KR20130134243A - 미세오염물질 샘플링 셀 및 이를 포함하는 광 계측장치 - Google Patents

미세오염물질 샘플링 셀 및 이를 포함하는 광 계측장치 Download PDF

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KR20130134243A
KR20130134243A KR1020120057631A KR20120057631A KR20130134243A KR 20130134243 A KR20130134243 A KR 20130134243A KR 1020120057631 A KR1020120057631 A KR 1020120057631A KR 20120057631 A KR20120057631 A KR 20120057631A KR 20130134243 A KR20130134243 A KR 20130134243A
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송순호
김미진
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Abstract

미세오염물질 샘플링 셀 및 이를 포함하는 광 계측장치가 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따른 미세오염물질 샘플링 셀은, 계측대상인 미세오염물질 및 광이 통과할 수 있는 직선상의 계측경로를 형성한 양단이 개구된 도관을 포함하며, 도관은 그 도관으로 계측대상 미세오염물질을 도입시키고 배출되도록 하는 계측대상물 주입구와 배출구를 구비하며, 외부 광이 상기 계측경로로 투과될 수 있도록 하는 윈도우 파트가 도관의 양단 개구 측에 설치되되, 윈도우 파트에는 노즐형 공기 주입실이 형성된 것을 구성의 요지로 한다.

Description

미세오염물질 샘플링 셀 및 이를 포함하는 광 계측장치{Particle sampling cell and Laser measurement system contains the same}
본 발명은 미세오염물질 샘플링 셀에 관한 것으로, 상세하게는 미세한 크기의 오염물질 농도 분포 등을 계측함에 있어 이용되는 광 계측장치의 미세오염물질 샘플링 셀 및 이와 같은 미세오염물질 샘플링 셀은 포함하여 구성되는 광 계측장치에 관한 것이다.
미세입자가 인간의 건강에 해로운 영향을 미친다는 것이 의학적으로 증명됨에 따라, 미세입자의 발생률을 낮추는 기술뿐 아니라 직경이 작은 미세입자의 농도 분포를 계측하는 계측 기법이 요구되고 있으며, 따라서 이에 대한 많은 연구가 활발하게 이루어지고 있다. 특히 광학적 계측 분야는 실시간 계측 및 현장 계측이 가능하다는 이점으로 인해 연구가 더욱 활발하게 이루어지고 있다.
광계측 기법을 적용한 오염물질의 계측은 주로, 측정대상 공간 내 미세오염물질을 포함하는 샘플 공기를 시험관 내 경로를 따라 흐르도록 강제 주입하고 여기에 광(光)을 조사함으로써, 미세오염물질의 분포, 밀도에 따라 달라지는 시험관을 투과하는 광량을 측정하고, 이를 기초로 측정대상 공간 내에서의 미세입자의 농노 분포를 산출해내는 형태로 행해진다.
그러나 측정대상 공간 내의 공기에 포함된 미세오염물질의 점도가 높을 경우에는, 위와 같은 광계측 기법을 적용하여 오염물질을 계측함에 있어 상기 시험관 측으로 빛이 투과되도록 하는 광 계측 기기의 광학창(윈도우) 표면에 미세오염물질이 점착되어 광학창의 오염이 유발되고, 이에 따라 광학창을 투과하는 광량의 감소로 인한 계측 감도의 저하가 지속적으로 발생되는 문제가 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 광학창 표면에 대한 미세오염물질 점착의 효과적인 방지를 도모할 수 있고, 이에 따라 미세오염물질 정확한 계측 감도의 지속적 유지를 도모할 수 있도록 하는 것이다.
과제 해결을 위한 수단으로서 본 발명의 일 측면에 따르면, 계측대상인 미세오염물질 및 광이 통과할 수 있는 직선상의 계측경로를 형성한 양단이 개구된 도관을 포함하며, 상기 도관은 이 도관으로 계측대상 미세오염물질을 도입시키고 배출되도록 하는 계측대상물 주입구와 배출구를 각각 구비하고, 외부로부터의 광이 상기 계측경로로 투과될 수 있도록 하는 윈도우 파트가 도관의 양단 개구 측에 설치되되, 상기 윈도우 파트에는 미세오염물질의 점착방지를 위한 노즐형 공기 주입실이 형성되는 것을 특징으로 하는 미세오염물질 샘플링 셀을 제공한다.
