JP2011086892A5 - 走査露光装置、制御装置、および、デバイス製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、走査露光装置、制御装置、および、デバイス製造方法に関する。

本発明の１つの側面は、原版および基板を走査させながら該原版を介した該基板の露光を行う走査露光装置に係り、前記走査露光装置は、前記原版を支持する原版ステージを含む第１制御対象を含み、前記原版ステージの位置を制御する第１フィードバックループと、前記基板を支持する基板ステージを含む第２制御対象を含み、前記基板ステージの位置を制御する第２フィードバックループと、第１演算器を含み、前記第１演算器を介して前記原版ステージと前記基板ステージとの同期誤差を前記第１フィードバックループおよび前記第２フィードバックループにフィードバックするフィードバック部と、を備え、前記走査露光装置は、前記第１制御対象に対する第１目標位置から前記原版ステージの位置までの伝達関数と前記第２制御対象に対する第２目標位置から前記基板ステージの位置までの伝達関数とが等しくなるように、かつ、少なくとも前記原版および前記基板が加速している期間に前記露光を行うように、構成されている。

Claims (8)

1. 原版および基板を走査させながら該原版を介した該基板の露光を行う走査露光装置であって、
   前記原版を支持する原版ステージを含む第１制御対象を含み、前記原版ステージの位置を制御する第１フィードバックループと、
   前記基板を支持する基板ステージを含む第２制御対象を含み、前記基板ステージの位置を制御する第２フィードバックループと、
   第１演算器を含み、前記第１演算器を介して前記原版ステージと前記基板ステージとの同期誤差を前記第１フィードバックループおよび前記第２フィードバックループにフィードバックするフィードバック部と、を備え、
   前記走査露光装置は、前記第１制御対象に対する第１目標位置から前記原版ステージの位置までの伝達関数と前記第２制御対象に対する第２目標位置から前記基板ステージの位置までの伝達関数とが等しくなるように、かつ、少なくとも前記原版および前記基板が加速している期間に前記露光を行うように、構成されている、
   ことを特徴とする走査露光装置。
2. 原版および基板を走査させながら該原版を介した該基板の露光を行う走査露光装置であって、
   前記原版を支持する原版ステージを含み且つ第１伝達関数を有する第１制御対象を含み、前記原版ステージの位置を制御する第１フィードバックループと、
   前記基板を支持する基板ステージを含み且つ第２伝達関数を有する第２制御対象を含み、前記基板ステージの位置を制御する第２フィードバックループと、
   第１演算器を含み、前記第１演算器を介して前記原版ステージと前記基板ステージとの同期誤差を前記第１フィードバックループおよび前記第２フィードバックループにフィードバックするフィードバック部と、を備え、
   前記第１フィードバックループは、前記原版ステージの位置偏差が入力される第３伝達関数を有する第２演算器を含み、前記第２演算器の出力は前記第１演算器の出力が加算されて前記第１制御対象に与えられ、
   前記第２フィードバックループは、前記基板ステージの位置偏差が入力される第４伝達関数を有する第３演算器を含み、前記第３演算器の出力は前記第１演算器の出力が減算されて前記第２制御対象に与えられ、
   前記走査露光装置は、前記第１伝達関数と前記第３伝達関数との積と前記第２伝達関数と前記第４伝達関数との積とが等しくなるように、かつ、少なくとも前記原版および前記基板が加速している期間に前記露光を行うように、構成されている、
   ことを特徴とする走査露光装置。
3. 原版および基板を走査させながら該原版を介した該基板の露光を行う走査露光装置であって、
   前記原版を支持する原版ステージを含み且つ第１伝達関数を有する第１制御対象を含み、前記原版ステージの位置を制御する第１フィードバックループと、
   前記基板を支持する基板ステージを含み且つ第２伝達関数を有する第２制御対象を含み、前記基板ステージの位置を制御する第２フィードバックループと、
   第３伝達関数を有する第１演算器を含み、前記第１演算器を介して前記原版ステージと前記基板ステージとの同期誤差を前記第１フィードバックループおよび前記第２フィードバックループにフィードバックするフィードバック部と、
   第１目標位置を入力されて前記第１フィードバックループに与えられる第３目標位置を生成する、規範モデルとしての第４伝達関数を有する第２演算器と、
   前記第１目標位置に対応する第２目標位置を入力されて前記第２フィードバックループに与えられる第４目標位置を生成する、前記第４伝達関数を有する第３演算器と、
   前記第１制御対象の伝達関数の逆数と前記第４伝達関数との積としての第５伝達関数を有する第４演算器を含み、前記第４演算器を介して前記第１目標位置を前記第１フィードバックループにフィードフォワードする第１フィードフォワード部と、
   前記第２制御対象の伝達関数の逆数と前記第４伝達関数との積としての第６伝達関数を有する第５演算器を含み、前記第５演算器を介して前記第２目標位置を前記第２フィードバックループにフィードフォワードする第２フィードフォワード部と、を備え、
   前記走査露光装置は、少なくとも前記原版および前記基板が加速している期間に前記露光を行うように構成されている、
   ことを特徴とする走査露光装置。
4. 前記第１フィードバックループは、前記原版ステージの位置偏差が入力され、前記第１制御対象に対する第１指令値を生成する第６演算器を含み、前記第６演算器によって生成された前記第１指令値には、前記フィードバック部による前記第１フィードバックループへのフィードバック出力が加算され、
   前記第２フィードバックループは、前記基板ステージの位置偏差が入力され、前記第２制御対象に対する第２指令値を生成する第７演算器を含み、前記第７演算器によって生成された前記第２指令値からは、前記フィードバック部による前記第２フィードバックループへのフィードバック出力が減算される、
   ことを特徴とする請求項３に記載の走査露光装置。
5. 第１物体および第２物体を移動させながら前記第１物体と前記第２物体との間の処理の制御を行う制御装置であって、
   前記第１物体を支持する第１支持部を含む第１制御対象を含み、前記第１支持部の位置を制御する第１フィードバックループと、
   前記第２物体を支持する第２支持部を含む第２制御対象を含み、前記第２支持部の位置を制御する第２フィードバックループと、
   第１演算器を含み、前記第１演算器を介して前記第１支持部と前記第２支持部との同期誤差を前記第１フィードバックループおよび前記第２フィードバックループにフィードバックするフィードバック部と、を備え、
   前記制御装置は、前記第１制御対象に対する第１目標位置から前記第１支持部の位置までの伝達関数と前記第２制御対象に対する第２目標位置から前記第２支持部の位置までの伝達関数とが等しくなるように、かつ、少なくとも前記第１物体および前記第２物体が加速している期間に前記処理を行うように、構成されている、
   ことを特徴とする制御装置。
6. 原版および基板を走査しながら該原版を介した該基板の露光を行う走査露光装置であって、
   請求項５に記載の制御装置を備え、
   前記制御装置は、前記第１物体としての前記原版および前記第２物体としての前記基板を走査させながら前記制御としての前記原版を介した前記基板の露光の制御を行う、
   ことを特徴とする走査露光装置。
7. 前記第１支持部および前記第２支持部が正の加速度で加速している期間に前記基板の露光が開始され、かつ、単位時間あたりに基板が露光される光のエネルギーが前記第２支持部の速度に比例する、
   ことを特徴とする請求項６に記載の走査露光装置。
8. デバイスを製造するデバイス製造方法であって、
   請求項１ないし請求項４、請求項６および請求項７のうちいずれか１項に記載の走査露光装置を用いて基板を露光する工程と、
   前記工程で露光された前記基板を現像する工程と、
   を含むことを特徴とするデバイス製造方法。