JP2010530620A - 環状に閉じたコンタクトを備える半導体部品 - Google Patents
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Abstract
【選択図】 図5
Description
Claims (21)
- 基板(4)と、
前記基板に配設されている少なくとも1つの長尺状の第1の電極(1a、1b、1c)と、
前記基板に配設されている少なくとも1つの第2の電極(2a、2b)と
を備え、
前記第1および/または第2の電極は、長手方向に閉じている
半導体部品。 - 前記第2の電極は長尺状で、および/または、
前記第1の電極(1a、1b、1c)および前記第2の電極(2a、2b)は、配設されている前記基板(4)の表面に対して平行に延伸しており、および/または、
前記第1の電極および前記第2の電極は、互いに平行に配設されており、および/または、
前記第1の電極(1a、1b、1c)および前記第2の電極(2a、2b)が共通の平面内に配設されている
請求項1に記載の半導体部品。 - 前記第1の電極(1a、1b、1c)と前記第2の電極(2a、2b)との間に電圧が印加されると、前記第1の電極が第1の極性を持ち、前記第2の電極が前記第1の極性とは異なる第2の極性を持ち、および/または
前記電極は少なくとも2つの異なる機能を持ち、前記第1の電極が第1の機能を持ち、前記第2の電極が第2の機能を持つのが好ましい
請求項1または請求項2に記載の半導体部品。 - 前記第1の電極(1a、1b、1c)および前記第2の電極(2a、2b)はそれぞれ、長手方向において、環状に、円状に、楕円状に、矩形状に、正方形状に、三角形状に、または、多角形状になるように閉じている
請求項1から請求項3のうちいずれか一項に記載の半導体部品。 - 前記第1の電極(1a、1b、1c)および前記第2の電極(2a、2b)は、互いから離間して配設されている
請求項1から請求項4のうちいずれか一項に記載の半導体部品。 - 前記電極のうち少なくとも1つは、前記電極が配設されていない少なくとも1つの平面内でコンタクトと接しており、電極に接しているコンタクトはすべて、前記電極の同じ面に配設されていることが好ましく、同じ平面内に配設されていることが特に好ましい
請求項1から請求項5のうちいずれか一項に記載の半導体部品。 - 前記第1の電極(1a、1b、1c)の一部または全ては、共通のバス(6)によって接続されており、および/または
前記第2の電極(2a、2b)の一部または全ては、共通のバス(7)によって接続されており、および/または
同じ機能を持つ電極は全て、共通のバスによって接続されている
請求項1から請求項6のうちいずれか一項に記載の半導体部品。 - 前記バス(6、7)のうち少なくとも1つは、前記基板(4)が平面状に広がっている平面に対して平行な平面であって、前記基板も前記電極(1a、1b、1c、2a、2b)のいずれも配設されていない平面に、好ましくは前記電極の面のうち前記基板とは反対側の面において、配設されている
請求項7に記載の半導体部品。 - 少なくとも1つのビアコンタクト(41a、41b、41c、42a、42b)は、前記バス(6、7)のうち少なくとも1つと、対応する前記バスによって接続される前記電極(1a、1b、1c、2a、2b)との間に配設されており、前記ビアコンタクトによって、前記電極は前記対応するバスと電気的に接続されている
請求項7または請求項8に記載の半導体部品。 - 前記ビアコンタクト(41a、41b、41c、42a、42b)のうち少なくとも一部は、長尺形状を持ち、長手方向は、前記第1の電極(1a、1b、1c)および/または前記第2の電極(2a、2b)に平行である
請求項9に記載の半導体部品。 - 前記バス(6、7)と前記電極(1a、1b、1c、2a、2b)との間において、前記ビアコンタクト(41a、41b、41c、42a、42b)が配設されていない箇所に配設されている少なくとも1つの絶縁層(43)
を備える、請求項9または請求項10に記載の半導体部品。 - 前記バス(6、7)のうち少なくとも1つは、平面形状を持ち、表面が前記基板に対して平行である
請求項9から請求項11のうちいずれか一項に記載の半導体部品。 - 前記バス(6、7)のうち少なくとも1つに配設され、対応する前記バスを接触させるための少なくとも1つの接合部分(11、12)
を備える、請求項9から請求項12のうちいずれか一項に記載の半導体部品。 - 前記基板(4)は半円状で、
前記第1の電極(1a、1b、1c)および前記第2の電極(2a、2b)は、前記基板の中心に対して同心円状に環状に配設されており、
前記第1のバス(6)および前記第2のバス(7)は、円形領域の一部として、好ましくは半円として構成されている
請求項1から請求項13のうちいずれか一項に記載の半導体部品。 - 1以上の別の極性および/または機能を持つ1以上の別の電極
を備える、請求項1から請求項14のうちいずれか一項に記載の半導体部品。 - 前記電極のうち少なくとも1つおよび/または前記ビアコンタクトのうち少なくとも1つおよび/または前記バス(6、7)のうち少なくとも1つは、金属を含み、少なくとも2つの金属層を含むのが好ましい
請求項1から請求項15のうちいずれか一項に記載の半導体部品。 - 前記基板(4)および/または前記ビアコンタクト(41a、41b、41c、42a、42b)のうち少なくとも1つは、第III族元素の窒化物を持ち、前記基板および/または前記ビアコンタクトのうち少なくとも1つは、GaN、AlN、InN、AlGaN、InGaNおよび/またはAlGaInNを含むのが好ましい
請求項1から請求項16のうちいずれか一項に記載の半導体部品。 - 前記半導体部品は、少なくとも1つのトランジスタおよび/または少なくとも1つのダイオードを含むか、または、少なくとも1つのトランジスタおよび/または少なくとも1つのダイオードである
請求項1から請求項17のうちいずれか一項に記載の半導体部品。 - 少なくとも1つの基板(4)に対するコンタクトを製造する方法であって、前記基板には、少なくとも1つの長尺状の第1の電極(1a、1b、1c)および少なくとも1つの長尺状の第2の電極(2a、2b)が配設されており、
前記第1および第2の電極はそれぞれ、長手方向に閉じている
方法。 - 請求項1から請求項18のうちいずれか一項に記載の半導体部品が製造される
請求項19に記載の方法。 - 請求項1から請求項18のうちいずれか一項に記載の半導体部品の、高温部品としての、利用。
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