JPS62132130A - 紫外線測定器 - Google Patents
紫外線測定器Info
- Publication number
- JPS62132130A JPS62132130A JP27147485A JP27147485A JPS62132130A JP S62132130 A JPS62132130 A JP S62132130A JP 27147485 A JP27147485 A JP 27147485A JP 27147485 A JP27147485 A JP 27147485A JP S62132130 A JPS62132130 A JP S62132130A
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- JP
- Japan
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- gas
- ultraviolet ray
- ultraviolet
- pipe
- glass
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- Pending
Links
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- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract description 17
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 9
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
- G01J1/429—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors applied to measurement of ultraviolet light
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は紫外線の測定に係り、特に周囲雰囲気に関係な
く、正確に紫外線を測定する器機に関する。
く、正確に紫外線を測定する器機に関する。
従来の紫外線測定は第１図のごとく測定に当って受光部
２を紫外線源（ランプ等）３から一定距離をおいて行う
。このため、波長１８５ｎｍと２５４ｎｍの紫外光が同
時に存在する場合、雰囲気空間には１８５ｎｍによって
生成されたオゾンが存在し、このため２５４ｎｍが吸収
され、正確な２５４ｎｍの値が測定できなかった。
２を紫外線源（ランプ等）３から一定距離をおいて行う
。このため、波長１８５ｎｍと２５４ｎｍの紫外光が同
時に存在する場合、雰囲気空間には１８５ｎｍによって
生成されたオゾンが存在し、このため２５４ｎｍが吸収
され、正確な２５４ｎｍの値が測定できなかった。
なお、この種の装置として関連するものには例えば特開
昭５０−３０５７４号公報等が挙げられる。
昭５０−３０５７４号公報等が挙げられる。
本発明の目的はこのように雰囲気の状態にかかわらず、
正確に紫外線を測定する器機を提供することにある。
正確に紫外線を測定する器機を提供することにある。
本発明の内容を第２図により説明する。
紫外線透過ガラス（石英等）１１を一端に設け、他端に
紫外線検知器］２を設けた管１３に、ガス導入口１４お
よびガス排出口１５を設ける。紫外線透過ガラスを紫外
線源（ランプ）１６に近接させ、管３内に窒素ガス等の
ガスを流しながら測定する。
紫外線検知器］２を設けた管１３に、ガス導入口１４お
よびガス排出口１５を設ける。紫外線透過ガラスを紫外
線源（ランプ）１６に近接させ、管３内に窒素ガス等の
ガスを流しながら測定する。
こうすると、管１３内にはオゾンなどの２５４ｎｍを吸
収する物質は出来ないため、雰囲気ガスの如何にかかわ
らず紫外線の正確な測定ができる。
収する物質は出来ないため、雰囲気ガスの如何にかかわ
らず紫外線の正確な測定ができる。
本発明の一実施例を第２図により説明する。
石英よりなる紫外線透過ガラス１１を一端に設け、他端
に光電管よりなる紫外線検知器１２を設けた内径ｌ０ｎ
ｏ長さ２００ｍｍのステンレス製管１３に、φ４のガス
導入口１４およびガス排出口１５を設けた。
に光電管よりなる紫外線検知器１２を設けた内径ｌ０ｎ
ｏ長さ２００ｍｍのステンレス製管１３に、φ４のガス
導入口１４およびガス排出口１５を設けた。
合成石英よりなる低圧水銀ランプ（１６０Ｗ）１７に紫
外線透過ガラス１を近接させ、管１３内に窒素ガスを流
しながら測定した。本実施例によれば管１３を取除いて
ガスを流さないで測定した場合に比較し、１２５％高＜
８１１定できた。これはオゾンによる２５４ｎｍの吸収
の影響を除去したためである。
外線透過ガラス１を近接させ、管１３内に窒素ガスを流
しながら測定した。本実施例によれば管１３を取除いて
ガスを流さないで測定した場合に比較し、１２５％高＜
８１１定できた。これはオゾンによる２５４ｎｍの吸収
の影響を除去したためである。
管】３内に流すガスは窒素に限らず、アルゴン等の不活
性ガスでも良い。また管１３の長さは測定に好適な任意
の長さにすれば良く、特に２００ｎｍに限るものではな
い。
性ガスでも良い。また管１３の長さは測定に好適な任意
の長さにすれば良く、特に２００ｎｍに限るものではな
い。
本発明によれば雰囲気ガスの影響によらず、紫外線の正
確な測定ができる。
確な測定ができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来方式の正面図、第２図は本発明の実施例に
なる測定器による？１ＩＩＩ定態様を示す正面図である
。 １・・・紫外線透過ガラス、２・・・紫外線検知器、３
・・・管、４・・・ガス導入口、５・・・ガス排出口、
６・・・紫外線源、７・・・アンメータ。
なる測定器による？１ＩＩＩ定態様を示す正面図である
。 １・・・紫外線透過ガラス、２・・・紫外線検知器、３
・・・管、４・・・ガス導入口、５・・・ガス排出口、
６・・・紫外線源、７・・・アンメータ。
Claims (1)
- 一端に紫外線を透過するガラスを設け、他端に紫外線検
知器を設けた管の内部にガスを流しながら紫外線照度を
測定することを特徴とした紫外線測定器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27147485A JPS62132130A (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 | 紫外線測定器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27147485A JPS62132130A (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 | 紫外線測定器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62132130A true JPS62132130A (ja) | 1987-06-15 |
Family
ID=17500537
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27147485A Pending JPS62132130A (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 | 紫外線測定器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62132130A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009255038A (ja) * | 2008-03-18 | 2009-11-05 | Ushio Inc | ランプユニットおよび光センサ |
| JP2010082589A (ja) * | 2008-10-01 | 2010-04-15 | Ushio Inc | エキシマランプ装置 |
| JP2010214294A (ja) * | 2009-03-17 | 2010-09-30 | Ushio Inc | 紫外線照射装置 |
| KR101288636B1 (ko) * | 2009-03-10 | 2013-07-22 | 우시오덴키 가부시키가이샤 | 엑시머 램프용 조도 측정 장치 |
-
1985
- 1985-12-04 JP JP27147485A patent/JPS62132130A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009255038A (ja) * | 2008-03-18 | 2009-11-05 | Ushio Inc | ランプユニットおよび光センサ |
| JP2010082589A (ja) * | 2008-10-01 | 2010-04-15 | Ushio Inc | エキシマランプ装置 |
| KR101288636B1 (ko) * | 2009-03-10 | 2013-07-22 | 우시오덴키 가부시키가이샤 | 엑시머 램프용 조도 측정 장치 |
| JP2010214294A (ja) * | 2009-03-17 | 2010-09-30 | Ushio Inc | 紫外線照射装置 |
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