JP2011091086A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体装置は、第一の導電型を有するベース層3と、ベース層3上に形成され、第二の導電型を有するソース層4と、ソース層4上に形成される絶縁膜5とを有する。さらに、ベース層4を貫通する複数のゲート構造GTと、絶縁膜5およびソース層4を貫通し、ソース層4およびベース層3と電気的に接続する、複数の導電部8とを有する。また、ゲート構造GTは、平面視において、ストライプ状に形成されている。また、導電部8がベース層3と接続する部分は、平面視においてストライプ状であり、ゲート構造GT間に形成されている。さらに、ゲート構造GTと導電部8との間における、ソース層4とベース層3とが接触している部分の寸法は、0.36μm以上である。
【選択図】図2
Description
図1は、本実施の形態1に係る半導体装置の断面構造を示す図である。
図4は、本実施の形態に係る半導体装置の構成を示す平面図である。具体的に、図4は、図1に示した半導体装置を上方向から見た図であり、図面簡略化の観点より、ソース電極9、絶縁膜5および導電部8の図示を省略している。なお、図4のB−B断面が、図1の断面図である。なお、図1の断面構造の説明は、実施の形態1を参照されたい。
図6は、本実施の形態に係る半導体装置の構成を示す平面図である。具体的に、図6は、図1に示した半導体装置を上方向から見た図であり、図面簡略化の観点より、ソース電極9、絶縁膜5および導電部8の図示を省略している。なお、図6のD−D断面が、図1の断面図である。なお、図1の断面構造の説明は、実施の形態1を参照されたい。
本実施の形態に係る半導体装置の拡大断面図を、図7に示す。図7は、図1の導電部8周辺の構成を示す拡大断面図である。図1の断面構成については、実施の形態1に記載した通りである。つまり、本実施の形態に係る半導体装置においても、図1に示すように、トレンチゲート構造とトレンチコンタクト構造とを有する。
Claims (6)
- 第一の導電型を有するベース層と、
前記ベース層上に形成され、第二の導電型を有するソース層と、
前記ソース層上に形成される絶縁膜と、
前記ベース層を貫通する、複数のゲート構造と、
前記絶縁膜および前記ソース層を貫通し、前記ソース層および前記ベース層と電気的に接続する、複数の導電部と、
前記絶縁膜上に形成され、前記導電部と電気的に接続するソース電極とを、備え、
前記ゲート構造は、
平面視において、ストライプ状に形成されており、
前記導電部が前記ベース層と接続する部分は、
平面視において、前記ゲート構造間において当該ゲート構造と隔てて、当該ゲート構造の前記ストライプ状の方向と平行に形成されており、
前記ゲート構造と前記導電部との間における、前記ソース層と前記ベース層とが接触している部分の寸法は、
0.36μm以上、0.43μm以下である、
ことを特徴とする半導体装置。 - 第一の導電型を有するベース層と、
前記ベース層上に形成され、第二の導電型を有するソース層と、
前記ソース層上に形成される絶縁膜と、
前記ベース層を貫通する、複数のゲート構造と、
前記絶縁膜および前記ソース層を貫通し、前記ソース層および前記ベース層と電気的に接続する、複数の導電部と、
前記絶縁膜上に形成され、前記導電部と電気的に接続するソース電極とを、備え、
前記ゲート構造は、
平面視において、ストライプ状に形成されており、
前記導電部が前記ベース層と接続する部分は、
平面視において、前記ゲート構造間において当該ゲート構造と隔てて、当該ゲート構造の前記ストライプ状の方向に島状に並んで形成されており、
前記導電部が前記ベース層と接続していない領域における、前記ゲート構造間の前記ソース層と前記ベース層とが接触している部分の寸法は、
0.36μm以上である、
ことを特徴とする半導体装置。 - 前記導電部は、
前記ソース層上面と接触しつつ、前記絶縁膜および前記ソース層を貫通しており、
前記ソース層上面と前記導電部とが接触する部分の寸法は、
10nm以上、40nm以下である、
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の半導体装置。 - 前記導電部が前記ベース層と接続する部分の平面視形状は、
円形または楕円形である、
ことを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。 - 第一の導電型を有するベース層と、
前記ベース層上に形成され、第二の導電型を有するソース層と、
前記ソース層上に形成される絶縁膜と、
前記ベース層を貫通する、複数のゲート構造と、
前記絶縁膜および前記ソース層を貫通し、かつ、前記ソース層上面と接触しており、前記ソース層および前記ベース層と電気的に接続する、導電部と、
前記絶縁膜上に形成され、前記導電部と電気的に接続するソース電極とを、備え、
前記ソース層上面と前記導電部とが接触する部分の寸法は、
10nm以上、40nm以下である、
ことを特徴とする半導体装置。 - 前記ソース層および前記ベース層は、
シリコンまたは炭化シリコンから成る、
ことを特徴とする請求項1、請求項2および請求項5のいずれか1つの請求項に記載の半導体装置。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017168668A (ja) * | 2016-03-16 | 2017-09-21 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
JP2018093135A (ja) * | 2016-12-07 | 2018-06-14 | 株式会社東芝 | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2018125331A (ja) * | 2017-01-30 | 2018-08-09 | 株式会社東芝 | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2021048423A (ja) * | 2016-12-08 | 2021-03-25 | クリー インコーポレイテッドCree Inc. | ゲート・トレンチと、埋め込まれた終端構造とを有するパワー半導体デバイス、及び、関連方法 |
