CN1570604A - 激光尘埃粒子计数器的微型光学传感器 - Google Patents
激光尘埃粒子计数器的微型光学传感器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN1570604A CN1570604A CN 200410018167 CN200410018167A CN1570604A CN 1570604 A CN1570604 A CN 1570604A CN 200410018167 CN200410018167 CN 200410018167 CN 200410018167 A CN200410018167 A CN 200410018167A CN 1570604 A CN1570604 A CN 1570604A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- light
- laser
- optical sensor
- dust particle
- sensitive area
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims abstract description 43
- 239000000428 dust Substances 0.000 title claims abstract description 24
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 24
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 5
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims description 20
- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims description 19
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 8
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 claims description 4
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 2
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 7
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000013461 design Methods 0.000 description 4
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 4
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 3
- 206010038743 Restlessness Diseases 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 2
- 230000009897 systematic effect Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000005202 decontamination Methods 0.000 description 1
- 230000003588 decontaminative effect Effects 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
一种激光尘埃粒子计数器的微型光学传感器，其特征在于其构成包括：在激光光源组件的光束前进方向上依次设有柱面镜、球面反射镜和光陷阱，该激光光源组件输出的椭圆形光束的截面的长轴方向与母线成一定角度φ；置于柱面镜右侧的球面反射镜，且使光敏感区和光电探测器光敏面的位置分别位于该球面反射镜球心附近的两侧，并满足几何光学的物像关系；置于光电探测器前面且与光敏感区形状相匹配的视场光阑；光电探测器采用高灵敏度的光电二极管，或金属封装的微型光电倍增管；安装固定在光学传感器散射腔外壳上且具有与散射光脉冲频谱宽度一致的带通型前置放大电路。本发明具有体积小、结构简单、信噪比高、粒径分辨率高、计数效率高的特点。
Description
技术领域：
本发明涉及洁净度检测设备，特别是一种激光尘埃粒子计数器微型光学传感器。
