JP2010530489A - 膜ポンプ - Google Patents

Abstract

本発明は、膜ポンプ（１）であって、中央の偏心式ポンプ駆動部（２）、該偏心式ポンプ駆動部の周囲に配置された少なくとも２つのポンプヘッド（３）を備えており、各膜（４）はそれぞれ連接棒（５）を介して偏心式ポンプ駆動部（２）に連結されている形式のものに関する。偏心式ポンプ駆動部（２）は連接リング（６）を有し、該連接リングは弾性的な中間部材（１０）を介して連接棒端部（９）と結合されている。

Description

本発明は、膜ポンプであって、中央の１つの偏心式ポンプ駆動部、該偏心式ポンプ駆動部の周囲に配置された少なくとも２つのポンプヘッドを備えており、この場合に前記各ポンプヘッドの膜は、それぞれ連接棒を介して前記偏心式ポンプ駆動部に作動結合（駆動結合）され、つまり連結されている形式のものに関する。この種の膜ポンプは、すでに公知である。このような膜ポンプ（ダイヤフラムポンプ）において、すべての膜（ダイヤフラム）は、すべての膜にとって共有の１つの偏心体及び各膜のためのそれぞれ１つの連接棒（連結棒）を介して往復運動されるようになっている。各膜の中心はすべて同一の平面内に位置しており、したがってポンプはコンパクトな構造を有している。連接棒の内側の連接棒端部は、偏心体によって形成される偏心式駆動部と枢着式又はヒンジ式に結合され、つまり枢着結合（ヒンジ結合）されており、この場合に枢着結合部の領域、つまり継手の領域には、ポンプの作動時に連接棒の旋回運動（揺動運動）が生じている。連接棒と偏心式駆動部とを連結するこのような継手は、圧縮及び引張負荷（圧縮及び引張応力）にさらされると共に、連接棒の旋回運動による曲げ負荷（曲げ応力）にもさらされている。その結果、摩耗に起因する高い作動騒音が発生し、このような高い作動騒音は耐用年数にも不都合な作用を及ぼすことになる。

本発明の課題は、冒頭に述べた形式の膜ポンプを改善して、該膜ポンプを少ない構成部分若しくは少ない構成部品で、かつコンパクトな寸法で経済的に製造できるようにし、かつ該膜ポンプが長い運転時間の経過の後にも低い騒音しか生ぜしめず、高い精度若しくは信頼性を有しているようにすることである。

前記課題を解決するために本発明の構成では、偏心式ポンプ駆動部は１つの連接リングを有しており、該連接リング（連結リング）に、連接棒の連接棒端部が弾性的な中間部材（中間要素）を介して結合（連結）されている。連接棒と偏心式駆動部との間のこのような弾性的な結合により、一面では必要な枢着機能又はヒンジ機能を簡単な構成で達成し、かつ偏心式駆動部と連接棒との間の固体伝播音を減衰し、ひいては膜及びポンプヘッドを介した振動伝播を防止し、他面では偏心体、軸、軸受及びケーシングを介した振動伝播をも防止している。弾性的な中間部材は実質的にエラストマー継手を成していて、長時間にわたって遊びを生ぜしめず、したがって長時間の運転経過の後にも不都合な騒音が発生せずかつ保守整備の不要なポンプの製造を可能にしている。

本発明の有利な実施態様では、弾性的な中間部材のばね行程距離は、連接棒の軸線方向では、連接棒のほぼ半径方向、つまり、連接リングに対する接線方向でよりも小さくしてあり、かつ、連接棒のほぼ半径方向（連接リングに対する接線方向）では、連接棒の旋回運動により生じる側方変位（連接棒軸線に対して垂直な方向の変位）に依存して規定されている。

