JP2015532505A - Ｅｕｖ光のためのターゲット材料プッシュアウトの事前補償 - Google Patents

Abstract

レーザ生成プラズマ（ＬＰＰ）極紫外線（ＥＵＶ）システムからのエネルギ出力は、プラズマを１次焦点で生成するためにいかに良好にレーザビームがターゲット材料の液滴上にフォーカスされるかに基づいて変化する。液滴をバースト発射中に１次焦点で維持することは、先行する液滴からの生成されたプラズマが後続液滴を１次焦点から押し出すために困難である。液滴を１次焦点に再位置合わせする現在の液滴毎のフィードバック制御は、比較的時間を消費する。本明細書に説明するシステム及び方法は、液滴がレーザ照射された時に、液滴がプラズマを発生させるためにレーザビームによって１次焦点に押し込められるように液滴を１次焦点からオフセットしたターゲット位置に向けることにより、液滴プッシュアウトを適応的に事前補償する。時間と共に、ＥＵＶシステムは、プラズマが一貫して１次焦点内で発生されるように液滴位置のリアルタイム位置合わせを維持することを学習する。【選択図】図２

Description

本発明は、一般的にフォトリソグラフィのためのレーザ技術に関し、より具体的には、極紫外（ＥＵＶ）光生成の最適化に関する。

半導体業界は、常に寸法が小さくなっている集積回路を印刷することができるリソグラフィ技術を開発し続けている。極紫外（ＥＵＶ）光（時には軟Ｘ線とも称される）は、１０〜１１０ナノメートル（ｎｍ）の波長を有する電磁放射線であると一般的に定義される。ＥＵＶリソグラフィは、一般的に、１０〜１４ｎｍの範囲の波長でのＥＵＶ光を含むと一般的に考えられ、かつ極めて小さい特徴部（例えば、３２ｎｍ未満の特徴部）をシリコンウェーハのような基板に生成するのに使用される。これらのシステムは、非常に信頼性が高く、かつ費用効率が高いスループット及び適切な処理許容範囲を与えなければならない。

ＥＵＶ光を生成する方法は、以下に限定されるものではないが、１つ又はそれよりも多くの輝線がＥＵＶ範囲にある１つ又はそれよりも多くの元素（例えば、キセノン、リチウム、錫、インジウム、アンチモン、テルル、アルミニウムなど）を有する材料をプラズマ状態に変換することを含む。レーザ生成プラズマ（ＬＰＰ）と呼ばれることが多い１つのこのような方法では、必要とされるプラズマは、望ましい線放出元素を有する材料の液滴、流れ、又はクラスターのようなターゲット材料を照射部位でレーザビームを用いて照射することによって生成することができる。

線放出元素は、純粋な形態又は合金の形態（例えば、望ましい温度で液体である合金）である場合があり、又は液体のような別の材料と混合又は分散させることができる。プラズマ開始のためにこのターゲット材料及びレーザビームをＬＰＰ ＥＵＶ源プラズマチャンバ内の望ましい照射部位（例えば、１次焦点）に同時に送出することは、ある一定のタイミング及び制御上の問題を呈する。具体的には、レーザビームは、ターゲット材料が通過することになる位置にフォーカスされ、かつターゲットに適正に当たって良好なプラズマ及び従って良好なＥＵＶ光を得るためにその位置を通過する時にターゲット材料と交差するように時間調節されることが必要である。

液滴発生器は、ターゲット材料を加熱し、かつ加熱されたターゲット材料を１次焦点のｚ軸に沿って進むレーザビームと交差するように１次焦点のｘ軸に沿って進む液滴として押し出す。理想的には、液滴は、１次焦点を通過するようにターゲットが定められる。レーザビームが１次焦点で液滴に衝突した時に、ＥＵＶ光出力は最大になる。

しかし、レーザが発射された時に、バースト内の先行する液滴から形成されたプラズマは、バースト内の後続液滴の軌跡を妨げ、それらの液滴を１次焦点のｘ軸から押し出す。この結果として、液滴は、レーザビームが衝突する時に１次焦点から離れる方向にｙ軸及び／又はｚ軸に沿って変位される（「押し出される」）。このプッシュアウトは、急速に（例えば、約１５〜２０ｍｓで）増大し、かつかなり大きい可能性がある（例えば、１次焦点から１２０μｍの変位）。プッシュアウトの大きくかつ急速な性質は、特にＥＵＶシステムの連続モード発射中に問題があり、その理由は、１次焦点への液滴の再位置合わせは、レーザが再び発射されて１次焦点の外側にある後続液滴をレーザ照射する前には達成することができないからである。すなわち、プッシュアウトの影響は、後続液滴から発生されたプラズマが、コレクターの１次焦点にフォーカスされず、その結果、ＥＵＶ光出力が最適化されないことである。

液滴プッシュアウトを補償する現在の方法は、プッシュアウトが発生した後で液滴を１次焦点に再位置合わせする液滴発生器の液滴毎のフィードバック制御に依存している。しかし、このような液滴毎のフィードバック制御は、液滴が進行する速度に対して液滴を再位置合わせするのに必要な比較的長い時間のために理想的ではない。例えば、レーザが連続モードで発射されている時に、第１の液滴からのプラズマがプッシュアウト外乱を引き起こした後の液滴毎のフィードバックは、次の液滴をその次の液滴にレーザビームが衝突する前に１次焦点ターゲットに完全に再位置合わせするには遅すぎる。

米国特許出願第１３／５４９，２６１号明細書

従って、必要とされるのは、レーザビームがレーザビームの焦点内で液滴に衝突するようにターゲット材料の液滴をより急速に正確に再位置決めする改良された方法である。

一実施形態において、液滴発生器から１つ又はそれよりも多くの液滴がレーザ照射されることになっているターゲット位置まで送出される１つ又はそれよりも多くの液滴をバースト中に感知する段階と、バースト内の１つ又はそれよりも多くの感知された液滴の各々に対して軸線方向位置を計算する段階と、バースト内の１つ又はそれよりも多くの液滴の各々に対する液滴毎のフィードバックをバースト内の１つ又はそれよりも多くの液滴の各々に対して計算された軸線方向位置から差し引くことによってバースト内の１つ又はそれよりも多くの液滴の各々に対して開ループ液滴位置を推定する段階と、バーストが終了した後でバースト内の１つ又はそれよりも多くの液滴からの開ループ液滴位置に基づいて事前補償補正を計算する段階と、事前補償補正を用いて更新ターゲット位置を計算する段階と、後続バースト中にターゲット材料の液滴を更新ターゲット位置に送出するために液滴発生器を再位置決めするように１つ又はそれよりも多くのアクチュエータに指令する段階とを含む極紫外レーザ光源のバースト発射中にターゲット材料液滴の１次焦点からのプッシュアウトを事前補償する方法を提示する。