본 발명의 일 측면에서 상기 주입구와 배출구는 상기 계측경로와 수직으로 직교하는 방향을 따라 도관을 중심으로 상호 대향되게 설치될 수 있다.
그리고 상기 윈도우 파트는, 광 투과성 재질의 광학창과, 상기 광학창에 미세오염물질이 점착되는 것을 방지하기 위해, 외부로부터 도입되는 공기의 흐름를 이용하여 상기 광학창 전방으로 차압이 발생되도록 하는 상기 노즐형 공기 주입실로 이루어진 구성일 수 있다.
이때, 상기 광학창의 광축 중심이 계측경로를 형성한 도관 중심과 일치하도록 장치를 구성함이 바람직하다.
상기 노즐형 공기 주입실은, 광학창 안쪽으로 형성되는 챔버를 포함하며, 상기 광학창과 인접한 위치에 상기 챔버로 외부로부터의 공기도입을 위한 입구를 갖고, 상기 광학창의 광축 중심으로부터 연장 이격된 축선상에 도관의 계측경로를 향해 좁아지는 유로를 갖는 노즐형 출구가 형성된 구성일 수 있다.
바람직하게, 상기 입구를 출구 측을 향해 비스듬하게 일향 경사진 구성으로 형성시키면, 광학창 전방으로 차압을 발생시킴에 있어 보다 유리하다.
또한, 일 측면에서 상기 노즐형 공기 주입실로 도입되는 공기는 일정 온도 이상으로 가열된 핫에어(Hot air)일 수 있다.
과제 해결을 위한 수단으로서 본 발명의 다른 측면에 따르면, 광을 조사하는 광원, 광원에서 조사된 광을 2축 방향으로 분광하는 분광기, 분광기에 의해 분광된 광 중 어느 한 광이 이동하는 광경로 상에 설치되는 상기 일 측면에 따른 미세오염물질 샘플링 셀, 미세오염물질 샘플링 셀을 투과한 광을 수광하는 제1 수광부 및, 분광기에 의해 분광된 광 중 상기 미세오염물질 샘플링 셀을 투과하지 않는 나머지 다른 하나의 광을 수광하는 제2 수광부를 포함하여 구성되는 광 계측장치를 제공한다.
본 발명의 다른 측면에서는 상기 분광기에 의해 2축 방향으로 분광된 각각의 광경로 상에 설치되어 분광된 각 광이 상기 제1, 제2 센싱부 향하도록 반사시키는 광 반사판을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 미세오염물질 샘플링 셀 및 이를 포함하는 광 계측장치에 의하면, 미세오염물질이 샘플링 되는 구간(도관 내부) 좌, 우 양측으로 광투과를 위한 윈도우 파트가 설치된 구성을 이루되, 상기 윈도우 파트에 구비되는 노즐형 공기 주입실에 의한 차압 형성으로 광학창 표면에 미세오염물질이 점착되는 것이 방지되고, 따라서 미세오염물질 계측 감도의 정확성이 지속적으로 유지되는 장치의 구현이 가능하다.
다시 말해, 윈도우 파트의 상기 노즐형 공기 주입실로 도입된 공기가 샘플링 구간(도관 내부)으로 빠져나감에 있어 광학창 전방으로 형성되는 부분 진공으로 인하여 광학창 측으로 역류된 점도 높은 미세오염물질이 상기 광학창 표면에 점착되는 것을 효과적으로 방지할 수 있으며, 따라서 미세오염물질 점착으로 인한 계측 감도의 저하와 같은 종래 문제점이 명확하게 해소될 수 있다.
더욱이, 구조적 측면에 봤을 때 노즐형 구조의 채택으로 인하여, 광 또는 미세오염물질의 분포에 영향을 미치지 않을 정도의 미량의 공기 만으로도 미세오염물질의 점착을 방지할 수 있을 정도의 충분한 차압을 형성시킬 수 있으며, 미세오염물질 온도보다 높은 온도를 유지하는 핫에어를 차압 형성을 위한 작동기체로 적용함으로써 열영동에 의한 입자 유입도 막을 수 있어 광학창의 오염을 보다 확실하게 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 측면에 따른 미세오염물질 샘플링 셀의 분해 사시도.