弾性的な中間部材の、連接棒の軸線方向での弾性変形量（弾性圧縮量又はばね行程距離）を上述のように小さくしてあることに基づき、偏心体行程（偏心運動量）は、連接棒に力がかかるにも拘わらず、連接棒に正確に伝達されるようになっている。連接棒の軸線方向での弾性的な中間部材の小さな弾性変形、つまり高い剛性により、膜ポンプは高いポンプ圧（吐出圧力）にも適している。すなわち、連接棒の軸線方向での中間部材の剛性（ばね剛性）は、大きくなっており、つまり、連接棒の軸線方向でのばね行程距離は相応に小さくなっている。連接棒の軸線方向での中間部材の高いばね剛性（ばね強さ又はばね強度）を得るために、実施態様では、中間部材の、連接棒の軸線方向で見た寸法（連接棒の軸線方向で計測される寸法）は、小さくされている。

連接棒の軸線方向での中間部材のばね剛性に対して、中間部材の、連接棒の半径方向（連接リングに対する接線方向）でのばね剛性は、小さくされており、したがってその結果、ばね行程距離、つまり弾性変形量又は弾性圧縮量は相応に大きくなっている。このような構成により、連接棒の旋回運動（揺動運動又は傾倒運動）に起因して膜に生じる半径方向の力は小さく保たれ、その結果として、膜は、中間部材の、連接棒の半径方向でのばね剛性を小さくしない場合に比べて小さい力でしか負荷されなくなっており、つまり換言すれば、連接棒の半径方向で膜にかかる力（負荷）、すなわち膜に生じる半径方向の応力（膜応力）は、中間部材の、連接棒の半径方向でのばね剛性を小さくしない場合に比べて小さくなっている。

本発明の有利な実施態様では、連接リングは、該連接リングの外周に、弾性的な中間部材と結合される各連接棒端部の少なくとも部分的な受容のための複数の凹設部（切欠き）を有している。このような構成により、連接リングと連接棒との間の確実かつ耐久性のある結合を可能にし、かつ各結合部位の正確な位置を達成している。この場合に、凹設部と連接棒端部とは、凹設部と連接棒端部との間に弾性的な中間部材及びヒンジ機能のための十分なスペースを画定できるように、構成（寸法規定）されている。弾性的な中間部材は、連接棒端部と凹設部の凹設部壁（内壁）との間の中間層を成している。

本発明の有利な実施態様では、エラストマーにより形成される弾性的な中間部材は、それぞれ連接リングと各連接棒端部とに加硫により結合されている。このような構成により、耐久性のある弾性的な結合部を達成している。この場合に、連接リングの凹設部の内壁と連接棒端部との間には加硫結合部を成形している。最も簡単な例では、特に小型のポンプにおいては、連接リング及び連接棒は、加硫加工されたエラストマーに直接に結合されていてよい。つまりこれらの実施形態では、連接リングと該連接リングに弾性的に結合される連接棒とは、１つの構成ユニットを成している。

本発明の実施態様では、連接棒端部は断面拡大部（断面で見て拡大された部分）を有しており、該断面拡大部は少なくとも部分的に、有利にはほぼ完全に、弾性的な中間部材内に位置している。連接棒端部の断面拡大部は、該連接棒端部を実質的に球形又は球台形に成形することによって形成され、つまりほぼ球形又は球台形の成形部によって形成され、又は円柱状の横ピン（連接棒の軸線に対して実質的に垂直に延びる円柱状のピン又は突起）によって形成されている。凹設部の内壁と連接棒端部との間の軸線方向の間隔は、比較的に小さくしてあり、かつ凹設部の内壁と連接棒端部との間の半径方向の間隔は、比較的に大きくしてあり、つまり、凹設部の内壁と連接棒端部との間の軸線方向の間隔は、凹設部の内壁と連接棒端部との間の半径方向の間隔に比べて小さくしてあり、換言すれば、凹設部の内壁と連接棒端部との間の半径方向の間隔は、凹設部の内壁と連接棒端部との間の軸線方向の間隔に比べて大きくしてある。

