JP2002005737A

JP2002005737A - 光検出装置

Info

Publication number: JP2002005737A
Application number: JP2000184775A
Authority: JP
Inventors: Minoru Sato; 穣佐藤; Masashi Ichihara; 将志市原; Takeo Omori; 武夫大森
Original assignee: Komatsu Ltd
Current assignee: Komatsu Ltd
Priority date: 2000-06-20
Filing date: 2000-06-20
Publication date: 2002-01-09

Abstract

(57)【要約】【課題】紫外光に対する耐久性を向上させるととも
に、予め規定される光学特性を長期間保証することので
きる光検出装置を提供する。【解決手段】窓１６は、容器１３の内部が圧力調整手
段１６によって真空状態にされることで容器１３の内部
の圧力とその外部の圧力との差によって、図１中点線矢
印で示される方向に吸着される。これによって窓１６と
容器１３とが密着された状態になり、容器１３近傍の大
気雰囲気が容器１３の内部に流入することはない。また
容器１３の内部においては図１中実線矢印で示される方
向に気体が流れるので、酸素や有毒ガスは容器内部から
追い出される。このように光検出装置１０では、有機物
の接着剤を使用しないで窓１６と容器１３とを密着させ
ている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、入射する紫外光を
検出する光検出装置に関し、特に露光光源として用いら
れる紫外光を検出する光検出装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、波長が２４８ｎｍのクリプトンフ
ッ素（ＫｒＦ）エキシマレーザや、波長が１９３ｎｍの
アルゴンフッ素（ＡｒＦ）エキシマレーザなどのエキシ
マレーザ装置と、このエキシマレーザ装置からレーザ発
振されたレーザ光を露光光として用いる露光装置とを有
する半導体製造露光システムでは、その露光光として使
用されるレーザ光の出力をモニタする光センサ（ライン
センサ、ＣＣＤなどのセンサ）を有している。そして、
この光センサによるモニタ結果を基にレーザ光の波長や
エネルギー等を制御するようにしている。

【０００３】図９は、従来の半導体製造露光システムの
要部構成図を示している。

【０００４】図９において、エキシマレーザ装置等のレ
ーザ装置１から狭帯域化されたレーザ光が露光装置２に
向けて出射されると、このレーザ光はビームスプリッタ
３に入射する。その一部の光はビームスプリッタ３を透
過して露光光源として露光装置２に供給され、他の光は
ビームスプリッタ３に反射してレンズ４を介して光セン
サ５に集光される。光センサ５によって検出されたレー
ザ光の光量を示す信号はレーザ装置１へ送信され、レー
ザ光の波長やエネルギー等を制御するための情報として
用いられる。

【０００５】図１０（ａ）、（ｂ）は、従来の光センサ
５の要部構成図を示している。

【０００６】光センサ５は、図１０（ａ）に示すよう
に、本体６に配置された受光素子７によってレーザ光を
検出し、この検出結果（光量を示す信号）を信号線８を
介して外部へ出力する。保護プレート９は、受光素子７
の受光面にゴミなどの不純物や湿気が付着しないよう
に、本体２の開口部６ａを閉塞するように取り付けられ
ている。

【０００７】なお、保護プレート９と本体６とは、これ
らが接する部分たとえば図１０（ｂ）中符号６ｂで示さ
れる部位に塗布された有機物の接着剤を介して接着され
ている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の光センサ５では、波長が２４８ｎｍや波長が１９３
ｎｍのレーザ光などの紫外光を計測する場合、保護プレ
ート９に入射した紫外光の一部は、図１０（ｂ）に示す
ように、保護プレート９の上面９ａと下面９ｂとの間で
反射を繰り返し、さらに有機物の接着剤が塗布されてい
る部位６ｂに入射する場合もある。そして、このように
して入射した紫外光と有機物の接着剤とが反応してイオ
ン化し、不純物が発生してしまうという問題点があっ
た。

【０００９】また、本体６の開口部６ａを保護プレート
９で閉塞した際に形成される密閉容器の内部に大気雰囲
気や有毒ガスが存在する場合もあり、これら受光素子７
の受光面雰囲気の酸素あるいは有毒ガスと、入射した紫
外光とが反応してイオン化し、不純物が発生してしまう
という問題点もあった。

【００１０】このようにして発生した不純物が受光素子
７や保護プレート９に付着した光センサ５においては、
その不純物の付着前後において同一の出力レベルのレー
ザ光を受光する場合であっても、その不純物の付着状態
に応じて保護プレート９の透過特性が変化したり、ある
いは受光素子７による光の検出感度が変化するので、検
出したレーザ光の光量は、実際の光量とは異なることに
なる。すなわち、光センサ５の所定の光学特性を維持す
ることができなくなる。

【００１１】上述したように、上記従来の光センサ５で
は、紫外光を計測する場合、その光の検出動作の時間的
経過に伴って、上述したようにして不純物が発生するこ
とに起因して受光素子７や保護プレート９の光学特性が
劣化し、このためレーザ光の正確な光量を検出すること
ができないという問題点があった。

【００１２】このことは、上述した従来の光センサ５
は、紫外領域のレーザ光の照射に対して数ビリオン（Bi
llion＝１０^９）ショット以上の耐久性が必要となる半
導体製造露光システム用の光センサには適さないことを
意味する。

【００１３】このようなことから、従来の半導体製造露
光システムでは、耐久性のある光センサが存在しないの
で、１つの光センサを用いて長期間、エキシマレーザの
レーザ光の出力をモニタし、このモニタ結果を基にレー
ザ光の波長やエネルギー等を制御することができなかっ
た。

【００１４】このため、従来では、レーザ発振されたレ
ーザ光の出力を精度良く検出するためには、劣化した光
センサの交換などの保守管理を頻繁に行わなければなら
ず、メンテナンスコストの増加を招来していた。

【００１５】そこで、本発明は、紫外光に対する耐久性
を向上させるとともに、予め規定される光学特性を長期
間保証することのできる光検出装置を提供することを解
決課題とする。

【００１６】

【課題を解決するための手段、作用および効果】上記解
決課題を達成するため、第１の発明では、入射するレー
ザ光を検出し、該検出した結果を外部へ出力する光検出
装置において、前記レーザ光を検出する受光素子と、該
受光素子が配置され、前記受光素子における前記レーザ
光が入射する面に対し開口部が形成されている本体部と
を具備したことを特徴とする。

【００１７】第１の発明について図７を参照して説明す
る。

【００１８】光検出装置５０は、入射する紫外光（レー
ザ光）を検出する受光素子５１と、受光素子５１が所定
の位置に配置されている本体５２（本体部）と、受光素
子５１によって検出された光の光量を示す信号を外部へ
伝達するための信号線５３とから構成されている。