別の実施形態において、液滴発生器と、センサと、１つ又はそれよりも多くの軸コントローラと、液滴発生器を位置決めする１つ又はそれよりも多くのアクチュエータとを含み、センサが、液滴発生器から１つ又はそれよりも多くの液滴がレーザ照射されることになっているターゲット位置まで送出される１つ又はそれよりも多くの液滴をバースト中に感知し、１つ又はそれよりも多くの軸コントローラが、１つ又はそれよりも多くの液滴の各々の軸線方向位置を計算し、バースト内の１つ又はそれよりも多くの感知された液滴の各々に対して開ループ液滴位置を推定し、バーストが終了した後でバースト内の１つ又はそれよりも多くの液滴の開ループ液滴位置に基づいて事前補償補正を計算し、事前補償補正を用いて更新ターゲット位置を計算し、かつ後続バースト中にターゲット材料の液滴を更新ターゲット位置に送出するために液滴発生器を再位置決めするように１つ又はそれよりも多くのアクチュエータに指令する極紫外レーザ光源のバースト発射中にターゲット材料液滴の１次焦点からのプッシュアウトを事前補償するためのシステムを提示する。

典型的なＬＰＰ ＥＵＶシステムの構成要素の一部を示す概略図である。 一実施形態によるＥＵＶ光生成の最適化に関わっているＥＵＶシステム構成要素を示す図である。 駆動レーザがオフである時の液滴の向きを示す概略図である。 駆動レーザが最初にパルス駆動された時の液滴の向きを示す概略図である。 駆動レーザが連続モードでパルス駆動された時に観測されたｚ軸に沿った液滴のプッシュアウトを示す概略図である。 駆動レーザが連続モードでパルス駆動された時に観測されたプッシュアウトを補償するための液滴毎のフィードバック制御による液滴の再位置合わせを示す概略図である。 レーザ発射前、レーザ発射中、及びレーザ発射後の時間の関数としてのｚ軸に沿った液滴位置を示す図である。 ｚ軸に沿った液滴プッシュアウトに対する適応事前補償を示す概略図である。 一実施形態による液滴プッシュアウトに対する適応事前補償に関わっているＥＵＶシステム構成要素を示すブロック図である。 一実施形態による液滴プッシュアウトを補償する方法の流れ図である。 一実施形態による液滴を１次焦点に再位置合わせするための液滴毎のフィードバックの有無に関わらずレーザ発射バースト中の経時的な液滴位置を示す図である。 一実施形態による液滴プッシュアウトを事前補償するための適応学習中の模擬データに関する経時的な液滴位置を示す図である。 一実施形態による液滴プッシュアウトを事前補償するための適応学習中の模擬データに関する経時的な液滴位置誤差を示す図である。

半導体ウェーハは、複数のダイに分割され、その各々は、同じタイプの集積回路をその上に製作させるためのものである。従って、ウェーハ上のダイは、同等の量のＥＵＶ光に露光される必要がある。この要件を満たすために、レーザは、全ての露光に対して同じ作動点に発射される。従って、発生するプッシュアウトは、サイズが類似のものである。プッシュアウトは、単一作動点において反復特性を有するが、プッシュアウトのサイズは、作動点にわたってかつＥＵＶシステムにわたって異なる可能性がある。

本明細書に説明するシステム及び方法の実施形態は、液滴プッシュアウトの大きさを学習し、かつプッシュアウトを予想して液滴発生器をバースト間に調節することにより、プッシュアウトのこの反復特性を利用して液滴プッシュアウトを適応的に事前補償する。具体的には、ＥＵＶシステムは、前のバーストにおいて観測されたプッシュアウトの大きさに基づいて、液滴を１次焦点からオフセットしているターゲット位置に後続バーストで送出するために液滴発生器を再位置決めする。液滴（再位置決めされた液滴発生器によって送出された）にレーザビームが衝突すると、その液滴のプッシュアウトの増大が始まり、それによって液滴が１次焦点に推し進められてプラズマを生成し、プラズマは、次に、楕円形コレクターによって中間フォーカス上へフォーカスされた後に、例えば、リソグラフィシステムに進められ、すなわち、リソグラフィシステムによって使用される。時間と共に、ＥＵＶシステムは、液滴位置をターゲット上に維持することを学習する。事前補償のこの適応的性質は、静的ターゲット適応化のための長い較正手順を回避するのに重要である。

図１は、典型的なＬＰＰ ＥＵＶシステム１００の構成要素の一部を示している。ＣＯ₂レーザのような駆動レーザ１０１は、ビーム送出システム１０３及びフォーカス光学系１０４を通過するレーザビーム１０２を生成する。フォーカス光学系１０４は、ＬＰＰ ＥＵＶ源プラズマチャンバ１１０内の照射部位での１次焦点１０５を有する。液滴発生器１０６は、照射部位でレーザビーム１０２が衝突した時にＥＵＶ光を射出するプラズマを発生させる適切なターゲット材料の液滴１０７を生成して放出する。楕円形コレクター１０８は、生成されたＥＵＶ光を例えばリソグラフィシステムに送出する中間フォーカス１０９にプラズマからのＥＵＶ光をフォーカスする。中間フォーカス１０９は、典型的には、ＥＵＶ光に露光されることになっているウェーハのボートを含むスキャナ（図示せず）内にあり、現在照射中のウェーハを含むボートの一部は、中間フォーカス１０９に位置する。一部の実施形態において、フォーカス光学系１０４上に全て収束するビームを有する複数の駆動レーザ１０１がある場合がある。１つのタイプのＬＰＰ ＥＵＶ源は、ＣＯ₂レーザ及び反射防止コーティング及び約６〜８インチの開口を有する亜鉛セレン（ＺｎＳｅ）レンズを使用することができる。

駆動レーザ１０１は、個別の液滴１０７に別々に衝突するためにパルス式に発射される。パルスの全ての連続はバーストになるが、駆動レーザ１０１は、異なるバーストモードで発射することができる。ストロボスコープモード（すなわち、短いバーストを伴うモード）では、バーストの長さは、１ｍｓに限定され、一方、連続モード（すなわち、長いバーストを伴うモード）では、予想バースト長さは、各ダイに対して３〜４秒である。

駆動レーザ１０１をストロボスコープのモードで発射する時に、ＥＵＶシステム１００は、閉回路（液滴毎）フィードバックを用いて適度に良好に液滴１０７をターゲット上に維持する。しかし、より高いＥＵＶ光電力出力をもたらすために、駆動レーザ１０１は、プラズマがより長い時間間隔中に生成される連続モード（長いバースト）の方で駆動されることが多い。発射のこれらのより長い連続バースト中に、液滴１０７は、プラズマと相互作用し、その結果、１次焦点１０５から離れる方向に押し出される。この変位、すなわち、「プッシュアウト」は、生成されるプラズマがもはや１次焦点内に集中しないのでＥＵＶ放射に悪影響を与え、従って、最大ＥＵＶ光は、楕円形コレクター１０８によってフォーカスすることができず、下流での使用ために再フォーカスされる。

