JP6480476B2 - パージガス保護装置を有するガスセンサ用プローブ - Google Patents

Description

発光体および検出器を含む赤外線または紫外線センサ用である、レンズを含むプローブが記載される。検出器は、放射光が測定対象のガスを通過した後、その放射光のスペクトルを検出する。本発明のセンサは、過酷な環境または浸食性環境などに特に適しており、例えば、船舶、車両、煙突などの排ガスを測定し、排ガスからの粒子などが光学系に堆積するのを防止する、精密光学部品用のパージガス保護装置を含む。センサはさらに、パージガスが測定で推測するのを防止するように適合された、測定対象のガスからの試料ガスの流れを有する。

ガスによる放射光のスペクトル吸収の測定を基本とするガスセンサの一例が、米国特許出願公開第２００８／０２８３７５３号明細書に記載されており、第１のフィルタの通過帯域は、第２のフィルタの通過帯域内に配置され、評価装置が信号の差分を生成し、その差分を信号に対して正規化する。

しかし、船舶、車両等の排気システムなどの比較的過酷な環境でそのようなセンサを使用することで、精密部品に損傷を与えるか、または単に精密部品の寿命を縮めることがある様々な粒子およびガスを含み得る排気筒内の環境に精密部品がさらされる。１つの選択肢は、精密部品が過酷な環境から隔離されるように、点検窓で部品を保護することであるが、この場合、点検窓の透明性が粒子などの定着により経時的に低下することがある。

ガスセンサの別の例には、光がプローブに沿ってミラーまで送られ、反射して装置の計測器まで戻るように、端部にミラーを有するプローブを開示する光度計を開示するカナダ特許第９８４１７３号明細書がある。プローブは、ガスの自由通過を可能にする多数の穴と、プローブを浄化するキャリブレーション用空気管とを有する。パージガスは、パージガスが供給される穴を覆う外部配置部分から測定領域に流入する。この構造の欠点は、例えば、ガスが測定領域に自由に移動すると、自由に流れるガスによる圧力に打ち勝つには大きい圧力が必要であるため、キャリブレーション中に測定領域からガスを取り除くのが困難になる。

別の例には、分流システムを示す独国特許第１０ ２０１２ ２１５ ８０５号明細書があり、この分流システムでは、センサの２つの部分が、ガス収容領域の両側に配置されて、想定されるキャリブレーション中に（ガス収容領域である）測定領域からガスを取り除くことをいっそう不可能にする。

本発明は、そのような問題を解決するプローブを提供する。

本発明は、放射光を第１のパージガス空間および測定領域に通すための光路を有するプローブを含むガスセンサに関し、プローブは、パージガスが第１のパージガス空間に流入し、かつ試料ガスが測定領域を流れるように適合され、測定領域に存在する測定対象のガスは、測定領域に向かう方向に流れるパージガスによって、第１のパージガス空間に流入するのを妨げられる。精密部品（すなわち、光学部品であるが、それに限定されない）が第１のパージガス空間によって測定領域から隔てられるように精密部品を配置することによって、パージガスの流れは、測定領域からのガスが精密部品に達するのを防止する。

測定領域が、過酷な環境であるガス収容環境に直通せず、そのため、流れ状態などが制御可能であり、測定領域へのガスのそれぞれの流れを調整することで、ガスの流れが一様になるか、またはガスの流れの一部もしくはすべてが異なるようになるのを可能にするのを保証するために、プローブは、測定対象のガスの流れと流れ連通している試料入り口を含み、この試料入り口は、試料ガス管と流れ連通しており、試料入り口は、測定対象のガスの流れが無誘導で試料入り口に流入しようとすることがないように配置される。したがって、試料入り口が、測定対象のガスの流れの方向に配置されるのではなく、むしろ、試料ガスが、測定対象のガスの流れ方向に比較して約４５°以上の角度で横方向に試料入り口からプローブに流入する。

しばしば、センサをキャリブレーションすることが必要とされるため、本発明は、すでに存在するパージガスを利用して、このパージガスをキャリブレーションガスとして使用し、その結果、センサは、動作モードおよびキャリブレーションモードで動作することができ、試料ガスは、動作モードでのみ測定領域を通過するが、パージガスは、動作モードおよびキャリブレーションモードの両方で流れる。

センサは、第１のパージガス空間と同様であり、別の精密部品を保護する第２のパージガス空間、または精密部品の数量と、光路などに対する精密部品の位置とに応じて、なおもさらなるパージガス空間を含むことができる。