【００１９】光検出装置５０は、エキシマレーザ装置
と、このエキシマレーザ装置からレーザ発振されたレー
ザ光を露光光として用いる露光装置とを有する半導体製
造露光システムが構築されているクリーンルーム内にお
いて、前記露光光として用いられるレーザ光を検出すべ
く所定の位置に配置されている。

【００２０】この光検出装置５０においては、クリーン
ルーム内は常時クリーンな状態になるように管理されて
いるので、光検出装置５０（の受光素子５１）近傍のゴ
ミ等の不純物や湿気等も除去されることとなり、その不
純物や湿気が受光素子５１に付着することによる光学特
性の劣化を抑制することができる。

【００２１】以上説明したように、第１の発明によれ
ば、従来の光センサの如く有機物の接着剤をもって本体
部に密着される窓（光学部材）そのものを有していない
ので、紫外光に対する耐久性を向上させ、予め規定され
る光学特性を長期間保証することが可能となる。

【００２２】また、上記解決課題を達成するため、第２
の発明では、第１の発明において、前記受光素子におけ
る前記レーザ光が入射する面に対向して配置される透過
性の光学部材と、前記本体部を収容する容器であって、
前記光学部材が配置されることにより容器内部が密閉状
態となったときに真空状態または低圧力状態にされる容
器とを更に具備し、前記容器の内部の圧力とその外部の
圧力との差によって前記光学部材と前記容器とを密着さ
せるようにしたことを特徴とする。

【００２３】次に、第２の発明について図１を参照して
説明する。

【００２４】光検出装置１０では、入射するレーザ光を
検出する受光素子１１が所定の位置に配置されている本
体１２（本体部）を、開口部１３ａが形成されている筒
状の容器１３に収容している。受光素子１１には、図示
しないレンズおよび後述する窓１６（光学部材）を介し
てレーザ光が集光される。

【００２５】本体１２は、開口部１３ａを介して、受光
素子１１における光を検出する受光面が開口部１３ａと
対向する状態で容器１３の底面に配置され、複数のネジ
１４によってその底面部に締着されている。複数のネジ
１４は、光に反応しないように例えばニッケルメッキが
施されている。

【００２６】また、本体１２には、受光素子１１によっ
て検出された光の光量を示す信号を外部へ伝達するため
の信号線１５が設けられており、この信号線１５は、容
器１３の底面部に形成された穴を介してレーザ装置の制
御部（図示せず）と接続されている。

【００２７】容器１３の開口部１３ａ近傍の上端部に
は、透過性の光学部材たとえば合成石英で形成された円
形状の窓１６を載置するための載置部１３ａが設けられ
ている。この載置部１３ｂは容器１３の内周面に沿って
形成され、凹部状になっている。このような載置部１３
ｂに窓１６が載置されることにより、その開口部１３ａ
は閉塞状態となる。

【００２８】容器１３には、配管１７ａを介してその容
器内部を真空状態または所望の低圧力状態にする圧力調
整手段１７が接続されている。この圧力調整手段１７
は、真空または低圧にする図示しないポンプと、容器内
部の気体を排出する図示しない排出部とを備えている。
このような圧力調整手段１７によって、窓１６が載置部
１３ｂに載置されることにより開口部１３ａが閉塞され
た状態（容器１３内部が密閉された状態）で上記容器内
部が真空または低圧力の状態にされる。

【００２９】かかる構成の光検出装置１０においては、
容器１３の内部は圧力調整手段１６によって真空状態ま
たは低圧状態にされるので、窓１６は、容器１３の内部
の圧力とその外部の圧力との差によって、容器１３の底
面側の方向（図１中点線矢印で示される方向）に吸着さ
れる。

【００３０】これによって窓１６と容器１３とが密着さ
れた状態になり、容器１３近傍の大気雰囲気が、窓１６
と容器１３との接触部位の隙間を介して容器１３の内部
に流入することはない。

【００３１】また、容器１３の内部においては図１中実
線矢印で示される方向に気体が流れるので、酸素や有毒
ガスは容器内部から追い出される。

【００３２】しかも、有機物の接着剤を使用しないで窓
１６と容器１３とを密着させているので、容器１３内部
においては、従来の光センサにおいて紫外光（つまりレ
ーザ光）と有機物の接着剤とが反応することに起因して
発生していた不純物は発生しない。

【００３３】以上説明したように、第２の発明によれ
ば、圧力調整手段によって容器の内部を真空状態または
低圧状態にし、容器の内部とその外部の圧力差によって
光学部材と容器とを密着させるようにしているので、光
学部材の固定に有機物の接着剤を用いていた従来の光セ
ンサにおいて発生していた紫外光と有機物の接着剤との
反応による不純物は発生しないので、その不純物に起因
した受光素子の劣化を抑制することができ、よって受光
素子の所定の光学特性を長期間保証することができる。

【００３４】また、上記解決課題を達成するため、第３
の発明では、第１の発明において、前記受光素子におけ
る前記レーザ光が入射する面に対向して配置される透過
性の光学部材と、前記本体部を収容する容器であって、
容器内部の気体を外部に排出するための排出部が形成さ
れ、且つ前記光学部材が配置されることにより容器内部
が略密閉状態となったときに窒素パージされる容器と、
前記光学部材と前記容器との関係を規制する規制手段と
を更に具備したことを特徴とする。

【００３５】次に、第３の発明について図３を参照して
説明する。

【００３６】光検出装置２０では、押板２１は、図１に
示した光検出装置１０の構成において、窓１６が容器１
３に載置された状態で、この窓１６が容器１３から外れ
ないように、押さえるために用いられる。押板２１は、
窓１６の周囲を押さえることができるドーナツ形状の構
造になっており、たとえば複数のネジ２１ａによって容
器１３に締着される。ここでは、押板２１と複数のネジ
２１ａとで上記規制手段を構成している。

【００３７】なお、押板２１と窓１６（光学部材）と容
器１３とは、容器１３の内部が完全な密閉状態にならな
いように、つまりその容器内部の気体（大気成分）が容
器外に排出されるように、多少の隙間（排出部）をもっ
て固定される。

【００３８】窒素パージ手段２２は、窒素（Ｎ２）が充
填されている図示しない窒素ボンベを備えており、この
窒素ボンベのバルブを開放状態にすることで、窒素を配
管１７ａを介して容器１３内へ供給すると共に、容器１
３内部の大気成分（気体）を上記隙間を介して外部へ排
出させる（つまり窒素パージする）。

【００３９】かかる構成の光検出装置２０では、容器１
３においては、その容器内部に窒素パージ手段２２によ
って窒素が供給され（図３中実線矢印参照）充填され
る。と同時に、この容器１３からは、押板２１と窓１６
と容器１３との間に形成されている多少の隙間（空間）
を介して、酸素や有毒ガスなどの気体が、容器外（図３
中点線矢印で示す方向）に排出される。

