JP2010082589A - エキシマランプ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】エキシマランプ2から放射される紫外エキシマ光を測定する光センサ3とエキシマランプ2とを収納する筐体4を有するエキシマランプ装置において、光センサ3は、光モニター部33と、筒状部31と、基台部32とを有し、筒状部31は、基台部32側からエキシマランプ2側に向けて形成された漸次小径化部313と、漸次小径化部313よりエキシマランプ2寄りに形成された最小内径部314と、最小内径部314よりエキシマランプ2側に向けて形成された漸次大径化部315とを有し、紫外エキシマ光の測定時、ガス導入口321から導入された不活性ガスを筒状部31内を通し、31筒状部の開口312から放出させることを特徴とするエキシマランプ装置である。
【選択図】図3
Description
図8に示すように、直方体の放電容器102を備えるエキシマランプ101は、ランプの長手方向に対して垂直方向の断面が長方形であり、放電容器102の上下両面には放電容器102の長手方向に沿って延びるように外部電極103,104が設けられている。この例では、上面に設けた一方の外部電極103は板状に構成され、下面に設けた他方の外部電極104は網状に構成されている。さらに、放電容器102の上面には、光センサ105に対向する板状に構成された外部電極103の一部が削除された開口部106が設けられている。
第1の手段は、エキシマランプと、該エキシマランプから放射される紫外エキシマ光を測定する光センサと、少なくとも前記エキシマランプと前記光センサを収納する筐体とを有するエキシマランプ装置において、前記光センサは、フォトダイオードと蛍光体とを具備した光モニター部と、該光モニター部側と前記エキシマランプ側に開放した開口を有し前記エキシマランプ側の開口が前記エキシマランプに近接配置される筒状部と、前記光モニター部と前記筒状部とを連結する基台部とを有し、前記筒状部は、前記基台部側から前記エキシマランプ側に向けて内径が漸次小径化された漸次小径化部と、該漸次小径化部より前記エキシマランプ寄りに形成された最小内径部と、該最小内径部から前記エキシマランプ側に向けて内径が漸次大径化された漸次大径化部とを有し、前記基台部は、前記筒状部に導入される不活性ガスを導入するガス導入口を有し、前記紫外エキシマ光の測定時、前記ガス導入口から導入された不活性ガスを前記筒状部内を通して、前記筒状部の前記エキシマランプ側の前記開口から放出させることを特徴とするエキシマランプ装置である。
第2の手段は、第1の手段において、前記光モニター部の光入射側の開口周縁と前記筒状部の最小内径部内縁で規定される前記光モニター部の光取り込み角度は、前記筒状部の前記エキシマランプ側の前記開口端域の漸次大径化部の内周面の開き角度より小さいことを特徴とするエキシマランプ装置である。
第3の手段は、第1の手段又は第2の手段において、前記筒状部は、セラミック部材であることを特徴とするエキシマランプ装置である。
第4の手段は、第1の手段ないし第3の手段のいずれか1つの手段において、前記基台部の前記ガス導入口と前記筒状部との間に、ガス圧調整空間が形成されていることを特徴とするエキシマランプ装置である。
請求項2に記載の発明によれば、光センサにおける光モニター部の開口周縁と筒状部の最小内径部内縁で規定される光モニター部の光取り込み角度を、筒状部の開口端域の内周面の開き角度より小さくしたので、筒状部の開口近傍に存在する酸素濃度の変動した大気の乱流による影響を受けることなくランプから放射される紫外線を測定することができる。
請求項3に記載の発明によれば、筒状部はセラミック部材であるため、ランプの電極部に光センサを十分に近づけることができる。
請求項4に記載の発明によれば、ガス圧調整空間が形成されているので、エキシマランプに向けて筒状部開口から放出される不活性ガスの圧力を均一にすることができる。
図1は、本実施形態の発明に係るエキシマランプ装置1の全体構成を示す断面図である。
同図に示すように、このエキシマランプ装置1は、エキシマランプ2と、エキシマランプ2から放射される紫外エキシマ光を測定する筒状部31、基台部32及び光モニター部33を備える光センサ3と、少なくともエキシマランプ2と光センサ3を収納する筐体4とを有する。なお、エキシマランプ2の詳細な構成は図8に示したものとほぼ同様であるので、説明を省略する。また、エキシマランプ1は、断面矩形形状が角型のエキシマランプに限定されず、2重管タイプのエキシマランプであってもかまわない。また、断面矩形形状の角型のエキシマランプにおいて、電極は対向する電極ともメッシュ状電極であっても構わない。