背景技术：
在先技术中，激光尘埃粒子计数器的光学传感器所采用的技术方案，如苏州净化设备厂吴俊民等人在1994年10月28日申请的实用新型专利“尘埃粒子计数器的光学传感器”(专利号为ZL94239551.4)，请参阅图1。它采用直角散射光学系统结构，其照明系统光轴、散射光收集系统光轴和气路系统轴线相交于光敏感区中心且两两垂直。其中的照明系统采用激光二极管1作为光源，激光二极管1发出的发散光束经过置于激光二极管1右侧的准直镜2准直和置于准直镜2右侧的柱面镜3在垂直于母线的方向上一维聚焦后，照射在通过旋转椭球面反射镜4的近焦点5，即光敏感区处的被测气流上，然后被前方的光陷阱6吸收。被测气流中的尘埃粒子发出的散射光被旋转椭球面反射镜4聚焦于其远焦点处，在该焦点处设置的光电倍增管7将光散射脉冲信号转换成电脉冲信号。
上述在先技术的缺点是：
1、在上述装置中，没有调整柱面镜母线方向与激光二极管发出的椭圆形光束截面的长轴方向的夹角关系，因此造成光敏感区的照明强度均匀性差，进而造成粒子计数器粒径分辨率不高。
2、采用的旋转椭球面反射镜虽然实现了二次曲面直接共轭成像，但其加工要求高，难于获得高的表面光洁度和反射率，因而对散射光的集光效率低，漫反射严重，系统的背景光噪声强，影响信噪比的提高。另外，旋转椭球面反射镜需要打孔，加工时容易炸裂，因而加工困难，而且成品率低。
3、由于在上述装置中没有在光电倍增管前面设置视场光阑，所以散射光接收系统接收到的光脉冲宽度不一致，造成电脉冲宽度也不一致，即信号的频谱宽度不同。为了对不同宽度的脉冲信号进行同倍率放大，放大器的通频带必须与最大频谱宽度的脉冲信号一致，这就会对低通频带的信号引入额外的噪声，同时这也给后续低噪声放大器的设计带来困难。
4、采用的光电探测器为侧窗型的光电倍增管，虽然响应速度快，但体积大且需要高压供电，不利于光学传感器的微型化，使得整机难于实现小型化。
5、在上述装置中没有有效的消除背景噪声和外界电磁干扰，因此信噪比比较低，测量精度和计数效率不高。
发明内容：
本发明的目的在于克服上述在先技术的缺点，提供一种激光尘埃粒子计数器的微型光学传感器，该光学传感器应具有体积小、结构简单、信噪比高、粒径分辨率高、计数效率高的特点。
本发明的技术解决方案如下：
一种激光尘埃粒子计数器的微型光学传感器，其特征在于其构成包括：
①一发出平行激光束的激光光源组件，在该激光光源组件的光束前进方向上依次设有柱面镜、球面反射镜和光陷阱，该激光光源组件输出的椭圆形光束的截面的长轴方向与母线成一定角度φ，其角度范围在20°～80°之间；
②置于柱面镜右侧的球面反射镜，且使光敏感区和光电探测器光敏面的位置分别位于该球面反射镜球心附近的两侧，并满足几何光学的物像关系；
③置于光电探测器前面且与光敏感区形状相匹配的视场光阑；
④光电探测器采用高灵敏度的光电二极管，或金属封装的微型光电倍增管；
⑤安装固定在光学传感器散射腔外壳上且具有与散射光脉冲频谱宽度一致的带通型前置放大电路。
所述的前置放大电路是指采用下限频率为100Hz～300Hz之间，上限频率为1.18MHz～2.38MHz之间的带通型前置放大电路。
所述的照明系统采用功率较高的激光光源组件，可以是半导体激光器组件，或半导体激光器泵浦的固体激光器组件。
所述的散射光收集系统采用球面反射镜代替传统的旋转椭球面反射镜，或抛物面反射镜。光敏感区和光电探测器光敏面的位置根据几何光学的物像关系来确定，并使它们的位置分别位于球面反射镜球心附近的两侧，这样光敏感区处的等效物面在光电探测器光敏面处的成像质量好，接近旋转椭球面反射镜的成像质量。
所述的散射光收集系统中，在光电探测器的前面设置与光敏感区形状匹配的视场光阑。根据球面反射镜对光敏感区处等效物面的成像位置与像面大小来确定视场光阑的尺寸。
所述的光电探测器是高灵敏度的光电二极管，或金属封装的微型光电倍增管。
所述的前置放大电路是指采用下限频率为100Hz～300Hz之间，上限频率为1.18MHz～2.38MHz之间的带通型前置放大电路。根据光学传感器的系统参数和圆管层流理论模型，估算通过光敏感区时射流气流的速度范围、时间范围，由此计算光散射脉冲信号及转换后电脉冲信号的宽度范围，进而设计前置放大电路。
本发明与在先技术相比具有下列技术效果：
1、照明系统采用功率较高的激光光源组件，其光束截面形状一般为椭圆。本发明中柱面镜的母线与椭圆形光束截面长轴方向具有一个合适的夹角φ。这不仅增强了尘埃粒子计数器光学传感器光敏感区处的照明强度，而且改善了它的照明均匀性。
2、采用球面反射镜作为散射光集光元件，加工容易，成本低。
3、球面反射镜对散射光的收集立体角大，这不仅可以提高散射光的收集效率，而且在粒径动态探测范围内，增大散射光收集立体角有利于散射光强度与粒径的关系曲线趋于平滑。