閉回路（液滴毎）フィードバック制御システム（「液滴毎のフィードバックシステム」）は、従来、液滴１０７を駆動レーザ１０１のパルス発射中に１次焦点１０５上をターゲットとして保つために使用される。液滴毎のフィードバックシステムは、液滴１０７がレーザ照射されようとする時にｙ軸及び／又はｚ軸に沿って液滴位置を測定するセンサ（例えば、狭視野（ＮＦ）カメラ）と組み合わせた線レーザを含む。ＥＵＶシステム１００は、測定された液滴位置を用いて、アクチュエータ（例えば、圧電（「ＰＺＴ」）アクチュエータ）に液滴発生器１０６を再位置合わせするように指令し、後続液滴（先行する液滴１０７から生成されたプラズマによって１次焦点１０５から押し出された）が、１次焦点１０５に送出されるように再位置合わせされるようになっている。この液滴毎のフィードバックシステムの１つの短所は、複数のバーストにわたる位置の繰り返される誤差（すなわち、バースト間のターゲット誤差）を考慮することなく作動し、それによって液滴をターゲット上に再位置合わせするために使用することができるアクチュエータが制限されるということである。具体的には、粗移動アクチュエータ（例えば、ステッパモータ）は、液滴１０７を的外れに更に押し進めることになるＥＵＶシステム振動を導入するので、粗移動アクチュエータは、液滴１０７をターゲット上に再位置合わせするには好ましくはない。微細移動アクチュエータ（例えば、ＰＺＴアクチュエータ）のみを使用して、振動の導入は回避されるが、液滴をターゲットに再位置合わせすることができる急速度、並びに液滴を再位置決めすることができる範囲が制限される。従って、閉回路（液滴毎）フィードバックシステムは、望ましいプッシュアウト外乱（例えば、ほぼ．４ｍｓ）を補正するのに更に時間を消費する。

一実施形態によるＥＵＶ光生成の最適化に関わっているＥＵＶシステム構成要素の拡大概略図を図２に示している。レーザビーム１０２は、楕円形コレクター１０８を通って１次焦点１０５に送出される。ｙ軸及びｚ軸に沿った１次焦点１０５の位置決めは、引用によって本明細書に全体が組み込まれる米国特許出願第１３／５４９，２６１号明細書（Ｆｒｉｈａｕｆ他）に説明されているように、フォーカス光学系１０４、すなわち、最終フォーカスレンズ（図示せず）及び最終フォーカスステアリングミラー（図示せず）によって決定される。ＬＰＰ ＥＵＶシステムからのエネルギ出力は、いかに良好にレーザビーム１０２をフォーカスすることができ、かつレーザビームがフォーカスを液滴発生器１０６によって生成された液滴１０７上に時間と共に維持することができるかに基づいて変化する。最適エネルギは、レーザビーム１０２が衝突した時に液滴が１次焦点１０５に位置決めされた場合にＥＵＶシステム１００から出力される。液滴のこのような位置決めによって、楕円形コレクター１０８は、最大量のＥＵＶ光を生成されたプラズマから例えばリソグラフィシステムへの送出のためにフォーカスすることができる。センサ２０１（例えば、峡視野（ＮＦ）カメラ）は、液滴が１次焦点１０５に進行中にレーザのカーテンを通過する時に液滴を感知し、液滴毎のフィードバックをＥＵＶシステム１００に供給し、液滴毎のフィードバックは、液滴１０７を１次焦点１０５に（すなわち、「ターゲット上に」）再位置合わせするように液滴発生器１０６を調節するのに使用される。

ｚ軸に沿った液滴位置が連続バーストモードでどのようにレーザ発射中に変わるかを図３ａ、図３ｂ、図３ｃ、図３ｄ、及び図４を参照してここに説明する。図３ａ、図３ｂ、図３ｃ、及び図３ｄは、それぞれ、連続バーストモードでのレーザバースト発射前、開始時、発射中、及び発射後の液滴１０７の向きを概略的に示している。図４は、０のｚ軸位置で実線によって示す１次焦点１０５と共に経時的なｚ軸に沿った液滴位置を示すグラフである。１次焦点１０５にある間にレーザ照射された液滴１０７は、プラズマを楕円形コレクター１０８の焦点内で生成する。矢印４０１ａ、４０１ｂ、４０１ｃ、及び４０１ｄは、図３ａ、図３ｂ、図３ｃ、図及び３ｄがそれぞれ発生する時点を示している。

最初に図３ａを参照すると、駆動レーザ１０１が発射される前に、液滴発生器１０６から液滴キャッチャ３０１に放出される液滴１０７は、１次焦点１０５のｘ軸に沿って直線で向けられる。図４に矢印４０１ａによって示す時点で、液滴１０７は、１次焦点１０５を通過する。

図３ｂをここで参照すると、レーザビーム１０２のパルスが１次焦点１０５で第１の液滴１０７に衝突した時に、第１の液滴１０７のターゲット材料が気化し、プラズマ３０２が、１次焦点１０５で生成される。プラズマ３０２から射出されたＥＵＶ光は、楕円形コレクター１０８によってフォーカスされて中間フォーカス１０９上へ反射され、中間フォーカスで、ＥＵＶ光は、例えば、リソグラフィシステムに入るか又はリソグラフィシステムによって使用される。図４に矢印４０１ａによって示す時点で、液滴１０７は、１次焦点１０５にある。

図３ｃをここで参照すると、プラズマ３０２が液滴１０７の照射によって形成された状態で、周囲の液滴１０７が、楕円形コレクター１０８の１次焦点１０５から変位する（「押し出される」）。従って、レーザビーム１０２が第１の液滴１０７に衝突した時に、後続液滴１０７は、１次焦点１０５のｚ軸座標からｚ軸に沿って押し出される。図４に矢印４０１ｃによって示す時点で、液滴１０７は、１次焦点１０５から変位している（この実施例ではほぼ７５μｍ）。このプッシュアウトのために、プラズマ３０２は、１次焦点１０５でもはや生成されず、従って、生成されたＥＵＶ光は、中間フォーカス１０９で楕円形コレクター１０８によってフォーカスされはしない（すなわち、生成されたＥＵＶ光は、フォーカス外にある）。プッシュアウト現象が制御されない場合に、追加の後続液滴１０７の照射から生成されたプラズマ３０２は、後続液滴１０７のｚ軸からの加算的プッシュアウトをトリガする可能性がある。従って、ＥＵＶ生成は、特に駆動レーザ１０１が連続モードで発射される時に、ウェーハ上のダイを露光中に破壊するほど有意に妨害される。駆動レーザ１０１を一定の作動点で発射することによって類似のサイズのプッシュアウトが生成されるが、プッシュアウトは、駆動レーザ１０１がより長い期間にわたって発射される時にドリフトする。

