KR101288636B1 - 엑시머 램프용 조도 측정 장치 - Google Patents

엑시머 램프용 조도 측정 장치 Download PDF

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Abstract

기본적으로 대기 중에 있어서 간편하게 진공 자외광의 강도를 측정할 수 있고, 또한, 국소적 방전이나, 망상 전극 등의 외부 전극의 그림자에 의한 측정 편차를 저감시킬 수 있는 엑시머 램프용 조도 측정 장치를 제공한다.
진공 자외광을 검지하는 수광 센서와 하우징으로 이루어지며, 하우징에는, 수광 센서의 수광면에 대향하는 위치에 그 일면이 외부에 개구한 상태로 도광로 공간과, 불활성 가스가 도입되는 가스 도입구, 및 이것으로부터 도광로 공간으로 신장하는 가스 유로가 설치되고, 또한, 불활성 가스가, 도광로 공간에 있어서 수광 센서의 수광면을 포함하는 면을 따라 유통된 후, 도광로 공간의 개구로부터 외부로 배출되는 가스 유통 기구가 구비되어, 수광 센서의 수광면을 포함하는 면의 수직 방향으로부터의 평면에서 볼 때, 도광로 공간의 개구의 면적이, 수광 센서의 수광면의 면적보다도 큰 것을 특징으로 한다.

Description

엑시머 램프용 조도 측정 장치{ILLUMINATION MEASURING APPARATUS FOR EXCIMER LAMP}
본 발명은, 엑시머 램프로부터 방사되는 진공 자외광을 측정하는 엑시머 램프용 조도 측정 장치에 관한 것이다. 특히, 유리판 등으로 격리되어 있지 않고, 엑시머 램프와 피조사물 사이의 공간에 대기 등의 산소를 포함하는 기체가 개재하는 엑시머 램프 장치에 있어서의, 엑시머 램프로부터 방사되는 진공 자외광을 정확하게 측정하는 엑시머 램프용 조도 측정 장치에 관한 것이다.
엑시머 램프를 이용한 광조사 장치는, 액정용 유리 기판의 광세정 공정이나 반도체의 제조 공정에 있어서 널리 이용되고 있다. 그 중에서, 크세논 엑시머 램프를 이용한 파장 172nm의 진공 자외광을 방사하는 광조사 장치는, 최근 널리 이용되게 되었다. 이 진공 자외광의 측정에는, 대기 중의 산소에 의한 흡수를 피할 필요가 있어, 대기 중에서 간편하게 진공 자외광의 강도를 측정하는 기술의 개발이 요망되고 있었다.
이러한 배경 아래에, 대기 중에서 간편하게 진공 자외광의 강도를 측정하는 조도 측정 장치가 실용화되어 있다.
예를 들면, 특허 문헌 1에는, 진공 자외광의 강도를 검지하는 수광 센서의 수광면과, 진공 자외광이 도입되는 광도입구의 사이의 공간에 불활성 가스를 흐르게 하여, 산소에 의한 흡수를 억제시켜 진공 자외광의 감쇠를 저감시킨 진공 자외광의 조도 측정 장치가 개시되어 있다.
구체적으로는, 도 6에 나타내는 바와 같이, 이 조도 측정 장치(30)는, 진공 자외광의 강도를 검지하는 수광 센서(32)와, 이것을 내포하는 하우징(31)으로 이루어진다. 당해 하우징(31)에는, 수광 센서(32)의 수광면(32A)에 대향하는 상태로 광도입구(33)가 설치되고, 불활성 가스를 도입하는 가스 도입구(35)가 설치됨과 함께, 이 광도입구(33)로부터 가스 도입구(35)까지 신장하는 상태로 가스 유로(36)가 설치되어 있다. 또한, 도 6에 있어서, 37은, 광도입구(33)로부터, 가스 도입구(35)와는 반대 방향에 설치된 가스 배출 소구(小口)(38)로 신장하는 배기 가스 유로이다.
이러한 조도 측정 장치(30)에 있어서는, 가스 유로(36)에 불활성 가스를 흘리면서, 광도입구(33)에 진공 자외광을 측정해야 할 피측정 램프(P)를 접촉시킨다. 불활성 가스는, 가스 도입구(35)로부터 가스 유로(36)에 흐르게 되어, 광도입구(33)를 통하여 조도 측정 장치(30)와 피측정 램프(P)의 약간의 극간으로부터 외부로 배출된다. 이 때, 수광 센서(32)의 수광면(32A)과 광도입구(33)의 사이의 공간, 및 조도 측정 장치(30)와 피측정 램프(P)의 사이의 공간에 있는 산소를 포함하는 대기가 동시에 외부로 배출된다.