4、设置合适大小的视场光阑，不仅可以减小对粒子测量的离散度，即对光散射脉冲进行整形，而且同时还起到了消除杂散光的作用。
5、所采用的光电二极管或微型光电倍增管体积小，有利于光学传感器的微型化。
6、采用下限频率为100Hz～300Hz之间，上限频率为1.18MHz～2.38MHz之间的带通型前置放大电路，该电路对直流和低频成分的放大倍率为零。由于照明激光束衍射的噪声为直流量，外界电磁干扰的频率通常为低频成分，所以采用带通型前置放大电路可以清除背景噪声和外界电磁干扰，减少虚假计数。这必将提高粒子计数器的信噪比、计数效率和测量精度。
附图说明：
图1是在先技术的粒子计数器的光学传感器示意图。
图2是本发明的激光尘埃粒子计数器微型光学传感器的主视图。
图3是本发明的激光尘埃粒子计数器微型光学传感器的剖视图。
图4是本发明中激光光源组件发出的光束截面形状与柱面镜母线之间的关系示意图。
图5是本发明中光敏感区沿气路系统轴线方向上视场光阑宽度的计算示意图。
图6是本发明中光敏感区沿照明系统轴线方向上视场光阑长度的计算示意图。
图7是本发明中带通型前置放大电路15的通频带的示意图
具体实施方式：
请参阅图2和图3。图2和图3是本发明的激光尘埃粒子计数器微型光学传感器的结构示意图，由图2和图3可以看出，本发明激光尘埃粒子计数器微型光学传感器是一个直角散射型光学系统，包括照明系统、散射光收集系统、气路系统和前置放大电路。照明系统由激光光源组件13、柱面镜3和光陷阱6组成。激光光源组件13发出准直的激光光束，被柱面镜3一维聚焦于光敏感区5处，焦线位于照明系统光轴和散射光收集系统光轴组成的平面内，且垂直于气流方向。激光光束穿过光敏感区5后进入光陷阱6，并被光陷阱6吸收掉。散射光收集系统主要由球面反射镜8、视场光阑9和光电探测器14组成。当被测气流通过光敏感区5时，其中的尘埃粒子产生的散射光的一部分直接进入光电探测器14，另一部分经过球面反射镜8反射后会聚在光电探测器14的光敏面上。气路系统主要由进气嘴11、排气嘴12、抽气泵10构成。抽气泵10将外界被测空气通过进气嘴11吸入光学传感器内，使带有被测尘埃粒子的采样气流通过光敏感区5，以得到粒子的散射光信号。前置放大电路15将光电探测器14输出的电脉冲信号中的噪声去除并将该信号放大到相当幅度后送入后续处理电路，后续处理根据电脉冲信号的峰值判别被测粒子尺寸，并分档计数，最后得到被测空气中各种粒径尘埃粒子的颗粒数浓度。
所述的照明系统的照明方式，是使激光光源组件13发出的椭圆形光束截面的长轴方向与柱面镜母线成一定角度φ。光敏感区5是一个很薄的圆柱，在照明光轴方向上，由于柱面镜3的焦距长，聚焦激光光束的焦深大，可以认为光强是均匀的。而在与照明系统光轴垂直的方向上，根据圆管层流理论，考虑在流速V＝12.4m/s处的r＝0.707R＝0.78mm，因此我们计算从轴线到r＝0.8mm处的照明光强均匀性。如图4所示，激光光源组件13发出的光束的截面形状为椭圆形。柱面镜3的母线302与椭圆长轴301夹角为φ。当φ为0°时，计算得光强不均匀度为0.9610；当φ为30°时，计算得光强不均匀度为0.5272；当φ为45°时，计算得光强不均匀度为0.3721；当φ为60°时，计算得光强不均匀度为0.2851；当φ为90°时，计算得光强不均匀度为0.2301。综合照明光强均匀性和绝对光强的考虑，选择一个比较合适的φ值，使得粒子计数器的信噪比比较高。
所述的散射光收集系统采用球面反射镜8，易于加工，且表面粗糙度等级小于1.6μm和反射率达到99％以上，能够提高散射光的收集效率，即减小了噪声源；球面反射镜8也是大立体角散射光收集元件，在粒径动态探测范围内，增大散射光收集立体角有利于散射光强度与粒径的关系曲线趋于平滑。
所述的散射光收集系统中在光电探测器14的前面设置视场光阑9。一方面，长方形的视场光阑9与光敏感区5的形状匹配，阻止了光敏感区5以外的杂散光进入光电探测器14，而对被测粒子的散射光无影响。另一方面，由于仪器工作时，尘埃粒子是等速流过光敏感区5的，采用长方形的视场光阑9可使流过光敏感区5各处的所有尘埃粒子产生同样宽度的散射光脉冲信号，因而光电探测器输出的电脉冲信号也是等宽度的，这有利于后继放大电路设计合理的通频带，把电脉冲信号低噪声无失真地放大到所需的幅度。根据几何光学的物像关系计算视场光阑9的尺寸，如图5、图6所示。沿气路系统轴线方向上光敏感区5处等效物面501经过球面反射镜8成像后，在光电探测器14前面形成的等效像面901的高度作为视场光阑9的半宽度值。沿照明系统轴线方向上，光敏感区5处等效物面502经过球面反射镜8成像后，在光电探测器14前面形成的等效像面902的高度作为视场光阑9的半长度值。综上所述，矩形的视场光阑的尺寸为3.4mm×2.3mm。