JP2022015727A (ja) * | 2020-07-09 | 2022-01-21 | 株式会社東芝 | 半導体装置、インバータ回路、駆動装置、車両、及び、昇降機 |
JP7538491B2 (ja) | 2020-07-09 | 2024-08-22 | 株式会社東芝 | 半導体装置、インバータ回路、駆動装置、車両、及び、昇降機 |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101763420B1 (ko) | 2010-09-16 | 2017-08-01 | 삼성전자주식회사 | 3차원 반도체 기억 소자 및 그 제조 방법 |
KR101841445B1 (ko) | 2011-12-06 | 2018-03-23 | 삼성전자주식회사 | 저항성 메모리 소자 및 그 제조 방법 |
US9559198B2 (en) | 2013-08-27 | 2017-01-31 | Nxp Usa, Inc. | Semiconductor device and method of manufacture therefor |
US9653598B2 (en) * | 2013-11-15 | 2017-05-16 | Infineon Technologies Austria Ag | Transistor component |
US9837526B2 (en) | 2014-12-08 | 2017-12-05 | Nxp Usa, Inc. | Semiconductor device wtih an interconnecting semiconductor electrode between first and second semiconductor electrodes and method of manufacture therefor |
US9472662B2 (en) * | 2015-02-23 | 2016-10-18 | Freescale Semiconductor, Inc. | Bidirectional power transistor with shallow body trench |
US10348295B2 (en) | 2015-11-19 | 2019-07-09 | Nxp Usa, Inc. | Packaged unidirectional power transistor and control circuit therefore |
US10340352B2 (en) * | 2017-03-14 | 2019-07-02 | Globalfoundries Inc. | Field-effect transistors with a T-shaped gate electrode |
CN110729342A (zh) * | 2018-07-17 | 2020-01-24 | 上海宝芯源功率半导体有限公司 | 一种半导体开关器件及其制作方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63224260A (ja) * | 1987-03-12 | 1988-09-19 | Nippon Denso Co Ltd | 導電変調型mosfet |
JPH0548110A (ja) * | 1991-08-13 | 1993-02-26 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体素子の製造方法 |
JP2000509559A (ja) * | 1996-06-06 | 2000-07-25 | クリー リサーチ インコーポレイテッド | 炭化ケイ素金属絶縁体半導体電界効果トランジスタ |
JP2006059940A (ja) * | 2004-08-19 | 2006-03-02 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | 半導体装置 |
JP2009043966A (ja) * | 2007-08-09 | 2009-02-26 | Toshiba Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2009135360A (ja) * | 2007-12-03 | 2009-06-18 | Renesas Technology Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2009152364A (ja) * | 2007-12-20 | 2009-07-09 | Sanken Electric Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6204533B1 (en) * | 1995-06-02 | 2001-03-20 | Siliconix Incorporated | Vertical trench-gated power MOSFET having stripe geometry and high cell density |
JP3647676B2 (ja) | 1999-06-30 | 2005-05-18 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
JP3356162B2 (ja) * | 1999-10-19 | 2002-12-09 | 株式会社デンソー | 半導体装置及びその製造方法 |
JP3524850B2 (ja) | 2000-08-03 | 2004-05-10 | 三洋電機株式会社 | 絶縁ゲート型電界効果半導体装置 |
JP4024503B2 (ja) * | 2001-09-19 | 2007-12-19 | 株式会社東芝 | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2004055803A (ja) | 2002-07-19 | 2004-02-19 | Renesas Technology Corp | 半導体装置 |
JP3640945B2 (ja) | 2002-09-02 | 2005-04-20 | 株式会社東芝 | トレンチゲート型半導体装置及びその製造方法 |