バージガス空間でのパージガスの一様な分散、ひいては、乱流のない流れを保証するために、プローブは、パージガスをパージガス空間に供給するための供給路を含み、供給路は、第１のパージガス空間を囲み、測定領域に近い端部に位置する点状入り口を有する包囲部分を含み、パージガスは、点状入り口から包囲部分の全周に拡散し、かつ測定領域から遠い端部でパージガス空間に流入する。

キャリブレーションモードにおいて、キャリブレーション測定を妨害するガスを測定領域から取り除く場合に、キャリブレーションモードは、試料ガスが測定領域に流入するのを止めることと、測定領域から試料ガスを取り除くために、パージガスが所与の期間にわたって流れるようにすることと、次いでキャリブレーション測定を行うこととを含む。

環境からの測定対象のガスが、キャリブレーション中にプローブに流入するのを防止するために、パージガスの流れは、通常、十分なバリアを形成するが、パージガスの流れに対する一実施形態では、キャリブレーション中に増大し、したがって、この保護を改善する。

清浄で乾燥したパージガスを保証するために、パージガスは、第１および第２の包囲路に流入する前に乾燥され、および任意選択的にフィルタにかけられ、したがって、キャリブレーション測定に影響を及ぼす恐れのある湿気および他の成分が除去される。

後部およびプローブを含む本発明によるセンサである。 第１および第２のパージガス空間を通る光路を示す、ガスセンサ用プローブの一態様の実施形態の図である。 パージガス供給路の第１および第２のパージガス空間を示す、ガスセンサ用プローブの第２の態様の実施形態の図である。 点状の入り口からパージガス空間を包囲するパージガス供給路の図である。 測定領域に近い位置で流入し、測定領域から遠い位置でパージガス空間に流入するパージガスを示す包囲パージガス供給路の図である。

図１は、後部（２２）および本発明によるプローブ（１）を有するセンサ（２０）の外部図を示し、プローブ部（１）は、例えば、排ガスと接続して挿入されるように適合されている。プローブ（１）は、それぞれ開口を有するプローブ（１）のフランジ（２１）とセンサ（２０）とによってセンサ（２０）に取り付けられ、この開口では、ナットおよびボルトを使用して、２つの部分同士を固定することができる。ただし、これらの部分を取り付ける他の任意の手段も本発明に適用される。

図２は、本発明によるプローブ（１）の実施形態の平面図を示している。

プローブ（１）は、レンズ（２）に合わせて配置された光源および検出器システムを含む。検出器は、レンズ（２）から反射器（３）に達する破線矢印で示す光路に沿って、レンズ（２）を通って反射器（３）に向かう光を放射し、光は、反射器（３）で反射して、レンズ（２）に向かって戻り、レンズ（２）を通って検出器に戻る。検出器および光源は示されていない。放射光は、第１のパージガス空間（４ａ）、測定領域（５）、および第２のパージガス空間（４ｂ）を通る。

第１のパージガス空間（４ａ）および第２のパージガス空間（４ｂ）は、測定領域（５）と、それぞれレンズ（２）および反射器（３）との間に配置されている。パージガス（７）は、測定領域（５）に向かう方向で、各パージガス空間（４ａ、４ｂ）内を流れ、したがって、パージガスの流れにより、測定領域（５）のガスまたは他の物質および粒子が、パージガス空間（４ａ、４ｂ）に流入するのを防止し、このパージガスの流れは、こうして、それぞれレンズ（２）および反射器（３）のための保護装置またはカーテンを形成する。このように、パージガス（７）は、基本的に、少なくともパージガス空間（４ａ、４ｂ）の領域において、光路に平行な方向に流れる。

