CN105466821A - 光纤尘埃粒子传感器 - Google Patents

光纤尘埃粒子传感器 Download PDF

Info

Publication number
CN105466821A
CN105466821A CN201510989067.7A CN201510989067A CN105466821A CN 105466821 A CN105466821 A CN 105466821A CN 201510989067 A CN201510989067 A CN 201510989067A CN 105466821 A CN105466821 A CN 105466821A
Authority
CN
China
Prior art keywords
optical fiber
lens
light
sensor
outgoing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201510989067.7A
Other languages
English (en)
Other versions
CN105466821B (zh
Inventor
冯越
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yancheng Teachers University
Original Assignee
Yancheng Teachers University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yancheng Teachers University filed Critical Yancheng Teachers University
Priority to CN201510989067.7A priority Critical patent/CN105466821B/zh
Publication of CN105466821A publication Critical patent/CN105466821A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN105466821B publication Critical patent/CN105466821B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume, or surface-area of porous materials
    • G01N15/02—Investigating particle size or size distribution
    • G01N15/0205—Investigating particle size or size distribution by optical means, e.g. by light scattering, diffraction, holography or imaging
    • G01N15/0227—Investigating particle size or size distribution by optical means, e.g. by light scattering, diffraction, holography or imaging using imaging, e.g. a projected image of suspension; using holography
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume, or surface-area of porous materials
    • G01N15/10—Investigating individual particles
    • G01N15/14—Electro-optical investigation, e.g. flow cytometers
    • G01N15/1434—Electro-optical investigation, e.g. flow cytometers using an analyser being characterised by its optical arrangement
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume, or surface-area of porous materials
    • G01N15/02—Investigating particle size or size distribution
    • G01N15/0205—Investigating particle size or size distribution by optical means, e.g. by light scattering, diffraction, holography or imaging
    • G01N2015/0238—Single particle scatter
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume, or surface-area of porous materials
    • G01N15/10—Investigating individual particles
    • G01N15/14—Electro-optical investigation, e.g. flow cytometers
    • G01N15/1434—Electro-optical investigation, e.g. flow cytometers using an analyser being characterised by its optical arrangement
    • G01N2015/144—Imaging characterised by its optical setup
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume, or surface-area of porous materials
    • G01N15/10—Investigating individual particles
    • G01N15/14—Electro-optical investigation, e.g. flow cytometers
    • G01N2015/1486—Counting the particles

Abstract

本发明提供一种抗干扰、小型化、结构简单、信噪比高、粒径分辨率高、采样流量大、使用寿命长的光纤尘埃粒子传感器，传感器内部设有入射光纤、出射光纤、光纤支架、柱面反射扩束镜、暗盒、准直器、出射光阑、吸收层、光陷阱、球面反射镜和微型透镜，光敏区下方设有柱面透镜、主遮光罩、子遮光罩、微型透镜和出射光纤，五个微型透镜和五根出射光纤组成分立式感光部件，同一时刻能够分析出1～3个粒子，传感器采用光纤传感和分立式感光，省略了传感器内部的一部分体积较大的透镜、光阑和前置放大电路，消除了传感器部分的50工频干扰、缩短了照明主光束的长度，缩减了传感器的体积，增强了照明主光束在光敏区的均匀度，降低了尘埃粒径和尘埃数量的误判概率，提高了传感器的粒径分辨率和单位时间内的采样流量。

