JP2005243797A - 光エネルギー照射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】
光エネルギー照射部に照射される光エネルギーを、その場において測定可能なように光エネルギー測定手段を具備した光エネルギー照射装置を提供する。
【解決手段】
光エネルギー照射装置は、閃光放電ランプＨＦＬと；閃光放電ランプＨＦＬの発光を被照射物に集光するミラーＭと；閃光放電ランプＨＦＬおよびミラーＭと離間して対向する位置に配設されて被照射物を載置する光エネルギー照射部ＷＬＩと；光エネルギー照射部ＷＬＩに被照射物の載置に支障ないように配設された光エネルギーセンサＬＳと；光エネルギーセンサＬＳの出力に基づいて照射される光エネルギーを測定する光エネルギーモニターＬＭと；閃光放電ランプＨＦＬにパルス電流を供給して点灯する閃光放電ランプ点灯回路ＬＯＣと；を具備している。
【選択図】
図１

Description

本発明は、瞬間的に大強度の光エネルギーを被照射物に照射するのに適した光エネルギー照射装置に関する。

透光性の細長い気密容器の内部にキセノンからなる放電媒体を封入した閃光放電ランプにパルス状のランプ電流を供給して放電させると、瞬間的に大きな強度の閃光、紫外光、可視光および赤外光を含む放射を瞬間的に発生させることができる。閃光放電ランプから得られる光エネルギーをランプに近接した位置で照射することによって半導体材料のアニール、割断など半導体、液晶プロセス分野など各種の分野における表面加熱、表面殺菌および表面硬化などの表面処理が可能になる。

従来は、上記を目的とする光エネルギー照射には主としてレーザやハロゲン電球を用いているが、レーザやハロゲン電球に代えて上記閃光放電ランプを多灯並列配置することにより、極めて短時間で、しかも比較的面積の大きい被照射物全体を同時に光エネルギー照射することが可能になる。また、閃光放電ランプは、ランプの長寸化が比較的容易なため、被照射物の大面積化を実現することができる。

上述の用途に用いる閃光放電ランプは、気密容器が細長くて石英ガラスからなり、気密容器の両端内部に一対の電極を封装し、気密容器の内部にキセノン（Ｘｅ）などの希ガスを封入していて、かつ、気密容器の外周に近接してトリガーワイヤを配設した構造である。

発明者らは、上述の用途に好適な閃光放電ランプを先に提案し、特願２００３−１８０９７７号（以下、便宜上「先願発明」という。）として出願されている。提案された閃光放電ランプは、内部断面積がＳ１の第１の領域および内部断面積がＳ２の第２の領域を管軸方向に備え、石英ガラスを主体として形成されていて、数式０．３＜Ｓ２／Ｓ１＜０．９を満足する透光性の細長い気密容器を備えている点で特徴付けられる。

一方、上述の光エネルギー照射を行う場合に、光エネルギー量を把握できることが要求される。光の測定には従来から照度計や輝度計（例えば、非特許文献１参照。）が使用されている。これらの測定手段は、人間の眼に感じる被照面における照度および光源や照明器具の輝度を測定するための計測手段であり、そのため可視光を標準比視感度に近い感度特性を持たせた受光手段を用いている。照度計は、光電池およびその光電流を直接または演算増幅器で増幅して指示するマイクロアンメータで構成され、被照面に到達する全ての可視光を受光する。また、輝度計には、レンズ系からなる光学系を用いて光源などの被測定面の像を作って、その像の明るさを光電的に測るレンズ系式光電輝度計と、遮光筒を用いて入射光の入射立体角を制限して立体角内の面の輝度を測る遮光筒式光電輝度計とがある。

ところが、上述した従来技術による測定では、閃光放電ランプから所定距離離間した位置のそれぞれの局部ごとに、瞬間的に照射される大きな強度の光エネルギーや紫外光の照射をどの程度受けるかについて正確、かつ、簡便に測定するのが困難であった。照度計や輝度計を用いて測定しようとしても、上記の目的には沿うことができない。

そのため、従来においては、閃光放電ランプや紫外線放射ランプを光源とする光エネルギー照射装置を正確な光照射量の測定結果に基づいてきめ細かく制御したり、光エネルギー照射装置を適切に設計したりすることができなかった。特に照射される光が真空紫外光を含む短波長光を主体とする場合には、なお一層測定が困難になっている。

以上の理由から、閃光や紫外光を利用して上述した表面処理やその他光照射処理を行うためには、瞬間的に照射される大きな強度の光エネルギーや紫外光を照射される光エネルギー照射処理部側において、局部的に、しかも比較的簡便に測定できる照射エネルギー測定装置および照射エネルギー測定方法の出現が強く望まれている。これに対して、本発明らは、先に上記要求を満足する照射エネルギー測定装置および照射エネルギー測定方法を発明し、当該発明は特願２００３−３９８２５７として出願されている。
「新しい照明ノート」第１４〜１７頁、平成１０年４月３０日株式会社 オーム社発行

ところで、上述した表面処理のためには、閃光放電ランプによる被照射物への光エネルギー照射を一層効率よく行えるようにすることが要求されており、これに伴って均一、かつ、高効率の光エネルギー照射ができて、しかも、操作性の良好な光エネルギー照射装置の実現が強く期待されている。

上記の要求に応えるためには、まず光エネルギー照射装置が使い勝手がよくて正確な測定のできる光エネルギー照射の測定手段を備えていることが望ましい。

また、比較的大きな面積にわたり均一な光エネルギーの照度分布が得られることが望ましく、そのために複数の閃光放電ランプを隣接して並列配置する。ところが、閃光放電ランプは、気密容器の両端内部に一対の電極を封装して備えていて、その一方が陽極となり、他方が陰極となって直流放電ランプとして作動するために、管軸方向の照度分布が陽極側と陰極側とで不均一が生じるという問題がある。また、複数の閃光放電ランプを隣接して並列配置した際に管軸に直交する方向の照度分布を高度に均一化することが要求されるが、これに応えるのが困難であるという問題もある。

さらに、被照射物を所定位置に支持して光エネルギー照射を行うためには、閃光放電ランプおよびミラーに近接する位置において、閃光放電ランプおよびミラーに平行に光エネルギー照射部を配設するのがよい。ところが、光エネルギー照射部が強い光エネルギーに曝されるために、変形したり、例えば炭素などの不純物を放出して被照射物を汚染したりするという問題がある。そこで、大強度の光エネルギー照射に耐える光エネルギー照射部が要求されている。