【００４０】この容器１３においては、常時、窒素パー
ジ手段２２から窒素が供給され、これに伴って容器内部
の気体あるいは不純物が容器外に排出されるので、容器
１３近傍の大気雰囲気が、上述した隙間（空間）を介し
て容器１３内部に流入することはない。

【００４１】しかも、有機物の接着剤を使用しないで窓
１６と容器１３とを密着させているので、容器１３内部
においては、従来の光センサにおいて紫外光（つまりレ
ーザ光）と有機物の接着剤とが反応することに起因して
発生していた不純物は発生しない。

【００４２】以上説明したように、第３の発明によれ
ば、規制手段によって光学部材と容器とを規制（例えば
固定）し、しかもその容器内部を窒素パージするように
しているので、光学部材の固定に有機物の接着剤を用い
ていた従来の光センサにおいて発生していた紫外光と有
機物の接着剤との反応による不純物は発生しないので、
その不純物に起因した受光素子の劣化を抑制することが
でき、受光素子の所定の光学特性を長期間保証すること
ができる。

【００４３】また、上記解決課題を達成するため、第４
の発明では、第１の発明において、前記受光素子におけ
る前記レーザ光が入射する面に対向して配置される透過
性の光学部材と、前記本体部を収容する容器であって、
前記光学部材が配置されることにより容器内部が密閉状
態となる容器と、前記光学部材と前記容器との関係を規
制する規制手段とを更に具備し、前記規制手段によって
前記光学部材と前記容器とを密着させるようにしたこと
を特徴とする。

【００４４】次に、第４の発明について説明する。

【００４５】この第４の発明に係る光検出装置は、図３
に示した光検出装置２０の構成において、配管１７ａ及
び窒素パージ手段２２が削除された構成で、しかも容器
１３における配管１７ａとの接続部分の開口部が閉じた
状態つまり図３中容器１３の左側と同様の構造になって
いる。

【００４６】この場合も、押板２１は、窓１６が容器１
３に載置された状態で、この窓１６が容器１３から外れ
ないように押さえるために用いられる。押板２１は、窓
１６の周囲を押さえることができるドーナツ形状の構造
になっており、たとえば複数のネジ２１ａによって容器
１３に締着される。

【００４７】以上説明したように、第４の発明によれ
ば、規制手段によって光学部材と容器とを規制（例えば
固定）しているので、光学部材の固定に有機物の接着剤
を用いていた従来の光センサにおいて発生していた紫外
光と有機物の接着剤との反応による不純物は発生しない
ので、その不純物に起因した受光素子の劣化を抑制する
ことができ、受光素子の所定の光学特性を長期間保証す
ることができる。

【００４８】また、第５の発明では、第４の発明におい
て、前記規制手段は有機物の接着剤で構成されていると
共に、前記光学部材と前記容器とが前記接着剤によって
密着される場合に、当該光学部材に対して、当該接着剤
へ光が進行しないように遮光する遮光処理を施したこと
を特徴とする。

【００４９】次に、第５の発明について図５（ａ）、
（ｂ）を参照して説明する。

【００５０】この第５の発明に係る光検出装置４０で
は、窓４１（光学部材）は、透過性の光学部材から形成
され、しかも図５（ｂ）に示すように、屈折率の異なる
窓４１Ａ及び窓４１Ｂから構成されている。

【００５１】窓４１Ｂの上面及び下面の全領域に紫外光
を反射させる反射膜４３ａおよび反射膜４３ｂがコーテ
ィング（遮光処理）されている。また、窓４１Ａにおい
ては、入射したレーザ光が受光素子１１によって受光さ
れるように、窓４１Ａの上面４１Ａ−１及び下面４１Ａ
−２における両端部の所定領域に、紫外光を反射させる
反射膜４３ａおよび反射膜４３ｂがコーティング（遮光
処理）されている。

【００５２】さらに、窓４１Ａと窓４１Ｂとが密着され
反射膜４３ａ、４３ｂがコーティングされた窓４１の状
態において、窓４１Ｂの上面部と押板２１とは有機物の
接着剤４４（規制手段）によって接着（密着）されてい
る。

【００５３】かかる構成の光検出装置４０では、窓４１
Ａの上面４１Ａ−１または下面４１Ａ−２におけるコー
ティングが施されている反射膜４３ａ、４３ｂ以外の部
位からレーザ光が入射し、この入射したレーザ光が上面
４１Ａ−１または下面４１Ａ−２に反射しながら、窓４
１Ａと窓４１Ｂとの接触面に入射した場合であっても、
その入射したレーザ光は前記接触面で反射して窓４１Ｂ
へは透過しないので、有機物の接着剤４４にレーザ光
（紫外光）が照射されることはない。

【００５４】したがって、窓４１を固定するのに有機物
の接着剤４４を使用しているにも係わらず、レーザ光
（紫外光）と有機物の接着剤４４とが反応することはな
いので、その反応に起因する不純物は発生しない。

【００５５】以上説明したように、第５の発明によれ
ば、光学部材と容器とを有機物の接着剤を用いて密着さ
せた場合であっても、その接着剤に紫外光が照射されな
いように光学部材に対して遮光処理が施されているの
で、紫外光と接着剤とが反応して不純物が発生すること
はなく、しかもその不純物に起因する受光素子の光学特
性の劣化を抑制することができる。よって、受光素子の
所定の光学特性を長期間保証することができる。

【００５６】また、上記解決課題を達成するため、第６
の発明では、第１の発明において、前記本体部の開口部
を閉塞するための透過性の光学部材と、該光学部材と前
記本体部との関係を規制する規制手段とを更に具備し、
前記規制手段によって前記光学部材と前記本体部とを密
着させるようにしたことを特徴とする。

【００５７】また、第７の発明では、前記規制手段は有
機物の接着剤で構成されていると共に、前記光学部材と
前記本体部とが前記接着剤によって密着される場合に、
当該光学部材に対して、当該接着剤へ光が進行しないよ
うに遮光する遮光処理を施したことを特徴とする。

【００５８】次に、第６および第７の発明について説明
する。

【００５９】この第６の発明に係る光検出装置では、図
５に示した光検出装置４０の構成において、容器４２を
センサ部の本体とし、受光素子１１が配置された本体１
２の全体を受光素子とした構成になっている。そして、
たとえば図１に示した窓１６を前記センサ部の本体（容
器４２）の載置部１３ｂと押板２１とで挟み込むように
して、容器４２と押板２１とを複数のビス２１ａによっ
て締着している。この場合は、押板２１と複数のビス２
１ａとで上記規制手段を構成している。また、ここで
は、有機物の接着剤は使用していない。