도 2는 도 1에 따른 미세오염물질 샘플링 셀의 결합 사시도.
도 3은 도 2에 나타난 미세오염물질 샘플링 셀을 A-A선 방향에 에서 바라본 단면도.
도 4는 도 3에 나타난 미세오염물질 샘플링 셀에 적용된 윈도우 파트의 바람직한 다른 실시예를 나타내는 도면.
도 5는 본 발명의 다른 측면에 따른 광 계측장치의 전체적인 구성을 개략적으로 도시한 개략도 구성도.
도 6은 본 발명의 효과를 나타내기 위한 그래프.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 본 발명을 설명함에 있어 공지된 구성에 대해서는 그 상세한 설명은 생략하며, 또한 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 소지가 있는 구성에 대해서도 그 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 측면에 따른 미세오염물질 샘플링 셀의 분해 사시도이며, 도 2는 도 1에 따른 미세오염물질 샘플링 셀의 결합 사시도이다. 그리고 도 3은 도 2에 나타난 미세오염물질 샘플링 셀을 A-A선 방향에 에서 바라본 단면도이다. 이들 도면을 참조하여 먼저 일 측면에 따른 미세오염물질 샘플링 셀 구성에 대해 살펴보기로 한다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 일 측면에 따른 미세오염물질 샘플링 셀(3)은, 계측대상인 미세오염물질과 광이 통과할 수 있는 직선상의 계측경로를 형성한 도관(30)을 포함한다. 도관(30)의 양단은 개구되어 있으며, 양단의 개구 측에 근접하여 계측대상물(미세오염물질을 포함하는 공기)이 주입되는 주입구(31)와 계측 완료 후 계측대상물이 빠져나갈 수 있도록 배출구(32)가 각각 형성된다.
주입구(31)와 배출구(32)는 도관(30)의 길이방향을 따라 형성되는 상기 계측경로와 수직으로 직교하는 방향을 따르면서 상기 도관(30)을 중심으로 상호 대향 배치되는 형태로 설치될 수 있다. 바람직하게, 주입구(31)를 상기 도관(30)의 일단 개구 측 위에 배치하고 배출구(32)를 주입구(31)에서 사선 방향으로 이격된 도관(30)의 타단 개구 측 아래에 배치하도록 구성하면, 계측대상물의 원활한 유동성을 확보함에 있어 유리하다.
도관(30)은 내부에 위와 같이 직선형 계측경로를 형성한 속이 빈 중공의 튜브(또는 파이프)구조라면 특정 재질에 상관 없이 적용 가능하지만, 도관(30) 내부에서의 계측대상물의 유동 및 분포를 육안으로 직접 확인해 가면서 계측이 이루어질 수 있도록 하고 또한, 도관(30) 벽면에 계측대상물에 포함된 미세오염물질이 어느 정도 점착되었는지 확인 가능하도록, 투명하여 내부를 볼 수 있는 유리관 또는 합성수지 재질의 투명관일 수 있다.
도관(30)의 양측 개구단에는 각각의 개구를 폐쇄하면서 외부로부터의 광이 상기 계측경로를 투과할 수 있도록 기능하는 윈도우 파트(35)가 설치된다. 윈도우 파트(35)는 미세오염물질의 점착방지를 위한 노즐형 공기 주입실(37)을 형성한 구성을 갖고, 노즐형 공기 주입실(37)은 도입 공기의 흐름을 이용하여 광이 투과되는 광학창(36) 전방의 공간으로 차압을 형성시키는 기능을 하며, 그 형성된 차압으로 인해 광학창(36) 표면에 미세오염물질의 점착이 방지된다.
윈도우 파트(35)는 구체적으로, 외부 광이 투과할 수 있도록 광 투과성 재질의 광학창(36)과, 도관(30) 내부를 향해 배치된 상기 광학창(36)의 일측 표면으로 미세오염물질이 점착되는 것을 방지하기 위해 공기의 흐름를 이용하여 상기 광학창(36) 전방으로 차압을 발생시키는 전술한 노즐형 공기 주입실(37)로 구성되며, 이때 상기 광학창(36)의 광축 중심과 계측경로를 형성한 도관(30) 중심이 일치한다.