さらにまた、被照射物の所要の部位にのみ光照射を適切に行えることが望ましい。これについては、一般にマスキング手法を用いるのがよいが、強い光エネルギーの照射に曝されるために、マスクが熱膨張により不所望な変形を生じたり、マスク構成物質が飛散して被照射物を汚染したり、さらには不純物を放出したりする問題がある。そこで、大強度の光エネルギー照射に耐えるマスクが要求されている。

本発明は、使い勝手が良好になるように改良された光エネルギー照射装置を提供することを一般的な目的とする。

また、本発明は、光エネルギー照射部に照射される光エネルギーを、その場において測定可能なように光エネルギー測定手段を具備した光エネルギー照射装置を提供することを目的とする。

さらに、本発明は、光エネルギー測定手段が光エネルギー照射部に載置された被照射物に対する光エネルギー照射の邪魔にならないように配設された光エネルギー照射装置を提供することを目的とする。

さらにまた、本発明は、被照射物に対して均一な光エネルギー照射を行えるように改良された光エネルギー照射装置を提供することをより他の目的とする。

さらにまた、本発明は、所望の光エネルギー照射を行えるように被照射物を載置する光エネルギー照射部が改良された光エネルギー照射装置を提供することを他の目的とする。

さらにまた、本発明は、被照射物の所要部位にのみ光エネルギー照射を適切に行えるように構成された光エネルギー照射装置を提供することをより他の目的とする。

請求項１の発明の光エネルギー照射装置は、閃光放電ランプと；閃光放電ランプの発光を被照射物に集光するミラーと；閃光放電ランプおよびミラーと離間して対向する位置に配設されて被照射物を載置する光エネルギー照射部と；光エネルギー照射部に被照射物の載置に支障ないように配設された光エネルギーセンサと；光エネルギーセンサの出力に基づいて照射される光エネルギーを測定する光エネルギーモニターと；閃光放電ランプにパルス電流を供給して点灯する閃光放電ランプ点灯回路と；を具備していることを特徴としている。

本発明および以下の各発明において、特に指定しない限り用語の定義および技術的意味は次による。

＜閃光放電ランプについて＞ 閃光放電ランプは、透光性の細長い気密容器、気密容器の両端内部に封装されている一対の電極、気密容器の内部に封入されて閃光放電時に発光する放電媒体および気密容器の外周に近接して配設されたトリガーワイヤを備えている。 また、光エネルギー照射装置に配設される閃光放電ランプは、その数は自由である。例えば、複数の閃光放電ランプを隣接状態で並列して、所望面積の被処理物を同時に光エネルギー照射するように構成することが許容される。

以下、本発明に用いられる閃光放電ランプの理解を容易にするために、以下構成要素ごとに説明する。

（気密容器について） 気密容器は、少なくともその主要部、すなわち少なくとも放電により発生した光、例えば紫外光または／および可視光や赤外光を外部に導出して利用しようとする部位が上記の光に対して透光性の石英ガラスにより形成されている。したがって、上記の部位以外のその他の部位は透光性でなくてもよい。「透光性」とは、外部に導出して利用とする所望波長帯の光を実質的に透過すればよく、要すれば真空紫外光に対しても実質的に透過性にすることができる。

さらに、気密容器は、全体として細長い形状をなしていて、内部が中空になっていて、放電空間として利用される。気密容器の長さは、被処理物の大きさに応じて所望の値に設定することができる。例えば、０．４〜２ｍ程度の長さを有する気密容器を備えた閃光放電ランプを得ることもできる。

さらにまた、気密容器は、所望により中空部の管軸方向に内部断面積が例えばある値を有する第１の領域および内部断面積が上記の値と異なる値を有する第２の領域を管軸方向に備え、それら領域の断面積比が所定の関係を満足するように構成することができる。

さらにまた、気密容器は、その内部を外気に対して気密に封止するとともに、後述する電極を封装して支持するために、その両端に封止部を備えている。封止部は、適宜の構成を採用することができるが、閃光放電時には数千Ａの大電流が瞬間的に流れるので、これに耐える封止構造を採用する必要がある。好適にはグレーデッドシール構造を採用するのがよい。

（一対の電極について） 一対の電極は、気密容器の両端内部に対向して封装されている。そして、従来から閃光放電ランプに一般に用いられている構成であるところの冷陰極形の電極を用いることができる。この場合、例えばニッケル（Ｎｉ）、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）、タンタル（Ｔａ）およびチタン（Ｔｉ）のグループから選択された一種または複数種の耐火性金属あるいはこれらの複数種からなる合金またはステンレス鋼などを用いて電極を形成することができる。

また、電極は、例えば電極主部および電極軸を含み、電極主部を電極軸の先端に支持させて構成することができる。電極軸は、その基端が気密容器の封止部に気密に封着される。なお、グレーデッドシール構造の場合、導入線を電極軸と兼用することができ、したがって導入線を気密容器の封止部を貫通させて気密容器の内部へ突出させ、その先端電極主部を支持させることができる。

さらに、電極軸をセラミックスで被覆することができる。これにより、閃光放電ランプの点灯によって高温に加熱された電極軸から炭素（Ｃ）などの不純物が気密容器の内部に放出されて気密容器の内面を黒化して閃光放電ランプが短寿命になるのを抑制することができる。また、上記セラミックスを適当な大きさに形成することにより、加えて電極を所定位置に保持するための電極保持部材としても作用させることができる。さらに、所望により上記セラミックスにゲッタを保持させることもできる。

（放電媒体について） 放電媒体は、その放電により所望波長域の光を放射する媒体であり、希ガス、希ガスのハロゲン化物または希ガスおよび水銀（Ｈｇ）などであることを許容する。希ガスは、アルゴン（Ａｒ）、クリプトン（Ｋｒ）およびキセノン（Ｘｅ）のグループから選択された一種を単独で、または複数種を混合して用いることができる。また、希ガスの封入圧は、従来から閃光放電ランプに一般に用いられているのと同様な圧力、例えば５０Ｐａ〜２００ｋＰａ程度であることを許容する。希ガスおよび水銀を封入する場合、水銀は、閃光放電によりその蒸気が放電に寄与して特有のスペクトルの放射を行うように適量を封入するものとする。水銀蒸気は、閃光放電において、主として波長２５４ｎｍ、３６５ｎｍの紫外光を高効率で放射する。封入した水銀は、その全量が蒸発するように封入してもよいし、一部が蒸発しないで液相で滞留するように封入してもよい。また、キセノンを主体としてこれにクリプトンを添加することにより、キセノンによる紫外域から赤外域にわたる放射に加えて、２００〜３００ｎｍの紫外光の放射を増加することができる。