Description

光纤尘埃粒子传感器
技术领域
本发明涉及一种尘埃粒子传感器，尤其涉及一种光纤式、大流量、高分辨率的尘埃粒子计数器，属于空气洁净度检测技术领域。
背景技术
现代工业技术，尤其是精密加工行业，如照相机生产、芯片制造、液晶屏加工和汽车喷漆等都需要有一个洁净度非常高的空气环境，如何检测这种空气环境需要有相关的测试手段，目前，国内外在这方面有较多的产品和专利申请，但这些产品和专利普遍存在一些不足：一是传感器的体积较大，不便携带；二是采样流量受限，采样流量一般均在50L/min以内；三是存在小概率误判，对同时进入光敏区的两个粒径较小的粒子可能误判成一个粒径较大的粒子，这是由于感光元件是一个整体的原因造成；四是容易受到环境50Hz工频干扰，这是由于传感器内部有放大电路和电缆线造成。
发明内容
本发明的目的在于提供一种小型化、结构简单、信噪比高、粒径分辨率高、采样流量大、使用寿命长和抗干扰强的光纤尘埃粒子传感器。
本发明所要解决的技术问题是通过以下技术方案实现的：光纤尘埃粒子传感器包括入射光纤1、光纤护套2、出射光纤3、光纤护套4、进气管5、传感器外壳6、出气管7、光纤支架8、入射光9、主光束10、柱面反射扩束镜11、暗盒12、准直器13、球面反射镜14、反射光15、光敏区16、出射光阑17、吸收层18、光陷阱19、支架20、主遮光罩21、子遮光罩22、微型透镜23、透镜支架24、底座25、柱面透镜26、激光源27、信号处理板28和光纤尘埃粒子分析主机29，激光源27、入射光纤1、柱面反射扩束镜11、准直器13、主光束10和光敏区16构成照明机构，进气管5和出气管7构成气路机构，柱面透镜26、球面反射镜14、反射光15、微型透镜23、出射光纤3和信号处理板28构成测量机构，主光束10和气路机构相互垂直构成直角散射型光学系统；
传感器外壳6内部设有入射光纤1、出射光纤3、光纤支架8、柱面反射扩束镜11、暗盒12、准直器13、出射光阑17、吸收层18、光陷阱19、支架20、球面反射镜14、柱面透镜26、主遮光罩21、子遮光罩22、微型透镜23、透镜支架24和底座25，传感器外壳6外部设有光纤护套2、光纤护套4、激光源27、信号处理板28和光纤尘埃粒子分析主机29，主光路前进方向上依次为激光源27、入射光纤1、入射光9、柱面反射扩束镜11、主光束10、准直器13、光敏区16、出射光阑17、光陷阱19、吸收层18，光敏区16发出的散射光分两路，一路向下，由柱面透镜26聚焦，一路向上，由球面反射镜14聚焦，两路聚焦后的光投射在微型透镜23的顶面，经微型透镜23汇聚后通过出射光纤3输送到信号处理板28；
主光束10的中心线、反射光15的中心线、进气管5和出气管7的中心线三者之间互相垂直，进气管5和出气管7位于光敏区16的两侧，进气管5和出气管7缝隙中的气流与主光束10的相交部分形成光敏区16，光敏区16的上方设有一个球面反射镜14，下方设有一个柱面透镜26、一个主遮光罩21、四个子遮光罩22、五个微型透镜23和五根出射光纤3，五个微型透镜23和五根出射光纤3组成分立式感光部件，微型透镜23的外部设置一个透镜支架24，透镜支架24设置在底座25的上方；
柱面反射扩束镜11的外部设有一个暗盒12，暗盒12、传感器外壳6和光陷阱19的内侧均为黑色磨砂面，光陷阱19的内部设有一层吸收层18，吸收层18为黑色细绒布，入射光纤1和出射光纤3的纤芯直径为200μm，包层外径为230μm，为塑料阶跃型光纤，柱面反射扩束镜11的反射面为镜面不锈钢，微型透镜23的顶面为长方形球面，底面为圆形平面，圆形的直径与出射光纤3的纤芯直径相匹配，为200μm，从长方形到圆形有过渡，微型透镜23的顶面和底面都有一层氟化镁镀膜。