所述的前置放大电路15是带通型前置放大电路，如图7所示。根据光学传感器的系统参数和层流理论模型，估算被测尘埃粒子通过光敏感区时的速度范围和相应的时间间隔，由此计算脉冲信号的上限频率，进而根据噪声信号的频率特性确定下限频率，从而设计具有合适的通频带的前置放大电路。已知照明光路的数值孔径NA、进气嘴11的口径半径R、流量Q、流速范围和光敏感区处的光束厚度δ，计算脉宽τ和上升时间tr，并根据公式f上＝0.35/tr，得到通频带的上限频率f上在1.18MHz～2.38MHz之间。其中上升时间的定义为脉冲幅值从10％上升到90％的所需要的时间。外界的电磁干扰主要来自交流电，因此下限频率设定f下在100Hz～300Hz之间。因此，我们采用适当带宽的前置放大电路，可以有效屏蔽来自外部设备的低频电磁干扰，同时避免气流紊动带来的高频虚假计数。这必将提高粒子计数器的信噪比、计数效率和测量精度。要制成具有这种性能的前置放大电路是不难的，在此不赘述。
图2、图3是本发明的最佳实施例的结构示意图，其具体结构和参数叙述如下：
激光尘埃粒子计数器微型光学传感器的激光光源组件13采用稳功率的半导体激光器组件，其波长为0.65μm、0.78μm或其它波长，功率为50mW或者更高。柱面镜3是一个平凸柱面透镜，通光直径为φ6mm，焦距为33mm。光敏感区5的尺寸为φ2.2mm×13μm，其照明不均匀程度为0.3721(φ＝45°)，即被测尘埃粒子通过光敏感区的轨迹长度仅为13μm。球面反射镜8的球面的曲率半径为12mm，其内表面镀有反射率大于99％的多层介质膜，通光口径为φ21mm，球面顶点与光敏感区的中心点O的距离为10mm，它对光敏感区5的中心O所张的立体角为1.316π球面度。14是一个PIN型光电二极管，光敏面积为3.6mm×3.6mm，窗口到光敏面的距离为0.8mm，窗口离开光敏感区中心O的距离为4.5mm，即光敏面离开光敏感区中心点O的距离为5.3mm。气路系统中的进气嘴11和排气嘴12的直径均为2.2mm。视场光阑9位于PIN型光电二极管窗口的前面，距离光敏感区5的中心O的距离为3.5mm，它的长度和宽度的具体取值确定如下。沿气路系统轴线方向上光敏感区5处等效物面501的高度为0，等效像面901高度为1.15mm。考虑系统的对称性，视场光阑9的宽度为2.3mm。沿照明系统轴线方向上，光敏感区5处等效物面502的高度为1.1mm，等效像面902高度为1.7mm。考虑系统的对称性，视场光阑9的长度为3.4mm。
前置放大电路15的下限频率f下和上限频率f上的具体取值确定如下：已知照明光路的数值孔径：NA＝2/33；进气嘴11的口径半径：R＝1.1mm；流量：Q＝2.831/min；流速范围：V＝12.4～24.8m/s。光敏感区处的光束厚度：δ＝1.22λ/NAμm；计算结果如下：脉宽：τ＝0.524～1.048μs；上升时间：tr＝0.147～0.296μs；根据公式f上＝0.35/tr，得到通频带的上限频率f上在1.18MHz～2.38MHz之间。外界的电磁干扰主要来自交流电，因此下限频率f下设定在100Hz～300Hz之间。
本最佳实施例对聚苯乙烯标准粒子进行标定的结果表明：本发明的光学传感器的粒子计数器最小探测粒径小于0.2μm，最小探测粒径处的信噪比大于3∶1，计数效率大于80％。本光学传感器的体积为105mm×28mm×32mm，重量为150g，这些性能远远优于在先技术。
在上述实施例基础上，将激光光源组件1改为半导体激光器泵浦的固体激光器组件，功率为500mW，波长为532nm。将光电探测器14改为金属封装的微型光电倍增管。这样可以得到本发明的又一个实施例。本实施例的最小探测粒径可小于0.1μm，最小探测粒径处的信噪比可大于4∶1，计数效率可大于90％；而重量与体积保持不变。
Claims (4)
1、一种激光尘埃粒子计数器的微型光学传感器，其特征在于其构成包括：
①一发出平行激光束的激光光源组件(13)，在该激光光源组件(13)发出的光束前进的方向上，依次设有柱面镜(3)、球面反射镜(8)和光陷阱(6)，该激光光源组件(13)输出的椭圆形光束的截面的长轴方向与柱面镜(3)母线成一定角度φ，其角度范围在20°～80°之间；
②置于柱面镜(3)右侧的球面反射镜(8)，且使光敏感区(5)和光电探测器(14)光敏面的位置分别在球面反射镜(8)球心附近的两侧，并满足几何光学的物像关系；
③置于光电探测器(14)前面且与光敏感区形状相匹配的视场光阑(9)；
④光电探测器(14)采用高灵敏度的光电二极管，或金属封装的微型光电倍增管；
⑤安装固定在光学传感器散射腔外壳上且具有与散射光脉冲频谱宽度一致的带通型前置放大电路(15)。
