JP2006147841A - フラッシュランプ発光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 フラッシュランプ発光装置は、発光管の内部に一対の電極が対向配置されたフラッシュランプと、その内部に当該フラッシュランプを配置するためのランプ配置空間を有する筐体とを備え、筐体におけるランプ配置空間の雰囲気中の水蒸気圧を低下させるための水蒸気圧減少手段が設けられていることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
このような半導体ウエハのアニール処理には、当該半導体ウエハの表面層のみを例えば1000℃以上の所定の高温に、しかも当該半導体ウエハの全面にわたって温度均一性が高い状態で加熱することが必要である。
そして、被処理物の表面層のみを高温に加熱することは、フラッシュランプよりの閃光を被処理物に照射する方法によって好適に達成することができるが、フラッシュランプは、通常、棒状であるため、単独では半導体ウエハの全面を温度均一性が高い状態に加熱することができない。
そのため、実際の半導体装置の製造現場においては、音圧レベルが70dBを超えるような音源または振動源となるものは排除される必要があり、結局、フラッシュランプを複数備えたフラッシュランプ発光装置をそのまま使用することができず、また、フラッシュランプよりの大きな炸裂音は、それ自体が非常に大きな音圧の衝撃であるために、当該フラッシュランプ発光装置に設けられた各種の装置や部材、並びに、光照射処理すべき被処理物を振動させるため、所期の処理を好適に達成することができず、また、操作者の身体に対しても悪影響を与える、という問題がある。
筐体におけるランプ配置空間の雰囲気中の水蒸気圧を低下させるための水蒸気圧減少手段が設けられていることを特徴とする。
筐体におけるランプ配置空間の雰囲気中の酸素濃度を低下させるための酸素濃度減少手段が設けられていることが好ましい。
また、発生する音圧の衝撃の音圧レベルが小さいものであることから、フラッシュランプ発光装置自体に防音用部材を必ずしも設ける必要がなくなるため、装置自体を軽量化することによって小型化を図ることができる。
また、発生する音圧の衝撃の音圧レベルが小さいものであることから、フラッシュランプ発光装置自体に防音用部材を必ずしも設ける必要がなくなるため、装置自体を軽量化することによって小型化を図ることができる。
図1は、本発明のフラッシュランプ発光装置の構成の一例を概略的に示す説明図である。
この第1のフラッシュランプ発光装置10は、冷却風入口15および冷却風出口16が形成された上面板12A、下面板12B、並びに、開閉可能な前面板12Cを有する外周側壁板よりなる、全体が直方体の形状に構成された筐体12を備えてなり、水平方向に延びる下面板12Bには、これに形成された開口が石英ガラス板によって塞がれることにより、光放射窓14が設けられている。この筐体12の材料としては、例えばアルミニウム板またはステンレス鋼板が用いられる。
図1において、19は、筐体12の上面板12Aに配置された、各種のリード線を外部から当該筐体12の内部に導入するための絶縁性のリード線中継部材であり、28は、フラッシュランプ20を点灯駆動するために必要なトリガ電圧印加回路を含む高電圧発生装置であって、トリガ電圧印加回路は、図1に示したような外部トリガ方式に限定されず、フラッシュランプの一方の電極にトリガ用高電圧が重畳印加されるよう構成された内部トリガ方式であってもよい。
水蒸気圧減少手段30を構成する水蒸気吸着剤としては、モレキュラーシーブ、活性アルミナなどの水蒸気に対して強い吸着特性を有するものを好適に用いることができる。
このフラッシュランプ20からの閃光は、直接、あるいはリフレクタによって反射され、光放射窓14を介して筐体12の下方に放射される。
従って、当該光放射窓14の下方位置に、適宜の支持部材に支持された被処理物を配置しておくことにより、この被処理物に閃光が照射されて目的とする処理が行われる。
水蒸気圧が300Pa以下であることにより、後述する実験でも明らかなように、フラッシュランプ20の駆動時に発生する音圧の衝撃の音圧レベルを十分に小さくすることができる。
また、発生する音圧の衝撃の音圧レベルが小さいものであることから、第1のフラッシュランプ発光装置10自体に、防音板や防音材などの防音用部材を必ずしも設ける必要がなくなるため、軽量化することによって小型化を図ることができる。