이것에 의해, 수광 센서(32)의 수광면(32A)과 피측정 램프(P)의 사이의 공간에 있는 산소가 불활성 가스로 치환되어 제거되고, 진공 자외광이 산소에 흡수되지 않고, 그 결과, 정확한 진공 자외광의 강도가 측정된다. 특히, 배기 가스 유로(37) 및 가스 배출 소구(38)가 설치되어 있음으로써, 수광 센서(32)의 수광면(32A)과 피측정 램프(P)의 사이의 공간의 대기가 한층 더 확실히 불활성 가스로 치환된다.
한편, 엑시머 램프에, 직접 조도 측정 장치를 근접시켜 진공 자외광의 강도를 측정하는 경우에, 당해 엑시머 램프의 방전 공간에 국소적 방전이 랜덤하게 발생하거나 하기 때문에, 진공 자외광의 안정된 강도를 측정할 수 없다는 문제가 있다.
또, 당해 엑시머 램프의 방전관의 외표면에 설치된 예를 들면 망상 전극 등의 외부 전극의 그림자 때문에, 엑시머 램프에 있어서의 측정 개소에 따라, 동일한 엑시머 램프라도 측정되는 강도가 편차가 큰 것이 된다는 문제가 있다. 또한, 경시 변화에 따른 진공 자외광의 강도의 측정에 있어서는 정확하게 동일 장소 및 동일 도입각으로 측정할 필요가 생겨 버리는 바, 그것은 곤란하고, 그 결과, 정확한 진공 자외광의 강도를 측정할 수 없다는 문제가 발생한다.
이러한 문제를 해결하기 위해서, 조도 측정 장치의 광도입구의 직경을 크게 하여, 국소적 방전이나 외부 전극의 그림자에 의한 측정 편차의 저감화를 도모하면, 반대로, 대기 중의 산소의 영향이 커져, 역시 정확한 진공 자외광의 강도를 측정할 수 없다는 문제가 발생한다.
특허문헌1:일본국공개특허평8－233650호공보
본 발명은, 이상과 같은 사정에 기초하여 이루어진 것으로서, 그 목적은, 기본적으로 대기 중에 있어서 간편하게 진공 자외광의 강도를 측정할 수 있고, 또한, 국소적 방전이나, 망상 전극 등의 외부 전극의 그림자에 의한 측정 편차를 저감시킬 수 있는 엑시머 램프용 조도 측정 장치를 제공하는 것에 있다.
본 발명의 엑시머 램프용 조도 측정 장치는, 진공 자외광을 검지하는 수광 센서와, 당해 수광 센서를 내포하는 하우징으로 이루어지는 엑시머 램프용 조도 측정 장치로서,
상기 하우징에는,
상기 수광 센서의 수광면에 대향하는 위치에, 그 일면이 외부에 개구한 상태로 도광로 공간이 설치됨과 함께,
불활성 가스가 도입되는 가스 도입구, 및 당해 가스 도입구로부터 상기 도광로 공간으로 신장하는 가스 유로가 설치되고,
또한, 상기 가스 도입구로부터 도입된 상기 불활성 가스가, 상기 도광로 공간에 있어서 상기 수광 센서의 수광면을 포함하는 면을 따라 유통된 후, 당해 도광로 공간의 개구로부터 외부로 배출되는 가스 유통 기구가 구비되고,
상기 수광 센서의 수광면을 포함하는 면의 수직 방향으로부터의 평면에서 볼 때, 상기 도광로 공간의 개구의 면적이, 상기 수광 센서의 수광면의 면적보다도 큰 것을 특징으로 한다.
본 발명의 엑시머 램프용 조도 측정 장치에 있어서는, 상기 가스 유로가 복수 설치되어 있으며, 복수의 가스 유로의 불활성 가스의 분사 방향의 출구가, 수광 센서의 수광면을 포함하는 면의 수직 방향으로부터의 평면에서 볼 때, 당해 수광 센서의 수광면의 중심을 향한 상태로 배향되어 있는 것이 바람직하다.