図３ｄをここで参照すると、液滴プッシュアウトは、後続液滴１０７を１次焦点１０５に戻し始めるために、プッシュアウトが発生した後に液滴発生器１０６を調節する液滴毎のフィードバックシステムを通して従来は制御されてきた。本質的に、液滴毎のフィードバックシステムは、プッシュアウトを待って、その後に後続液滴１０７をターゲット（すなわち、１次焦点１０５）に再位置合わせするようにアクチュエータ（例えば、ＰＺＴアクチュエータ）で液滴発生器１０６を調節することによって外乱に対処する。しかし、液滴毎のフィードバック処理は、プッシュアウトが発生した後まで始まらないので、液滴１０７の実際の位置と１次焦点１０５との誤差が非常に増大する可能性がある。理想的には、バースト発射が始まって１０ｍｓ後に、液滴１０７は、１次焦点１０５から±５μｍ内にあるべきである（かつ留まるべきである）。その結果、図４に示すように、液滴毎のフィードバック処理には、液滴１０７をターゲット上に再位置決めするためにバースト開始後に有意な時間（例えば、ほぼ０．４秒）が必要である。液滴毎のフィードバック処理によって液滴１０７が１次焦点１０５に再位置合わせされた状態で（矢印４ｄによって示すように）、液滴毎のフィードバック制御信号によって、液滴１０７をバーストの持続時間にわたって１次焦点１０５の近くで保持することができる。

現在の液滴毎のフィードバックシステムとは対照的に、本明細書に説明する実施形態は、プッシュアウト外乱のバースト間を利用し、かつそれによって液滴毎のフィードバックシステムが液滴をバースト中に正しいｚ軸位置に再位置合わせするのに必要な時間を短縮してプッシュアウト外乱を克服する。また、液滴毎のフィードバックも最小にすることによって、ＥＵＶシステム１００は、液滴１０７を再位置決めし、かつステッパモータ（振動をＥＵＶシステムに導入し、それによってターゲット上への液滴１０７の再位置決めの成功を妨げる）を使用せずに済むようにするためにＰＺＴアクチュエータに依存することができる。

図５をここで参照すると、ＥＵＶ光を生成する公知のシステム及び方法とは対照的に、本明細書に説明するシステム及び方法の実施形態は、液滴をバースト間間隔中に（すなわち、バースト間に）、レーザビーム１０２がターゲット位置５０２で液滴１０７に衝突するように、１次焦点１０５から離れる方向に変位したターゲット位置５０２に再位置合わせする。レーザビーム１０２がターゲット位置５０２で液滴１０７に衝突した時に、液滴１０７は押し出されるが、プッシュアウト現象によって、液滴１０７は、プラズマ３０２が生成された時に、１次焦点１０５に押し（出されるのではなく）込まれる。従って、プラズマ３０２は、１次焦点１０５で生成され、すなわち、楕円形コレクター１０８の焦点内で生成されたＥＵＶ光は、中間フォーカス１０９で楕円形コレクター１０８によって集光されてフォーカスされる。当業者は、連続作動モードの第１の発射バーストに関して、ターゲット位置５０２は、必要ではないが１次焦点１０５と一致することができることを認識するであろう。

一実施形態により液滴ターゲット位置を適応調節するのに使用される事前補償制御ループの概要を示すブロック図を図６に示している。液滴発生器１０６は、液滴１０７をｘ軸に沿って液滴１０７が図１に関して上述したようにレーザ照射されることになっているターゲット（ｘ−、ｙ−、ｚ−）位置に放出する。ＬＰＰ ＥＵＶ源チャンバ１１０内側の１つ又はそれよりも多くのセンサ２０１は、放出された液滴１０７の１つ又はそれよりも多くの軸線方向位置を感知する（例えば、ｙ軸に沿って、ｚ軸に沿って、又は両方の軸線に沿って）。ｙ軸に沿った液滴１０７の感知された軸線方向位置は、ｙ軸コントローラ６０３Ｙに伝えられ、及び／又はｚ軸に沿った液滴１０７の感知された位置は、ｚ軸コントローラ６０３Ｚに伝えられる。軸コントローラ６０３Ｙ及び／又は６０３Ｚは、予想された液滴プッシュアウトを事前補償する液滴１０７の更新ターゲット位置を決定する（本明細書の他の箇所でより詳細に説明するように）。軸コントローラ６０３Ｙ及び／又は６０３Ｚは、その後に、後続液滴１０７が事前補償された軸線方向ターゲット位置５０２に送出されるように液滴発生器１０６を調節する指令をそれぞれｙ軸アクチュエータ６０４Ｙ及び／又はｚ軸アクチュエータ６０４Ｚ（例えば、ステッパモータ及び／又はＰＺＴ）に出力する。

別の実施形態において、事前補償制御ループは、液滴位置を適応調節するのに使用される。この実施形態において、軸コントローラ６０３Ｙ及び／又は６０３Ｚは、予想された液滴プッシュアウトを事前補償する液滴１０７の更新された液滴位置を決定する（本明細書の他の箇所でより詳細に説明するように）。軸コントローラ６０３Ｙ及び／又は６０３Ｚは、その後に、後続液滴１０７が事前補償された軸線方向液滴位置に送出されるように液滴発生器１０６を調節するマンドをそれぞれｙ軸アクチュエータ６０４Ｙ及び／又はｚ軸アクチュエータ６０４Ｚ（例えば、ステッパモータ及び／又はＰＺＴ）に出力する。

図７をここで参照すると、液滴プッシュアウトを事前補償するように液滴ターゲット位置を適応調節する方法の一実施形態の流れ図が示されている。閉回路レーザ作動中（すなわち、バースト中）には、プッシュアウト外乱の大きさを直接に測定することはできない。これに代えて、液滴プッシュアウトを実質的に事前補償するために、ＥＵＶシステム１００は、液滴がレーザ照射される直前に液滴の位置を測定してプッシュアウトの大きさを推定する。従って、段階７０１では、液滴１０７がターゲット位置５０２に向かう途中でレーザのカーテンを通過する時に、センサ２０１（例えば、ＮＦカメラ）は、液滴１０７を感知し、液滴１０７に関するデータを軸コントローラ６０３Ｙ及び／又は６０３Ｚに送る。一実施形態において、液滴位置の感知は、バーストの開始によってトリガされ、バーストの停止によって終了する。センサ２０１の視野は、液滴のサンプリング頻度を決定する（例えば、センサ２０１の視野を低減すると、フレーム率の増大が可能である）。