2、根据权利要求1所述的激光尘埃粒子计数器的微型光学传感器，其特征在于所述的前置放大电路(15)是指采用下限频率为100Hz~300Hz之间，上限频率为1.18MHz～2.38MHz之间的带通型前置放大电路。
3、根据权利要求1所述的激光尘埃粒子计数器的微型光学传感器，其特征在于所述的照明系统采用功率较高的激光光源组件(13)，可以是半导体激光器组件，或半导体激光器泵浦的固体激光器组件。
4、根据权利要求1所述的激光尘埃粒子计数器的微型光学传感器，其特征在于所述的视场光阑(9)的尺寸是根据球面反射镜(8)对光敏感区处(5)等效物面的成像位置与像面大小来确定的。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 200410018167 CN1249420C (zh) | 2004-05-09 | 2004-05-09 | 激光尘埃粒子计数器的微型光学传感器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 200410018167 CN1249420C (zh) | 2004-05-09 | 2004-05-09 | 激光尘埃粒子计数器的微型光学传感器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN1570604A true CN1570604A (zh) | 2005-01-26 |
| CN1249420C CN1249420C (zh) | 2006-04-05 |
Family
ID=34479379
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 200410018167 Expired - Lifetime CN1249420C (zh) | 2004-05-09 | 2004-05-09 | 激光尘埃粒子计数器的微型光学传感器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN1249420C (zh) |
Cited By (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102331394A (zh) * | 2010-07-12 | 2012-01-25 | 苏州工业园区鸿基洁净科技有限公司 | 一种大流量尘埃粒子计数器的光电传感器 |
| CN102564928A (zh) * | 2012-01-09 | 2012-07-11 | 南通大学 | 光学粒子计数器的传感器 |
| CN103196805A (zh) * | 2013-04-02 | 2013-07-10 | 青岛众瑞智能仪器有限公司 | 一种检测气溶胶质量浓度的光学装置 |
| CN103196737A (zh) * | 2013-04-21 | 2013-07-10 | 青岛众瑞智能仪器有限公司 | 一种防止大颗粒杂质进入光学检测腔的装置和方法 |
| CN104266948A (zh) * | 2014-10-20 | 2015-01-07 | 崔海林 | 颗粒物传感器及颗粒物监测方法 |
| CN104949910A (zh) * | 2015-05-29 | 2015-09-30 | 广州埃克森生物科技有限公司 | 五分类血液分析仪光学系统 |
| CN105466821A (zh) * | 2015-12-18 | 2016-04-06 | 盐城师范学院 | 光纤尘埃粒子传感器 |
| CN105865997A (zh) * | 2016-06-07 | 2016-08-17 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种基于前向散射原理的大气扬尘浓度测量装置及方法 |
| CN107543784A (zh) * | 2016-06-29 | 2018-01-05 | 霍尼韦尔国际公司 | 颗粒物质检测器 |
| CN108375530A (zh) * | 2018-03-28 | 2018-08-07 | 南京工业大学 | 一种基于激光诱导荧光的生物气溶胶实时检测方法及装置 |
| CN108426805A (zh) * | 2017-02-02 | 2018-08-21 | 霍尼韦尔国际公司 | 颗粒物质传感器中的前向散射 |
| CN108426809A (zh) * | 2018-02-28 | 2018-08-21 | 杭州电子科技大学 | 一种基于ccd侧向散射的全天候pm2.5浓度实时检测装置 |