（トリガーワイヤについて） トリガーワイヤは、気密容器の外面に近接して配設され、少なくとも一方の電極との間に強い電位傾度を形成することにより、気密容器内の内部を絶縁破壊して、一対の電極間に放電を生起させるための手段である。また、トリガーワイヤは、例えば気密容器の外周に螺旋状をなしている態様、ほぼ直線的に延在する態様などに配設することができる。

トリガーワイヤによって一方の電極との間に強い電位傾度を形成するためには、例えばトリガーワイヤと当該一方の電極との間にトリガー用電源を接続したり、トリガーワイヤを他方の電極に接続したりすればよい。また、トリガーワイヤの電極間における長さを調節することによって、一対の電極間における放電開始電圧を所望値になるように制御することもできる。

＜ミラーについて＞ ミラーは、利用しようとする波長域の光の少なくとも一部に対して比較的高い反射率を呈する光反射特性を有し、かつ、閃光放電ランプの発光を後述する光エネルギー照射部に集光するように構成されている。

また、ミラーは、ステンレス鋼板を用いて形成することができる。ステンレス鋼は、高強度の光エネルギーに対して望ましい機械的強度と反射特性を維持することができる。

さらに、複数の閃光放電ランプを配列して配置する場合、ミラーは、閃光放電ランプに対して１対１の関係になるように配設することができる。しかし、要すれば、単一の反射鏡を複数の閃光放電ランプに対して共通になるように配設することも許容される。後者の場合、ミラーは、全体として平板状をなすのがよい。しかし、ミラーの管軸に平行になる側縁部は、これをスカート状に屈曲ないし湾曲させるのが好ましい。隣接する閃光放電ランプの中間部が対向するミラーの反射面を閃光放電ランプ側へ突出させると、閃光放電ランプの管軸に対して直交する方向の照度分布の均整度が良好になる。なお、突出部の形状は、横断面が倒立三角形状、半円形状、放物面状または矩形状などをなしているように構成にすることができる。

＜光エネルギー照射部について＞ 光エネルギー照射部は、閃光放電ランプの発光を照射される位置、例えば閃光放電ランプおよびミラーに離間対向する位置に配設されて、被照射物を支持するように構成されている手段をいう。そして、一般的には平板状をなしている。しかし、光照射物の形状、光エネルギー照射の態様などにより非平板状に構成することが許容される。

また、光エネルギー照射部は、少なくともその表面が被照射物に対する光エネルギー照射に対して光エネルギーの不所望な反射をしないように構成されていることが望ましい。そのために、光エネルギー照射部を黒色系の耐熱性物質、例えば黒色系の着色セラミックスなどで形成したり、基体金属の表面またはおよび裏面を黒色系の着色された耐熱性物質、例えばセラミックスで被覆したりすることができる。

さらに、光エネルギー照射部の被照射物を支持する態様は、多様であることを許容する。例えば、被照射物を単に光エネルギー照射部の表面に載置するだけでもよいし、被照射物を光エネルギー照射部に固定するのであってもよい。

＜光エネルギーセンサについて＞ 光エネルギーセンサは、閃光放電ランプから放射されて光エネルギー照射部に到達する光エネルギーを感知する手段である。光エネルギー照射部に到達する光エネルギーを光エネルギー照射部の機能を阻害することなしに感知するために、光エネルギー照射部に内蔵するのがよい。

また、光エネルギーセンサは、光エネルギーを受光して電気信号、例えば電圧信号に変換して出力する手段であり、電子管や固体素子として入手することができる。そして、そのピーク感度が紫外光から赤外光までの波長域の少なくとも一部に属する波長域に存在するものであればよい。すなわち、閃光放電ランプは、紫外光から赤外光までの比較的広範囲にわたる波長域の放射を生じる。また、紫外光放射ランプは、主として紫外光を放射し、その他に可視光および赤外光をも放射する場合が多い。そして、閃光放電ランプや紫外光放射ランプにおいては、紫外光から赤外光までの波長域の少なくとも一部の放射は、残余の放射と一定の比率関係にあることが多いので、上記一部の波長域を主として受光すれば、その他波長域の放射の強度を推定することが可能である。しかし、望ましくは主として測定したい波長域の放射にピーク感度を有する受光手段を用いるのがよい。例えば、量子形の光電形センサおよび熱形の焦電形センサなどを光エネルギーセンサとして採用することができる。なお、光電形センサは、光導電形および光起電力形のいずれであってもよい。焦電形センサは、受光した光エネルギーにより発熱して出力を生じるので、紫外光〜赤外光までの幅広い波長域の光エネルギーを熱エネルギーに変換して受光することによって光エネルギーの強度を計測することができるので、本発明においては特に好適である。

さらに、光エネルギーセンサは、好適には光エネルギー照射部に光選択導入手段を配設するとともに、光選択導入手段の背後に光エネルギーセンサを配設する。光選択導入手段は、光エネルギー照射部の適当な位置、例えば中央部近傍において、その微小部分に対して閃光放電ランプから放射される光エネルギーを測定のために、光エネルギーセンサの受光部に選択して導入する手段である。すなわち、「微小部分」とは、測定ポイントの大きさを規定する。また、「光エネルギーを選択する」とは、当該部分に照射される大きな光エネルギーを光エネルギーセンサで計測可能な程度まで絞ることを意味する。なお、「絞る」とは、光エネルギーの量や波長域などに限定することを意味する。したがって、光選択導入手段は、光エネルギーのうち可視光または／および紫外光を減光させるフィルタ手段または波長選択性のフィルタ手段を備えることができる。

また、光選択導入手段は、上記の機能を発揮するために、入光部を備えている。入光部は、好ましくはピンホールのような小径孔により構成される。小径孔は、通過する光エネルギーを適当な量に制限するために、一般的にはその開口面積が１００ｍｍ^２以下であり、好適には１０ｍｍ^２以下である。また、ピンホールおよび小径孔は、その形状が円形、スリット状など適宜の形状をなしていることを許容される。また、入光部は、所望により遮光部材に形成した小径孔に遮光性メッシュ体またはグレイスケールなどの減光フィルタや波長選択性の色フィルタを配設した構成であってもよい。さらにまた、後述する遮光ボックスを配設する場合、入光部を遮光ボックスの例えば光エネルギーセンサの受光面に対向する位置に形成することができる。さらにまた、入光部は、ステステンレス鋼（ＳＵＳ）、ニッケル（Ｎｉ）、タングステン（Ｗ）およびモリブデン（Ｍｏ）などの耐火性金属やシリコーン樹脂、フッ素系樹脂（例えば、「テフロン」（登録商標））などの耐候性、耐薬品性などを備えた合成樹脂などからなる基板にこれを形成することができる。