段階７０２では、ｙ軸及び／又はｚ軸に沿った感知された液滴の位置を計算する。これを行うために、センサ２０１は、液滴１０７の軸線方向位置を測定し（ピクセル単位で）、液滴１０７の垂直重心及び水平重心を決定する。軸コントローラは、その後に、座標変換を垂直及び水平重心に行う。従って、ｙ軸コントローラ６０３Ｙは、垂直重心のピクセルを変換してｙ軸位置を計算し（例えば、μｍ単位で）、ｚ軸コントローラ６０３Ｚは、水平重心のピクセルを変換して液滴１０７のｚ軸位置を計算する（例えば、μｍ単位で）。この変換によって、液滴１０７の測定された（ｙ、ｚ）位置に及ぼすセンサ傾きの影響が最小にされる。

段階７０３では、軸コントローラは、感知された液滴１０７の軸線方向（ｚ又はｙ）開ループ位置を推定する。概念的に、軸線方向開ループ位置は、液滴１０７を再位置決めするために液滴毎のフィードバックが適用されなかった場合の液滴１０７のｚ位置及び／又はｙ位置であり、すなわち、液滴１０７を１次焦点１０５に再位置合わせするための液滴毎のフィードバック制御なしの（ｚ軸及び／又はｙ軸）に沿った液滴プッシュアウトである。軸コントローラは、あらゆる液滴毎のフィードバック調節を決定した液滴ｙ位置及び／又はｚ位置から差し引くことによって軸線方向開ループ推定値を推定する。従って、ｙ軸コントローラ６０３Ｙは、液滴１０７のｙ軸プッシュアウトを補償するために適用された液滴毎のフィードバック調節を段階７０２で決定されたｙ軸位置から差し引いて、感知された液滴１０７の推定開ループｙ軸位置を計算する。同様に、ｚ軸コントローラ６０３Ｚは、液滴１０７のｚ軸プッシュアウトを補償するために適用された液滴毎のフィードバック調節を段階７０２で決定されたｚ軸位置から差し引いて、感知された液滴１０７の推定開ループｚ軸位置を計算する。

段階７０４では、軸コントローラは、バーストが終了したか否かを決定する。バーストが終了していない場合に、処理は、段階７０１に戻って、段階７０１、７０２、７０３、及び７０４７０４が、別の液滴１０７に対して実行される。すなわち、段階７０１、７０２、７０３及び７０４は、バースト中にレーザ照射される液滴に対して反復される。

バーストが終了していた場合に、段階７０５では、軸コントローラは、新しいターゲット位置を決定するために印加される事前補償補正を計算する。
数学的には、事前補償補正は、以下の通りである。
Ｋ^*（ＯＬ_avg-Ｔ_b）
ここで、Ｋは、学習利得であり、ＯＬ_avgは、前のバーストに対して段階７０３では計算された推定開ループ軸線方向位置データの平均であり、Ｔ_bは、１次焦点１０５の軸線方向位置である。事前補償補正は、計算されたＯＬ_avgに反対方向であるべきである。ＯＬ_avgを計算するのに用いられるデータポイントの数は、液滴１０７を感知する時のセンサ２０１のフレーム／秒の速度及びバーストが発生した時間の長さに依存する。一実施形態において、センサ速度が常に一貫しているわけではなく、センサ２０１は常に良好な画像を捕捉することができるわけではないので、位置データは、定められた頻度でのデータサンプリングの前にデータフレーム間の間隙を埋めて「連続」信号を生成するために反復される。

従って、ｙ軸コントローラ６０３Ｙは、１次焦点のｙ軸位置からの前のバースト内の感知された液滴１０７の平均化された推定開ループｙ軸位置の偏りを決定してそのｙ軸の偏りに学習利得を掛けることによって事前補償補正を計算する。同様に、ｚ軸コントローラ６０３Ｚは、１次焦点のｚ軸位置からの前のバーストにおいて感知された液滴１０７の平均化された推定開ループｚ軸位置の偏りを決定してそのｚ軸の偏りに学習利得（ｙ軸事前補償補正を計算するのに使用される学習利得と同じ学習利得である場合がある）を掛けることによって事前補償補正を計算する。

学習利得は、０〜１の範囲である場合があるが好ましくは約０．１又はそれ未満である調節可能なパラメータである。学習利得の決定には、ターゲット上への急速な収束と可変プッシュアウト外乱に対する脆弱性とのトレードオフが必要である。

例えば、大きい学習利得（例えば、Ｋ＝１）は、適応ループの第１の繰返しによく機能するが、その理由は、第１のバースト中に、システムが学習することができる前の情報がないからである。これに代えて、開ループ変位が実際に既知である場合に（推定されるのではなく）、１．０の学習利得は問題がなく、その理由は、液滴プッシュアウトの既知の大きさは、ターゲット位置５０２をどの程度まで１次焦点１０５からオフセットさせたらよいかを示すと考えられるからである。しかし、学習利得が１．０に設定されたままである場合に、更新ターゲット位置は、必ずしも正しいとある場合があるわけではない直前のバースト中の液滴の位置にほとんど完全に依存し続ける。例えば、第１のバースト中にプッシュアウトが何らかの理由で全く大きい場合に、ターゲット位置決めの殆どの変化は、学習利得が１．０である場合はそのバーストの開ループ平均位置から決定される。従って、ターゲット位置５０２は、１次焦点１０５から有意な距離を隔てて変位することになる。しかし、第２の（その後の）バーストのプッシュアウトが小さい場合に、液滴は、１次焦点１０５から遠過ぎるように変位されたことになり、従って、フォーカス１０５に押し込められるための正しいターゲット位置にはならず、生成されるプラズマは少なくなる。しかし、ここでもまた、システムは、第２のバースト後の新しいターゲット位置を計算する時にこの前の位置に依存し過ぎることになり、従って、ターゲット位置が少量だけ調節しなければならないと決定する。この処理によって、ターゲット位置は、極端なターゲット位置間で往復し続けることになり（例えば、１次焦点１０５からの小さい変位→１次焦点１０５からの大きい変位→１次焦点１０５からの小さい変位のような）、ＥＵＶ出力不良及び不安定になる。

他方、より小さい学習利得（例えば、Ｋ＝０．１）は、開ループ変位がターゲット位置を決定する時の推定開ループ変位に対する過度の依存を回避するように推定される時（実際に測定されるのではなく）には好ましい。このより低い学習利得で、適応事前補償ループは、安定したターゲット位置５０２を時間と共に達成することを「学習する」。しかし、非常に小さい学習利得（例えば、Ｋ＝０．１）が選択された場合に、ターゲット位置５０２は、前のバーストから収集されたデータに応答してかろうじて変わることになり、システムは、満足できる安定した変位を１次焦点１０５から学習する時間が長くなる。