| CN109342300A (zh) * | 2018-11-29 | 2019-02-15 | 苏州苏信环境科技有限公司 | 一种光纤型空气粒子计数传感器系统 |
| CN109975187A (zh) * | 2019-04-18 | 2019-07-05 | 无锡豪帮高科股份有限公司 | 一种适于环境颗粒物监测的激光传感器 |
| CN110764547A (zh) * | 2012-09-12 | 2020-02-07 | 颗粒加公司 | 混合颗粒感应自动恒温器 |
| CN112710597A (zh) * | 2020-12-01 | 2021-04-27 | 兰州空间技术物理研究所 | 一种适用于空间尘埃粒径测量的光学传感器结构设计方法 |
| CN113218826A (zh) * | 2021-05-24 | 2021-08-06 | 安徽工程大学 | 一种粒子计数器传感器的光路系统 |
| CN113310862A (zh) * | 2021-05-28 | 2021-08-27 | 中国矿业大学 | 一种基于拉曼光谱连续检测空气颗粒物的装置及方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101162195B (zh) * | 2007-11-16 | 2011-08-17 | 苏州华达仪器设备有限公司 | 尘埃粒子计数器 |
-
2004
- 2004-05-09 CN CN 200410018167 patent/CN1249420C/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (27)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102331394B (zh) * | 2010-07-12 | 2014-04-16 | 苏州工业园区鸿基洁净科技有限公司 | 一种大流量尘埃粒子计数器的光电传感器 |
| CN102331394A (zh) * | 2010-07-12 | 2012-01-25 | 苏州工业园区鸿基洁净科技有限公司 | 一种大流量尘埃粒子计数器的光电传感器 |
| CN102564928A (zh) * | 2012-01-09 | 2012-07-11 | 南通大学 | 光学粒子计数器的传感器 |
| CN102564928B (zh) * | 2012-01-09 | 2013-03-27 | 南通大学 | 光学粒子计数器的传感器 |
| CN110764547A (zh) * | 2012-09-12 | 2020-02-07 | 颗粒加公司 | 混合颗粒感应自动恒温器 |
| CN103196805B (zh) * | 2013-04-02 | 2015-09-16 | 青岛众瑞智能仪器有限公司 | 一种检测气溶胶质量浓度的光学装置 |
| CN103196805A (zh) * | 2013-04-02 | 2013-07-10 | 青岛众瑞智能仪器有限公司 | 一种检测气溶胶质量浓度的光学装置 |
| CN103196737B (zh) * | 2013-04-21 | 2016-01-20 | 青岛众瑞智能仪器有限公司 | 一种防止大颗粒杂质进入光学检测腔的装置和方法 |
| CN103196737A (zh) * | 2013-04-21 | 2013-07-10 | 青岛众瑞智能仪器有限公司 | 一种防止大颗粒杂质进入光学检测腔的装置和方法 |
| CN104266948A (zh) * | 2014-10-20 | 2015-01-07 | 崔海林 | 颗粒物传感器及颗粒物监测方法 |
| CN104949910A (zh) * | 2015-05-29 | 2015-09-30 | 广州埃克森生物科技有限公司 | 五分类血液分析仪光学系统 |
| CN104949910B (zh) * | 2015-05-29 | 2018-08-24 | 广州埃克森生物科技有限公司 | 五分类血液分析仪光学系统 |
| CN105466821A (zh) * | 2015-12-18 | 2016-04-06 | 盐城师范学院 | 光纤尘埃粒子传感器 |
| CN105466821B (zh) * | 2015-12-18 | 2018-04-17 | 盐城师范学院 | 光纤尘埃粒子传感器 |
| CN105865997A (zh) * | 2016-06-07 | 2016-08-17 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种基于前向散射原理的大气扬尘浓度测量装置及方法 |