さらに、光選択導入手段は、好ましくは入光部に加えて遮光ボックスを備えて構成される。遮光ボックスは、その頂面にピンホールなどの入光部を配設しているのが好ましい。そして、ピンホールなどの入光部以外に外部から不所望な光が遮光ボックス内に侵入しないように構成されるとともに、内部に後述する受光手段を収納する。したがって、遮光ボックスは、入光部と光エネルギーセンサとの間に適当な距離の空間を与える。この遮光ボックスは、その内面が遮光面、反射面または光拡散面などが形成され、入光部から入射した光エネルギーのみをなるべくはさらに減衰させたり、角度特性がなくなるようにしたりして、光エネルギーセンサへ導くように作用する。

さらにまた、遮光ボックスは、ステンレス鋼（ＳＵＳ）、ニッケル（Ｎｉ）、タングステン（Ｗ）およびモリブデン（Ｍｏ）などの耐火性金属やシリコーン樹脂、フッ素系樹脂（例えば、「テフロン」（登録商標））などの耐候性、耐薬品性などを備えた合成樹脂などを用いて形成することができる。

さらにまた、所望により、遮光ボックス内における紫外光、殊に真空紫外光の減衰や吸収を低減するための手段を付設することができる。紫外光、殊に真空紫外光の減衰を低減するための好ましい手段は、紫外光の減衰の少ない気体、例えば窒素（Ｎ_２）などを封入して空気を置換したり、または窒素などを遮光ボックス内にフローして空気をパージしたりするように構成することである。

＜光エネルギーモニターについて＞ 光エネルギーモニターは、光エネルギーセンサの出力に基づいて照射される光エネルギーを測定する手段である。閃光放電ランプの閃光発光量を制御ないし調整するために、光エネルギーモニターの出力を後述する閃光放電ランプ点灯回路に送出して、これを制御することができる。

また、モニターは、測定した光エネルギーの大きさないし量を所望により表示する表示手段を備えていることが許容される。この場合の表示は、測定値を直接または間接的に行うことができる。表示手段の配設位置は、光エネルギー照射装置およびこれから離間した位置のいずれであってもよい。例えば、閃光放電ランプの電源の監視制御部などに表示手段を配置することができる。

＜閃光放電ランプ点灯回路について＞ 閃光放電ランプ点灯回路は、閃光放電ランプにパルス電流を供給して閃光点灯させる回路構成であれば、具体的な回路構成は問わないが、好適には高圧直流電源および充放電用のコンデンサを含む構成である。高圧直流電源は、スイッチングレギュレータなどを主体として構成することができ、充放電用のコンデンサに対して充電用の高圧直流電圧を出力する。充放電用のコンデンサは、閃光放電ランプに対してパルス電流の電源となり、閃光放電ランプを経由してそこに蓄積された電荷を放電させることによって閃光放電ランプに対して瞬間的なパルス電流を供給する。

また、閃光放電ランプ点灯回路は、閃光放電ランプとの関係において、１対１の関係や１対複数の関係などのいずれの形態であってもよい。後者の関係の場合、複数の閃光放電ランプを共通となる単一の閃光放電ランプ点灯回路に対して複数の閃光放電ランプを直列接続および並列接続のいずれであってもよく、要すれば直並列接続も許容される。なお、直列接続する場合、所望により各閃光放電ランプのトリガーワイヤを同様に直列接続することができる。

＜本発明の作用について＞ 本発明においては、以上の構成を具備していることにより、閃光放電ランプが閃光放電を行うと、発生した閃光は、ミラーで光エネルギー照射部に向けて集光され、光エネルギー照射部に載置された被照射物に光エネルギーを照射する。その結果、被照射物の表面処理などが効果的に行われる。

また、光エネルギー照射部には光エネルギーセンサが配設されているので、被照射物に照射されるのとほぼ同一条件の光エネルギーを測定することができる。そのため、照射される光エネルギーの量、設計値に対するばらつきおよびパフォーマンスなどを的確に把握することができる。したがって、測定データを利用して光エネルギー照射を管理するのに極めて効果的である。例えば上記の光照射に先立って予め閃光放電ランプを閃光発光させてその光エネルギーの量、設計値に対するばらつきおよびパフォーマンスなどを知ることができる。そして、被照射物に必要な光エネルギーが照射されるように電源を制御することにより、所望量の光エネルギーを被照射物に照射することができるようになる。さらに、光エネルギーの照射中に光エネルギー量を測定して電源を帰還制御するように構成すれば、光エネルギー照射を常に一定に維持することも可能になる。

さらに、光エネルギーセンサは、例えば光エネルギー照射部に内蔵されるなど被照射物の載置に支障ないように配設されている。したがって、被照射物への光照射は、光エネルギーセンサに阻害されるようなことがない。

請求項２の光エネルギー照射装置は、請求項１記載の光エネルギー照射装置において、光エネルギー照射部に配設されて光エネルギーセンサへの入光を遮断可能なシャッターを具備していることを特徴としている。

本発明において、シャッターは、例えばステンレス鋼、ニッケル（Ｎｉ）、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）などの耐火性金属やシリコーン樹脂、フッ素樹脂（「テフロン」（登録商標））などの耐候性および耐薬品性の遮光性物質などからなり、開閉自在に構成されている。そして、シャッターを閉じたときに光エネルギーセンサへの入光が遮断される。また、シャッターが閉じている状態において、光エネルギー照射部は、光エネルギーセンサが配設されていないのとほぼ同様に機能する。

また、光エネルギーセンサを配設するために、光選択導入手段を付設する場合には、所望により光選択導入手段が本発明におけるシャッターを兼ねるように構成することができる。すなわち、光選択導入手段の入光部を、例えば虹彩絞り機構のように開口の大きさが０の場合を含む開口面積可変構造とすればよい。そうすれば、シャッターを操作して所定の大きさに開口させれば、光選択導入手段として機能し、またシャッターを操作して開口をなくせば、シャッターが閉じて光エネルギーセンサに対する入光を遮光する状態になる。

そうして、本発明によれば、上記の構成を具備しているので、光エネルギー測定時以外においてはシャッターを閉じておくことができる。このため、光エネルギーセンサが光エネルギーを測定しているとき以外のときにも光エネルギー被曝を受けることによって、光エネルギーセンサの劣化が必要以上に進行するのを効果的に抑制することができる。