理想的には、次に、時間と共に変わる学習利得が好ましい。例えば、時間と共に減少する大きい学習利得によって、事前補償は、安定し、かつ時間と共に液滴位置の変動の影響を比較的受けない「最も良好な」ターゲット位置に急速に収束することができる。

段階７０６では、軸コントローラは、更新された事前補償されたターゲットを取得するために段階７０５で計算される事前補償補正を前のバーストのターゲット位置５０２に追加することによってターゲット位置５０２を更新する。
数学的には、以下の通りである。
Ｔ_i+1＝Ｔ_i-Ｋ^*（ＯＬ_avg-Ｔ_b）
ここで、Ｔ_iは、前のバーストの事前補償ターゲットであり、Ｔ_i+1は、更新された事前補償ターゲットである。従って、ｙ軸コントローラ６０３Ｙは、ｙ軸に沿って更新された事前補償ターゲットを計算し、ｚ軸コントローラ６０３Ｚは、ｚ軸に沿って更新された事前補償ターゲットを計算する。重要なことに、この更新された事前補償ターゲットは、１次焦点１０５ではなく、次のバーストが始まる時にプッシュアウト現象が液滴１次焦点１０５に押し戻すことを可能にする学習された変位である。当業者は、他の学習アルゴリズム（例えば、最小平均二乗又は再帰最小自乗方程式）を事前補償されたターゲットを更新するのに使用することができることを認識するであろう。

前のバーストだけに基づく事前補償は、測定ノイズの影響を受けやすい場合がある。従って、一実施形態において、一部又は全部が前のバーストから得られたデータは、事前補償補正を事前補償されたターゲットを更新するためにその事前補償補正を使用する前に計算するのに使用される。

段階７０７では、軸コントローラは、液滴発生器１０６から放出される液滴１０７がレーザ照射される時に更新された事前補償ターゲット位置にあるように軸線方向アクチュエータに液滴発生器１０６を再位置決めするように指令する。従って、ｙ軸コントローラ６０３Ｙは、ｙ軸アクチュエータにｙ軸に沿って液滴発生器の動きを制御する指令を送り、及び／又はｚ軸コントローラ６０３Ｚは、ｚ軸アクチュエータにｚ軸に沿って液滴発生器の動きを制御する指令を送り、液滴発生器１０６から放出される液滴１０７は、更新された（すなわち、事前補償された）（ｙ、ｚ）ターゲットを通過する時にレーザ照射されるようになっている。レーザ照射された時に、液滴１０７は、ターゲット位置５０２から押し出されると１次焦点１０５に押し込まれ、生成されたプラズマ３０２からの光は、楕円形のミラー１０８によってフォーカスされ、かつ中間フォーカス１０９上へフォーカスされる。従って、能動ステアリングではなく、プッシュアウト自体の増大が、液滴１０７を１次焦点１０５に移動し、従って、いかに急速に液滴をターゲット上に移動することができるかを制限することができる。

一実施形態において、事前補償補正の計算（段階７０５）、ターゲット位置５０２の更新（段階７０６）、及び軸線方向アクチュエータへの指令（段階７０７）は、バースト間の間隔中に行われる。

一実施形態において、一部の適合化が、事前補償ターゲット適応化に及ぼす望ましくない影響を緩和するためにバースト中に実施される。例えば、ターゲット調節後に、プッシュアウト現象の増加又は低減（すなわち、増大及び減少）は、液滴毎のフィードバック制御なしで続くことを許容しなければならない。これに代えて、プッシュアウトは、レーザビーム１０２が液滴を１次焦点１０５に押し込めることになるので制御作動なしにそれ自体ターゲットに到達しなければならない。従って、これらの増加又は低減期間中に、液滴毎のフィードバックシステムは、作動不能にされる。この作動不能をもたらす１つの方法は、液滴毎のフィードバック行動が増加又は低減期間中に開始されないように液滴位置決めの誤差をゼロに設定することである。

増加又は低減中の液滴毎のフィードバックの作動不能化は、ターゲット適応化が基本とする開ループ液滴位置推定の機能性に影響を与える可能性がある。典型的には、学習利得は、０．０１に設定され、これは、開ループ液滴位置推定が、液滴の実際の位置を推定するために適用された液滴毎のフィードバックにほとんど専ら依存することを意味する。この依存の結果として、液滴毎のフィードバックシステムが作動不能のままであり、液滴位置がプッシュアウトのために急速に変わった時に、開ループ液滴位置推定は、実際の液滴位置とはかけ離れる方向にいる。従って、学習利得は、作動不能期間中に１に設定され、従って、開ループ液滴位置推定は、完全に位置測定に依存するものになる。

図６の処理は、図８の模範データで図示化して示されており、図８は、閉回路（液滴毎）フィードバックの有無に関わらずレーザ発射バースト中の経時的な液滴位置を示している。図で分るように、１次焦点１０５にターゲットを定められた液滴は、バースト中に１次焦点１０５から離れる方向にｚ軸に沿ったプッシュアウト８０１を経て、最終的には１次焦点１０５に再位置合わせされる８０２（本明細書の他の箇所に説明するように液滴毎のフィードバック制御を通して）。開ループ推定値８０３が、液滴１０７に対して決定される。バーストが終了すると、開ループ推定値の平均（ＯＬ_avg）が計算され、その後に、事前補償補正を取得するために学習利得（Ｋ）が掛けられる。その後に、事前補償された補正は、更新ターゲット位置５０２を取得するために、前のターゲット位置（この実施例では１次焦点１０５）に追加される。液滴１０７をターゲット位置５０２に送出するための液滴発生器１０６の再位置合わせでは、レーザ照射された時に１次焦点１０５に押し込められるように（それによって生成されたプラズマを最適化するように）液滴を位置決めすることによって液滴１０７の潜在的なｚ軸変位を事前補償する。

図７の方法が後続バーストに対して繰り返される時に、軸コントローラは、どの程度の液滴毎のフィードバックが平均してターゲット上に液滴１０７を再位置合わせするのに要求されるかに対してゆっくり学習する。簡単には、ターゲット位置５０２が第１のバーストにおけるプッシュアウト外乱を事前補償するように調節された後に、その後の（第２の）バーストのプッシュアウト外乱が低減される。ターゲット位置５０２が第２のバーストにおけるプッシュアウト外乱を事前補償するように調節された後に、その後の（第２の）バーストのプッシュアウト外乱は、更に低減される等々である。この学習された事前補償を図９及び図１０に模擬データを用いて示している。