| CN107543784A (zh) * | 2016-06-29 | 2018-01-05 | 霍尼韦尔国际公司 | 颗粒物质检测器 |
| CN107543784B (zh) * | 2016-06-29 | 2022-03-11 | 霍尼韦尔国际公司 | 颗粒物质检测器 |
| CN108426805A (zh) * | 2017-02-02 | 2018-08-21 | 霍尼韦尔国际公司 | 颗粒物质传感器中的前向散射 |
| CN108426809A (zh) * | 2018-02-28 | 2018-08-21 | 杭州电子科技大学 | 一种基于ccd侧向散射的全天候pm2.5浓度实时检测装置 |
| CN108375530A (zh) * | 2018-03-28 | 2018-08-07 | 南京工业大学 | 一种基于激光诱导荧光的生物气溶胶实时检测方法及装置 |
| CN109342300A (zh) * | 2018-11-29 | 2019-02-15 | 苏州苏信环境科技有限公司 | 一种光纤型空气粒子计数传感器系统 |
| CN109975187A (zh) * | 2019-04-18 | 2019-07-05 | 无锡豪帮高科股份有限公司 | 一种适于环境颗粒物监测的激光传感器 |
| CN112710597A (zh) * | 2020-12-01 | 2021-04-27 | 兰州空间技术物理研究所 | 一种适用于空间尘埃粒径测量的光学传感器结构设计方法 |
| CN113218826A (zh) * | 2021-05-24 | 2021-08-06 | 安徽工程大学 | 一种粒子计数器传感器的光路系统 |
| CN113218826B (zh) * | 2021-05-24 | 2024-04-23 | 安徽工程大学 | 一种粒子计数器传感器的光路系统 |
| CN113310862A (zh) * | 2021-05-28 | 2021-08-27 | 中国矿业大学 | 一种基于拉曼光谱连续检测空气颗粒物的装置及方法 |
| CN113310862B (zh) * | 2021-05-28 | 2022-03-22 | 中国矿业大学 | 一种基于拉曼光谱连续检测空气颗粒物的装置及方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1249420C (zh) | 2006-04-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN1249420C (zh) | 激光尘埃粒子计数器的微型光学传感器 | |
| CN2729694Y (zh) | 光散射式尘埃粒子测量仪的光学装置 | |
| CN101793669B (zh) | 大流量全半导体尘埃粒子计数器的光学传感器 | |
| US10670522B2 (en) | Micro object detection apparatus | |
| CN106556556B (zh) | 一种测量烟尘中颗粒的粒径和质量浓度的装置及方法 | |
| CN106769802B (zh) | 一种低光底噪大流量尘埃粒子计数器光学传感器 | |
| CN108956402B (zh) | 一种具有复合多光敏区结构的高灵敏度粉尘浓度检测方法 | |
| CN105466821B (zh) | 光纤尘埃粒子传感器 | |
| CN111795921B (zh) | 粒子计数器传感器光束匀化和锐化的照明系统 | |
| JP3436539B2 (ja) | 粒子分析のための改良型粒子センサ及び方法 | |
| CN114279920A (zh) | 激光颗粒物传感器 | |
| CN109870394A (zh) | 一种双光束气溶胶粒子浓度检测装置 | |
| CN2397489Y (zh) | 激光粉尘测量仪光学探头 | |
| CN113720735A (zh) | 一种便携式气溶胶粒径谱仪及其测量方法 | |
| KR102214552B1 (ko) | 미세입자탐지용 소형형광센서장치 | |
| CN1116601C (zh) | 光学尘埃粒子计数器的光学探头 | |
| CN112730180B (zh) | 一种具有双探测器的高灵敏度尘埃粒子计数传感器 | |
| CN115165683A (zh) | 一种气溶胶粒径分布测量方法和系统 | |
| CN2366845Y (zh) | 白光尘埃粒子计数器的高效光学探头 | |
| CN219065204U (zh) | 一种粒子计数器及粒子计数系统 | |
| CN108801377A (zh) | 一种针对特殊流体流速和流量测定的光学装置 | |