본 발명의 엑시머 램프용 조도 측정 장치에 의하면, 불활성 가스가 수광 센서의 수광면에 따라 유통된 후, 도광로 공간의 개구로부터 외부로 배출되기 때문에, 기본적으로 대기 중에 있어서 간편하게 진공 자외광의 강도를 측정할 수 있다. 또한, 수광 센서의 수광면의 수직 방향으로부터의 평면에서 볼 때, 광도입구가 되는 도광로 공간의 개구의 면적이 수광 센서의 수광면의 면적보다도 큰 구성으로 되어 있기 때문에, 당해 수광면에 균질한 진공 자외광을 충분량 입사시킬 수 있다. 이 때문에, 국소적 방전이나, 망상 전극 등의 외부 전극의 그림자에 의한 측정 편차를 저감시킬 수 있다.
또, 복수의 가스 유로가, 불활성 가스의 분사 방향의 출구가 수광 센서의 수광면의 중심을 향한 상태로 배향되어 있는 엑시머 램프용 조도 측정 장치에 의하면, 도광로 공간의 산소를 불활성 가스로 확실히 치환할 수 있다. 이것에 의해, 산소에 의한 진공 자외광의 흡수가 억제되어 그 감쇠가 확실히 저감된 진공 자외광의 강도를 측정할 수 있다.
도 1은 본 발명의 엑시머 램프용 조도 측정 장치의 구성의 일례의 개략을 나타낸 설명용 분해 사시도이다.
도 2는 도 1의 엑시머 램프용 조도 측정 장치의 설명용 단면도이다.
도 3은 도 1의 엑시머 램프용 조도 측정 장치의 뚜껑 부재의 저면도이다.
도 4는 도 1의 엑시머 램프용 조도 측정 장치의 하우징 본체의 평면도이다.
도 5는 본 발명의 엑시머 램프용 조도 측정 장치의 도광로 공간의 구성의 다른 일례를 나타낸 설명용 단면도이다.
도 6은 종래의 진공 자외광의 조도 측정 장치의 개략을 나타낸 설명용 단면도이다.
이하, 본 발명에 대해서 구체적으로 설명한다.
본 발명의 엑시머 램프용 조도 측정 장치는, 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 하우징(11)을 가지고, 이 하우징(11) 내에 진공 자외광을 검지하는 수광 센서(12)가 설치된 것이다.
수광 센서(12)는, 예를 들면, 형광체막(20)을 2장의 창판(窓板)(21A, 21B)에 의해 협지하여, 색 유리 필터(23)와 함께, 예를 들면 실리콘 포토다이오드 등으로 이루어지는 광전 변환 소자(25)와 조립된 것으로 할 수 있다. 이 수광 센서(12)는, 형광체막(20)과 대향하는 상태로 애퍼처(27A)가 설치된, 예를 들면 원반 형상을 나타내는 외 케이스(27) 내에 수납되어 있다. 또, 광전 변환 소자(25)에는, 외부의 도시하지 않은 센서 본체로 신장되어 상기 신호를 출력하는 케이블(도시하지 않음)이 접속되어 있다.
형광체막(20)은, 예를 들면 파장 172nm의 진공 자외광이 조사됨으로써 녹색으로 발광하는 Zn2SiO4: Mn으로 이루어지는 것이다. 또, 창판(21A, 21B)은, 예를 들면 합성 석영 유리로 이루어지는 것으로 할 수 있다. 또한, 색 유리 필터(23)는, 녹색의 광을 선택적으로 투과하는 필터이다.
수광 센서(12)의 치수의 일례로서는, 예를 들면, 외 케이스(27)의 직경이 35.0mm, 높이가 19mm이며, 애퍼처(27A)의 직경이 4mm가 된다.
이 수광 센서(12)에 있어서는, 애퍼처(27A) 및 창판(21A)을 통하여 형광체막(20)에 진공 자외광이 입사되면, 당해 진공 자외광에 의해 형광체막(20)을 구성하는 Zn2SiO4：Mn가 여기되어 가시광선이 방사된다. 그리고, 이 가시광선 중 녹색의 광이 색 유리 필터(23)를 통과하여 광전 변환 소자(25)에 입사하고, 이 광전 변환 소자(25)에 있어서 상기 신호로 변환된다. 이것에 의해 진공 자외광의 강도가 검출된다.