本発明の一部の実施形態では、プローブ（１）は、第１のパージガス空間（４ａ）および第２のパージガス空間（４ｂ）を全く含まないか、または１つのみ含む。

パージガス（７）は、システムに送られた（例えば、フィルタにかけられるか、または清浄された）特定のガスまたは空気のみとすることができる。

プローブ（１）は、測定対象のガス（９）の流れと流れ連通した試料入り口（８ａ）を含み、この試料入り口（８ａ）は、３つの分岐（１０ａ、１０ｂ、１０ｃ）によって測定領域（５）に接続された試料ガス管（１０）と流れ連通している。一実施形態での各分岐は、流れ制限が異なるか、あるいは図示した実施形態と同様に、試料ガス管（１０）は、分岐（１０ａ、１０ｂ、１０ｃ）間の部分で流れ制限を変える。（例えば、ベンチュリポンプによって、ガス（９）の流れから試料入り口（８ａ）に引き込まれるなど）試料入り口（８ａ）に流入した試料ガス（６）は、分岐（１０ａ、１０ｂ、１０ｃ）によって、測定領域（５）に流入する３つの流れに分流される。分岐（１０ａ、１０ｂ、１０ｃ）における異なる流れ制限を用いて、３つの流量（６ａ、６ｂ、６ｃ）が同じであるように、あるいは３つの流量（６ａ、６ｂ、６ｃ）の２つまたはすべてが異なるように、個々の３つの流量（６ａ、６ｂ、６ｃ）を調整することが可能である。

図示した実施形態では、分岐（１０ａ、１０ｂ、１０ｃ）は、試料ガス管（１０）と測定領域（５）との間に壁として配置された２つの「流れガイド」によって形成され、異なる流れ制限は、試料ガス管（１０）の方を向いたこれらの「流れガイド」の壁の傾斜によって生じ、したがって、流れガイドの断面積を変え、それにより、流れを制限する。代替の実施形態では、長さおよび／または内径が異なるガラス製毛細管を挿入することなどを導入することができる。

図示した実施形態は、試料ガス（６）を３つの流れ（６ａ、６ｂ、６ｃ）に分流する３つの分岐（１０ａ、１０ｂ、１０ｃ）を示しているが、代替の実施形態は、２つの流れ（６ａ、６ｂ）および２つの分岐（１０ａ、１０ｂ）のみを含む。この実施形態では、第１の流れ（６ａ）は、第１のパージガス空間（４ａ）に近い領域で測定チャンバ（５）に流入し、第２の流れ（６ｂ）は、第２のパージガス空間（４ｂ）に近い領域で測定チャンバ（５）に流入しており、第１の流れ（６ａ）および第２の流れ（６ｂ）は、この態様で、それぞれ第１のパージガス空間（４ａ）および第２のパージガス空間（４ｂ）から測定領域（５）に流入したパージガス（７）を除去し、特に、測定領域（５）の中央領域からパージガス（７）を除去するように適合され、そのため、この中央領域は、パージガス（７）と混ざっていない試料ガス（６）を含む。試料ガス（６）がパージガス（７）と混ざると、試料ガス（６）の濃度が変わり、それにより、測定が影響を受ける。一方、多くの場合、第１の流れ（６ａ）および第２の流れ（６ｂ）のみを有する試料ガス（６）を用いて中央領域を満たすのが困難であることが認められ、したがって、このために、本発明の図示した実施形態では、第３の分岐（１０ｃ）が導入されて、中央領域に注ぎ込む第３の流れ（６ｃ）を形成している。

試料ガス（６）が測定領域（５）を出た後、プローブ（１）から試料ガス（６）を排出するための試料出口（８ｂ）は、測定対象のガス（９）の流れと流れ連通して配置される。

測定領域（５）は、測定領域（５）を試料出口（８ｂ）に接続する試料ガス管（１０）の一部分である少なくとも２つの出口分岐（１０ｄ、１０ｅ）によって、試料出口（８ｂ）に接続されている。測定領域（５）を満たすように、流れ（６ａ、６ｂ、６ｃ）を案内して、正しく測定領域（５）に通すのに、２つのみの出口分岐（１０、１０ｅ）があるのが好ましい。他の構成では、望ましくない乱流が生じて、試料ガス（６）が、測定領域（５）、特に、測定領域（５）の中央領域を満たすのを妨げることがあるとシミュレーションによって判明した。

試料ガス（６）は、試料ガス管（１０）に流入するときに、同じまたは異なる流量を有することができる３つの流れ（６ａ、６ｂ、６ｃ）として、測定領域（５）に送られる。測定領域（５）の入り口、出口領域は、第１の流れ（６ａ）および第２の流れ（６ｂ）が、光路および／またはパージガス（７）の流れの方向に対して４５°よりも大きい角度で、またはより具体的には６０°よりも大きい角度で、またはより具体的には約９０°の角度で、すなわち、基本的に光路および／またはパージガス（７）の流れの方向に垂直に測定領域（５）を通過するか、または横断するように、分かれた出口分岐（１０ｄ、１０ｅ）にそれぞれ接続されている。流れ中のそれぞれの分岐（１０ａ、１０ｃ）からそれぞれの出口分岐（１０ｄ、１０ｅ）に至る第１の流れ（６ａ）および第３の流れ（６ｃ）は、流入したパージガス（７）を測定領域（５）に沿って測定領域（５）から外に出し、それにより、パージガス（７）が、中央領域および第２の流れ（６ｂ）と接触して測定で推定するのを防止する。