由于采用上述技术方案，本发明所具有的优点和积极效果是：传感器内部采用光纤传感和分立式感光后，省略了一部分体积较大的透镜、光阑和前置放大电路，消除了传感器部分的50Hz工频干扰、缩短了照明主光束的长度，减少了主光束的散射，缩减了传感器的体积，增强了照明主光束在光敏区的均匀度，降低了尘埃粒径和尘埃数量的误判概率，提高了传感器的粒径分辨率和单位时间内的采样流量。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明，本发明有如下10幅附图：
图1是本发明光纤尘埃粒子传感器外形正视图，
图2是本传感器外形仰视图，
图3是本传感器正视剖视图A-A，
图4是本传感器主要光路图，
图5是本传感器仰视剖视图B-B，
图6是本传感器俯视剖视图C-C，
图7是本传感器主遮光罩、子遮光罩、微型透镜、透镜支架的正视图，
图8是本传感器主遮光罩、子遮光罩、微型透镜的正视图，
图9是本传感器微型透镜立体图，
图10是本传感器系统图。
1.入射光纤，2.光纤护套，3.出射光纤，4.光纤护套，5.进气管，6.传感器外壳，7.出气管，8.光纤支架，9.入射光，10.主光束，11.柱面反射扩束镜，12.暗盒，13.准直器，14.球面反射镜，15.反射光，16.光敏区，17.出射光阑，18.吸收层，19.光陷阱，20.支架，21.主遮光罩，22.子遮光罩，23.微型透镜，24.透镜支架，25.底座，26.柱面透镜，27.激光源，28.信号处理板，29.光纤尘埃粒子分析主机。
具体实施方式
1.根据图1至图6、图10，光纤尘埃粒子传感器包括入射光纤1、光纤护套2、出射光纤3、光纤护套4、进气管5、传感器外壳6、出气管7、光纤支架8、入射光9、主光束10、柱面反射扩束镜11、暗盒12、准直器13、球面反射镜14、反射光15、光敏区16、出射光阑17、吸收层18、光陷阱19、支架20、主遮光罩21、子遮光罩22、微型透镜23、透镜支架24、底座25、柱面透镜26、激光源27、信号处理板28和光纤尘埃粒子分析主机29，激光源27、入射光纤1、柱面反射扩束镜11、准直器13、主光束10和光敏区16构成照明机构，进气管5和出气管7构成气路机构，柱面透镜26、球面反射镜14、反射光15、微型透镜23、出射光纤3和信号处理板28构成测量机构，主光束10和气路机构相互垂直构成直角散射型光学系统。
2.根据图3和图10，传感器外壳6内部设有入射光纤1、出射光纤3、光纤支架8、柱面反射扩束镜11、暗盒12、准直器13、出射光阑17、吸收层18、光陷阱19、支架20、球面反射镜14、柱面透镜26、主遮光罩21、子遮光罩22、微型透镜23、透镜支架24和底座25，传感器外壳6外部设有光纤护套2、光纤护套4、激光源27、信号处理板28和光纤尘埃粒子分析主机29，主光路前进方向上依次为激光源27、入射光纤1、入射光9、柱面反射扩束镜11、主光束10、准直器13、光敏区16、出射光阑17、光陷阱19、吸收层18，光敏区16发出的散射光分两路，一路向下，由柱面透镜26聚焦，一路向上，由球面反射镜14聚焦，两路聚焦后的光投射在微型透镜23的顶面，经微型透镜23汇聚后通过出射光纤3输送到信号处理板28。
3.根据图4至图6，主光束10的中心线、反射光15的中心线、进气管5和出气管7的中心线三者之间互相垂直，进气管5和出气管7位于光敏区16的两侧，进气管5和出气管7缝隙中的气流与主光束10的相交部分形成光敏区16，光敏区16的上方设有一个球面反射镜14，下方设有一个柱面透镜26、一个主遮光罩21、四个子遮光罩22、五个微型透镜23和五根出射光纤3，根据图7和图8，五个微型透镜23和五根出射光纤3组成分立式感光部件，微型透镜23的外部设有透镜支架24，透镜支架24设置在底座25的上方，五个微型透镜23和五根出射光纤3的编号由左向右依次为1号、2号、3号、4号和5号。