これらの図に示すように、光センサ3は、フォトダイオード331と蛍光体332とを具備した光モニター部33と、基台部32側とエキシマランプ2側にそれぞれ開放した開口311,312を有し、エキシマランプ2側の開口312がエキシマランプ2に近接配置される筒状部31と、光モニター部33と筒状部31とを連結する基台部32とを有する。また、筒状部31は、基台部32側からエキシマランプ1側に向けて内径が漸次小径化された漸次小径化部313と、漸次小径化部313よりエキシマランプ2寄りに形成された最小内径部314と、最小内径部314からエキシマランプ1側に向けて内径が漸次大径化された漸次大径化部315とを有する。さらに、基台部32には、筒状部32の開口311に流出する不活性ガスを導入するガス導入口321と、ガス導入口321と筒状部31との間に、ガス圧調整空間322とが形成されている。なお、光センサ3は、フォトダイオード331と蛍光体332との間に、例えば、キセノンエキシマ光172nmの光を蛍光体332で可視光に変換された光だけを透過する色ガラスフィルター333のようなフィルターを備えるようにしてもよい。また、筒状部31はセラミック製であり、一例を挙げればステアタイトが好適である。但しステアタイトに限定されるものではなく、他にもアルミナや窒化珪素等も使用可能である。紫外エキシマ光は、ガス導入口321から導入された不活性ガスを基台部32のガス圧調整空間322内を通して、筒状部31のエキシマランプ2側の開口312から放出しながら測定する。
図4(a)に示すように、従来技術に係るストレートタイプの筒状部5では、筒状部5の周囲の酸素を含んだガスを筒状部5の内周面52から開口51を通る延長上で巻き込んでしまう。そのため、光モニター部33の開口334周縁と筒状部5の開口51で規定される光モニター部33の光取り込み角度β内に酸素を含んだ空気が入り込んでしまい、エキシマランプ2からの紫外エキシマ光を精度良く測定することができない。
それに対して、図4(b)に示すように、本発明に係る筒状部31では、筒状部31の周囲の酸素を含んだガスは、筒状部31の漸次大径化部315の内周面から開口312を通る延長上、つまり開き角度α内に巻き込むが、光取り込み角度β<開き角度αの関係にあるので、光取り込み角度β内には巻き込まない。その結果、エキシマランプ1からの紫外エキシマ光を精度良く測定することができる。
図5(a)〜図5(d)は、図2に示した筒状部31と同様に、光取り込み角度β<開き角度αの関係にあることには変わりはない。しかし、図5(a)の筒状部31Aにおいては、漸次小径化部313Aと漸次大径化部315Aの断面がそれぞれ筒状部31Aの中心部に向かって多少湾曲するように滑らかに形成されている。これによって、筒状部31A内に流入した不活性ガスを容易に流通させることができる。また、図5(b)の筒状部31Bにおいては、漸次小径化部313Bと漸次大径化部315Bの断面がそれぞれ筒状部31Bの中心部から遠ざかる方向に多少湾曲するように形成されている。これによって、漸次小径化部313Bによって形成されるガス圧調整空間を広くすることができる。また、図5(c)の筒状部31Cにおいては、漸次小径化部313Cと漸次大径化部315Cの断面がそれぞれ段階状に形成されている。この場合、漸次小径化部313C及び漸次大径化部315Cを形成する際、特別な加工治具を製作せずに加工することができる利点がある。また、図5(d)の筒状部31Dにおいては、漸次小径化部313Dと漸次大径化部315Dとの間に形成される最小内径部314Dの断面を同一内径からなる直線状に形成する。この場合、セラミックの切削加工において筒状部31Dの内面を成形する際に、所定の内径寸法を実現する切削が容易となり、筒状部31Dを精度良く製造することができる。
実験に使用した本発明に係るエキシマランプ装置における光センサ3は、図4(b)に示すような形状を有する筒状部31を有し、筒状部31内面の最小内径部314(n1とn2の間)はφ10mmであり、光モニター部33の光取り込み角度βよりも筒状部31の開口312端域の漸次大径化部315の開き角度αが大きく、光モニター部33側の開口311の開口径はφ16mm、エキシマランプ側の開口312の開口径はφ13mmであり、筒状部31の長さは35mmである。
それに対して、実験に使用した従来技術に係るエキシマランプ装置における光センサは、本発明の光センサ3とは筒状部の形状のみが異なり、図4(a)に示すような形状を有する筒状部5を有し、筒状部5の内周面52は10mmの均一内径を有しており、従って、光モニター部33側の開口51の開口径及びエキシマランプ2側の開口53の開口径もφ10mmであり、筒状部5の長さは35mmである。