따라서 도관 일측에 설치된 윈도우 파트 광학창(36)으로 그 광학창(36)의 광축에 대해 평행하게 외부에서 광이 조사되면, 그 조사된 광은 도관 일측 윈도우 파트(35)의 상기 광학창(36)을 통해 도관(30) 내부의 계측경로를 투과하고 도관 반대측에 설치된 윈도우 파트(35)의 광학창(36)을 통해 밖으로 빠져 나온다. 이 과정에서 도관(30)을 투과함에 있어 약해지는(또는 손실되는) 광의 세기(또는 광 손실량)에 기반하여 미세오염물질을 계측하게 되는 것이다.
노즐형 공기 주입실(37)은 구체적으로 도면의 도시와 같이, 광학창(36) 안쪽으로 형성되는 챔버(370)를 포함하며, 상기 광학창(36)과 인접한 위치에 상기 챔버(370)로 외부공기 도입을 위한 입구(372)를 갖고, 상기 광학창(36)의 광축 중심으로부터 연장된 축선상에 도관(30)의 상기 계측경로를 향해 좁아지는 유로를 갖는 노즐형 출구(374)가 형성된 구성일 수 있다.
챔버(370) 내부로 공기 도입을 위한 입구를 형성시킴에 있어서는, 도 4의 바람직한 다른 예의 도시와 같이, 입구(372)가 출구(374) 측을 향해 비스듬하게 일향 경사지도록 형성하는 것이 좋다. 출구(374) 측을 향해 입구(372)가 비스듬한 경사 배치를 이루면, 입구를 통해 도입된 공기가 출구 측으로 방향전환하는 과정에서의 미소한 압력손실이 최소화되므로, 미량의 공기 만으로도 충분한 차압을 형성시킬 수 있기 때문이다.
한편, 차압 형성을 위해 상기 노즐형 공기 주입실(37)로 도입되는 공기는 일정 온도 이상으로 가열된 핫에어(Hot air)가 바람직하다. 구체적으로, 핫에어의 온도는 계측대상 미세오염물질 온도보다 높게 유지되는 것일 수 있다. 차압 형성을 위한 작동기체로서 미세오염물질 온도보다 높은 온도로 유지되는 핫에어를 이용하면, 열영동에 의한 입자 유입을 막을 수 있어 광학창(36)의 오염을 보다 확실하게 방지할 수 있다.
다음은 전술한 일 측면에 따른 미세오염물질 샘플링 셀을 포함하여 구성되는 본 발명의 다른 측면인 광 계측장치에 대해 살펴보기로 한다.
도 5는 본 발명의 다른 측면에 따른 광 계측장치의 전체적인 구성을 개략적으로 도시한 개략도 구성도이다
도 5를 참조하면, 본 발명의 다른 측면에 따른 광 계측장치는, 광원(1), 분광기(2), 전술한 일 측면에 따른 미세오염물질 샘플링 셀(3)(이하, '샘플링 셀'이라 함), 제1 수광부(5), 제2 수광부(6), 그리고 둘 이상의 광 반사판(4) 예컨대, 거울을 포함하여 구성된다. 이때 상기 광원(1)에서는 미세오염물질 계측을 위한 일정 조도를 갖는 광이 빔(beam) 형태로 조사되고, 분광기(2)는 상기 광원(1)에서 조사된 광을 2축 방향으로 분광시킨다.
샘플링 셀(3)은 분광기(2)에 의해 2축 방향으로 분광된 광 중 어느 한 광이 이동하는 광경로(수평방향으로 광이 이동하는 경로를 예를 들어 도시함) 상에 설치되어 광을 제공받고, 제1 수광부(5)는 샘플링 셀(3)을 투과한 광을 광 반사판(4)을 통해 수광한다. 그리고 분광된 광 중 나머지 샘플링 셀(3)을 투과하지 않는 다른 하나의 광은 광 반사판(4)을 통해 제2 수광부(6)에 그대로 전달된다.