4.根据图3，柱面反射扩束镜11的外部设有一个暗盒12，暗盒12、传感器外壳6和光陷阱19的内侧均为黑色磨砂面，光陷阱19的内部设有一层吸收层18，吸收层18为黑色细绒布，入射光纤1和出射光纤3的纤芯直径为200μm，包层外径为230μm，为塑料阶跃型光纤，柱面反射扩束镜11的反射面为镜面不锈钢，根据图9，微型透镜23的顶面为长方形球面，尺寸为1.5×0.7mm2，底面为圆形平面，圆形的直径与出射光纤3的纤芯直径相匹配，为200μm，从长方形到圆形有过渡，高度为3mm，微型透镜23的顶面和底面都有一层氟化镁镀膜。
5.根据图3，暗盒12用于消除入射光9、主光束10和柱面反射扩束镜11向外散射光，暗盒12、传感器外壳6和光陷阱19内侧的黑色磨砂面用于吸收腔内的散射杂光，吸收层18用于增强光陷阱19的消光能力，主遮光罩21用于阻挡横向杂散光，子遮光罩22的作用是：尘埃粒子进入光敏区16时，尘埃粒子的散射光分别在柱面透镜26和球面反射镜14的聚焦作用下，正确地成像在具体编号的微型透镜23顶面上，防止其散射光干扰临近的微型透镜23。
6.根据图3，准直器13设置在暗盒12上，暗盒12设置在光纤支架8上，出射光阑17设置在光陷阱19上，光陷阱19设置在支架20上，光纤支架8和支架20设置在底座25上。
7.根据图1、图5和图6，进气管5和出气管7在传感器外壳6外面的部分为圆管形，内径为1mm，进气管5和出气管7在靠近光敏区16的部分为长方形扁平嘴结构，嘴口的内尺寸为0.5×1.5mm2，进气管5和出气管7位于光敏区16的两侧，相距5mm，主光束10在光敏区16处的截面尺寸为0.2×0.6mm2，进气管5和出气管7缝隙中的气流与主光束10的相交部分是光敏区16，光敏区16的尺寸为0.2×0.5×1.5mm3。
8.传感器工作时，进气管5通过软管接尘埃粒子采样标本，出气管7通过软管接抽气泵，接通光纤尘埃粒子分析主机29的电源，使整个系统工作，调整抽气泵的转速，使进气管5和出气管7缝隙中的气体流量符合规定要求；激光源27为固体半导体激光器，功率为20mW，从激光源27产生的激光由入射光纤1引入到所述的传感器中，入射光纤1发出的入射光9经柱面反射扩束镜11的90°反射且扩束后形成主光束10，主光束10经准直器13准直后，经过光敏区16和出射光阑17后进入光陷阱19，经吸收层18和光陷阱19的吸收后，消除了光的反射和杂散光的产生；尘埃粒子通过进气管5和出气管7缝隙中的光敏区16时，在主光束10的照射下产生散射光，散射光一路向下，由柱面透镜26聚焦，一路向上，由球面反射镜14聚焦，两路聚焦后的光把光敏区中的尘埃粒子成像在微型透镜23的顶面上，柱面透镜26和球面反射镜14的成像方向一致，根据成像原理，位于光敏区16正中位置的尘埃粒子成像在3号微型透镜23上，位于光敏区16右侧位置的尘埃粒子成像在1号微型透镜23上，位于光敏区16左侧位置的尘埃粒子成像在5号微型透镜23上，成像方向与物体方向相反，两个成像后的光经微型透镜23汇聚后通过出射光纤3输送到信号处理板28中处理和分析。
9.当尘埃粒子的粒径较小时，所产生的散射光较少，出射光纤3收集到的光强较弱；当尘埃粒子的粒径较大时，所产生的散射光较多，出射光纤3收集到的光强较大；当两个或三个尘埃粒子同时进入光敏区16时，如果尘埃粒子在光敏区16中所处的位置不同，则发出的散射光经过柱面透镜26和球面反射镜14的聚焦、子遮光罩22的防干扰以及微型透镜23的分立式感光，光敏区16中不同位置的尘埃粒子就成像在不同编号的微型透镜23上，经相应编号出射光纤3的传递，由信号处理板27处理和分析，判断出尘埃粒子的直径和数量；如果五根出射光纤3中相邻的两根光纤(例如1号与2号)同时有信号，就判断为一个粒子，如果不相邻的两根光纤(例如2号与4号)同时有信号，就判断为是两个粒子，如果不相邻的三根出射光纤3同时有信号，就判断为是三个粒子，由于传感器能在同一时刻分析出1～3个粒子，所以传感器的采样流量明显增大。
10.本传感器主体的外形尺寸为φ60×90mm，采样流量为80L/min。