また、被照射物に対する光エネルギー照射処理時にシャッターを閉じておくことにより、被照射物に対して照射むらのない光エネルギー照射を行うことができる。

＜本発明のその他の構成について＞ 本発明においては、以下の構成を選択的に付加することにより、閃光放電ランプの性能が向上する。

１．（ランプ電流モニター手段） ランプ電流モニター手段は、閃光放電ランプに流れるパルス状のランプ電流をモニターする手段であり、ランプ電流を検出する電流検出手段および電流検出手段の検出電圧を測定する電圧測定手段を備えている。閃光放電ランプを点灯するために、陰極を低圧側とし、陽極を高圧側として電源に接続するのが一般的である。なお、低圧側を接地することで配線が容易になる。陰極を低圧側にする場合、電流検出手段を陰極側に配設することにより、電気絶縁が容易、かつ、安価になるとともに、安全性が向上する。

そうして、本構成を具備していることにより、閃光放電ランプの電気特性を測定することができ、前述の光エネルギー測定手段による発光特性の把握に加えて電気特性把握することで、閃光放電ランプのメンテナンスが容易になるとともに、被照射物への光エネルギー照射の歩留まりが向上する。

２．（透光窓を備えた収納容器） 透光窓を備えた収納容器は、閃光放電ランプおよびミラーを収納して、これらを外気から遮断する手段である。すなわち、閃光放電ランプおよびミラー鏡を収納容器内に収納して、当該容器の内部に紫外光の減衰の少ない不活性ガス、例えば窒素（Ｎ_２）を封入して外気と置換したり、不活性ガスをフローして外気をパージしたりするように構成することができる。これらの置換およびパージにおいて、不活性ガスが分圧で９０％以上になるようにすると効果的である。

透光窓は、閃光放電ランプからの光が容器から外部へ出射する位置に配設される。また、透光窓は、所望の波長域の光をなるべく減衰しないで透過するような材料で構成してフィルタ作用を呈するようにするのが望ましい。透光窓をシリカが９０質量％以上含むガラス質材料、例えば合成石英ガラスなどで形成することにより、例えばキセノンが放射する波長１７２ｎｍや水銀が放射する波長１８５ｎｍなどの真空紫外光を含む紫外光および可視光を良好に透過させることができる。なお、上記透光窓は、水銀を含まない放電媒体を封入する閃光放電ランプに対しても効果的である。

そうして、以上のように透光窓を備えた収納容器用いることにより、被照射物に対する減衰の少ない光エネルギー照射を行うことが可能になる。また、透光窓は、光エネルギー照射の際に生じる被照射物からの飛散物が閃光放電ランプおよび／またはミラーに到達しないように阻止するように作用する。したがって、透光窓があることにより、閃光放電ランプおよびミラー鏡を汚損から保護して、それらの寿命特性が短縮するのを阻止することができる。また、透光窓に付着した飛散物は、これを比較的容易に除去することができる。

３．（フィルタ） フィルタは、光エネルギー照射装置の構成部材として用いられ、例えば閃光放電ランプおよびミラーを外気に露出した状態で使用する場合において、閃光放電ランプおよびミラーと被照射物との間に介在するように配設される。そして、フィルタは、閃光放電ランプのその他の構成において述べたのと同様に構成されていることを許容する。

４．（被照射物の保持手段） 光エネルギー照射装置における被照射物の保持は、被処理物が光エネルギー照射を受けたときに急激な温度変化により不所望な変形やマイクロクラックなどのダメージを受けないように配慮することが望ましい。特に被照射物が薄い場合にはその傾向が強い。すなわち、光エネルギー照射時に被照射物に吸収されて光エネルギー照射処理に寄与する光ばかりでなく、被照射物を透過する光、例えば可視光および赤外光なども存在する。ところが、被照射物が支持台からなる光エネルギー照射部などに密接して支持されていると、被照射物を透過する光によって被照射物の表裏の温度差が顕著になり、上述のダメージを与える。

被照射物が光エネルギー照射時にダメージを受けないようにするためには、被照射物を熱容量の大きな支持台などの部材から実質的に浮かして支持するように光エネルギー照射部を構成すると効果的であることが分かった。このような作用下において被照射物を支持するには、被照射物の光エネルギー照射エリアの１０％以下の部分または光エネルギー照射エリアすなわち照射処理部以外の部位すなわち非処理部を支持するか、被照射物を補助加熱するのがよい。

前者としては、例えば被照射物の非処理部を保持する、ピン状の支持部材で支持する、などがこれに該当する。非処理部を保持する場合には、被照射物を直に支持してもよい。ピン状の支持部材で支持する場合には、光エネルギー照射エリア全体を均等に支持することができる。これにより被照射物の光エネルギー照射エリアの９０％以上が雰囲気エリア内に浮いている状態で光照射を受けることができる。その結果、光エネルギー照射時に被照射物を透過する光によるダメージを受けにくくなる。

後者としては、光エネルギー照射部において、ホットプレートなどを用いて被照射物の支持台を加熱することができる。被照射物が補助加熱されることにより、被照射物が予め加熱された状態で光エネルギー照射を受けることができるので、光エネルギー照射によって受ける熱衝撃を緩和する。その結果、上述のダメージが軽減される。

なお、上記被照射物の保持手段は、請求項１の閃光放電ランプを備えた光エネルギー照射装置ばかりでなく、前述した本発明の目的を達成するためのその他の構成として記載した閃光放電ランプを備えた光エネルギー照射装置に対しても効果的である。

＜本発明の目的を達成するためのその他の構成について＞ 以下の構成を請求項１および２の構成に付加して、または独立して採用することができる。

１．一方の陽極と隣接する他方の陰極が対向するように互いに隣接して並列配置されている複数の直管状で細長い閃光放電ランプと；複数の閃光放電ランプの発光を集光するミラーと；閃光放電ランプおよびミラーと離間して対向する位置に配設されて被照射物を支持する光エネルギー照射部と；複数の閃光放電ランプにパルス電流を供給して点灯する閃光放電ランプ点灯回路と；を具備していることを特徴とする光エネルギー照射装置。

本構成は、被照射物に対して均一な光エネルギー照射を行えるようにするのに好適な構成を提示している。さらに詳しくいえば、閃光放電ランプの管軸方向の発光に前述したような不均一が生じても、これを克服して管軸と直交する方向の光エネルギー照射部における照度分布の均整度を良好にするのに好適な構成を提示する。

