JP2011112463A - エキシマランプ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】前記光センサーが、光モニター部と、該光モニター部にエキシマランプからの放射光を導く導光管とからなり、該導光管の内壁には周方向の溝が形成されていることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
そのため、エキシマランプからの放射光の強度を随時測定して、その強度が所定値以上に低下しないように、ランプ入力をフィードバック制御したり、あるいは、放射強度が所定値以上に出力できなくなった場合には、エキシマランプを交換したりする必要がある。
図6に示すように、筐体21内に配置されたエキシマランプ22は、扁平四角形状の放電容器23を備え、その放電容器23の上下両面には長手方向に沿って延びるように外部電極24、25が設けられている。
放電容器23の上面に設けられた一方の外部電極24は板状に構成され、下面に設けられた他方の外部電極25は網状に構成されている。また、前記上面の板状外部電極24は、放射光取出し用の開口部24aが形成されていて、その上方には光センサー26が対向配置されている。
上記光センサー26は、エアシリンダ30に連結され、エキシマランプ22に対して上下動可能に支持されている。
なお、Wは、エキシマランプ22の下方に配置された被処理物である。
そして、測定が終了した後には、光センサー26は上方の待機位置に引き上げられるものである。
しかも、該導光管の内壁に周方向の溝を形成する構成としたことにより、エキシマランプから導光管内壁に斜めに当たる放射光が該導光管内壁で反射されて光モニター部方向に向かう反射光がなくなるので、反射光として該光モニター部に入射することがなく、エキシマランプからの直射光のみが入射されて、これをモニターするので、時間経過とともに導光管内壁にパーティクルが付着して反射機能が低下するとしても、本来的に光モニター部に向かう反射光をなくすようにしたものであるから、該光モニター部での放射光の測定に影響を及ぼすことがないという効果を奏するものである。
前記各エキシマランプ3の上方には、隔板9によって支持された光センサー10がそれぞれ対向するように設けられている。
光モニター部11にはフォトダイオードからなる受光素子13が設けられ、その下方には、エキシマランプ3からの放射紫外光を可視光に変換する蛍光体14と、更に、特定の波長の可視光のみを透過する色ガラスフィルター15とが設けられている。
前記光モニター11の下部には、例えばステンレス等の金属からなる導光管12が設けられており、該導光管12はエキシマランプ3の直上に近接すように配置されている。そして、その内壁には周方向に延在する溝16が形成されている。
該溝16は、各々独立して溝形状であってもよいし、螺旋状に連続する溝形状であってもよい。
図3には、導光管12の内壁12aに溝が形成されていないものが示されていて、この構造においては、同図には図示しないエキシマランプ3からの放射光17は、直進する直射光17aと、斜めに角度をもって進む斜め光17bが導光管12の内壁12aに当たって反射する反射光17cとが、蛍光体14により可視光に変換されて受光素子13に入射する。
すなわち、エキシマランプ3からの直射光17aと、導光管12の内壁12aからの反射光17cとの合計が受光素子13に入射されることになる。
光モニター部11では、本来エキシマランプ3の経時変化に起因する放射光の変化をモニターすべきものであるが、それ以外のパーティクル18の堆積という因子による反射光17cの変化が影響して、光モニター部11への入射光量が変化してしまうので、正確な測定がなされないという不具合がある。
これにより、受光素子13に入射される放射光は直進光17aのみとなり、該直進光17aのみをモニターすることができる。そのため、エキシマランプ3の放射光量の経時変化を正確に測定することが可能となる。
この梨地処理19により、溝16表面での受光素子13方向への反射が更になくなり、該受光素子13への反射光の入射をより確実に防止できるものである。
そして、導光管12の内壁12aに円周方向の溝16を形成して、該内壁12aでの受光素子13方向に向う反射光17cをなくすようにしたので、内壁12aに堆積していくパーティクルの影響を受けることがなく、エキシマランプ3からの直進光17aのみを受光素子13に入射することができて、正確にエキシマランプ3の放射光を測定できるものである。
2 筐体
3 エキシマランプ
4 放電容器
10 光センサー
11 光モニター部
12 導光管
13 受光素子(フォトダイオード)
14 蛍光体
15 色ガラスフィルター
16 溝
17 放射光
17a 直進光
17b 斜め光
17c 反射光
19 梨地処理
Claims (3)
- エキシマランプと、該エキシマランプから放射光を測定する光センサーとを有するエキシマランプ装置において、
前記光センサーは、光モニター部と、該光モニター部にエキシマランプからの放射光を導く導光管からなり、該導光管の内壁には周方向の溝が形成されていることを特徴とするエキシマランプ装置。 - 前記溝の表面は梨地処理がなされていることを特徴とする請求項1に記載のエキシマランプ装置。
- 前記梨地処理がショットブラスト加工処理であることを特徴とする請求項2に載のエキシマランプ装置
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