Claims (3)

1.一种光纤尘埃粒子传感器，包括入射光纤1、光纤护套2、出射光纤3、光纤护套4、进气管5、传感器外壳6、出气管7、光纤支架8、入射光9、主光束10、柱面反射扩束镜11、暗盒12、准直器13、球面反射镜14、反射光15、光敏区16、出射光阑17、吸收层18、光陷阱19、支架20、主遮光罩21、子遮光罩22、微型透镜23、透镜支架24、底座25、柱面透镜26、激光源27、信号处理板28和光纤尘埃粒子分析主机29，激光源27、入射光纤1、柱面反射扩束镜11、准直器13、主光束10和光敏区16构成照明机构，进气管5和出气管7构成气路机构，柱面透镜26、球面反射镜14、反射光15、微型透镜23、出射光纤3和信号处理板28构成测量机构，主光束10和气路机构相互垂直构成直角散射型光学系统，
其特征在于：传感器外壳6内部设有入射光纤1、出射光纤3、光纤支架8、柱面反射扩束镜11、暗盒12、准直器13、出射光阑17、吸收层18、光陷阱19、支架20、球面反射镜14、柱面透镜26、主遮光罩21、子遮光罩22、微型透镜23、透镜支架24和底座25，传感器外壳6外部设有光纤护套2、光纤护套4、激光源27、信号处理板28和光纤尘埃粒子分析主机29，主光路前进方向上依次为激光源27、入射光纤1、入射光9、柱面反射扩束镜11、主光束10、准直器13、光敏区16、出射光阑17、光陷阱19、吸收层18，光敏区16发出的散射光分两路，一路向下，由柱面透镜26聚焦，一路向上，由球面反射镜14聚焦，两路聚焦后的光投射在微型透镜23的顶面，经微型透镜23汇聚后通过出射光纤3输送到信号处理板28。
2.根据权利要求1所述的一种光纤尘埃粒子传感器，其特征在于：主光束10的中心线、反射光15的中心线、进气管5和出气管7的中心线三者之间互相垂直，进气管5和出气管7位于光敏区16的两侧，进气管5和出气管7缝隙中的气流与主光束10的相交部分形成光敏区16，光敏区16的上方设有一个球面反射镜14，下方设有一个柱面透镜26、一个主遮光罩21、四个子遮光罩22、五个微型透镜23和五根出射光纤3，五个微型透镜23和五根出射光纤3组成分立式感光部件，微型透镜23的外部设置一个透镜支架24，透镜支架24设置在底座25的上方。
3.根据权利要求1所述的一种光纤尘埃粒子传感器，其特征在于：柱面反射扩束镜11的外部设有一个暗盒12，暗盒12、传感器外壳6和光陷阱19的内侧均为黑色磨砂面，光陷阱19的内部设有一层吸收层18，吸收层18为黑色细绒布，入射光纤1和出射光纤3的纤芯直径为200μm，包层外径为230μm，为塑料阶跃型光纤，柱面反射扩束镜11的反射面为镜面不锈钢，微型透镜23的顶面为长方形球面，底面为圆形平面，圆形的直径与出射光纤3的纤芯直径相匹配，为200μm，从长方形到圆形有过渡，微型透镜23的顶面和底面都有一层氟化镁镀膜。
CN201510989067.7A 2015-12-18 2015-12-18 光纤尘埃粒子传感器 Expired - Fee Related CN105466821B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510989067.7A CN105466821B (zh) 2015-12-18 2015-12-18 光纤尘埃粒子传感器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510989067.7A CN105466821B (zh) 2015-12-18 2015-12-18 光纤尘埃粒子传感器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN105466821A true CN105466821A (zh) 2016-04-06
CN105466821B CN105466821B (zh) 2018-04-17

Family

ID=55604759

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201510989067.7A Expired - Fee Related CN105466821B (zh) 2015-12-18 2015-12-18 光纤尘埃粒子传感器

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN105466821B (zh)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106092835A (zh) * 2016-05-30 2016-11-09 西南技术物理研究所 大气降水粒子测量装置
CN106548755A (zh) * 2016-12-07 2017-03-29 惠州三华工业有限公司 亮度自动调整显示装置
CN109946208A (zh) * 2019-01-29 2019-06-28 深圳市白麓嵩天科技有限责任公司 一种粉尘测量通道装置
WO2020108508A1 (zh) * 2018-11-29 2020-06-04 苏州苏信环境科技有限公司 一种光纤型空气粒子计数传感器系统
CN111771117A (zh) * 2018-02-27 2020-10-13 希森美康株式会社 粒子测定装置及粒子测定方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09184808A (ja) * 1995-12-28 1997-07-15 Toshiba Corp エアロゾル分析装置
CN1570604A (zh) * 2004-05-09 2005-01-26 中国科学院上海光学精密机械研究所 激光尘埃粒子计数器的微型光学传感器
CN101162194A (zh) * 2007-11-16 2008-04-16 苏州华达仪器设备有限公司 测量尘埃粒子的光学传感器
CN101487786A (zh) * 2008-01-18 2009-07-22 南京理工大学 可吸入粉尘浓度测量传感器
US20120268731A1 (en) * 2009-12-11 2012-10-25 Washington University In St. Louis Systems and methods for particle detection
CN205209927U (zh) * 2015-12-18 2016-05-04 盐城师范学院 光纤尘埃粒子传感器