【００６０】また、第７の発明に係る光検出装置では、
図５に示した光検出装置４０の構成において、容器４２
をセンサ部の本体とし、受光素子１１が配置された本体
１２の全体を受光素子とした構成になっている。そし
て、前記センサ部の本体（容器４２）に反射膜４３ａ、
４３ｂがコーティングされた窓４１を載置し、この窓４
１を容器４２の載置部１３ｂと押板２１とで挟み込むよ
うにして、容器４２と押板２１とを複数のビス２１ａに
よって締着している。さらに、窓４１と押板２１とは接
着剤４４（規制手段）によって密着（接着）されてい
る。

【００６１】以上説明したように、第６の発明によれ
ば、上記第４の発明と同様の作用効果を得ることができ
る。

【００６２】また第７の発明によれば、上記第５の発明
と同様の作用効果を得ることができる。

【００６３】さらに、上記解決課題を達成するため、第
８の発明では、入射するレーザ光を検出し、該検出した
結果を外部へ出力する光検出装置において、前記レーザ
光を検出する受光素子と、該受光素子が配置される容器
と、前記受光素子における前記レーザ光が入射する面に
対向して配置される透過性の光学部材とを有し、有機物
の接着剤を用いることなく前記光学部材と前記容器とを
密着させるようにしたことを特徴とする。

【００６４】この第８の発明に係る光検出装置では、第
４の発明に係る光検出装置と同様に、容器１３と窓１６
（光学部材）とは、押板２１がたとえば複数のネジ２１
ａによって容器１３に締着されることにより密着される
構成になっている。

【００６５】また、第８の発明に係る光検出装置は、第
６の発明に係る光検出装置と同様に、図５に示した光検
出装置４０の構成において、容器４２をセンサ部の本体
とし、受光素子１１が配置された本体１２の全体を受光
素子とした構成で、しかも、たとえば図１に示した窓１
６を前記センサ部の本体（容器４２）の載置部１３ｂと
押板２１とで挟み込むようにして、容器４２と押板２１
とを複数のビス２１ａによって締着するようにした構成
とすることもできる。勿論、この場合は有機物の接着剤
は使用されない。

【００６６】以上説明したように、第８の発明によれ
ば、有機物の接着剤を用いることなく光学部材と容器と
を密着するようにしているので、光学部材の固定に有機
物の接着剤を用いていた従来の光センサにおいて発生し
ていた紫外光と有機物の接着剤との反応による不純物は
発生しないので、その不純物に起因した受光素子の劣化
を抑制することができ、受光素子の所定の光学特性を長
期間保証することができる。

【００６７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面を参照して説明する。

【００６８】図１は、本実施形態に係る光検出装置１０
の構成を示す構成図である。

【００６９】光検出装置１０は、入射する狭帯域化され
たレーザ光（紫外光）を検出し、この検出した結果（光
量を示す信号を）を外部へ出力するものである。この光
検出装置１０は、図９に示した従来の光センサ５と同様
に、ビームスプリッタ３によって分岐されレンズ４を通
過した狭帯域化されたレーザ光を検出するようになって
いる。

【００７０】なお、以降の説明においては、説明の都合
上、レーザ光は紫外光以下の波長の光を示しているもの
とする。

【００７１】光検出装置１０では、入射するレーザ光を
検出する受光素子１１が所定の位置に配置されている本
体１２を、開口部１３ａが形成されている筒状の容器１
３に収容している。受光素子１１には、図示しないレン
ズおよび後述する窓１６を介してレーザ光が集光され
る。

【００７２】本体１２は、開口部１３ａを介して、受光
素子１１における光を検出する受光面が開口部１３ａと
対向する状態で容器１３の底面に配置され、複数のネジ
１４によってその底面部に締着されている。複数のネジ
１４は、光に反応しないように例えばニッケルメッキが
施されている。

【００７３】また、本体１２には、受光素子１１によっ
て検出された光の光量を示す信号を外部へ伝達するため
の信号線１５が設けられており、この信号線１５は、容
器１３の底面部に形成された穴を介してレーザ装置の制
御部（図示せず）と接続されている。

【００７４】容器１３の開口部１３ａ近傍の上端部に
は、透過性の光学部材たとえば合成石英で形成された円
形状の窓１６を載置するための載置部１３ａが設けられ
ている。この載置部１３ｂは容器１３の内周面に沿って
形成され、凹部状になっている。このような載置部１３
ｂに窓１６が載置されることにより、その開口部１３ａ
は閉塞状態となる。

【００７５】容器１３には、配管１７ａを介してその容
器内部を真空状態または所望の低圧力状態にする圧力調
整手段１７が接続されている。この圧力調整手段１７
は、真空または低圧にする図示しないポンプと、容器内
部の気体を排出する図示しない排出部とを備えている。
このような圧力調整手段１７によって、窓１６が載置部
１３ｂに載置されることにより開口部１３ａが閉塞され
た状態（容器１３内部が密閉された状態）で上記容器内
部が真空または低圧力の状態にされる。

【００７６】ここで、図１に示した光検出装置１０のＡ
−Ａ線断面図を図２に示す。図２においては、概略断面
の様子を示したものであり、その概略断面図の大きさ
は、図１に示した光検出装置１０の大きさとは一致しな
い。この図２から分かるように、容器１３の上部は断面
がドーナツ形状であり、載置部１３ｂはそれに沿った形
状であり、また窓１６は円形状をしており、受光素子１
１および本体１２は長方形の形状をしている。

【００７７】この実施形態においては、光検出装置１０
には有機物の接着剤は一切使用していない。また、部材
同士をネジ止めする場合でも、そのネジは、光に反応し
ないように例えばニッケルメッキが施されたものを使用
している。

【００７８】次に、上述した光検出装置１０の機能につ
いて図１を参照して説明する。

【００７９】光検出装置１０では、入射したレーザ光
（紫外光）を受光素子１１によって検出し、この検出結
果であるレーザ光の光量を示す信号を、信号線１５を介
して、上記レーザ装置（図示せず）における例えばレー
ザ光の波長やエネルギーを制御する図示しない制御部へ
送信する。

【００８０】このような光学的及び電気的な機能を有す
る光検出装置１０は、以下のような機能も併せ持ってい
る。

【００８１】すなわち、容器１３の内部は圧力調整手段
１６によって真空状態または低圧状態にされるので、窓
１６は、容器１３の内部の圧力とその容器外部の圧力と
の差によって、容器１３の底面側の方向（図１中点線矢
印で示される方向）に吸着される。これによって窓１６
と容器１３とが密着された状態になり、容器１３近傍の
大気雰囲気が、窓１６と容器１３との接触部位の隙間を
介して容器１３の内部に流入することはない。

【００８２】また、容器１３の内部においては図１中実
線矢印で示される方向に気体が流れるので、酸素や有毒
ガスは容器内部から追い出される。

【００８３】しかも、有機物の接着剤を使用しないで窓
１６と容器１３とを密着させているので、容器１３内部
においては、従来の光センサにおいて紫外光（つまりレ
ーザ光）と有機物の接着剤とが反応することに起因して
発生していた不純物は発生しない。