連接リング内に設けられる凹設部は、殊に連接棒端部の断面拡大部若しくは成形部が球形又は球台形に形成されている場合に、断面（連接棒の軸線に沿った断面）で見て、凹設部の輪郭が部分円又は円弧から外れた形状を有し、つまり、部分円（例えば半円）の形状又は弓形の形状と異なる形状を有している。本発明の実施態様によれば、連接リング内の凹設部は、実質的に半球面状、又は球冠状（部分球面状）、又は球冠帯状（半球面又は球冠をその切り口の平面に垂直な２つの平行平面で切ったときの、その２平面にはさまれた部分の形状）、又は円筒状に形成されており、かつ、連接棒端部の断面拡大部若しくは成形部（形状）は、実質的に球状、又は球台状、又は円柱状に形成されており、つまり換言すれば、連接棒端部は実質的に球状、又は球台状、又は円柱状に成形されており、この場合に、凹設部と球状、又は球台状、又は円柱状に成形される連接棒端部とは、該連接棒端部を凹設部に少なくとも部分的に、有利には完全に適合させるように、つまり、連接棒端部を凹設部内に適切に受容（収容）できるように、相互に寸法規定されている。本発明の実施態様では、凹設部は、部分円又は弓形から外れた形に形成（画定）されていてよく、つまり換言すれば、凹設部の断面で見た輪郭は、部分円又は円弧から外れた形に形成（画定）され、例えばほぼ放物線に形成されていてよい。

本発明の実施態様によれば、連接棒の軸線方向で凹設部の内壁から連接棒端部までの間隔と、連接棒の半径方向で凹設部の内壁から前記連接棒端部までの間隔との間の比は、約１：１〜約１：５である。

本発明の実施態様では、駆動側の連接棒端部は、該端部と中間部材との間の結合のための接合部分を有し、該接合部分（接合要素）は、前記端部と連接棒、つまり連接棒本体との間の結合のための連結部位若しくは結合ねじ又は結合用雌ねじを有しており、換言すれば、駆動側の連接棒端部は中間部材への接合のための接合部分を成し、かつ連接棒本体への結合のための連結部位又は結合ねじを備えており、つまり、連接棒は、連接棒本体及び、中間部材への接合のための接合部分並びに連接棒本体への結合のための連結部位又は結合ねじ（連結ねじ）を含む駆動側（駆動部側）の連接棒端部によって形成されている。

ポンプヘッドの吸込通路と吐出通路とは互いに接続（流体接続）されており、これにより、供給すべき流体又は媒体は吸込通路からポンプ室内へ吸い込まれて吐出通路（圧力通路）へ吐出されるようになっている。

本発明の有利な実施態様では、膜ポンプは、膜ポンプの中央の１つの偏心式ポンプ駆動部の周囲に分配された４つのポンプヘッドを有している。この場合に、すべてのポンプヘッドの連接棒は、有利には偏心式ポンプ駆動部の回転軸線に対して実質的に垂直に延びる仮想の１つの平面内に配置されている。このような構成により、膜の中心はすべて前記１つの平面内に、つまり同一の平面内に位置しており、ポンプは構造がコンパクトになり、少ない構成部分で安価に製造できるようになっている。

本発明の実施態様によれば、弾性的な中間部材は、加硫されたエラストマー、又は熱可塑性のエラストマー、又は注入成形可能若しくは射出成形可能なエラストマー又は注入成形可能若しくは射出成形可能なシリコーンによって形成されている。

４つのポンプヘッド及び１つの偏心式ポンプ駆動部から成る膜ポンプの断面図である。 ４ヘッド形の膜ポンプの概略図である。 中間部材及び連接棒端部又は両方の接合要素のための凹設部を備えた連接リングの断面図である。 中間部材及び連接棒端部の受容のために連接リング内に設けられている１つの凹設部の領域の拡大図である。 ４ヘッド形の膜ポンプを、吸込通路及び吐出通路から成る流体回路と一緒に示す概略図である。