本構成においては、隣接して並列配置される複数の閃光放電ランプの電源に対する接続の態様および閃光放電ランプに接続する閃光放電ランプ点灯回路の構成は、特段限定されない。例えば、複数の閃光放電ランプは、互いに分離していてもよいし、並列または直列接続していてもよい。閃光放電ランプ点灯回路は、閃光放電ランプの接続の態様に応じて閃光放電ランプと１対１の関係に複数に、または複数の閃光放電ランプに対して共通の単一に、構成される。しかしながら、複数の閃光放電ランプが直列接続される場合には、直列回路の中間に位置する隣接して対をなす閃光放電ランプの対向する電極間をそのまま接続すればよいので、接続が容易になる。また、絶縁も極めて簡単になる。

そうして、本構成によれば、閃光放電ランプの両端側で発光量が不均一であっても、相違している同士が隣接することで平均化されるため、全体として光エネルギー照射部における管軸と直交する方向の照度分布が均整化される。その結果、光エネルギー照射部の全域にわたって均整度の良好な光エネルギー照射を行うことができる。

２．並列配置された複数の直管状で細長い閃光放電ランプと；複数の閃光放電ランプの発光を集光するミラーと；閃光放電ランプおよびミラーと離間して対向する位置に配設されて被照射物を支持する光エネルギー照射部と；閃光放電ランプに対して相対的に光エネルギー照射部を管軸と交差する方向に揺動させる揺動手段と；複数の閃光放電ランプにパルス電流を供給して点灯する閃光放電ランプ点灯回路と；を具備していることを特徴とする光エネルギー照射装置。

本構成は、被照射物に対して均一な光エネルギー照射を行えるようにするのに好適な１．とは異なる構成を提示している。さらに詳しくいえば、閃光放電ランプの管軸方向の発光に前述したような不均一が生じても、これを克服して管軸と直交する方向の光エネルギー照射部における照度分布の均整度を良好にするのに好適な構成を提示する。

揺動手段は、閃光放電ランプの複数回にわたる閃光発光を通じて光エネルギー照射部を閃光放電ランプに対して相対的に揺動させる手段である。したがって、光エネルギー照射部のみ、閃光放電ランプのみ、または非同期でこれら両者、を揺動させるように構成することができる。揺動の範囲は、１０〜３０ｍｍ程度でよい。

そうして、本構成によれば、光エネルギー照射部が閃光放電ランプの複数回にわたる閃光発光を通じて相対的に揺動することで、被照射物の光エネルギーが照射される部位が分散されるので、結果として被照射物から見たときの照度分布が均整化され、被照射物に対して均一な光エネルギー照射を行うことができる。

３．並列配置された複数の直管状で細長い閃光放電ランプと；複数の閃光放電ランプの発光を集光するミラーと；少なくとも光照射側の表面がセラミックスからなり、閃光放電ランプおよびミラーと離間して対向する位置に配設されるとともに被照射物を支持する光エネルギー照射部と；複数の閃光放電ランプにパルス電流を供給して点灯する閃光放電ランプ点灯回路と；を具備していることを特徴とする光エネルギー照射装置。

本構成は、不純物を放出しにくい光エネルギー照射部を備えた光エネルギー照射装置を提示する。光エネルギー照射部は、被照射物を支持する。支持は、単に被照射物を載置するだけでもよい。しかし、所望により被照射物を固定的に支持するように構成することもできる。

また、光エネルギー照射部は、少なくとも光照射側の表面がセラミックスにより形成されている。光エネルギー照射部のほぼ全体を例えばステアタイトなどのセラミックスで形成することができるが、金属基体の一方または両方の表面にセラミックスを積層、溶射などにより被覆したものであってもよい。上記のセラミックスは、好ましくは波長５００ｎｍ以上の可視光吸収特性を有しているものとする。なお、吸収の程度は、少なくとも上記波長域の一部を吸収するのであってもよい。

そうして、本構成によれば、光エネルギー照射部が大強度の光エネルギー照射に耐えるようになり、高温に曝される条件下であっても、金属放出、不純ガス放出などの不純物発生が防止されて被照射物を光エネルギー照射中清浄に保持することができる。また、発生熱による光エネルギー照射部の変形が抑制されるので、被照射物に対して安定した光エネルギー照射処理を行うことができる。

また、波長５００ｎｍ以上の可視光吸収特性を有するセラミックスを用いた光エネルギー照射部の場合、光エネルギー照射部に照射された光エネルギーが反射して被照射物の背面を照射するようなことがなくなるので、上記反射によって被照射物に対する光エネルギー照射に不具合が発生するのを防止することができる。

４．並列配置された複数の直管状で細長い閃光放電ランプと；複数の閃光放電ランプの発光を集光するミラーと；閃光放電ランプおよびミラーと離間して対向する位置に配設されて被照射物を支持する光エネルギー照射部と；光エネルギー照射部に支持される被照射物の光エネルギー照射を拒否する部位を被覆する少なくとも光エネルギー照射側の表面がセラミックスからなるマスキング手段と；複数の閃光放電ランプにパルス電流を供給して点灯する閃光放電ランプ点灯回路と；を具備していることを特徴とする光エネルギー照射装置。

本構成は、被照射物の光エネルギー照射を拒否する部位を被覆するのに好適な構成を提示する。マスキング手段は、その全体を例えばステアタイトなどのセラミックスで形成することができるが、金属基体の一方または両方の表面にセラミックスを積層、溶射などにより被覆したものであってもよい。上記のセラミックスは、好ましくは波長５００ｎｍ以上の可視光吸収特性を有しているものとする。なお、吸収の程度は、少なくとも上記波長域の一部を吸収するのであってもよい。

そうして、本構成によれば、マスキング手段が大強度の光エネルギー照射に耐えるようになり、高温に曝される条件下であっても、金属放出、不純ガス放出などの不純物発生が防止されて被照射物を光エネルギー照射中清浄に保持することができる。また、発生熱によるマスキング手段の変形が抑制されるので、被照射物に対して安定した光エネルギー照射処理を行うことができる。

また、波長５００ｎｍ以上の可視光吸収特性を有するセラミックスを用いたマスキング手段の場合、マスキング手段に照射された光エネルギーが反射して被照射物の背面を照射するようなことがなくなるので、上記反射によって被照射物に対する光エネルギー照射に不具合が発生するのを防止することができる。

請求項１の発明によれば、光エネルギー測定手段を具備したことにより、光エネルギー照射部に照射される光エネルギーを、その場において容易に測定可能であるとともに、光エネルギー測定手段が光エネルギー照射の邪魔にならない光照射装置を提供することができる。

請求項２の発明によれば、加えて被照射物に対する光エネルギー照射中には光エネルギー測定手段をシャッターによって遮蔽して光エネルギーセンサの不所望な劣化を抑制するとともに、光エネルギー測定手段によって被照射物に対する光照射が邪魔されない光エネルギー照射装置を提供することができる。