図９は、ノイズを伴うブロック波プッシュアウトの模擬データの経時的なターゲット事前補償の収束を示している。この模擬データは、駆動レーザ１０１が０．５に等しい学習利得を用いて連続バーストモードで発射される時に時間と共にｚ軸に沿った液滴位置を示している。バーストは、付番された列によって示されている。バースト１中に（ターゲット位置５０２が１次焦点１０５に設定された時）、フォーカス１０５から離れたほぼ２５μｍのプッシュアウト９０１が観測されている。このプッシュアウトは、液滴位置を１次焦点１０５に再位置合わせする（バースト中に遅くであるが）液滴毎のフィードバック制御によって補正される。バースト１後のバースト間の間隔中に、更新ターゲット位置５０２（１次焦点１０５からｚ軸に沿ってほぼ−１２μｍでの）が決定される（ｚ軸コントローラ６０３Ｚによって）。液滴１０７がバースト２中にレーザ照射された時に、液滴１０７は、更新ターゲット位置５０２（ｚ軸に沿ってほぼ２５μｍ）から、１次焦点１０５からｚ軸に沿って僅か約１０μｍである位置まで押し出される。プッシュアウトはバースト１よりも小さいので、液滴毎のフィードバック制御によって、液滴位置は、先行するバースト９０３におけるよりも急速に１次焦点１０５に再位置合わせされる。この処理が繰り返される時に、プッシュアウトは、大きさが益々小さくなり、かつその液滴がターゲット上のままであるように液滴毎のフィードバックで後続バースト中によって急速に調節される。この例では、ＥＵＶシステム１００は、プラズマを発生させるために液滴が１次焦点１０５から適切な距離９０４以内まで（最小の液滴毎のフィードバックで）押し進められる十分な程度までターゲット位置５０２を事前補償することをバースト４によって学習している。図９の模擬データの経時的なｚ軸に沿った液滴位置の誤差を図１０に示している。図示のように、ＥＵＶシステム１００は、バースト４による液滴置誤差１００４を１次焦点１０５から５μｍ以内までに低減している。上述したように、１次焦点１０５から５μｍ以内で生成されたプラズマによってＥＵＶ放射が最適化される。

別の簡素化された実施形態において、バースト間のターゲット事前補償も液滴毎のフィードバック制御もバースト間には行われない。この作動不能をもたらす１つの方法は、（１）液滴毎のフィードバック行動がバースト間の間隔中に開始されないように、駆動レーザが発射されない時にバースト間の間隔全体中に液滴位置の誤差をゼロに設定し（すなわち、液滴毎のフィードバックをオフにし）、かつ（２）バースト間のターゲット事前補償をオフにすることである。この実施形態において、液滴は、１次焦点に向けてってターゲットが定められ、１次焦点との液滴位置の調節は、バースト内で液滴毎のフィードバックによって調節される。この実施形態は、実施コストが少なくて済むが、ＥＵＶシステム内の外乱が性能（例えば、ＥＵＶ出力）に悪影響を与える可能性があるということでロバスト性が劣る。例えば、液滴ジャンプ（すなわち、例えば、デブリが液滴発生器のノズルを詰まらせ、従って、放出される液滴の軌跡が変わる時のような無作為な液滴の動き）がバースト間の間隔中に起こった場合に、ＥＵＶが再び生成されるまで、液滴発生器位置にステアリングする方法がない。従って、次のバースト内の液滴は、望ましい位置から実質的に変位する可能性があり、液滴毎のフィードバックは、液滴を望ましい位置に再位置決めするのに長い時間を消費する可能性があり、又は液滴を望ましい位置に再位置決めすることができない恐れさえある。それにもかかわらず、外乱がレーザシステム内にない場合に、この実施形態は、液滴のバーストが短時間にわたって（例えば、３〜４のバーストにわたって）液滴が１次焦点から満足できる距離に位置決めされる点に落ち着くことを可能にする。

別の簡素化された実施形態において、バースト間の不感帯が、バースト間のターゲット事前補償、又は液滴毎のフィードバック制御の代わりに使用される。この不感帯は、レーザビームが液滴に衝突する領域として選択され、従って、液滴があらゆる暗−明遷移部で（例えば、レーザバースト−発射の開始時に）ターゲット上に押し出されることを可能にする。制御ループをステアリングする液滴発生器の不感帯パラメータは、液滴が１次焦点から大きい距離にある時に、液滴が、液滴毎のフィードバックでターゲットにステアリングされ、一方、液滴が１次焦点から近い範囲（例えば、２０μｍ）内にある時に、液滴が、能動的にステアリングされない（液滴毎のフィードバックは作動不能である）ように設定される。液滴は短期間（例えば、数百ｍｓｅｃ）中にドリフトして離れないので、バースト間の不感帯は、液滴を液滴毎のフィードバック制御よりも正確に露光の開始時にターゲット上へ戻す。この実施形態は、プッシュアウトの振幅及び方向とは独立しており、典型的には較正する必要がない。

更に別の実施形態において、逆制御信号は、バースト間のターゲット事前補償、又は液滴毎のフィードバック制御の代わりに、液滴をターゲット上に維持するようにアクチュエータを移動するためにフィードフォーワード的に使用することができる。この実施形態において、軸線方向液滴位置が決定され（図７を参照して段階７０２で上述したように）、次に、位置の逆を決定する。液滴を逆の位置に送出するように液滴発生器を再位置決めするその逆の位置の制御信号がアクチュエータに送られる。液滴は高速で生成されるので、この実施形態は、高速アクチュエータが液滴発生器を再位置決めするために使用される場合に特に有効である。

開示する方法及び装置をいくつかの実施形態を参照して先に説明した。他の実施形態は、この開示に照らせば当業者に明らかであろう。説明する方法及び装置のある一定の態様は、上述の実施形態に説明したもの以外の構成を使用して、又は上述したもの以外の要素に関連して容易に実施することができる。例えば、本明細書に説明するものよりも恐らくは複雑な異なるアルゴリズム及び／又は論理回路、並びに異なるタイプの駆動レーザ及び／又はフォーカスレンズを使用することができる。別の例として、開示するシステム及び方法の実施形態は、連続モードのレーザ発射を参照して説明してきたが、本明細書のシステム及び方法の実施形態は、ストロボスコープモードのレーザ発射でも実施することができる。

更に、説明する方法及び装置は、処理、装置、又はシステムとしてのものを含む多くの方法で実行することができることも認識しなければならない。本明細書に説明する方法は、プロセッサにこのような方法を実行するように指示するプログラム命令、及びハードディスクドライブ、フロッピー（登録商標）ディスク、コンパクトディスク（ＣＤ）、又はデジタル多用途ディスク（ＤＶＤ）のような光ディスク，フラッシュメモリのようなコンピュータ可読ストレージ媒体上に記録された命令、又はプログラム命令が光学的か又は電子通信リンクで送られるコンピュータネットワークによって実施することができる。本明細書に説明する方法の段階の順序は、変えられるが依然として本発明の開示の範囲にある場合があることに注意しなければならない。

