JP6480476B2 - パージガス保護装置を有するガスセンサ用プローブ - Google Patents
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Description
Claims (13)
- 放射光を第1のパージガス空間(4a)および測定領域(5)に通すための光路を有して内部に含むプローブ(1)を含むガスセンサ(20)であって、前記プローブ(1)は、パージガス(7)が前記第1のパージガス空間(4)に流入し、かつ試料ガス(6)が前記測定領域(5)を流れるように適合される、ガスセンサ(20)において、前記パージガス(7)は、前記測定領域(5)に向かう方向に流れ、前記試料ガス(6)は、測定対象のガス(9)の流れと流れ連通している試料入り口(8a)から前記プローブに流入し、前記試料入り口(8a)は、前記試料ガス(6)を少なくとも2つの流れに分流する分岐を通じて前記測定領域(5)に送る試料ガス管(10)と流れ連通し、前記測定領域(5)の出口は、前記光路を横断して前記測定領域(5)の中を通過する前記試料ガス(6)を排出するように配設された出口分岐に接続していることとを特徴とする、ガスセンサ(20)。
- 前記試料入り口(8a)は、前記試料ガス(6)が、測定対象の前記ガス(9)の流れ方向に比較して45°以上の角度で横方向に前記プローブ(1)に流入するように配置される、請求項1に記載のプローブ(1)。
- 前記試料入り口(8a)は、前記試料ガス(6)が、測定対象の前記ガス(9)の前記流れ方向に比較して約90°の角度で横方向に前記プローブ(1)に流入するように配置される、請求項1または2に記載のプローブ(1)。
- 前記試料ガス(6)は、前記試料入り口(8a)からプローブ(1)に引き込まれる、請求項1〜3のいずれか一項に記載のプローブ(1)。
- 前記センサ(1)は、動作モードおよびキャリブレーションモードで動作することができ、試料ガス(6)は、前記動作モードでのみ前記測定領域(5)を通過するが、前記パージガス(7)は、前記動作モードおよびキャリブレーションモードの両方で流れ、したがって、キャリブレーションガスとして使用される、請求項1〜4のいずれか一項に記載のガスセンサ(20)。
- 前記プローブ(1)は、第2のパージガス空間(4b)を含み、前記プローブ(1)は、パージガス(7)が、前記測定領域(5)に向かう方向で前記第2のパージ空間(4b)に流入するように構成され、前記光路は、前記第2のパージガス空間(4b)を通過し、前記第2のパージガス空間(4b)は、前記測定領域(5)と反射器(3)との間に配置され、前記分岐は、前記試料ガス(6)を少なくとも3つの流れに分流する、請求項5に記載のガスセンサ(20)。
- 前記プローブ(1)は、パージガス(7)を前記第1のパージガス空間(4a)に供給するための供給路(12)を含み、前記供給路(12)は、前記第1のパージガス空間(4a)を囲み、前記測定領域(5)に近い端部に位置する点状入り口(13a)を有する第1の包囲部分(12a)を含み、前記パージガス(7)は、前記点状入り口(13a)から前記第1の包囲部分(12a)の全周に拡散し、かつ前記測定領域(5)から遠い端部で前記第1のパージガス空間(4a)に流入する、請求項5または6に記載のガスセンサ(20)。
- レンズ(2)は、前記第1のパージガス空間(2a)が、前記レンズ(2)と前記測定領域(5)との間に配置されるように、前記第1のパージガス空間(4a)に合わせて位置する、請求項7に記載のガスセンサ(20)。
- 前記プローブ(1)は、パージガス(7)を前記第2のパージガス空間(4b)に供給するための供給路(12)を含み、前記供給路(12)は、前記第2のパージガス空間(4b)を囲み、前記測定領域(5)に近い前記端部に位置する点状入り口(13b)を有する第2の包囲部分(12b)を含み、前記パージガス(7)は、前記点状入り口(13b)から前記第2の包囲部分(12b)の全周に拡散し、かつ前記測定領域(5)から遠い前記端部で、前記第2のパージガス空間(4b)に流入する、請求項7または8に記載のガスセンサ(20)。
- 前記キャリブレーションモードは、前記試料ガスが前記測定領域(5)に流入するのを止めることと、前記測定領域(5)から試料ガス(6)を取り除くために、前記パージガスが所与の期間にわたって流れるようにすることと、次いでキャリブレーション測定を行うこととを含む、請求項1〜9のいずれか一項に記載のガスセンサ(20)。
- 試料ガス(6)の流れは、ベンチュリポンプによって誘導され、前記ベンチュリポンプは、キャリブレーションモード中に止められる、請求項10に記載のガスセンサ(20)。
- パージガス(7)の流れは、キャリブレーションモード中に増大する、請求項10または11に記載のガスセンサ(20)。
- 前記パージガスは、前記第1および第2の包囲路(12a、12b)に流入する前に乾燥され、および任意選択的にフィルタにかけられる、請求項1〜12のいずれか一項に記載のガスセンサ(20)用のプローブ(1)。
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