図１の断面図に示してある膜ポンプ１は、図示の実施形態では膜ポンプの中央に位置する１つの偏心式ポンプ駆動部２の周囲に配置された４つのポンプヘッド３を有している。該ポンプヘッドの膜４は、それぞれ連接棒５を介して偏心式ポンプ駆動部２に駆動結合され、つまり連結されている。偏心式ポンプ駆動部２は、連接リング６及び該連接リング内に回転可能に配置された偏心体７を有している。連接リング６は、有利には外形を円形に形成されるものの、円形と異なる外形を有し、例えば多角形に形成されていてもよい。膜ポンプの構成は図２に拡大して概略的に示してある。

偏心体７の回転に際して、該偏心体の偏心体運動（偏心回転運動又は円運動）は連接リング６に伝達され、その結果、連接棒５は行程及び揺動運動を行うようになっている。このように連接リング６からの駆動運動を連接棒５へ伝達するために、継手８を設けてあり、該継手は、連接リング６と連接棒５との間に配置されていて、実質的にエラストマー継手又はエラストマージョイントとして形成されている。このために連接棒端部９は、弾性的な中間部材１０を介して連接リング６に結合されている。

継手８の構成部分（構成要素）である弾性的な中間部材１０は、偏心式ポンプ駆動部２から連接棒５、ひいては膜４への力伝達に関する種々の要求を満たすようになっている。つまり、中間部材１０によって、一面において押圧力及び引張力を伝達でき、かつ他面において連接棒のできるだけ抵抗のない側方旋回（連接リングの接線方向の旋回又は揺動）を可能にするようになっている。生ぜしめられる押圧力及び引張力は、遅れることなく、つまり実質的に遊びなく直接に伝達されるようにしたい。このために、弾性的な中間部材１０は負荷方向（押圧力及び引張力の作用する方向）で高いばね剛性を有しているようにしたい。このことは、中間部材１０の軸線方向（負荷方向）の寸法を比較的に小さくすることによって達成される。これに対して、連接棒のできるだけ抵抗のない側方旋回（揺動又は振り子運動）を可能にするために、弾性的な中間部材の半径方向の寸法、つまり弾性的な中間部材の、連接棒５の縦軸線に対して実質的に横方向（垂直方向）の寸法は、比較的に大きくなっている。

図２に示す実施形態において、中間部材１０の半径方向の寸法は、該中間部材に接続する連接棒５の半径方向の寸法に相当している。連接棒は図示の実施形態では連接リングと連結する側の端部を球形に形成されている。必要に応じて中間部材１０は、小さい直径を有し、減径部を有していてよく、或いは側方旋回機能の改善のために全周にわたって延びる環状の隆起部若しくは環状の紐を有していてよく、環状の紐若しくは環状の隆起部は、中間部材自体と凹設部の内壁との間に配置されている。連接棒５はその連接棒端部９でもって、加硫により連接リング６の外周に連接（連結）されていてよい。この場合に、両側で加硫される材料は、中間部材を形成することになる。連接棒と連接リングとの間の弾性的な結合部を、シリコーン接着剤若しくはシリコーン成形部分（シリコーンで所定の形状に成形された部材又は部品）によって形成することも可能である。つまり弾性的な中間部材１０は、加硫加工可能なエラストマー若しくは注型成形可能又は射出成形可能なエラストマー、例えばシリコーンによって形成されていてよいものである。熱可塑性プラスチックを中間部材１０に用いることも可能である。

図１に示す実施形態において、連接リング６は、外周の縁部（外周面）に開口する複数の切欠き、つまり凹設部１１を有しており、該各凹設部はそれぞれ、中間部材１０及び該中間部材に結合された連接棒端部９を少なくとも部分的に受容するために用いられている。この場合に、中間部材１０は凹設部１１の凹設部壁１２と連接棒端部９との間の中間層を成している。軸線方向の弾性的な変位（継手の伸縮若しくは変形）と連接棒の旋回運動（揺動運動）とに関する異なる要求は、連接棒端部９と凹設部壁１２との間の軸線方向の間隔（距離）を比較的に小さく形成し、かつ、連接棒端部と凹設部壁（凹設部の内壁又は内面壁）との間の半径方向の間隔（距離）を比較的に大きく形成することによって達成されるようになっている。このために、凹設部１１は、図１に示してある実施形態ではほぼボール状に、又はパン状（平鍋状）に、又はバスタブ状に形成されている。