与えた例は、例示の目的に過ぎず、異なる表記法及び技術を用いて他の例及び実施形態に拡張することができることを理解しなければならない。いくつかの実施形態を説明したが、本発明の開示を本明細書に開示する実施形態に限定する意図はない。逆に、当業者に明らかである全ての代替物、修正物、及び均等物を網羅するように意図しているものである。

以上の明細書では、本発明は、特定の実施形態を参照して説明したが、当業者は、本発明は、それらに限定されないことを認識するであろう。上述の本発明の様々な特徴及び態様は、個別に又は共同で使用することができる。更に、本発明は、本明細書のより広い精神及び範囲から逸脱することなく、本明細書に説明する環境及び用途を超えてあらゆる数の環境及び用途に利用することができる。従って、仕様及び図面は、制限ではなく例示であると見なさなければならない。本明細書で使用する時の用語「ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ」、「ｉｎｃｌｕｄｉｎｇ」、及び「ｈａｖｉｎｇ」は、当業技術の無制限の技術用語として読まれることを特に意図していることは認められるであろう。

１０１ 駆動レーザ
１０２ レーザビーム
１０５ １次焦点
１０６ 液滴発生器
１０８ 楕円形コレクター

Claims (18)

1. 極紫外レーザ光源のバースト発射中にターゲット材料液滴の１次焦点からのプッシュアウトを事前補償する方法であって、
   液滴発生器から１つ又はそれよりも多くの液滴がレーザ照射されることになっているターゲット位置まで送出された該１つ又はそれよりも多くの液滴をバースト中に感知する段階と、
   前記バースト内の前記１つ又はそれよりも多くの感知された液滴の各々に対して軸線方向位置を計算する段階と、
   前記バースト内の前記１つ又はそれよりも多くの液滴の各々に対する液滴毎のフィードバックを該バースト内の該１つ又はそれよりも多くの液滴の各々に対して前記計算された軸線方向位置から差し引くことにより、該バースト内の該１つ又はそれよりも多くの液滴の各々に対する開ループ液滴位置を推定する段階と、
   前記バーストが終了した後に、該バースト内の前記１つ又はそれよりも多くの液滴からの前記開ループ液滴位置に基づいて事前補償補正を計算する段階と、
   前記事前補償補正を用いて更新ターゲット位置を計算する段階と、
   後続バースト中にターゲット材料の液滴を前記更新ターゲット位置に送出するために液滴発生器を再位置決めするように１つ又はそれよりも多くのアクチュエータに指令する段階と、
   を含むことを特徴とする方法。
2. 前記バーストは、連続バーストモード内で発射された長いバーストであることを特徴とする請求項１に記載の方法。
3. 前記バーストは、ストロボスコープバーストモード内で発射された短いバーストであることを特徴とする請求項１に記載の方法。
4. 前記ターゲット位置は、１次焦点であることを特徴とする請求項１に記載の方法。
5. 前記バースト内の前記１つ又はそれよりも多くの液滴の各々に対する前記軸線方向位置は、該バースト内の該１つ又はそれよりも多くの液滴の各々に対するｚ軸に沿った位置であることを特徴とする請求項１に記載の方法。
6. 前記バースト内の前記１つ又はそれよりも多くの液滴の各々に対する前記軸線方向位置は、該バースト内の該１つ又はそれよりも多くの液滴の各々に対するｙ軸に沿った位置であることを特徴とする請求項１に記載の方法。
7. 前記事前補償補正は、学習利得に基づいていることを特徴とする請求項１に記載の方法。
8. 前記１つ又はそれよりも多くのアクチュエータは、微細移動アクチュエータであることを特徴とする請求項１に記載の方法。
9. 前記１つ又はそれよりも多くのアクチュエータのうちの少なくとも１つが、粗移動アクチュエータであることを特徴とする請求項１に記載の方法。
10. 極紫外レーザ光源のバースト発射中にターゲット材料液滴の１次焦点からのプッシュアウトを事前補償するためのシステムであって、
    液滴発生器と、
    センサと、
    １つ又はそれよりも多くの軸コントローラと、
    前記液滴発生器を位置決めする１つ又はそれよりも多くのアクチュエータと、
    を含み、
    前記センサは、前記液滴発生器から１つ又はそれよりも多くの液滴がレーザ照射されることになっているターゲット位置まで送出された該１つ又はそれよりも多くの液滴をバースト中に感知し、
    前記１つ又はそれよりも多くの軸コントローラは、
    前記１つ又はそれよりも多くの液滴の各々の軸線方向位置を計算し、
    前記バースト内の前記１つ又はそれよりも多くの感知された液滴の各々に対して開ループ液滴位置を推定し、
    前記バーストが終了した後に、該バースト内の前記１つ又はそれよりも多くの液滴の前記開ループ液滴位置に基づいて事前補償補正を計算し、
    前記事前補償補正を用いて更新ターゲット位置を計算し、かつ
    後続バースト中にターゲット材料の液滴を前記更新ターゲット位置に送出するために前記液滴発生器を再位置決めするように１つ又はそれよりも多くのアクチュエータに指令する、
    ことを特徴とするシステム。
11. 前記バーストは、連続バーストモード内で発射された長いバーストであることを特徴とする請求項１０に記載のシステム。
12. 前記バーストは、ストロボスコープバーストモード内で発射された短いバーストであることを特徴とする請求項１０に記載のシステム。
13. 前記ターゲット位置は、１次焦点であることを特徴とする請求項１０に記載のシステム。
14. 前記バースト内の前記１つ又はそれよりも多くの液滴の各々に対する前記軸線方向位置は、該バースト内の該１つ又はそれよりも多くの液滴の各々に対するｚ軸に沿った位置であることを特徴とする請求項１０に記載のシステム。
15. 前記バースト内の前記１つ又はそれよりも多くの液滴の各々に対する前記軸線方向位置は、該バースト内の該１つ又はそれよりも多くの液滴の各々に対するｙ軸に沿った位置であることを特徴とする請求項１０に記載のシステム。
16. 前記事前補償補正は、学習利得に基づいていることを特徴とする請求項１０に記載のシステム。
17. 前記１つ又はそれよりも多くのアクチュエータは、微細移動アクチュエータであることを特徴とする請求項１０に記載のシステム。
18. 前記１つ又はそれよりも多くのアクチュエータのうちの少なくとも１つが、粗移動アクチュエータであることを特徴とする請求項１０に記載のシステム。