【００８４】以上説明したように、本実施形態によれ
ば、ゴミなどの不純物、湿気が受光素子１１に付着する
のを防止するための窓１６を容器１３に取り付けるの
に、有機物の接着剤を使用することなく、容器１３の内
部を真空状態または低圧状態にし、容器１３の内部とそ
の外部の圧力差によって、窓１６と容器１３とを密着さ
せるようにしているので、従来の光センサにおいて発生
していた紫外光と有機物の接着剤との反応による不純物
は発生しない。

【００８５】そのため、不純物が発生することによる受
光素子１１の劣化を抑制することができ、受光素子１１
の所定の光学特性を長期間保証することができる。

【００８６】また、容器１３内部を真空または低圧の状
態にすることにより、容器１３内部において初期状態の
ときに存在しているゴミなどの不純物、湿気や、受光素
子１１の雰囲気の酸素、有機ガス等を、その容器外へ排
出することができ、常に、容器１３の内部をクリーンな
状態に維持することができる。

【００８７】そのため、入射した紫外光と受光素子１１
の雰囲気の酸素、有機ガスとが反応することはないの
で、受光素子１１の劣化を抑制することができ、受光素
子１１の所定の光学特性を長期間保証することができ
る。

【００８８】［第２の実施の形態］図３は、第２の実施
形態に係る光検出装置２０の構成を示す構成図である。

【００８９】図３に示した光検出装置２０は、図１に示
した第１の実施形態の構成において、圧力調整手段１７
を削除し、また、押板２１および窒素パージ手段２２を
追加した構成になっている。なお、同図３において、図
１に示した構成要素と同様の機能を果たす部分には同一
符号を付している。

【００９０】押板２１は、図１に示した第１の実施形態
の構成において、窓１６が容器１３に載置された状態
で、この窓１６が容器１３から外れないように押さえる
ために用いられる。つまり、押板２１は窓１６と容器１
３との関係（位置関係）を規制するために用いられる。
このような目的で用いられる押板２１は、窓１６の周囲
を押さえることができるドーナツ形状の構造になってお
り、たとえば複数のネジ２１ａによって容器１３に締着
される。

【００９１】ところで、この第２の実施形態において
は、押板２１と窓１６と容器１３とは、容器１３の内部
が完全な密閉状態にならないように、つまりその容器内
部の気体（大気成分）が容器外に排出されるように、多
少の隙間をもって固定される。この隙間は、容器１３内
部の気体を排出する排出部としての機能を果たすことに
なる。

【００９２】勿論、押板２１と窓１６と容器１３とが完
全に密着されるように固定すると共に、容器１３におけ
る載置部１３ｂよりも底面側の所定位置に、その容器内
部の気体を外部に排出するための穴（排出部）を形成す
るようにしても良い。

【００９３】窒素パージ手段２２は、窒素（Ｎ２）が充
填されている図示しない窒素ボンベを備えており、この
窒素ボンベのバルブを開放状態にすることで、窒素を配
管１７ａを介して容器１３内へ供給すると共に、容器１
３内部の大気成分（気体）を上記隙間または穴を介して
外部へ排出させる（つまり窒素パージする）。

【００９４】この第２の実施形態においては、光検出装
置２０には有機物の接着剤は一切使用していない。ま
た、部材同士をネジ止めする場合でも、そのネジは、光
に反応しないように例えばニッケルメッキが施されたも
のを使用している。

【００９５】次に、上述した光検出装置２０の機能につ
いて図３を参照して説明する。

【００９６】この光検出装置２０は上記第１の実施形態
と同様の光学的及び電気的機能を有するので、ここでは
その説明については省略し、窒素パージ機能について説
明する。

【００９７】光検出装置２０では、容器１３において
は、その容器内部に窒素パージ手段２２によって窒素が
供給され（図３中実線矢印参照）充填される。と同時
に、この容器１３からは、押板２１と窓１６と容器１３
との間に形成されている多少の隙間（空間）を介して、
酸素や有毒ガスなどの気体が、容器外（図３中点線矢印
で示す方向）に排出される。

【００９８】この容器１３においては、常時、窒素パー
ジ手段２２から窒素が供給され、これに伴って容器内部
の気体あるいは不純物が容器外に排出されるので、容器
１３近傍の大気雰囲気が、上述した隙間（空間）を介し
て容器１３内部に流入することはない。

【００９９】しかも、この第２の実施形態においても、
上記第１の実施形態と同様に、有機物の接着剤を使用し
ないで窓１６と容器１３とを密着させているので、容器
１３内部においては、従来の光センサにおいて紫外光
（つまりレーザ光）と有機物の接着剤とが反応すること
に起因して発生していた不純物は発生しない。

【０１００】ここで、この第２の実施形態の応用例につ
いて説明する。この応用例の光検出装置は、図３に示し
た光検出装置２０の構成において、配管１７ａ及び窒素
パージ手段２２が削除された構成で、しかも容器１３に
おける配管１７ａとの接続部分の開口部が閉じた状態つ
まり図３中容器１３の左側と同様の構造で、さらに押板
２１と窓１６と容器１３（載置部１３ｂ）とが密着され
た状態（隙間が存在しない状態）になっている。

【０１０１】この応用例によれば、押板２１と容器１３
とを窓１６を挟み込むようにした状態で複数のネジによ
って締着させているので、従来の光センサにおいて発生
していた紫外光と有機物の接着剤との反応による不純物
は発生しない。

【０１０２】また、この応用例の光検出装置では、窒素
パージされないという点で共通する図１０（ａ）に示し
た従来の光センサ５と比較して、紫外光と有機物の接着
剤との反応による不純物が発生しない分、光学特性の寿
命を大幅に向上させることができる。

【０１０３】以上説明したように、第２の実施形態によ
れば、ゴミなどの不純物、湿気が受光素子１１に付着す
るのを防止する窓１６を容器１３に取り付けるのに、有
機物の接着剤を使用することなく、押板２１と容器１３
とを窓１６を挟み込むようにした状態で複数のネジによ
って締着させているので、従来の光センサにおいて発生
していた紫外光と有機物の接着剤との反応による不純物
は発生しない。

【０１０４】そのため、不純物が発生することによる受
光素子１１の劣化を抑制することができ、受光素子１１
の所定の光学特性を長期間保証することができる。

【０１０５】また、容器１３内部に窒素を供給するとと
もに、その容器１３内部の気体（酸素、有害ガス）を容
器外に排出することにより、常に、容器１３の内部をク
リーンな状態に維持することができる。

【０１０６】そのため、入射した紫外光と受光素子１１
の雰囲気の酸素や有機ガスとが反応することはないの
で、受光素子１１の劣化を抑制することができ、受光素
子１１の所定の光学特性を長期間保証することができ
る。