図３に示してある実施形態においても、連接リング６は、連接棒５の連接領域（接続領域）に凹設部１１ａを有しており、該凹設部は、該凹設部の外側領域（連接リングの外周領域）に拡大部を有しており、つまり、外側に向かって拡大され、すなわち外側に向かって末広がりに形成されている。該凹設部のこのような形状構成においても、押圧力は、連接棒端部のばね弾性作用を損なうことなしに伝達されるようになっている。連接棒端部の旋回運動は、連接リングの前記外側領域の拡大部に基づきわずかな抵抗で行われる。凹設部が断面で見てほぼ半円形の断面を有し、かつ端部若しくは成形部１６が図３に示してあるように球形の断面を有し、さらに端部若しくは成形部１６が、完全に若しくはほぼ完全に凹設部内に配置されている場合にも、外側領域に、連接棒端部の旋回運動を容易にするための拡大部は形成（画定）されている。

図３に示してある実施形態において、外側、つまり膜側の連接棒端部９は膜に直接には連結されておらず、追加的に連接棒延長部１３を設けてあり、この場合に連接棒延長部１３は、連接棒本体を成していてよく、連接棒５のねじ孔内へのねじ込みのためのねじピン１５を有している。図１から明らかであるように、膜４は、有利には金属から成りかつ弾性的な膜部分と結合されたきのこ形の頭部を有していてよく、該頭部は、連接棒ねじ孔１４内へのねじ込みのため、若しくは連接棒延長部１３の外側のねじ孔内へのねじ込みのためのねじピン１５ａを有している。

図１に示す実施形態において、連接棒端部９は、凹設部１１内に設けられるゴム弾性の材料内に埋め込まれている。この場合にも、ゴム弾性の材料は、凹設部及び連接棒端部９上に加硫成形されて中間部材１０を成している。ゴム弾性の材料としては、例えばシリコーン接着剤を用いることができる。

連接リング６は、有利には環状円板若しくはリングプレート又はリングディスクとして形成されており、この場合に、半径方向外側に向かって外周の縁部に開口する凹設部１１，１１ａは穴状又は溝状に形成されている。凹設部１１，１１ａは、連接棒の軸線に対して垂直な断面で見て、環状円板の板厚さの部分領域にわたって拡大され、若しくは全板厚さにわたって拡大されていて、したがって、連接リング若しくは環状円板の平面側でも開いており、つまり平面（側面）にも開口している。成形部１６は、連接リングの厚さ若しくは環状円板の厚さに相当する長さ若しくは前記厚さよりも短い長さの円柱状の横ピンとして形成されていてよく、このような構成により相応に大きな支持面を得るようになっている。さらに別の実施形態では、成形部１６は球ヘッドとして形成されていてよく、該球ヘッド（ボールヘッド）は、有利には同じく球面形に形成される凹設部１１ａ内に接着により若しくは加硫により結合されるようになっている。球ヘッドと凹設部１１ａの内壁又は内面との間には、中間部材１０を弾性的な中間層として形成してある。

さらに別の実施形態では、中間部材１０を凹設部１１ａ内に接着により若しくは加硫により結合し、かつアンダーカットされた挿入開口部（奥行きの広い挿入用開口部）を設けることも可能であり、このような構成により、球ヘッド若しくは類似の成形部は、挿入開口部内に圧入されて形状結合式に保持され、つまり嵌合により保持されるようになっている。図３に示してある実施形態においては、連接リング６内の凹設部１１ａは、ほぼ、つまり実質的に半球面形に形成（画成）され、若しくは球冠帯の形に形成され、すなわち連接リングの両方の平面（側面）によって又は平行な仮想の２つの平面によって画定されるほぼ部分球面の形に形成（画成）されていてよく、また成形部１６は球ヘッド（ボールヘッド）として形成され、若しくは円形のディスク（プレート）又は球台として形成され、或いは横方向に、つまり連接棒の軸線に対して垂直に配置され又は偏心体回転軸線と平行に配置される円柱体として形成されていてよく、この場合に凹設部１１ａと成形部１６とは、該成形部が凹設部内に有利には完全に適合して収容されるように、寸法を規定されている。

