようにする保持部と；
    前記保持部が、前記マスクの載置孔に導電性ボールが搭載された状態を維持した状態で、前記マスク、前記支持プレート、およびフラックスが塗布された基板のうちの少なくとも一つを移送して、前記マスクの下側に前記基板を配置させる移送ユニットと；
    前記載置部、前記保持部および前記移送ユニットの作動を制御する制御部と；を含むことを特徴とする、導電性ボール搭載装置。
  2. 前記保持部は、静電気力によって、前記載置孔に搭載された状態の導電性ボールをクランプする静電チャックを備え、
    前記制御部は、前記基板が前記マスクの下側に配置されると、前記保持部の静電チャックの作動を中止させて、前記載置孔に搭載された導電性ボールが前記基板に落ちるようにする、請求項１に記載の導電性ボール搭載装置。
  3. 前記保持部は、真空吸着によって、前記載置孔に搭載された状態の導電性ボールをクランプする多孔性材質の第２吸着部材を備え、
    前記制御部は、前記基板が前記マスクの下側に配置されると、前記保持部の第２吸着部材の作動を中止させて、前記載置孔に搭載された導電性ボールが前記基板に落ちるようにする、請求項１に記載の導電性ボール搭載装置。
  4. 前記支持プレートは、前記載置孔に搭載された状態の導電性ボールを前記マスクの下面に接触した状態で吸着する多孔性材質の第１吸着部材を備え、
    前記制御部は、前記保持部が前記マスクの上面に接触して作動する時またはその前に前記第１吸着部材の作動を中止させる、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の導電性ボール搭載装置。
  5. 前記支持プレートの第１吸着部材は透明材質で形成される、請求項４に記載の導電性ボール搭載装置。
  6. 前記支持プレートは、前記マスクの下面に接触して前記マスクの載置孔に光を伝達することができる発光部を含む、請求項５に記載の導電性ボール搭載装置。
  7. 前記マスクの載置孔に前記導電性ボールがマウントされた状態を検査することができるように、前記マスクの上側から前記マスクを撮影する検査カメラ；をさらに含み、
    前記制御部は、前記検査カメラで撮影した映像を用いて、前記マスクの載置孔に前記導電性ボールが搭載された状態を検査する、請求項６に記載の導電性ボール搭載装置。
  8. 前記保持部は、前記載置孔に搭載された前記導電性ボールが前記保持部に接触した状態となるように作動し、
    前記制御部が前記保持部の作動を中止させたとき、前記導電性ボールが前記基板に落ちるように前記保持部から前記導電性ボールを分離する分離ユニット；をさらに含む、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の導電性ボール搭載装置。
  9. 前記分離ユニットは、前記マスクと前記保持部との間に圧縮空気を噴射して前記導電性ボールを前記保持部から分離する、請求項８に記載の導電性ボール搭載装置。
  10. 前記分離ユニットは、前記マスクと前記保持部を水平方向に相手移動させて前記導電性ボールを前記保持部から分離する、請求項８に記載の導電性ボール搭載装置。
  11. 前記移送ユニットは、前記マスクに対して前記支持プレートを移送する支持プレート移送部と、前記マスクに対して前記基板を移送する基板移送部と、前記マスクに対して前記保持部を移送する保持部移送部とを備える、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の導電性ボール搭載装置。
  12. 前記支持プレートは少なくとも一部分が透明材質で形成される、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の導電性ボール搭載装置。
  13. 前記載置部は、チャンバーの内部に配置された多数の導電性ボールに圧縮空気を噴射して前記マスクの載置孔に前記導電性ボールを搭載させるサイクロンヘッドである、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の導電性ボール搭載装置。
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