同じ態様で、第２の流れ（６ｂ）は、光路および／またはパージガス（７）の流れの方向に対して４５°よりも大きい角度で、またはより具体的には６０°よりも大きい角度で、またはより具体的には約９０°の角度で、すなわち、基本的に光路および／またはパージガス（７）の流れの方向に垂直に測定領域（５）を横断するが、これは、第２の流れ（６ｂ）が通過するときに、第２の流れ（６ｂ）が、第１の流れ（６ａ）および第３の流れ（６ｃ）によっても使用される出口分岐（１０ｂ、１０ｅ）の一方または両方を通って測定領域（５）を出るように変えることができる。第２の流れ（６ｂ）は、約９０°の角度で測定領域（５）に流入するのが好ましい。

図示した実施形態のプローブ（１）は、試料入り口（８ａ）が、測定対象のガス（９）の流れ方向に対して４５°よりも大きい角度である態様で、またはより具体的には６０°よりも大きい角度である態様で、またはより具体的には約９０°の角度である、すなわち、基本的にガス（９）の流れ方向に垂直な態様で、ガス（９）の流れと接続して配置されている。同様のことが試料出口（８ｂ）にも当てはまる。さらに、試料ガス（６）は、レンズ（２）から放射光の方向に見て、反射器（３）の後ろに配置された試料入り口（８ａ）からプローブ（１）に流入する。

試料入り口（８ａ）が、ガスの流れに対して約９０°などの角度で配置される態様で、試料入り口（８ａ）を導入した場合、ガスはそれ自体プローブ（１）に流入しようとしないが、例えば、ベンチュリポンプなどによって、試料入り口（８ａ）に引き込まれことが保証され、それにより、プローブ（１）内の流量を制御することが可能である。これは、ガスがプローブに直接流入するように、入り口がガスの流路に配置される、例えば、欧州特許第２ ６０４ ９９９号明細書とは異なっている。ガスを試料入り口（８ａ）に引き込むことにより、測定領域（５）内の試料ガス（６）の交換速度が明確に分かり、この交換速度は、下記に説明するように、キャリブレーションのために測定領域（５）を空にする作業を容易にするように定められる。

試料出口（８ｂ）から排出された試料ガス（６）と試料入り口（８ａ）に流入する試料ガス（６）との混合を回避するために、拡張部（１１）が、試料入り口（８ａ）と試料出口（８ｂ）との間で、プローブ（１）からガス（９）の流れにわたって配置されている。

プローブ（１）を平面図で示し、パージガス（７）の第１のパージガス空間（４ａ）への供給路（１２）を有する図３は、本プローブ（１）のさらなる特徴を示しており、第１のパージガス空間（４ａ）を囲み、測定領域（５）に近く、したがって、レンズ（２）から遠い端部に位置する点状入り口（１３ａ）を有する第１の包囲部分（１２ａ）を含み、パージガスは、点状入り口（１３ａ）から前記第１の包囲部分（１２ａ）の全周に拡散し、レンズ（２）に近い端部で前記第１のパージガス空間（４ａ）に流入する。包囲部分（１２ｂ）は、第１のパージガス空間（４ａ）への１つの同軸チャンバとして、または供給路（１２）から、レンズ（２）に近接した端部に位置する第１のパージガス空間（４ａ）への入り口まで延びる複数の個別の導管として形成することができる。これに関連して、「点状入り口」とは、流路（１２）が、細い状態から変化することを意味すると解釈すべきであり、断面積は、例えば、第１のパージガス空間（４ａ）の断面積よりもきわめて小さいが、流路（１２）は、例えば、第１のパージガス空間（４ｂ）よりも大きい断面積を有する、きわめて広い第１の包囲部分（１２ａ）に広がる。

図４は、点状入り口（１３ａ）での包囲部分（１２ａ）の断面図を示しており、パージガス（７）は、供給路（１２）から、包囲部分（１２ａ）およびパージガス空間（４ａ）よりも小さい断面積を有する点状入り口（１３ａ）を通って拡散する。