図１に示してある実施形態において、連接棒端部９は丸味を付けられているものの、断面拡大部を有していない。しかしながら連接棒端部９は、弾性的な中間部材１０内に比較的深く係合しており、つまり深く入り込んでおり、このような構成により、中間部材内における連接棒端部の確実な保持を達成している。

殊に図４に示してある実施形態に明確に示してあるように、軸線方向の間隔ａは、側方間隔、殊に半径方向の間隔ｂよりも著しく小さくしてあり（ここで間隔ｂは、連接棒の軸線に垂直にかつ端部の球体の中心を通って延びる線に沿って計測されるものであり）、この場合に側方間隔は連接リングの外側の端部（外周縁部）に向かうに伴ってさらに著しく増大している。このように軸線方向で薄い材料層、つまり中間層は、圧縮負荷に際して、軸線方向の厚さの著しく大きな材料層に比べて極めてわずかしか変形（圧縮又は後退）されないようになっている。つまり、軸線方向押圧力又は軸線方向推力（スラスト力）は、ほとんど吸収されることなく伝達され、つまりほぼ完全に伝達されるのに対して、連接棒は旋回運動に際してわずかな抵抗しか受けないようになっている。

図４の実施形態において、連接リング６内の凹設部１１は、連接棒端部の成形部１６が円柱状、又は球状、又は球台状に形成されている場合に、断面で部分円又は弓形の形と異なる形状を有している。凹設部の内壁１２に対する連接棒端部９の軸線方向の間隔ａと連接棒端部の半径方向の間隔ｂとの間の比は、約１：１〜約１：５に規定されている。１：１の層厚さ比の場合でも、旋回運動は、軸線方向の押圧負荷よりも小さい抵抗で行われ、換言すれば旋回運動に関する抵抗は、軸線方向の押圧負荷又は偏心量に関する抵抗よりも小さく、それというのは同じ層厚さであっても、異なる運動では異なるばね行程距離を生じることになり、つまり運動（運動量）が異なれば、ばね行程距離も異なることになるからである。

図５には、ポンプヘッド３の吸込通路１７と吐出通路１８との相互の接続（流体接続）、つまり吸込通路及び吐出通路から成る液体流路を概略的に示してある。互いに並列的に接続され、しかしながら互いに時間的にずらして順次に作動される複数の作動要素（膜４）を用いることにより、吸込側でも吐出側でも脈動の極めて小さい流れを達成している。複数のポンプヘッド３、例えば４つのポンプヘッドを用いることにより、駆動モーメント又は駆動トルクもわずかにしか変化せず、偏心式ポンプ駆動部２のために比較的に小さい駆動原動機又は駆動モータを使用することができるようになっている。

１ 膜ポンプ、 ２ 偏心式ポンプ駆動部、 ３ ポンプヘッド、 ４ 膜、 ５ 連接棒、 ６ 連接リング、 ７ 偏心体、 ８ 継手、 ９ 連接棒端部、 １０ 中間部材、 １１ 凹設部、 １２ 凹設部壁、 １３ 連接棒延長部、 １４ 連接棒ねじ孔、 １５，１５ａ ねじピン

Claims (16)