【０１０７】［第３の実施の形態］図４は、第３の実施
形態に係る光検出装置３０の構成を示す構成図である。

【０１０８】図４に示した光検出装置３０は、図１に示
した第１の実施形態の構成において、窓１６、圧力調整
手段１７を削除し、また、レンズ３１、レンズホルダ３
２、押板３３および圧力調整／窒素パージ手段３４を追
加した構成になっている。なお、同図４において、図１
に示した構成要素と同様の機能を果たす部分には同一符
号を付している。

【０１０９】レンズ３１は、容器１３の上面から見て断
面が円形状に形成されており、レンズホルダ３２によっ
て保持されている。このレンズ３１を保持しているレン
ズホルダ３２が容器１３の載置部１３ｂに載置されるこ
とで、開口部１３ａは閉塞状態となる。そして、押板３
３が、容器１３およびレンズホルダ３２に載置され、複
数のネジ３３ａによって容器１３に締着されることによ
って、レンズホルダ３２は容器１３の載置部１３ｂと押
板３３との間に固定される。

【０１１０】レンズ３１と受光素子１１とは、焦点距離
が受光素子１１の所定の位置に形成されるように、また
受光素子１１の所定の位置（複数の受光チャネルの所望
の受光チャネル）に光が集光されるような配置関係に設
定されている。

【０１１１】このようにレンズ３１は、開口部１３ａを
閉塞する機能と、入射したレーザ光（平行光）を受光素
子１１へ集光させる機能とを有している。

【０１１２】圧力調整／窒素パージ手段３４は、第１の
実施形態での圧力調整手段１７または第２の実施形態で
の窒素パージ手段２２の機能を有している。

【０１１３】なお、圧力調整／窒素パージ手段３４とし
て窒素パージ手段２２を採用した場合には、容器１３内
部の気体を外部に排出するための構造が必要であるが、
この場合は、レンズ３１を安定して固定するという観点
からは、容器１３における例えば載置部１３ｂよりも底
面側の部位に穴を形成した方が良い。

【０１１４】何故ならば、容器１３と押板３３とレンズ
ホルダ３２との間に多少の隙間が形成されるようにする
と、レンズ３１が不安定になることにより集光位置がズ
レる虞がある。このため、入射したレーザ光が受光素子
１１における本来受光すべき受光チャネルとは異なった
受光チャネルによって受光される。このことは、受光チ
ャネルを示す受光チャネル番号および光量を示す信号を
基にたとえば正確なレーザ光の波長を制御することがで
きなくなることを意味する。

【０１１５】次に、上述した光検出装置３０の機能につ
いて図４を参照して説明する。

【０１１６】この光検出装置３０は上記第１の実施形態
と同様の光学的及び電気的機能を有するので、ここでは
その説明については省略し、圧力調整または窒素パージ
機能について説明する。

【０１１７】光検出装置３０では、容器１３において
は、圧力調整／窒素パージ手段３４によって、容器内部
が真空状態または低圧状態されることにより、酸素や有
毒ガスが容器外に排出されるか、または容器内部が窒素
パージ（窒素が充填）されながら、酸素や有毒ガスが、
容器１３に形成されている穴を介して容器外に排出され
る。

【０１１８】この第３の実施形態においても、上記第１
または第２の実施形態と同様に、容器１３近傍の大気雰
囲気が、容器１３内部に流入することはなく、しかも、
紫外光（レーザ光）と接着剤との反応による不純物も発
生しないので、容器１３内部は、クリーンな状態になっ
ている。

【０１１９】以上説明したように、第３の実施形態によ
れば、上記第１又は第２の実施形態と同様の作用効果を
得ることができる。

【０１２０】また第３の実施形態では、レンズを窓の機
能として使用しているので、レンズと受光素子との間に
光学部材（窓）が配置されている構成の第１又は第２の
実施形態と比較比して、入射光の吸収や光検出装置近傍
の温度変化に伴って透過率が変化する（つまり光の出力
損出となる）ような光学部材が存在しない分、レーザ光
を感度良く計測することができる。

【０１２１】［第４の実施の形態］図５（ａ）、（ｂ）
は、第４の実施形態に係る光検出装置４０の構成を示す
構成図である。

【０１２２】図５（ａ）に示した光検出装置４０は、図
３に示した第２の実施形態の構成において、窓１６、配
管１７ａおよび窒素パージ手段２２を削除し、また窓４
１を追加し、さらに容器１３を容器４２に変更した構成
になっている。なお、同図５（ａ）において、図３に示
した構成要素と同様の機能を果たす部分には同一符号を
付している。

【０１２３】容器４２は、容器１３における配管１７ａ
との接続部分の穴が形成されていない構造になってい
る。

【０１２４】窓４１は、透過性光学部材から形成され、
しかも図５（ｂ）に示すように、屈折率の異なる窓４１
Ａ及び窓４１Ｂから構成されている。窓４１Ａおよび窓
４１Ｂにおける互いに接する面（部分）の平面度を上げ
て鏡面とし、界面張力（分子間力）を利用して窓４１Ａ
と窓４１Ｂとを密着している。

【０１２５】窓４１Ｂの上面及び下面の全領域に紫外光
を反射させる反射膜４３ａおよび反射膜４３ｂがコーテ
ィングされている。

【０１２６】また、窓４１Ａにおいては、入射したレー
ザ光が受光素子１１によって受光されるように、窓４１
Ａの上面４１Ａ−１及び下面４１Ａ−２における両端部
の所定領域に、紫外光を反射させる反射膜４３ａおよび
反射膜４３ｂがコーティングされている。この場合、受
光素子１１によってレーザ光を受光することが可能で、
しかも後述する接着剤４４に対して遮光することが可能
であれば、上記反射膜４３ａ、４３ｂのコーティングす
る範囲は問わない。

【０１２７】さらに、窓４１Ａと窓４１Ｂとが密着され
反射膜４３ａ、４３ｂがコーティングされた窓４１の状
態において、窓４１Ｂの上面部と押板２１とは有機物の
接着剤４４によって密着されている。なお、容器４２内
にゴミ等の不純物や湿気等が残留しないように、ゴミ等
の不純物や湿気等が存在しない状態の場所、例えばクリ
ーンルーム内などで、接着剤４４による窓４１Ｂと押板
２１との密着を行う必要がある。

【０１２８】ここでは、窓４１Ａにおける窓４１Ａと窓
４１Ｂとの接触面に窓４１Ａからの光が入射した場合で
あっても、入射した光が窓４１Ｂへ透過しないようにな
っている。

【０１２９】次に、上述した光検出装置４０の機能につ
いて図５を参照して説明する。

【０１３０】この光検出装置４０は上記第１の実施形態
と同様の光学的及び電気的機能を有するので、ここでは
その説明については省略し、接着剤４４に対する遮光機
能について説明する。