한편, 하우징(11)은, 하우징 본체(11A) 및 뚜껑 부재(11B)로 이루어지고, 전체적으로 직육면체의 형상을 나타내는 것이다.
이 하우징(11)에는, 수광 센서(12)의 수광면(12A)에 대향하는 위치에, 그 한면이 외부에 개구한 상태로 도광로 공간(S)이 설치됨과 함께, 불활성 가스가 도입되는 가스 도입구(15)와, 이것으로부터 도광로 공간(S)으로 신장하는 가스 유로(16)가 설치되어 있다.
구체적으로는, 도 3에도 나타내는 바와 같이, 뚜껑 부재(11B)의 저면에, 가스 도입구(15)까지 신장하는 상태로 홈(16B)이 형성됨과 함께, 하우징 본체(11A)의 내측면인 수광 센서(12)의 측면과 대향하는 면에 홈(16A)이 형성되어 있다. 그리고, 이들 홈(16A, 16B)과, 수광 센서(12)의 둘레면에 의해 구획된 공간에 의해, 가스 유로(16)가 형성되어 있다.
또한, 이 엑시머 램프용 조도 측정 장치(10)에는, 가스 도입구(15)로부터 도입시킨 불활성 가스를 유통시키는 가스 유통 기구가 구비되어 있다.
가스 유통 기구는, 구체적으로는, 불활성 가스를 도광로 공간(S)에 있어서 수광 센서(12)의 수광면(12A)을 포함하는 면(12B)을 따라 유통시킨 후, 당해 도광로 공간(S)의 개구(광도입구)(13)로부터 외부로 배출시키는 것이다.
불활성 가스로서는, 예를 들면 질소 가스, 아르곤 가스, 헬륨 가스 등을 이용할 수 있다.
또, 불활성 가스의 유통 속도로서는, 도광로 공간(S)에 있어서의 피측정 램프(도시하지 않음)로부터의 진공 자외광의 광로(L)에 존재하는 산소를 신속히 치환할 수 있는 속도이면 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면 3~5 L/min으로 할 수 있다.
불활성 가스에 의한 산소의 치환은, 도광로 공간(S)에 존재하는 산소가 예를 들면 0.3초로 치환되는 속도로 행해지는 것이 바람직하다.
이 예의 엑시머 램프용 조도 측정 장치(10)에 있어서는, 가스 유로(16)가 복수, 구체적으로는 4개 설치되어 있다. 각 가스 유로(16)의 불활성 가스의 분사 방향의 출구(이하, 「분사구」라고도 한다. )(16C)는, 수광 센서(12)의 수광면(12A)을 포함하는 면(121B)의 수직 방향으로부터의 평면에서 볼 때 당해 수광 센서(12)의 수광면(12A)의 중심을 향한 상태로 배향되어 있다.
이러한 구성을 가짐으로서, 도 4에 화살표로 나타내는 바와 같이, 각 가스 유로(16)의 분사구(16C)로부터 분사되는 불활성 가스가 수광 센서(12)의 수광면(12A)의 중심 부근에서 부딪쳐, 당해 중심 부근으로부터 광도입구(13)를 통하여 외부로 배출된다. 이것에 의해, 도광로 공간(S)에 있어서의 피측정 램프로부터의 진공 자외광의 광로(L)에 존재하는 산소를 불활성 가스로 효율적으로 치환할 수 있다.
그리고, 이 엑시머 램프용 조도 측정 장치(10)는, 수광 센서(12)의 수광면(12A)을 포함하는 면(12B)의 수직 방향으로부터의 평면에서 볼 때, 도광로 공간(S)의 개구, 즉 광도입구(13)의 면적이, 수광 센서(12)의 수광면(12A)의 면적보다도 큰 것으로 되어 있다.
구체적으로는, 도광로 공간(S)에 있어서의 피측정 램프로부터의 진공 자외광의 광로(L)가, 당해 도광로 공간(S)의 단면에 있어서 수광면(12A)을 향함에 따라 소직경이 되는 테이퍼 형상을 가지는 것이 되도록, 도광로 공간(S)이 확보되어 있으면 된다.
광로(L)의 구체적인 형상은, 각도 α가 150° 이상으로 되는 것이 바람직하다. 이러한 형상의 광로(L)가 형성됨으로써, 수광 센서(12)의 수광면(12A)에, 균질한 진공 자외광을 확실히 충분량 입사시키는 것이 달성되고, 따라서, 국소적 방전이나, 망상 전극 등의 외부 전극의 그림자에 의한 측정 편차를 확실히 저감시킬 수 있다.