以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。

図１ないし図４は、本発明の光エネルギー照射装置を実施するための第１の形態を示し、図１は概念的正面断面図、図２は閃光放電ランプの正面図、図３は同じくワイヤバルブの正面縦断面図、図４は光選択導入手段の入光部およびその変形例を示す正面図である。本形態において、光エネルギー照射装置は、図１に示すように、閃光放電ランプＨＦＬ、ミラーＭ、光エネルギー照射部ＷＬＩ、光エネルギーセンサＬＳ、光エネルギーモニターＬＭおよび閃光放電ランプ点灯回路ＬＯＣを具備して構成されている。

＜閃光放電ランプＨＦＬ＞ 閃光放電ランプＨＦＬは、図２および図３に示すように、気密容器ＳＥ、一対の電極Ｅ、Ｅ、一対の導入線ＬＷ、ゲッターＧ、放電媒体およびトリガーワイヤＴＷを具備している。

気密容器ＳＥは、石英ガラスからなり、直管状をなしている。そして、横断面がほぼ真円形状であり、内径１０ｍｍ、外径１２ｍｍである。気密容器ＳＥの両端部は、封止端部を構成している。この封止端部は、いわゆるグレーデッドシールを形成していて、円筒状の石英ガラスからなる主体部分と後述する導入線ＬＷとの間を熱膨張係数が徐々に変化している複数の封止材を順次溶着することによって気密に封着している。なお、図２において、記号１ａは排気チップオフ部を示す。

一対の電極Ｅ、Ｅは、図３に示すように、タングステン（Ｗ）製の電極主部３ａおよび電極軸３ｂからなる。電極軸３ｂは、その先端部で電極主部３ａを支持しているとともに、電極主部３ａに対する給電路となる。なお、電極軸３ｂは、後述する導入線ＬＷがこれを兼ねている。また、一対の電極Ｚｒ−Ａｌ合金からなり、電極Ｅの後背部において気密容器ＳＥの内面に蒸着されている。

一対の導入線ＬＷは、気密容器ＳＥの両端部から外部へ気密に導出されていて、電極Ｅにランプ電流を供給する際の導電体としても機能する。気密容器ＳＥの内部に延在している先端部は、上述のように電極軸３ｂを兼ねている。また、所望により一対の導入線を支持することによって閃光放電ランプを所定の位置に保持することもできる。

放電媒体は、キセノン（Ｘｅ）からなり、気密容器ＳＥ内に１３．３ｋＰａの圧力で封入されている。

トリガーワイヤＴＷは、図２に示すように、例えば線径１ｍｍのモリブデン（Ｍｏ）線からなり、気密容器ＳＥの外面に接触した状態で、ピッチ３０ｍｍで螺旋状に巻回されて管軸方向に沿って延在している。なお、図において、記号４はトリガーワイヤＴＷの両端を気密容器ＳＥの外周面に固定する金属リングであり、記号５は金属リング４を介してトリガーワイヤＴＷから導出されたリード部である。

＜ミラーＭ＞ ミラーＭは、ステンレス鋼板を成形して形成されていて、閃光放電ランプＨＦＬの背後に配設されている。そして、閃光放電ランプＨＦＬから主として背方へ放射された光エネルギーを後述する光エネルギー照射部ＷＬＩ側へ反射する。

＜光エネルギー照射部ＷＬＩ＞ 光エネルギー照射部ＷＬＩは、平板状をなしていて、閃光放電ランプＨＦＬおよびミラーＭにほぼ平行に離間対向し、かつ、接近した位置に配設されている。そして、その表面に被照射物（図示しない。）を載置して支持する。

＜光エネルギーセンサＬＳ＞ 光エネルギーセンサＬＳは、焦電素子からなり、光エネルギー照射部ＷＬＩのほぼ中心部に内蔵されている。そして、光エネルギー照射部ＷＬＩに配設された光エネルギー選択導入手段１１を通過した光エネルギーを感知する。

光エネルギー選択導入手段１１は、図４（ａ）に示すように、光エネルギー照射部ＷＬＩに形成した開口からなる。そして、入光部１ｂを測定ポイントに配置して光エネルギーの測定を行う。また、光選択導入手段１１は、閃光放電ランプＨＦＬからの光エネルギー以外の外来光エネルギーが測定に実質的な影響を与える程度に侵入しないように配慮されている。さらに、光選択導入手段１１は、所望により図４（ｂ）に示す光エネルギーを減衰するメッシュ体ｍを張設した構成および図４（ｃ）に示すスリットなどの変形例が許容される。

＜光エネルギーモニターＬＭ＞ 光エネルギーモニターＬＭは、光エネルギーセンサＬＳの出力に基づいて光エネルギーセンサＬＳが感知した光エネルギーの強度を測定する。光エネルギーモニターＬＭの出力である測定値は、これを表示したり、図１に点線で示すように、後述する閃光放電ランプ点灯回路ＬＯＣを帰還制御したりするのに利用される。

＜閃光放電ランプ点灯回路ＬＯＣ＞ 閃光放電ランプ点灯回路ＬＯＣは、閃光放電ランプＨＦＬにパルス状の電流を供給してこれを閃光放電させる。閃光放電ランプ点灯回路ＬＯＣは、例えば静電容量４０μＦの充放電用のコンデンサを具備し、かつ、インダクタンス０μＨの直流電源からなる。そして、充放電用のコンデンサを電圧７ｋＶで充電して閃光放電ランプＨＦＬを点灯させると、閃光放電ランプＨＦＬにはピーク電流６．０６ｋＡ、電流半値幅３５．２μｓのパルス電流が流れて閃光放電が生起する。

＜光エネルギー照射装置の動作＞ 以上説明した光エネルギー照射装置において、光エネルギー測定を行うときには、被照射物を光エネルギー照射部に支持しないで閃光放電ランプＨＦＬを点灯する。すると、光エネルギーは、光エネルギー照射部ＷＬＩに形成した光エネルギー選択導入手段１１を通過して光エネルギーセンサＬＳで感知される。そのとき光エネルギーセンサＬＳは、センサ出力を生じ、光エネルギーモニターＬＭがそのセンサ出力を入力して光エネルギーの強度を測定する。したがって、光エネルギー照射部に支持される被照射物が照射されるのとほぼ同一条件の光エネルギーを測定することができる。