| CN113218826B (zh) | 一种粒子计数器传感器的光路系统 | |
| CN205209927U (zh) | 光纤尘埃粒子传感器 | |
| Molaie et al. | A review on newly designed mobile optical particle counters for monitoring of airborne particulate matter | |
| CN201532350U (zh) | 微粒检测装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20161227 Address after: 201800 Shanghai city Jiading District Qinghe Road No. 390 Patentee after: SHANGHAI DAHENG OPTICS AND FINE MECHANICS Co.,Ltd. Address before: 201800 Shanghai 800-211 post office box Patentee before: SHANGHAI INSTITUTE OF OPTICS AND FINE MECHANICS CHINESE ACADEMY OF SCIENCES |
|
| TR01 | Transfer of patent right | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20170511 Address after: 201821, room 6, building 1288, Yecheng Road, Jiading District, Shanghai, Patentee after: SHANGHAI LASENSOR PHOTOELECTRIC TECHNOLOGY CO.,LTD. Address before: 201800 Shanghai city Jiading District Qinghe Road No. 390 Patentee before: SHANGHAI DAHENG OPTICS AND FINE MECHANICS Co.,Ltd. |
|
| TR01 | Transfer of patent right | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20220215 Address after: 201616 floor 1-5, No. 6, Lane 4855, Guangfulin Road, Xiaokunshan Town, Songjiang District, Shanghai Patentee after: SHANGHAI LAIDI TECHNOLOGY Co.,Ltd. Address before: 201821 room j832, building 6, No. 1288, Yecheng Road, Jiading District, Shanghai Patentee before: SHANGHAI LASENSOR PHOTOELECTRIC TECHNOLOGY CO.,LTD. |
|
| TR01 | Transfer of patent right | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20220321 Address after: 201821 room j832, building 6, No. 1288, Yecheng Road, Jiading District, Shanghai Patentee after: SHANGHAI LASENSOR PHOTOELECTRIC TECHNOLOGY CO.,LTD. Patentee after: SHANGHAI LAIDI TECHNOLOGY Co.,Ltd. Address before: 201821 room j832, building 6, No. 1288, Yecheng Road, Jiading District, Shanghai Patentee before: SHANGHAI LASENSOR PHOTOELECTRIC TECHNOLOGY CO.,LTD. |
|
| CX01 | Expiry of patent term | ||
| CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20060405 |