하우징(11)의 치수의 일례로서는, 예를 들면, 그 가로폭 및 깊이가 42mm, 높이가 27nm이며, 광도입구(13)의 직경이 28mm가 된다. 하우징(11)의 뚜껑 부재(11B)는 그 두께가 5mm이며, 홈(16B)의 깊이는 2.5mm이다. 하우징 본체(11A)의 두께는 측벽부 및 저벽부 모두 3mm이며, 홈(16A)의 깊이는 1.5mm이다.
또한, 하우징(11)과 수광 센서(12)의 극간은, 0.5mm 이하인 것이 바람직하다.
이상 설명한 바와 같은 엑시머 램프용 조도 측정 장치(10)에 있어서는, 이하와 같이 진공 자외광의 강도의 측정이 행해진다.
즉, 우선, 가스 유통 기구에 의해 불화성 가스를 흘리면서, 도입구(13)에 진공 자외광을 측정해야 할 피측정 램프를 접촉시킨다. 불활성 가스는, 가스 도입구(15)로부터 가스 유로(16)에 흐르게 되어, 광도입구(13)를 통하여 엑시머 램프용 조도 측정 장치(10)와 피측정 램프의 약간의 극간으로부터 외부로 배출된다. 이 때, 도광로 공간(S) 및 엑시머 램프용 조도 측정 장치(10)와 피측정 램프의 사이의 공간에 있는 산소를 포함하는 대기가 동시에 외부로 배출되어, 이들 공간이 불활성 가스 분위기가 된다.
그리고, 광로(L)에 있어서의 진공 자외광의 산소에 의한 흡수가 억제된 상태에 있어서, 피측정 램프로부터 수광 센서(12)에 진공 자외광이 조사되어, 그 강도가 수광 센서(12)에 의해 측정된다. .
진공 자외광의 강도의 측정에 있어서, 엑시머 램프용 조도 측정 장치(10)의 광도입구(13)와 피측정 램프의 거리는, 0.1mm 이하가 되는 것이 바람직하다.
광도입구(13)와 피측정 램프의 거리가 0.1mm보다 큰 경우는, 엑시머 램프용 조도 측정 장치(10)와 피측정 램프의 사이의 공간에 있는 산소를 포함하는 대기를 충분히 치환할 수 없을 우려가 있다.
이상과 같은 엑시머 램프용 조도 측정 장치(10)에 의하면, 불활성 가스가 수광 센서(12)의 수광면(12A)을 따라 유통된 후, 광도입구(13)로부터 외부로 배출되기 때문에, 기본적으로 대기 중에 있어서 간편하게 진공 자외광의 강도를 측정할 수 있다. 또한, 수광 센서(12)의 수광면(12A)의 수직 방향으로부터의 평면에서 볼 때, 광도입구(13)의 면적이 수광 센서(12)의 수광면(12A)의 면적보다도 큰 구성으로 되어 있기 때문에, 당해 수광면(12A)에 균질한 진공 자외광을 충분량 입사시킬 수 있다. 이 때문에, 국소적 방전이나, 망상 전극 등의 외부 전극의 그림자에 의한 측정 편차를 저감시킬 수 있다.
또, 복수의 가스 유로(16)가, 불활성 가스의 분사 방향의 출구가 수광 센서(12)의 수광면(12A)의 중심을 향한 상태로 배향되어 있기 때문에, 도광로 공간(S)의 산소를 불활성 가스로 확실히 치환할 수 있다. 이것에 의해, 산소에 의한 진공 자외광의 흡수가 억제되어 그 감쇠가 확실히 저감된 진공 자외광의 강도를 측정할 수 있다.
이상, 본 발명의 엑시머 램프용 조도 측정 장치의 실시 형태에 대해서 설명했지만, 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니며, 다양한 변경을 더할 수 있다.
예를 들면, 도광로 공간의 구체적인 형상은 특별히 한정되지 않으며, 도 5에 나타내는 바와 같이, 원통 형상의 엑시머 램프에 적합한 형상을 가지고 있어도 된다. 이러한 도광로 공간(S2)을 가지는 엑시머 램프용 조도 측정 장치에 의하면, 피측정 램프(P2)가 원통 형상의 엑시머 램프여도, 대기 중에 있어서 간편하게 진공 자외광의 강도를 측정할 수 있고, 또한, 국소적 방전이나, 망상 전극 등의 외부 전극의 그림자에 의한 측정 편차를 저감시킬 수 있다.