【０１３１】光検出装置４０では、窓４１Ａの上面４１
Ａ−１またはその下面４１Ａ−２における反射膜４３
ａ、４３ｂ以外の部位からレーザ光が入射し、この入射
したレーザ光が上面４１Ａ−１および下面４１Ａ−２に
反射しながら、窓４１Ａと窓４１Ｂとの接触面に入射し
た場合であっても、その入射したレーザ光は前記接触面
で反射して窓４１Ｂへは透過しないので、有機物の接着
剤４４にレーザ光（紫外光）が照射されることはない。

【０１３２】したがって、窓４１を固定するのに有機物
の接着剤４４を使用しているにも係わらず、レーザ光
（紫外光）と有機物の接着剤４４とが反応することはな
いので、その反応に起因する不純物は発生しない。

【０１３３】この第４の実施形態においては、窓４１
は、接着剤４４によって押板２１と密着されているの
で、容器４２近傍の大気雰囲気が、容器４２内部に流入
することはなく、しかも、従来の光センサにおいて発生
していた紫外光と接着剤４４との反応による不純物も発
生しないので、容器４２内部は、クリーンな状態になっ
ている。

【０１３４】なお、上記第４の実施形態では、窓４１
は、屈折率の異なる窓４１Ａと窓４１Ｂとを密着させた
ものを使用するとともに、その窓の上面及び下面に紫外
光を反射させる反射膜をコーティングするようにしてい
るが、これに限定されることなく、次のようにしても良
い。

【０１３５】すなわち、窓４１を、図６に示すように、
１種類の光学部材から形成された窓４５とする。また、
窓４５の上面における所定領域に、紫外光を反射させる
反射膜４３ａをコーティングする。そして、反射膜４３
ａの所定箇所に有機物の接着剤４４を塗布して押板２２
に密着させる。要するに、窓４５内部の上面及び下面に
反射したレーザ光が接着剤４４に照射されなければ良
い。

【０１３６】次に、第４の実施形態の応用例について説
明する。

【０１３７】図５に示した光検出装置４０では、受光素
子１１と本体１２とでいわゆるセンサ部を構成し、さら
にこのセンサ部を容器４２が収容する構成になっている
が、次のようにしても良い。

【０１３８】すなわち、この応用例の光検出装置では、
図５に示した光検出装置４０の構成において、容器４２
をセンサ部の本体とし、受光素子１１が配置された本体
１２の全体を受光素子とした構成になっている。そし
て、前記センサ部の本体（容器４２）に反射膜４３ａ、
４３ｂがコーティングされた窓４１を載置し、この窓４
１を容器４２の載置部１３ｂと押板２１とで挟み込むよ
うにして、容器４２と押板２１とを複数のビスによって
締着している。さらに、窓４１と押板２１とは接着剤４
４によって密着（接着）されている。

【０１３９】また、他の応用例の光検出装置では、上記
応用例の光検出装置の構成において、接着剤４４を使用
することなく、反射膜のコーティングが施されていない
窓（例えば図１に示した窓１６）を前記センサ部の本体
（容器４２）の載置部１３ｂと押板２１とで挟み込むよ
うにして、容器４２と押板２１とを複数のビス２１ａに
よって締着した構成になっている。

【０１４０】しかし、上記２つの応用例の構成のものと
図５に示した構成のものとは、容器４２がセンサ部の本
体か否かの相違、つまり光検出装置の大小の相違がある
だけで、基本的な機能は同一である。

【０１４１】以上説明したように、第４の発明によれ
ば、ゴミなどの不純物、湿気が受光素子１１に付着する
のを防止するための窓４１を容器４２に取り付ける（固
定）するのに、有機物の接着剤４４を用いて窓４１と容
器４２（載置部）とを密着させた場合であっても、その
接着剤４４に対して紫外光が照射されないように窓４１
に反射膜をコーティングしたので、紫外光と接着剤とが
反応して不純物が発生することはない。

【０１４２】したがって、受光素子１１の劣化を抑制す
ることができ、受光素子１１の所定の光学特性を長期間
保証することができる。

【０１４３】［第５の実施の形態］図７は、第５の実施
形態に係る光検出装置５０の構成を示す構成図である。

【０１４４】この光検出装置５０は、図１に示した第１
の実施形態の受光素子１１、本体１２および信号線１５
それぞれと同様の機能を果たす受光素子５１、本体５２
および信号線５３を有して構成されている。

【０１４５】光検出装置５０は、上述したエキシマレー
ザ装置と、このエキシマレーザ装置からレーザ発振され
たレーザ光を露光光として用いる露光装置とを有する半
導体製造露光システムが構築されているクリーンルーム
内において、前記露光光として用いられるレーザ光を検
出すべく所定の位置に配置されている。

【０１４６】このようなクリーンルームにおいては、常
時クリーンな状態になるように管理されているので、光
検出装置５０（の受光素子５１）近傍のゴミや湿気等も
除去さることとなる。

【０１４７】したがって、光検出装置５０では、上記第
１乃至第４の実施形態において受光素子１１にゴミ等の
不純物や湿気等が付着するのを防止する目的で使用して
いた窓は必要ないこととなる。

【０１４８】なお、上記第１乃至第４の実施形態に係る
光検出装置も、この第５の実施形態と同様に、半導体製
造露光システムが構築されているクリーンルーム内に配
置されるものである。

【０１４９】この第５の実施形態では、上述したように
クリーンルーム内は常時クリーンな状態になるように管
理されているので、光検出装置５０（の受光素子５１）
近傍のゴミや湿気等も除去されるという点に着目して、
入射するレーザ光の出力損失の原因となり得る窓（透過
性の光学部材）を光検出装置５０に設けないようにして
いる。

【０１５０】何故なら、窓等に用いられる光学部材は、
透過率が１００％のものは存在せず、しかも紫外光領域
（または真空紫外光領域）など波長の短い領域において
は、より一層透過率が低下する。このように透過率が低
下するということは、レーザ光の出力損失が生じ、光検
出装置で検出されるレーザ出力の値が相対的に低下し
て、レーザ装置から出力されるレーザ光の出力を正確に
検出することができないことを意味する。

【０１５１】ここで、図７に示した光検出装置５０の光
学特性の一例を図８に示す。

【０１５２】図８において、縦軸は光量を表し、横軸は
受光素子の受光チャネルの数（ｃｈ数）つまり受光チャ
ネル番号を表している。

【０１５３】また、符号６１で示される曲線は、光検出
装置５０によってＫｒＦエキシマレーザのレーザ光を検
出した結果である干渉縞を示す特性を表している。

【０１５４】また、符号６２で示される曲線は、発振周
波数が２ＫＨｚ、発振出力が１０ｍＪのクリプトンフッ
素（ＫｒＦ）エキシマレーザのレーザ光を、光検出装置
５０の受光素子５１に約１５ビリオン（１０^９）ショッ
トを照射した後、水銀（Ｈｇ）光（均一光）を光検出装
置５０の受光素子５１に照射したときの、光量と受光チ
ャネル数（受光チャネル番号）との関係を示す特性（光
学特性）を表している。