図５は、レンズ（２）の周囲の部分の平面図を示し、レンズ（２）の周囲で、包囲部分（１２ａ）からパージガス空間（４ａ）に一様な態様で流入し、パージガス空間（４ａ）内で層流を形成するパージガス（７）を示している。

同じ態様で、第１の包囲部分（１２ａ）と同様に、または異なって形成されて、本プローブ（１）は、パージガス（７）の第２のパージガス空間（４ｂ）への供給路（１２）を含むことができ、供給路（１２）は、第２のパージガス空間（４ｂ）を囲み、測定領域（５）に近く、したがって、反射器（３）から遠い端部に位置する点状入り口（１３ｂ）を有する第２の包囲部分（１２ｂ）を含み、パージガスは、点状入り口（１３ｂ）から前記第２の包囲部分（１２ｂ）の全周に拡散し、反射器（３）に近い端部で前記第２のパージガス空間（４ｂ）に流入する。

レンズ（２）および反射器（３）に対してそれぞれ距離を置いて配置された点状入り口（１３ａ、１３ｂ）を有し、さらに、第１のパージガス空間（４ａ）および第２のパージガス空間（４ｂ）を囲んで周囲に広がる構成は、流入したパージガス（７）をレンズ（２）および反射器（３）の周囲に一様に分散させるのに寄与し、そうでない場合、パージガス空間（４ａ、４ｂ）内の進入したパージガス（７）に差異が生じ、そのため、乱流が発生し、この乱流は、実際上、粒子が測定領域（５）からパージガス空間（４ａ、４ｂ）に流入するのを防止するよりもむしろ寄与することがある。

本プローブ（１）はさらに、動作モードおよびキャリブレーションモードで動作することができる。試料ガス（６）は、動作モードにおいてのみ流れ、それに対してパージガス（７）は、動作モードおよびキャリブレーションモードの両方で流れ、パージガスは、動作モード中に前述の説明の通りにパージガス（７）として機能するが、キャリブレーションモードでは、キャリブレーションガスとして使用され、試料ガス（６）の流れは止められる。

キャリブレーションモード中にガス（９）がシステムに流入するのを防止するには、システム内のパージガス（７）の流れを維持するか、または増大させるのみで十分であると判明した。この態様では、パージガス（７）は、ガス（９）に対抗する方向に、試料入り口（８ａ）および試料出口（８ｂ）から外に送られ、したがって、ガス（９）を試料入り口（８ａ）および試料出口（８ｂ）からシステムに入る前に追い払う。パージガス（７）は、上記でも説明したように、通常の動作時にも試料出口（８ｂ）から外に送られるが、弁または他の手段によって、あるいは単にシステム内の試料ガス（６）の流れによって、試料ガス管（１０）の試料入り口（８ａ）に接続された部分に流入するのを防止される。

キャリブレーションモードは、試料ガス（６）が測定領域（５）に流入するのを止めることと、測定領域（５）から試料ガス（６）を取り除くために、パージガスが所与の期間にわたって流れるようにすることと、次いでキャリブレーション測定を行うこととを含む。したがって、パージガス（７）は、明確で既知の吸収スペクトルを有する既知の組成からなり、一実施形態では、キャリブレーション測定に影響を及ぼす恐れがある粒子および湿気を含まないことを保証するために、供給路（１２）に流入する前に乾燥されることがある。

上記にも説明したように、試料入り口（８ａ）の位置と、試料ガス（６）が測定領域（５）に直接流入するのではなく、プローブ（１）に引き込まれて、測定領域（５）に送られることとにより、プローブ（１）内のすべての流れは制御可能であり、ガスが測定領域に直接進入するプローブの場合のように、ガスが進入しないようにガスの力を打ち消す必要がない。

Claims (13)