또한, 도 5에 있어서, 그 외의 부호는 도 2에 관련된 부호와 동일한 것을 나타낸다.
(실시예)
이하, 본 발명의 구체적인 실시예에 대해서 설명하지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다.
<실시예 1>
도 2에 나타내는 엑시머 램프용 조도 측정 장치를 제작하고, 이것을 이용하여 엑시머 램프의 조도를 측정했다.
구체적으로는, 엑시머 램프의 표면에 접촉하도록 엑시머 램프용 조도 측정 장치를 설치하고, 불활성 가스로서 질소 가스를 5L/min의 유속으로 흘리면서 진공 자외광의 조도를 측정했다. 이 측정을 반복해서 5회 행하여, 각 회의 측정값의 평균값과, 측정 편차(±%)를 산출했다. 결과를 표 1에 나타낸다.
또한, 측정 편차는, 5회의 최대값, 최소값을 이용하여〔(최대값-최소값)/(최대값+ 최소값)〕×100으로 산출했다.
<비교예 1>
도 6에 나타내는 진공 자외광의 조도 측정 장치를 제작하고, 이것을 이용하여 실시예 1과 동일하게 하여 진공 자외광의 조도를 5회 측정하고, 각 회의 측정값의 평균값과, 측정 편차(±％)를 산출했다. 결과를 표 1에 나타낸다.
Figure 112010008461699-pat00001
상기의 결과로부터 분명한 바와 같이, 실시예 1에 관련된 본 발명의 엑시머 램프용 조도 측정 장치는, 비교예 1에 관련된 종래의 것에 비해 조도의 측정 편차가 약 1/7로 저감되는 것이 확인되었다. 이것에 의해, 본 발명의 엑시머 램프용 조도 측정 장치에 의하면 엑시머 램프로부터 방사되는 진공 자외광의 조도를 정확하게 측정할 수 있게 된 것이 나타났다.
10: 엑시머 램프용 조도 측정 장치 11: 하우징
11A: 하우징 본체 11B: 뚜껑 부재
12: 수광 센서 12A: 수광면
12B: 수광면을 포함하는 면 13: 광도입구
15: 가스 도입구 16: 가스 유로
16A, 16B: 홈 16C: 분사구
20: 형광체막 21A, 21B: 창판
23: 색 유리 필터 25: 광전 변환 소자
27: 외 케이스 27A: 애퍼처
30: 조도 측정 장치 31: 하우징
32: 수광 센서 32A: 수광면
33: 광도입구 35: 가스 도입구
36: 가스 유로 37: 배기 가스 유로
38: 가스 배출 소구 S, S2: 도광로 공간
P, P2: 피측정 램프 L: 광로

Claims (2)

  1. 진공 자외광을 검지하는 수광 센서와, 당해 수광 센서를 내포하는 하우징으로 이루어지는 엑시머 램프용 조도 측정 장치로서,
    상기 하우징에는,
    상기 수광 센서의 수광면에 대향하는 위치에, 그 일면이 외부에 개구한 상태로 도광로 공간이 설치됨과 함께,
    불활성 가스가 도입되는 가스 도입구, 및 당해 가스 도입구로부터 상기 도광로 공간으로 신장하는 가스 유로가 설치되고,
    또한, 상기 가스 도입구로부터 도입된 상기 불활성 가스가, 상기 도광로 공간에 있어서 상기 수광 센서의 수광면을 포함하는 면을 따라 유통된 후, 당해 도광로 공간의 개구로부터 외부로 배출되는 가스 유통 기구가 구비되고,
    상기 수광 센서의 수광면을 포함하는 면의 수직 방향으로부터의 평면에서 볼 때, 상기 도광로 공간의 개구의 면적이, 상기 수광 센서의 수광면의 면적보다도 큰 것을 특징으로 하는 엑시머 램프용 조도 측정 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 가스 유로가 복수 설치되어 있으며, 복수의 가스 유로의 불활성 가스의 분사 방향의 출구가, 수광 센서의 수광면을 포함하는 면의 수직 방향으로부터의 평면에서 볼 때, 당해 수광 센서의 수광면의 중심을 향한 상태로 배향되어 있는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프용 조도 측정 장치.
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