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09184808A (ja) * 1995-12-28 1997-07-15 Toshiba Corp エアロゾル分析装置
CN1570604A (zh) * 2004-05-09 2005-01-26 中国科学院上海光学精密机械研究所 激光尘埃粒子计数器的微型光学传感器
CN101162194A (zh) * 2007-11-16 2008-04-16 苏州华达仪器设备有限公司 测量尘埃粒子的光学传感器
CN101487786A (zh) * 2008-01-18 2009-07-22 南京理工大学 可吸入粉尘浓度测量传感器
US20120268731A1 (en) * 2009-12-11 2012-10-25 Washington University In St. Louis Systems and methods for particle detection
CN205209927U (zh) * 2015-12-18 2016-05-04 盐城师范学院 光纤尘埃粒子传感器

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
苗心向等: "基于微纳光纤的气溶胶探测应用技术", 《强激光与粒子束》 *

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106092835A (zh) * 2016-05-30 2016-11-09 西南技术物理研究所 大气降水粒子测量装置
CN106548755A (zh) * 2016-12-07 2017-03-29 惠州三华工业有限公司 亮度自动调整显示装置
CN111771117A (zh) * 2018-02-27 2020-10-13 希森美康株式会社 粒子测定装置及粒子测定方法
CN111771117B (zh) * 2018-02-27 2023-08-18 希森美康株式会社 粒子测定装置及粒子测定方法
WO2020108508A1 (zh) * 2018-11-29 2020-06-04 苏州苏信环境科技有限公司 一种光纤型空气粒子计数传感器系统
CN109946208A (zh) * 2019-01-29 2019-06-28 深圳市白麓嵩天科技有限责任公司 一种粉尘测量通道装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN105466821B (zh) 2018-04-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10168269B1 (en) Aerosol real time monitor
CN105466821A (zh) 光纤尘埃粒子传感器
CN106066294B (zh) 颗粒传感器设备
JP5856173B2 (ja) 煙検知回路、この煙検知回路を備える煙検知器、並びにこの回路及び検知器の両方を備える警報デバイス
US6707555B1 (en) Optical information measuring apparatus
US20170176329A1 (en) Particle sensor
WO2017090134A1 (ja) 粒子センサ
JP5596925B2 (ja) 異物検査装置及び検査方法
KR101525700B1 (ko) 칩 부품의 외관 검사장치
JP2007333563A (ja) 光透過性シートの検査装置および検査方法
CN114279942A (zh) 一种激光尘埃粒子计数传感器
CA2946921C (en) Assembly for attenuating impinging light of a beam of radiation
CN205209927U (zh) 光纤尘埃粒子传感器
US6359694B1 (en) Method and device for identifying the position of an electrical component or terminals thereof, and equipping head employing same
KR101658700B1 (ko) 표면 검사 광학장치 및 표면 검사방법
CN102331394B (zh) 一种大流量尘埃粒子计数器的光电传感器
CN111458299A (zh) 一种气体吸收池、气体浓度检测装置及方法
KR101447857B1 (ko) 렌즈 모듈 이물 검사 시스템
KR102400468B1 (ko) 입자계수용 광학계
CN210221767U (zh) 一种颗粒物监测仪
CN112730180A (zh) 一种具有双探测器的高灵敏度尘埃粒子计数传感器
KR101685703B1 (ko) 이물질 검사 장치 및 검사 방법
CN115376435B (zh) 一种显示器发光均匀性检测装置
CN112630127B (zh) 一种真空微粒计数器
US11555776B2 (en) Light scattering detection apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20180417

Termination date: 20191218