JP2015532505A5 - - Google Patents

Claims (18)

1. 極紫外レーザ光源のバースト発射中に、液滴発生器から連続的なターゲット材料液滴がレーザ照射されることになっている１次焦点からのプッシュアウトを事前補償する方法であって、前記レーザ光源は、軸線方向位置における液滴毎の変化を補正するためのフィードバックメカニズムを含み、
   初期ターゲット位置へと誘導される複数の液滴をバースト中に感知する段階と、
   前記感知された液滴の各々に対して軸線方向位置を計算する段階と、
   前記フィードバックメカニズムによってなされた軸線方向位置における何れかの補正を、前記液滴の各々に対して前記計算された軸線方向位置から差し引くことにより、感知された液滴の各々に対する補正されていない液滴位置を推定する段階と、
   前記バーストが終了した後に、前記補正されていない液滴位置に基づいて事前補償補正を計算する段階と、
   前記事前補償補正に基づいて更新ターゲット位置を計算する段階と、
   後続バースト中にターゲット材料の液滴を前記更新ターゲット位置に送出するために前記液滴発生器を再位置決めするように１つ又は複数のアクチュエータに指令する段階と、
   を含む、方法。
2. 前記バーストは、連続バーストモード内で発射された約０．５秒以上の長いバーストである、請求項１に記載の方法。
3. 前記バーストは、ストロボスコープバーストモード内で発射された短いバーストである、請求項１に記載の方法。
4. 前記初期ターゲット位置は、１次焦点である、請求項１に記載の方法。
5. 前記感知された液滴の各々に対する前記軸線方向位置は、ｚ軸に沿った位置である、請求項１に記載の方法。
6. 前記バースト内の前記１つ又はそれよりも多くの液滴の各々に対する前記軸線方向位置は、前記バースト内の前記１つ又はそれよりも多くの液滴の各々に対するｙ軸に沿った位置である、請求項１に記載の方法。
7. 前記事前補償補正は、学習利得に基づいている、請求項１に記載の方法。
8. 前記１つ又はそれよりも多くのアクチュエータは、微細移動アクチュエータである、請求項１に記載の方法。
9. 前記１つ又はそれよりも多くのアクチュエータのうちの少なくとも１つが、粗移動アクチュエータである、請求項１に記載の方法。
10. 極紫外レーザ光源のバースト発射中にターゲット材料液滴の１次焦点からのプッシュアウトを事前補償するためのシステムであって、前記レーザ光源は、軸線方向位置における液滴毎の変化を補正するためのフィードバックメカニズムを含み、
    複数の連続的なターゲット材料液滴を発生させるための液滴発生器と、
    初期ターゲット位置へと誘導される複数の液滴をバースト中に感知するためのセンサと、
    １つ又はそれよりも多くの軸コントローラであって、
    前記感知された液滴の各々に対して軸線方向位置を計算し、
    前記フィードバックメカニズムによってなされた軸線方向位置における何れかの補正を、前記液滴の各々に対して前記計算された軸線方向位置から差し引くことにより、感知された液滴の各々に対する補正されていない液滴位置を推定し、
    前記バーストが終了した後に、前記補正されていない液滴位置に基づいて事前補償補正を計算し、
    前記事前補償補正に基づいて更新ターゲット位置を計算し、かつ、
    後続バースト中にターゲット材料の液滴を前記更新ターゲット位置に送出するために前記液滴発生器を再位置決めするための指令を生成する、コントローラと、
    前記生成された指令に基づいて前記液滴発生器を位置決めする１つ又はそれよりも多くのアクチュエータと、
    を備える、システム。
11. 前記バーストは、連続バーストモード内で発射された約０．５秒以上の長いバーストである、請求項１０に記載のシステム。
12. 前記バーストは、ストロボスコープバーストモード内で発射された短いバーストである、請求項１０に記載のシステム。
13. 前記初期ターゲット位置は、１次焦点である、請求項１０に記載のシステム。
14. 前記感知された液滴の各々に対する前記軸線方向位置は、ｚ軸に沿った位置である、請求項１０に記載のシステム。
15. 前記バースト内の前記１つ又はそれよりも多くの液滴の各々に対する前記軸線方向位置は、前記バースト内の前記１つ又はそれよりも多くの液滴の各々に対するｙ軸に沿った位置である、請求項１０に記載のシステム。
16. 前記事前補償補正は、学習利得に基づいている、請求項１０に記載のシステム。
17. 前記１つ又はそれよりも多くのアクチュエータのうちの少なくとも一つが、微細移動アクチュエータである、請求項１０に記載のシステム。
18. 前記１つ又はそれよりも多くのアクチュエータのうちの少なくとも１つが、粗移動アクチュエータである、請求項１０に記載のシステム。