図2は、本発明のフラッシュランプ発光装置の構成の他の例を概略的に示す説明図である。
この第2のフラッシュランプ発光装置40は、筐体12の内部に形成されたランプ配置空間の雰囲気中の酸素濃度を低下させる機能を有する酸素濃度減少手段45と、酸素濃度センサー48設けられおり、フラッシュランプ20を構成する発光管が、例えばサファイアや合成石英ガラスなどの真空紫外光を透過する材料よりなるものであること以外は、第1の実施の形態に係る第1のフラッシュランプ発光装置10と同様の構成を有するものである。
図2において、第1のフラッシュランプ発光装置10を構成する部材と同様の構成を有する部材には同一の符号を付した。
水蒸気圧が300Pa以下であって酸素濃度が0.02体積%以下であることにより、後述する実験でも明らかなように、フラッシュランプ20の駆動時に発生する音圧の衝撃の音圧レベルを十分に小さくすることができる。
また、発生する音圧の衝撃の音圧レベルが小さいものであることから、第2のフラッシュランプ発光装置40自体に、防音板や防音材などの防音用部材を必ずしも設ける必要がなくなるため、軽量化することによって小型化を図ることができる。
以下に示す種々の例は、第1のフラッシュランプ発光装置および第2のフラッシュランプ発光装置に共通のものであり、これらの例おいては、第1のフラッシュランプ発光装置および第2のフラッシュランプ発光装置の必須の構成要素である水蒸気圧減少手段、および第2のフラッシュランプ発光装置の必須の構成要素である酸素濃度減少手段をまとめて、「特定減少手段」として示す。
図3の例のフラッシュランプ発光装置50は、その一端51Aが特定減少手段70を介して冷却風入口15に連通すると共に、他端51Bが冷却風出口16に連通するコの字状の冷却風供給用循環路51が設けられていること以外は図1に示した第1のフラッシュランプ発光装置10あるいは図2に示した第2のフラッシュランプ発光装置40と同様の構成を有するものである。
図3において、52は、熱交換器である。
なお、このように筐体が密閉状態とされた構成のフラッシュランプ発光装置においては、熱交換器は必須のものではなく、例えばフラッシュランプの入力エネルギーが小さい場合、フラッシュランプの点灯周期が長い場合などの循環風が冷却風供給用循環路を流通することのみによって十分に冷却されるような場合には熱交換器を設ける必要はない。
この場合には、特定減少手段ユニットを筐体12に対して一体的に設ける必要がないため、設計の自由度が大きくなると共に、筐体12の内部にフラッシュランプが配置されてなる装置本体の軽量化を図ることができる。
なお、水蒸気圧減少手段としてモレキュラーシーブ、活性アルミナを用いた場合には、これらが加熱されることによって吸着した水を分離・離脱する特性を有するものであることから、この特性を利用することにより、図5に示した機構を用いることによって2つの水蒸気圧減少手段を交互に水分分離・離脱処理することができる。
図6において、67は流量調整バルブであり、68はダクトであり、69はガス流路である。
このガス供給装置66は、供給するガスの種類を適宜に選択することにより、水蒸気圧減少手段として用いることもでき、また酸素濃度減少手段として用いることもできると共に、水蒸気圧減少手段および酸素濃度減少手段として兼用することもできる。
この場合には、発生する音圧の衝撃の音圧レベルが小さいことから、用いられる防音用部材の総重量を、従来のフラッシュランプ発光装置に用いていたものに比して、例えばその厚さを薄いものとするなどして小さくすることができるため、軽量化することによって小型化を図ることができる。
図7は、実験に用いた実験装置の構成を概略的に示す説明図である。
この実験装置は、2つのガス導入口81A、81Bを有し、その内部に、一方のガス導入口81Aからは、容器82A内に充填された水またはモレキュラーシーブを介して窒素ガスが供給され、他方のガス導入口81Bからは、容器82B内に充填された水またはモレキュラーシーブを介して空気が供給される構成の筐体81を備え、容器82A、82Bの各々の充填物を調整することによって筐体81の内部の湿度を変化させることができると共に、ガス導入口81Aからの窒素ガスの流量と、ガス導入口81Bからの空気の流量とを調整することによって筐体81の内部の酸素濃度を変化させることのできる構成のものである。
図7において、84は温度計であり、85は湿度計であり、86は酸素濃度計であり、87はマイクロフォンである。