즉, 광원(1)에서 조사되고 분광기(2)를 통해 2축 방향으로 분광된 광 중 하나(샘플링 셀(3)을 투과하는 광)는 계측을 위한 광이 되는 것이고, 다른 하나(샘플링 셀(3)을 투과하지 않는 광)는 샘플링 셀(3)을 투과하는 광과의 비교를 위한 기초 광이 된다. 따라서 제1 수광부(5)와 제2 수광부(6)가 수광하는 광의 세기를 비교하는 것으로, 샘플링 셀(3)을 투과함에 있어 손실되는 광량과 이를 통한 미세오염물질의 농도 분포를 산출할 수 있다.
도 6은 본 발명의 효과를 나타내기 위한 그래프로서, 도 6에서 파란선으로 표시된 데이터는 노즐형 공기 주입실을 갖는 윈도우 파트를 적용한 경우에 있어서의 시간에 따른 광의 신호 세기 변화를 나타내고, 붉은선으로 표시된 데이터는 노즐형 공기 주입실이 형성되지 않은 경우에 있어서의 시간에 따른 광의 신호 세기 변화를 나타낸다.
도 6의 그래프를 보면, 광 계측장치에 본 발명의 핵심인 노즐형 공기 주입실을 갖는 윈도우 파트를 적용한 경우가 노즐형 공기 주입실을 형성하지 않은 광 계측장치에 비해 훨씬 높은 신호세기를 상당시간 지속적으로 유지하는 것을 명확히 알 수 있다.
즉, 약 2분경과 후 계측대상인 미세오염물질이 도관으로 유입되기 시작하면 양 자 모두 순간적으로 감도가 감소하기는 하지만, 노즐형 공기 주입실이 형성되지 않은 경우는 신호 세기가 지속적으로 감소하는 반면, 노즐형 공기 주입실이 형성된 경우를 보면 약 90% 수준의 감도를 지속적으로 유지함을 알 수 있다.
그래프에서 약 20분 경과 시점에서의 신호 세기의 회복 구간은 샘플링 셀 퍼징(fuzzing)을 위해 클린 에어(Clean air)를 주입한 시점으로서, 노즐형 공기 주입실이 형성되지 않은 경우를 보면 클린 에어를 주입 하여도 원래의 감도를 회복하지 못하고 80% 수준에 머물러 있는 반면, 노즐형 공기 주입실이 형성된 경우를 보면 100% 가까운 최초 상태로 신호 세기가 회복된 것을 명확히 알 수 있다.
위와 같은 비교 실험 결과를 종합해 보면, 우수한 신호 세기를 상당시간 지속적으로 유지하는 것으로 미루어, 본 발명의 핵심인 노즐형 공기 주입실을 갖는 윈도우 파트를 적용했을 경우 노즐형 공기 주입실 형성에 의한 광학창 전면 공간에 차압의 형성으로 인하여, 높은 계측 감도를 지속적으로 유지시킬 수 있을 정도의 충분한 미세오염물질 점착방지 효과가 발현되는 것으로 해석할 수 있다.
이상에서 살펴본 본 발명의 실시예에 따르면, 미세오염물질이 샘플링 되는 구간(도관 내부) 좌, 우 양측으로 광투과를 위한 윈도우 파트가 설치된 구성을 이루되, 상기 윈도우 파트에 구비되는 노즐형 공기 주입실에 의한 차압의 형성으로 광학창 표면에 미세오염물질이 점착되는 것이 방지되고, 이에 따라 미세오염물질 계측 감도의 정확성이 지속적으로 유지되는 장치를 구현할 수 있다는 효과가 있다.
다시 말해, 윈도우 파트의 상기 노즐형 공기 주입실로 도입된 공기가 샘플링 구간(도관 내부)으로 빠져나감에 있어 광학창 전방으로 형성되는 부분 진공으로 인하여 광학창 측으로 역류된 점도 높은 미세오염물질이 상기 광학창 표면에 점착되는 것을 효과적으로 방지할 수 있으며, 따라서 미세오염물질 점착으로 인한 계측 감도의 저하와 같은 종래 문제점이 명확하게 해소될 수 있다.