【０１５５】さらに、符号６３で示される点線曲線は、
図１０（ａ）に示した従来の光センサ５を、上記符号６
２の特性を取得したときと同様の条件の下での、光量と
受光チャネル数（受光チャネル番号）との関係を示す特
性（光学特性）を表している。

【０１５６】なお、光検出装置５０と従来の光センサ５
は共に、構造は異なるものの、同一の受光素子（いわゆ
る同一の光学特性が得られるもの）を用いている。

【０１５７】図８から明らかなように、窓無し（有機物
の接着剤無し）の光検出装置５０の光学特性と、窓有り
（有機物の接着剤で密着されている保護プレート有り）
の従来の光センサ５の光学特性とは異なっている。

【０１５８】例えば、符号６１で示される干渉縞を示す
特性における符号６３ａ、６３ｂ、６３ｃで示される光
量値がピークを表している部分に対応する、光量と受光
チャネル数との関係を示す特性においては、その特性の
差が顕著に現れている。

【０１５９】上述したように、窓無し（有機物の接着剤
無し）の光検出装置５０の光学特性は、窓有り（有機物
の接着剤で密着されている保護プレート有り）の従来の
光センサ５の光学特性と比較して、光学特性の劣化を抑
制することができる。

【０１６０】以上説明したように、第５の実施形態によ
れば、ゴミ等の不純物や湿気が受光素子５１に付着する
のを防止するための窓を具備していない光検出装置５０
を、クリーンルーム内に構築されている半導体製造露光
システム用の紫外光を検出する光センサとして使用する
ようにしているので、従来の光センサにおいて発生して
いた紫外光と有機物の接着剤との反応による不純物は発
生しないこととなり、紫外光に対する耐久性を向上さ
せ、しかもその紫外光に対しての予め規定される光学特
性を長期間保証することが可能となる。

【０１６１】また、第５の実施形態によれば、窓を使用
していない分、その窓に用いられる光学部材におけるレ
ーザ出力の損失を抑制することができることとなり、よ
ってレーザ装置から出力されるレーザ光の出力を正確に
検出することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本実施形態に係る光検出装置１０の構成
を示す構成図である。

【図２】図２は光検出装置１０のＡ−Ａ線断面図であ
る。

【図３】図３は第２の実施形態に係る光検出装置２０の
構成を示す構成図である。

【図４】図４は第３の実施形態に係る光検出装置３０の
構成を示す構成図である。

【図５】図５（ａ）は第４の実施形態に係る光検出装置
４０の構成を示す構成図であり、図５（ｂ）は光検出装
置４０の窓４１を説明するための図である。

【図６】図６は第４の実施形態で用いられる窓４５を説
明するための図である。

【図７】図７は第５の実施形態に係る光検出装置５０の
構成を示す構成図である。

【図８】図８は第５の実施形態における光検出装置５０
の光学特性の一例を示す図である。

【図９】図９は半導体製造露光システムの概略構成を示
す構成図である。

【図１０】図１０は従来の光センサの概略構成を示す構
成図である。

【符号の説明】

１０、２０、３０、４０、５０光検出装置１１、５１受光素子１２本体１３、４２容器１５信号線１６、４１窓１７圧力調整手段２１、３３押板２２窒素パージ手段３１レンズ３２レンズホルダ３４圧力調整／窒素パージ手段４３ａ、４３ｂ反射膜

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者大森武夫栃木県小山市横倉新田400 株式会社小松製作所小山工場内Ｆターム(参考） 2G065 AA04 AB05 AB09 AB16 BA04 BA33 BA34 BA36 BA37 BA38 BB14 CA23 CA25 CA29 5F046 AA22 BA03 CA04 DA27 DB01 DB12 DC02 5F088 BA11 BA13 BB10 JA12 JA20 KA10 LA05

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】入射するレーザ光を検出し、該検出した結
果を外部へ出力する光検出装置において、前記レーザ光を検出する受光素子と、前記受光素子が配置され、前記受光素子における前記レ
ーザ光が入射する面に対し開口部が形成されている本体
部とを具備したことを特徴とする光検出装置。
【請求項２】前記受光素子における前記レーザ光が入射
する面に対向して配置される透過性の光学部材と、前記本体部を収容する容器であって、前記光学部材が配
置されることにより容器内部が密閉状態となったときに
真空状態または低圧力状態にされる容器とを更に具備
し、前記容器の内部の圧力とその外部の圧力との差によって
前記光学部材と前記容器とを密着させるようにしたこと
を特徴とする請求項１記載の光検出装置。
【請求項３】前記受光素子における前記レーザ光が入射
する面に対向して配置される透過性の光学部材と、前記本体部を収容する容器であって、容器内部の気体を
外部に排出するための排出部が形成され、且つ前記光学
部材が配置されることにより容器内部が略密閉状態とな
ったときに窒素パージされる容器と、前記光学部材と前記容器との関係を規制する規制手段と
を更に具備したことを特徴とする請求項１記載の光検出
装置。
【請求項４】前記受光素子における前記レーザ光が入射
する面に対向して配置される透過性の光学部材と、前記本体部を収容する容器であって、前記光学部材が配
置されることにより容器内部が密閉状態となる容器と、前記光学部材と前記容器との関係を規制する規制手段と
を更に具備し、前記規制手段によって前記光学部材と前記容器とを密着
させるようにしたことを特徴とする請求項１記載の光検
出装置。
【請求項５】前記規制手段は有機物の接着剤で構成され
ていると共に、前記光学部材と前記容器とが前記接着剤によって密着さ
れる場合に、当該光学部材に対して、当該接着剤へ光が
進行しないように遮光する遮光処理を施したことを特徴
とする請求項４記載の光検出装置。
【請求項６】前記本体部の開口部を閉塞するための透過
性の光学部材と、前記光学部材と前記本体部との関係を規制する規制手段
とを更に具備し、前記規制手段によって前記光学部材と前記本体部とを密
着させるようにしたことを特徴とする請求項１記載の光
検出装置。
【請求項７】前記規制手段は有機物の接着剤で構成され
ていると共に、前記光学部材と前記本体部とが前記接着剤によって密着
される場合に、当該光学部材に対して、当該接着剤へ光
が進行しないように遮光する遮光処理を施したことを特
徴とする請求項６記載の光検出装置。
【請求項８】入射するレーザ光を検出し、該検出した結
果を外部へ出力する光検出装置において、前記レーザ光を検出する受光素子と、前記受光素子が配置される容器と、前記受光素子における前記レーザ光が入射する面に対向
して配置される透過性の光学部材とを有し、有機物の接
着剤を用いることなく前記光学部材と前記容器とを密着
させるようにしたことを特徴とする光検出装置。