ここに、筐体81の内部の水蒸気圧は、当該筐体81の内部の湿度および温度26℃における飽和水蒸気量に基づいて求めた。
ここに、マイクロフォン87によって測定される音圧レベルが100dB以下である場合には、実験装置の筐体の外部に対する音圧レベルが、70dB以下となることを確認した。
実験例1に用いた実験装置を用い、先ず、この実験装置の筐体81の内部に、フラッシュランプ89として、真空紫外光を透過する材料である、合成石英ガラスよりなる発光管を備えたものを用い、当該筐体81内部の環境条件を、水蒸気圧300Paの一定条件の下で酸素濃度を変化させながら、当該フラッシュランプ89を駆動させたこと以外は実験例1と同様にして生じる炸裂音の大きさを測定し、次いで、水蒸気圧を2000Paの一定条件とした場合についても同様の測定を行った。これらの結果を図9に示す。
図9において、水蒸気圧が300Paである場合の測定結果を曲線(ア)で示し、水蒸気圧が2000Paである場合の測定結果を曲線(イ)で示した。
また、ラッシュランプとして真空紫外光を透過する材料よりなる発光管を備えたものを用いた場合にも、水蒸気圧が減少することに伴って炸裂音の音圧レベルが小さくなることが確認された。
12 筐体
12A 上面板
12B 下面板
12C 前面板
14 光放射窓
15 冷却風入口
16 冷却風出口
19 リード線中継部材
20 フラッシュランプ
23 トリガ電極
28 高電圧発生装置
30 水蒸気圧減少手段
31 吸着剤充填管
31A 雰囲気形成ガス入口
38 湿度センサー
40 フラッシュランプ発光装置
45 酸素濃度減少手段
46 吸着剤充填管
46A 雰囲気形成ガス入口
48 酸素濃度センサー
50 フラッシュランプ発光装置
51 冷却風供給用循環路
51A 一端
51B 他端
52 熱交換器
54A、54B ダクト
55 冷却風流路
60A、60B 酸素濃度減少手段ユニット
61 水素ガス供給装置
61A 排出ガス流路
62A、62B 加熱装置
63A 雰囲気形成ガス流路
63B 冷却風流路
64A、64B 水素ガス流路選択用バルブ
65A、65B 雰囲気形成ガス流路選択用バルブ
66 ガス供給装置
67 流量調整バルブ
68 ダクト
69 ガス流路
70 特定減少手段
71 吸着剤管
81 筐体
81A、81B ガス導入口
82A、82B 容器
84 温度計
85 湿度計
86 酸素濃度計
87 マイクロフォン
89 フラッシュランプ
Claims (7)
- 発光管の内部に一対の電極が対向配置されたフラッシュランプと、その内部に当該フラッシュランプを配置するためのランプ配置空間を有する筐体とを備え、
筐体におけるランプ配置空間の雰囲気中の水蒸気圧を低下させるための水蒸気圧減少手段が設けられていることを特徴とするフラッシュランプ発光装置。 - フラッシュランプの発光管が真空紫外光を透過する材料よりなり、
筐体におけるランプ配置空間の雰囲気中の酸素濃度を低下させるための酸素濃度減少手段が設けられていることを特徴とする請求項1に記載のフラッシュランプ発光装置。 - 水蒸気圧減少手段が、筐体におけるランプ配置空間の雰囲気を形成するための雰囲気形成ガスから水蒸気を吸着する吸着剤よりなることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のフラッシュランプ発光装置。
- 酸素濃度減少手段が、筐体におけるランプ配置空間の雰囲気を形成するための雰囲気形成ガスから酸素を吸着する吸着剤よりなることを特徴とする請求項2または請求項3に記載のフラッシュランプ発光装置。
- ランプ配置空間とその両端において連通し、当該ランプ配置空間内に冷却風を供給するための冷却風供給用循環路を有し、当該冷却風供給用循環路上に水蒸気圧減少手段および酸素濃度減少手段の少なくとも一方が設けられていることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれかに記載のフラッシュランプ発光装置。
- 筐体におけるランプ配置空間の雰囲気中の水蒸気圧が300Pa以下であることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれかに記載のフラッシュランプ発光装置。
- 筐体におけるランプ配置空間の雰囲気中の酸素濃度が0.02体積%以下であることを特徴とする請求項2〜請求項6のいずれかに記載のフラッシュランプ発光装置。
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