US6867083B2 (en) * | 2003-05-01 | 2005-03-15 | Semiconductor Components Industries, Llc | Method of forming a body contact of a transistor and structure therefor |
KR100541139B1 (ko) | 2003-10-02 | 2006-01-11 | 주식회사 케이이씨 | 트렌치 모스 및 그 제조 방법 |
JP5031996B2 (ja) * | 2005-03-28 | 2012-09-26 | ラピスセミコンダクタ株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
US7812409B2 (en) * | 2006-12-04 | 2010-10-12 | Force-Mos Technology Corp. | Trench MOSFET with cell layout, ruggedness, truncated corners |
JP5417699B2 (ja) | 2007-09-27 | 2014-02-19 | 富士電機株式会社 | Mos型半導体装置およびその製造方法 |
JP4964797B2 (ja) | 2008-02-12 | 2012-07-04 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
JP5013436B2 (ja) * | 2009-06-04 | 2012-08-29 | 三菱電機株式会社 | 電力用半導体装置 |
-
2009
- 2009-10-20 JP JP2009241266A patent/JP2011091086A/ja active Pending
-
2010
- 2010-07-15 US US12/836,922 patent/US8247867B2/en active Active
- 2010-08-30 CN CN2010102678285A patent/CN102044565A/zh active Pending
- 2010-10-11 KR KR1020100098603A patent/KR101231077B1/ko active IP Right Grant
- 2010-10-20 DE DE102010042691A patent/DE102010042691A1/de active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63224260A (ja) * | 1987-03-12 | 1988-09-19 | Nippon Denso Co Ltd | 導電変調型mosfet |
JPH0548110A (ja) * | 1991-08-13 | 1993-02-26 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体素子の製造方法 |
JP2000509559A (ja) * | 1996-06-06 | 2000-07-25 | クリー リサーチ インコーポレイテッド | 炭化ケイ素金属絶縁体半導体電界効果トランジスタ |
JP2006059940A (ja) * | 2004-08-19 | 2006-03-02 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | 半導体装置 |
JP2009043966A (ja) * | 2007-08-09 | 2009-02-26 | Toshiba Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2009135360A (ja) * | 2007-12-03 | 2009-06-18 | Renesas Technology Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2009152364A (ja) * | 2007-12-20 | 2009-07-09 | Sanken Electric Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017168668A (ja) * | 2016-03-16 | 2017-09-21 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
JP2018093135A (ja) * | 2016-12-07 | 2018-06-14 | 株式会社東芝 | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2021048423A (ja) * | 2016-12-08 | 2021-03-25 | クリー インコーポレイテッドCree Inc. | ゲート・トレンチと、埋め込まれた終端構造とを有するパワー半導体デバイス、及び、関連方法 |
JP7182594B2 (ja) | 2016-12-08 | 2022-12-02 | ウルフスピード インコーポレイテッド | ゲート・トレンチと、埋め込まれた終端構造とを有するパワー半導体デバイス、及び、関連方法 |
US11837629B2 (en) | 2016-12-08 | 2023-12-05 | Wolfspeed, Inc. | Power semiconductor devices having gate trenches and buried edge terminations and related methods |
JP2018125331A (ja) * | 2017-01-30 | 2018-08-09 | 株式会社東芝 | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2022015727A (ja) * | 2020-07-09 | 2022-01-21 | 株式会社東芝 | 半導体装置、インバータ回路、駆動装置、車両、及び、昇降機 |
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