一方、被照射物を光エネルギー照射処理するときには、光エネルギー照射部に被照射物を支持して閃光放電ランプＨＦＬを点灯させる。

以下、図４ないし図１３を参照して本発明の光エネルギー照射装置を実施するためのその他の形態を説明する。なお、各図において、図１ないし図４と同一部分については同一符号を付して説明は省略する。

図５は、本発明の光エネルギー照射装置を実施するための第２の形態を示す概念的正面断面図である。本形態は、光選択導入手段１１が第１の形態における構造に加えて遮光ボックス１１ａを備えている点で異なる。すなわち、遮光ボックス１１ａは、光選択導入手段１１の入光部の背部に配置されていて、入光部に対向する底面に光エネルギーセンサＬＳが配設されている。また、遮光ボックス１１ａの内面は、反射性になっている。しかし、遮光性や光拡散性であってもよい。

図６は、本発明の光エネルギー照射装置を実施するための第３の形態を示す概念的正面断面図である。本形態は、図５に示す第２の形態に加えてシャッターＳＨを備えている点で異なる。すなわち、シャッターＳＨは、光選択導入手段１１の入光部の背面部に配置されていて、入光部を開閉可能に配設されている。

図７は、本発明の閃光放電ランプを実施するための第４の形態を示す閃光放電ランプの接続状態説明図である。本形態は、複数の閃光放電ランプＨＦＬを近接位置で並列配置する場合の接続に特徴がある。すなわち、複数の閃光放電ランプＨＦＬを直列接続しているとともに、電気回路が蛇行するように配置されている。なお、図において、説明の便宜のために閃光放電ランプＨＦＬの両端部の一方に斜線を付しているのが陽極側であり、斜線を付していない他方が陰極側である。したがって、隣接する対をなす閃光放電ランプＨＦＬの一方の陽極と他方の陰極とが対向する。

図８は、本発明の閃光放電ランプを実施するための第５の形態を示す概念的側面断面図である。本形態は、光エネルギー照射部ＷＬＩを複数並列配置された閃光放電ランプＨＦＬおよびミラーＭに対して相対的に揺動するように構成されている。例えば、光エネルギー照射工程中に複数回の閃光放電を間欠的に行う場合、光エネルギー照射部ＷＬＩを閃光放電ごとに図において矢印方向へ順次移動させる。あるいは左右交互に移動させる。

図９および図１０は、本発明の閃光放電ランプを実施するための第６の形態を示し、図９は概念的正面断面図、図１０は光エネルギー照射部およびその変形例の断面図である。本形態は、光エネルギー照射部ＷＬＩの少なくとも表面がセラミックスで形成されている。すなわち、光エネルギー照射部ＷＬＩは、図１０（ａ）に示すように、ステアタイトなどの黒色系の着色セラミックスの板体からなる。なお、図９において、記号Ｗは、被照射物であり、光エネルギー照射部ＷＬＩのセラミックスからなる表面に載置されることによって支持されている。また、光エネルギー照射部ＷＬＩは、図１０（ｂ）に示す変形例のように、金属基体１２の表裏両面にセラミックス１３、例えば黒色系の着色セラミックスを貼り付けた構成であってもよい。さらに、図１０（ｃ）に示す変形例のように、金属基体１２の表面のみに黒色系の着色セラミックス１３を貼り付けた構成であってもよい。

図１１および図１２は、本発明の閃光放電ランプを実施するための第７の形態を示し、図１１は概念的正面断面図、図１２（ａ）はマスキング手段の正面図、図１２（ｂ）は端面図である。本形態は、マスキング手段１４の少なくとも表面がセラミックス、例えば黒色系の着色セラミックスで形成されている。すなわち、マスキング手段１４は、例えば図１２（ａ）に示すように、額縁状の枠形をなしている。そして、図１２（ｂ）に示すように、金属基体１４ａの表裏両面にセラミックス１４ｂを貼り付けた構成になっている。

図１３は、本発明の閃光放電ランプを実施するための第８の形態を示す概念的回路ブロック図である。本形態は、ランプ電流モニター手段を備えている。すなわち、ランプ電流モニター手段は、電流検出手段１５および電圧測定手段１６を備えている。電流検出手段１５は、閃光放電ランプＨＦＬの陰極側の電路に挿入されていて、トランス結合形である。電圧測定手段１６は、電流検出手段１５の出力電圧を計測してパルス状のランプ電流の大きさを測定する。なお、電圧測定手段１６の出力は、表示したり、図示しない閃光放電ランプ点灯回路を帰還制御に利用したりすることができる。また、閃光放電ランプＨＦＬは、電路１７、１８を介して図示しない閃光放電ランプ点灯回路に接続している。

本発明の光エネルギー照射装置を実施するための第１の形態を示す概念的正面 同じく閃光放電ランプの正面図 同じくワイヤバルブの正面縦断面図 同じく断面図光選択導入手段の入光部およびその変形例を示す正面図 本発明の光エネルギー照射装置を実施するための第２の形態を示す概念的正面断面図 本発明の光エネルギー照射装置を実施するための第３の形態を示す概念的正面断面図 本発明の閃光放電ランプを実施するための第４の形態を示す閃光放電ランプの接続状態説明図 本発明の閃光放電ランプを実施するための第５の形態を示す概念的側面断面図 本発明の閃光放電ランプを実施するための第６の形態を示す概念的正面断面図 同じく光エネルギー照射部およびその変形例の断面図 本発明の閃光放電ランプを実施するための第７の形態を示す概念的正面断面図 同じくマスキング手段の正面図および端面図 本発明の閃光放電ランプを実施するための第８の形態を示す概念的回路ブロック図

符号の説明

１１…光エネルギー選択導入手段、Ｍ…ミラー、ＨＦＬ…閃光放電ランプ、ＬＭ…光エネルギーモニター、ＬＯＣ…閃光放電ランプ点灯回路、ＬＳ…光エネルギーセンサ、ＷＬＩ…光エネルギー照射部

Claims (2)

1. 閃光放電ランプと；
   閃光放電ランプの発光を被照射物に集光するミラーと；
   閃光放電ランプおよびミラーと離間して対向する位置に配設されて被照射物を支持する光エネルギー照射部と；
   光エネルギー照射部に被照射物の載置に支障ないように配設された光エネルギーセンサと；
   光エネルギーセンサの出力に基づいて照射される光エネルギーを測定する光エネルギーモニターと；
   閃光放電ランプにパルス電流を供給して点灯する閃光放電ランプ点灯回路と；
   を具備していることを特徴とする光エネルギー照射装置。
2. 光エネルギー照射部に配設されて光エネルギーセンサへの入光を遮断可能なシャッターを具備していることを特徴とする請求項１記載の光エネルギー照射装置。

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