더욱이, 구조적 측면에 봤을 때 노즐형 구조의 채택으로 인하여, 광 또는 미세오염물질의 분포에 영향을 미치지 않을 정도의 미량의 공기 만으로도 미세오염물질의 점착을 방지할 수 있을 정도의 충분한 차압을 형성시킬 수 있으며, 미세오염물질 온도보다 높은 온도를 유지하는 핫에어를 차압 형성을 위한 작동기체로 적용함으로써 열영동에 의한 입자 유입도 막을 수 있어 광학창의 오염을 보다 확실하게 방지할 수 있다.
이상의 본 발명의 상세한 설명에서는 그에 따른 특별한 실시 예에 대해서만 기술하였다. 하지만 본 발명은 상세한 설명에서 언급되는 특별한 형태로 한정되는 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 오히려 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
1 : 광원 2 : 분광기
3 : 샘플링 셀 4 : 광 반사판
5 : 제1 수광부 6 : 제2 수광부
30 : 도관 31 : 계측물질 주입구
32 : 계측물질 배출구 35 : 윈도우 파트
36 : 광학창 37 : 노즐형 공기 주입실
370 : 챔버 372 : 입구
374 : 출구

Claims (9)

  1. 계측대상인 미세오염물질 및 광이 통과할 수 있는 직선상의 계측경로를 형성한 양단이 개구된 도관을 포함하고, 상기 도관은 이 도관으로 계측대상 미세오염물질을 도입시키고 배출되도록 하는 계측대상물 주입구와 배출구를 각각 구비하며, 외부로부터의 광이 상기 계측경로로 투과될 수 있도록 하는 윈도우 파트가 상기 도관의 양단 개구 측에 설치되되, 상기 윈도우 파트에는 미세오염물질 점착방지를 위한 노즐형 공기 주입실이 형성되는 것을 특징으로 하는 미세오염물질 샘플링 셀.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 주입구와 배출구는 상기 계측경로와 수직으로 직교하는 방향을 따르면서 도관을 중심으로 상호 대향되게 설치되는 것을 특징으로 하는 미세오염물질 샘플링 셀.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 윈도우 파트는,
    광 투과성 재질의 광학창과;
    광학창에 미세오염물질이 점착되는 것을 방지하기 위해, 외부로부터 도입되는 공기의 흐름를 이용하여 상기 광학창 전방으로 차압이 발생되도록 하는 상기 노즐형 공기 주입실;로 구성되는 것을 특징으로 하는 미세오염물질 샘플링 셀.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 광학창의 광축 중심이 계측경로를 형성한 도관 중심과 일치하도록 된 것을 특징으로 하는 미세오염물질 샘플링 셀.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 노즐형 공기 주입실은,
    광학창 안쪽으로 형성되는 챔버를 포함하며, 상기 광학창과 인접한 위치에 상기 챔버로 외부로부터의 공기도입을 위한 입구를 갖고, 상기 광학창의 광축 중심으로부터 연장된 축선상에 도관의 계측경로를 향해 좁아지는 유로를 갖는 노즐형 출구가 형성된 구성인 것을 특징으로 하는 미세오염물질 샘플링 셀.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 입구는 출구를 향해 비스듬하게 일향 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는 미세오염물질 샘플링 셀.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 노즐형 공기 주입실로 도입되는 공기는 일정 온도 이상으로 가열된 핫에어(Hot air) 인 것을 특징으로 하는 미세오염물질 샘플링 셀.
  8. 광을 조사하는 광원;
    광원에서 조사된 광을 2축 방향으로 분광하는 분광기;
    분광기에 의해 분광된 광 중 어느 한 광이 이동하는 광경로 상에 설치되는 상기 제1항 내지 제7중 어느 하나의 항에 기재된 미세오염물질 샘플링 셀;
    미세오염물질 샘플링 셀을 투과한 광을 수광하는 제1 수광부; 및
    분광기에 의해 분광된 광 중 상기 미세오염물질 샘플링 셀을 투과하지 않는 나머지 다른 하나의 광을 수광하는 제2 수광부;를 포함하여 구성되는 광 계측장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    분광기에 의해 2축 방향으로 분광된 각각의 광경로 상에 설치되어 분광된 각 광이 상기 제1, 제2 센싱부 향하도록 반사시키는 광 반사판;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광 계측장치.
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