また、実験に使用した本発明の光モニター部33及び従来技術の光モニター部33は共に、図2(図3)に示したように、紫外可視変換の蛍光体332と色ガラスフィルター333とフォトダイオード331を備えたものである。
紫外エキシマ光の測定は、エキシマランプ2からの172nmの波長の紫外光を光モニター部33の蛍光体332で可視光に変換してフォトダイオード331で受光し、出力の電流値によって波長172nmの光の強度の換算値として検出するものである。
測定に際しては、本発明の筒状部31及び従来技術の筒状部5内に流す窒素ガス量は、それぞれ0リットル/min〜5リットル/minの範囲で段階的に変え、かつ本発明のエキシマランプ表面と筒状部31の開口312間の距離(ギャップという)及び従来技術のエキシマランプ表面の筒状部5の開口53間の距離(ギャップという)を1.5mm及び5.5mmの2種類変えて測定した。
同図に示すように、本発明のエキシマランプ装置においては、筒状部31の最小内径部(絞り)314をφ10mmとし、ギャップを1.5mm及び5.5mmの2種類変え、いずれの場合も窒素ガス量を0リットル/min〜5リットル/minと変えて測定しても、紫外線検出量はほとんど変わらず得られることが分かった。
一方、従来技術のエキシマランプ装置においては、筒状部5の内周面52をφ10mmの均一内径とし、ギャップを1.5mm及び5.5mmの2種類変え、いずれの場合も窒素ガス量を0リットル/min〜5リットル/minと変えて測定すると、紫外線検出量はギャップの大きい場合はギャップの少ない場合に比べて小さくなることが分かった。これは、ランプ近傍に存在する大気(酸素)と筒状部5から放出される窒素ガスが筒状部5の開口53付近で渦流を生じることが避けられず、この渦流が光モニター部33に到達する紫外線量に影響を与えたと考えられる。
2 エキシマランプ
3 光センサ
31 筒状部
311 開口
312 開口
313 漸次小径化部
314 最小内径部
315 漸次大径化部
32 基台部
321 ガス導入口
322 ガス圧調整空間
33 光モニター部
331 フォトダイオード
332 蛍光体
333 色ガラスフィルター
334 開口
4 筐体
5 筒状部
51 開口
52 内周面
31A 筒状部
313A 漸次小径化部
315A 漸次大径化部
31B 筒状部
313B 漸次小径化部
315B 漸次大径化部
31C 筒状部
313C 漸次小径化部
315C 漸次大径化部
31D 筒状部
313D 漸次小径化部
315D 漸次大径化部
Claims (4)
- エキシマランプと、該エキシマランプから放射される紫外エキシマ光を測定する光センサと、少なくとも前記エキシマランプと前記光センサを収納する筐体とを有するエキシマランプ装置において、
前記光センサは、フォトダイオードと蛍光体とを具備した光モニター部と、該光モニター部側と前記エキシマランプ側に開放した開口を有し前記エキシマランプ側の開口が前記エキシマランプに近接配置される筒状部と、前記光モニター部と前記筒状部とを連結する基台部とを有し、
前記筒状部は、前記基台部側から前記エキシマランプ側に向けて内径が漸次小径化された漸次小径化部と、該漸次小径化部より前記エキシマランプ寄りに形成された最小内径部と、該最小内径部から前記エキシマランプ側に向けて内径が漸次大径化された漸次大径化部とを有し、
前記基台部は、前記筒状部に導入される不活性ガスを導入するガス導入口を有し、
前記紫外エキシマ光の測定時、前記ガス導入口から導入された不活性ガスを前記筒状部内を通して、前記筒状部の前記エキシマランプ側の前記開口から放出させることを特徴とするエキシマランプ装置。 - 前記光モニター部の光入射側の開口周縁と前記筒状部の最小内径部内縁で規定される前記光モニター部の光取り込み角度は、前記筒状部の前記エキシマランプ側の前記開口端域の漸次大径化部の内周面の開き角度より小さいことを特徴とする請求項1に記載のエキシマランプ装置。
- 前記筒状部は、セラミック部材であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のエキシマランプ装置。
- 前記基台部の前記ガス導入口と前記筒状部との間に、ガス圧調整空間が形成されていることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1つに記載のエキシマランプ装置。
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