1. 放射光を第１のパージガス空間（４ａ）および測定領域（５）に通すための光路を有して内部に含むプローブ（１）を含むガスセンサ（２０）であって、前記プローブ（１）は、パージガス（７）が前記第１のパージガス空間（４）に流入し、かつ試料ガス（６）が前記測定領域（５）を流れるように適合される、ガスセンサ（２０）において、前記パージガス（７）は、前記測定領域（５）に向かう方向に流れ、前記試料ガス（６）は、測定対象のガス（９）の流れと流れ連通している試料入り口（８ａ）から前記プローブに流入し、前記試料入り口（８ａ）は、前記試料ガス（６）を少なくとも２つの流れに分流する分岐を通じて前記測定領域（５）に送る試料ガス管（１０）と流れ連通し、前記測定領域（５）の出口は、前記光路を横断して前記測定領域（５）の中を通過する前記試料ガス（６）を排出するように配設された出口分岐に接続していることとを特徴とする、ガスセンサ（２０）。
2. 前記試料入り口（８ａ）は、前記試料ガス（６）が、測定対象の前記ガス（９）の流れ方向に比較して４５°以上の角度で横方向に前記プローブ（１）に流入するように配置される、請求項１に記載のプローブ（１）。
3. 前記試料入り口（８ａ）は、前記試料ガス（６）が、測定対象の前記ガス（９）の前記流れ方向に比較して約９０°の角度で横方向に前記プローブ（１）に流入するように配置される、請求項１または２に記載のプローブ（１）。
4. 前記試料ガス（６）は、前記試料入り口（８ａ）からプローブ（１）に引き込まれる、請求項１〜３のいずれか一項に記載のプローブ（１）。
5. 前記センサ（１）は、動作モードおよびキャリブレーションモードで動作することができ、試料ガス（６）は、前記動作モードでのみ前記測定領域（５）を通過するが、前記パージガス（７）は、前記動作モードおよびキャリブレーションモードの両方で流れ、したがって、キャリブレーションガスとして使用される、請求項１〜４のいずれか一項に記載のガスセンサ（２０）。
6. 前記プローブ（１）は、第２のパージガス空間（４ｂ）を含み、前記プローブ（１）は、パージガス（７）が、前記測定領域（５）に向かう方向で前記第２のパージ空間（４ｂ）に流入するように構成され、前記光路は、前記第２のパージガス空間（４ｂ）を通過し、前記第２のパージガス空間（４ｂ）は、前記測定領域（５）と反射器（３）との間に配置され、前記分岐は、前記試料ガス（６）を少なくとも３つの流れに分流する、請求項５に記載のガスセンサ（２０）。
7. 前記プローブ（１）は、パージガス（７）を前記第１のパージガス空間（４ａ）に供給するための供給路（１２）を含み、前記供給路（１２）は、前記第１のパージガス空間（４ａ）を囲み、前記測定領域（５）に近い端部に位置する点状入り口（１３ａ）を有する第１の包囲部分（１２ａ）を含み、前記パージガス（７）は、前記点状入り口（１３ａ）から前記第１の包囲部分（１２ａ）の全周に拡散し、かつ前記測定領域（５）から遠い端部で前記第１のパージガス空間（４ａ）に流入する、請求項５または６に記載のガスセンサ（２０）。
8. レンズ（２）は、前記第１のパージガス空間（２ａ）が、前記レンズ（２）と前記測定領域（５）との間に配置されるように、前記第１のパージガス空間（４ａ）に合わせて位置する、請求項７に記載のガスセンサ（２０）。
9. 前記プローブ（１）は、パージガス（７）を前記第２のパージガス空間（４ｂ）に供給するための供給路（１２）を含み、前記供給路（１２）は、前記第２のパージガス空間（４ｂ）を囲み、前記測定領域（５）に近い前記端部に位置する点状入り口（１３ｂ）を有する第２の包囲部分（１２ｂ）を含み、前記パージガス（７）は、前記点状入り口（１３ｂ）から前記第２の包囲部分（１２ｂ）の全周に拡散し、かつ前記測定領域（５）から遠い前記端部で、前記第２のパージガス空間（４ｂ）に流入する、請求項７または８に記載のガスセンサ（２０）。
10. 前記キャリブレーションモードは、前記試料ガスが前記測定領域（５）に流入するのを止めることと、前記測定領域（５）から試料ガス（６）を取り除くために、前記パージガスが所与の期間にわたって流れるようにすることと、次いでキャリブレーション測定を行うこととを含む、請求項１〜９のいずれか一項に記載のガスセンサ（２０）。
11. 試料ガス（６）の流れは、ベンチュリポンプによって誘導され、前記ベンチュリポンプは、キャリブレーションモード中に止められる、請求項１０に記載のガスセンサ（２０）。
12. パージガス（７）の流れは、キャリブレーションモード中に増大する、請求項１０または１１に記載のガスセンサ（２０）。
13. 前記パージガスは、前記第１および第２の包囲路（１２ａ、１２ｂ）に流入する前に乾燥され、および任意選択的にフィルタにかけられる、請求項１〜１２のいずれか一項に記載のガスセンサ（２０）用のプローブ（１）。

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