JP2005188964A - 光学分析用センサ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 特定波長域の光を発する発光素子(例えば赤色発光ダイオード)と、この発光素子から発せられて試料を透過した光を受光する受光素子とを具備し、特に前記発光素子と同一型式の補助発光素子、およびこの発光素子から発せられた光を受光する補助受光素子を備えたリファレンス用センサを、前記発光素子を組み込んだ光源部に該発光素子側から光学的に隔離して一体に設ける。
【選択図】 図2
Description
特に前記発光素子と同一型式の補助発光素子と、この発光素子から発せられた光を受光する補助受光素子とを備えたリファレンス用センサを、前記発光素子を組み込んだ光源部にその周囲から光学的に遮光して一体に設けたことを特徴としている。
図1はこの実施形態に係る光学分析用センサ装置の概略構成図で、1は特定波長域の光を発する光源としての発光素子(例えば赤色発光ダイオード)、4は上記発光素子1から発せられて試料3を透過した光の強度を検出する受光素子(例えばフォトトランジスタ)である。本発明に係る光学分析用センサ装置が特徴とするところは、上記発光素子(赤色発光ダイオード)1を設けた光源部7に、該発光素子1および前記受光素子4から光学的に隔離して、前記発光素子1と同一型式の補助発光素子(例えば赤色発光ダイオード)8と、この補助発光素子8から発せられた光を検出する補助受光素子9とを備えたリファレンス用のセルを一体に組み込んだことを特徴としている。
4 受光器(受光素子)
6 リファレンス用の受光器
7 光源部
8 補助発光素子
9 補助受光素子
10 試料セル
11 円筒管
12 試料通流管
14 石英ガラス
15 試料室
20 筒状ユニット
21 遮光体
22 リファレンス用セル
Claims (2)
- 特定波長域の光を発する発光素子と、この発光素子から発せられて試料を透過した光を受光する受光素子とを具備した光学分析用センサ装置であって、
前記発光素子と同一型式の補助発光素子と、この発光素子から発せられた光を受光する補助受光素子とを備えたリファレンス用センサを、前記発光素子を組み込んだ光源部にその周囲から光学的に遮光して一体に設けたことを特徴とする光学分析用センサ装置。 - 前記発光素子および補助発光素子は、赤色発光ダイオードからなる請求項1に記載の光学分析用センサ装置。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007225555A (ja) * | 2006-02-27 | 2007-09-06 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | マイクロチップ、マイクロチップを用いた検査装置、及びマイクロチップを用いた検査システム |
CN107727789A (zh) * | 2017-09-28 | 2018-02-23 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种浓度测量装置及其浓度系数自校正方法、蚀刻装置 |
WO2022030079A1 (ja) * | 2020-08-03 | 2022-02-10 | 株式会社ジェイ・エム・エス | 濃度測定装置及び制御方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63149676A (ja) * | 1986-12-15 | 1988-06-22 | Canon Inc | 現像装置 |
JPH0396839A (ja) * | 1989-09-08 | 1991-04-22 | Takagi Ind Co Ltd | 濃度測定装置 |
JPH07280727A (ja) * | 1994-04-08 | 1995-10-27 | Marcom:Kk | フラックス濃度計および洗浄液のフラックス濃度制御装置 |
-
2003
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63149676A (ja) * | 1986-12-15 | 1988-06-22 | Canon Inc | 現像装置 |
JPH0396839A (ja) * | 1989-09-08 | 1991-04-22 | Takagi Ind Co Ltd | 濃度測定装置 |
JPH07280727A (ja) * | 1994-04-08 | 1995-10-27 | Marcom:Kk | フラックス濃度計および洗浄液のフラックス濃度制御装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007225555A (ja) * | 2006-02-27 | 2007-09-06 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | マイクロチップ、マイクロチップを用いた検査装置、及びマイクロチップを用いた検査システム |
CN107727789A (zh) * | 2017-09-28 | 2018-02-23 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种浓度测量装置及其浓度系数自校正方法、蚀刻装置 |
CN107727789B (zh) * | 2017-09-28 | 2020-12-25 | Tcl华星光电技术有限公司 | 一种浓度测量装置及其浓度系数自校正方法、蚀刻装置 |
WO2022030079A1 (ja) * | 2020-08-03 | 2022-02-10 | 株式会社ジェイ・エム・エス | 濃度測定装置及び制御方法 |
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