1. 膜ポンプ（１）であって、中央の１つの偏心式ポンプ駆動部（２）、該偏心式ポンプ駆動部の周囲に配置された少なくとも２つのポンプヘッド（３）を備えており、この場合に各膜（４）はそれぞれ連接棒（５）を介して前記偏心式ポンプ駆動部（２）に連結されている形式のものにおいて、前記偏心式ポンプ駆動部（２）は１つの連接リング（６）を有しており、該連接リングに、前記連接棒の連接棒端部（９）が弾性的な中間部材（１０）を介して結合されていることを特徴とする膜ポンプ。
2. 前記弾性的な中間部材（１０）の、前記連接棒（５）の軸線方向の弾性変形量は、前記連接棒（５）の揺動運動により生じる側方変位の方向において、該中間部材の、前記連接棒（５）の半径方向の弾性変形量に比べて小さく形成されている請求項１に記載の膜ポンプ。
3. 前記連接リング（６）は、該連接リングの外周に、前記弾性的な中間部材（１０）と結合される前記各連接棒端部（９）の少なくとも部分的な受容のための複数の凹設部（１１，１１ａ）を有している請求項１又は２に記載の膜ポンプ。
4. 前記中間部材（１０）は、前記連接棒端部（９）と前記凹設部の凹設部壁（１２）との間の中間層を成している請求項１から３のいずれか１項に記載の膜ポンプ。
5. エラストマー製の前記中間部材（１０）は、前記連接リング（６）及び前記各連接棒端部（９）と加硫により結合されている請求項１から４のいずれか１項に記載の膜ポンプ。
6. 前記連接棒端部（９）は断面拡大部を有しており、該断面拡大部は少なくとも部分的に、前記弾性的な中間部材（１０）内に位置している請求項１から５のいずれか１項に記載の膜ポンプ。
7. 前記連接棒端部（９）の前記断面拡大部は、該連接棒端部を実質的に球形又は球台形に成形することによって形成され、又は円柱状の横ピンによって形成されている請求項６に記載の膜ポンプ。
8. 前記凹設部（１１，１１ａ）の内壁から前記連接棒端部（９）までの軸線方向の間隔は、比較的に小さくしてあり、かつ前記凹設部（１１，１１ａ）の内壁から前記連接棒端部（９）までの半径方向の間隔は、比較的に大きくしてある請求項３から７のいずれか１項に記載の膜ポンプ。
9. 前記連接リング（６）内の前記凹設部（１１，１１ａ）は、殊に前記連接棒端部（９）の前記断面拡大部若しくは成形部が球形又は球台形に形成されている場合に、断面で見て部分円の形状又は弓形の形状と異なる形状を有している請求項３から７のいずれか１項に記載の膜ポンプ。
10. 前記連接リング（６）内の前記凹設部（１１，１１ａ）は、半球面状、又は半球冠帯状、又は円筒状に形成されており、かつ前記連接棒端部（９）の前記断面拡大部若しくは成形部は、球状、又は球台状、又は円柱状に形成されており、かつ前記凹設部（１１，１１ａ）と前記連接棒端部（９）の前記断面拡大部若しくは成形部とは、該連接棒端部（９）を前記凹設部（１１，１１ａ）に適合させるように、相互に寸法規定されている請求項３から９のいずれか１項に記載の膜ポンプ。
11. 前記凹設部（１１，１１ａ）の内壁から前記連接棒端部（９）までの軸線方向の間隔（ａ）と、前記凹設部（１１，１１ａ）の内壁から前記連接棒端部（９）までの半径方向の間隔（ｂ）との間の比は、約１：１〜約１：５である請求項３から１０のいずれか１項に記載の膜ポンプ。
12. 駆動側の前記連接棒端部（９）は、前記中間部材（１０）との結合のための接合部分を有しており、該接合部分は、前記連接棒（５）との結合のための連結部位若しくは結合ねじを有している請求項１から１１のいずれか１項に記載の膜ポンプ。
13. 前記ポンプヘッド（３）の吸込通路（１７）と吐出通路（１８）とは互いに接続されている請求項３から１２のいずれか１項に記載の膜ポンプ。
14. 該膜ポンプは、前記中央の偏心式ポンプ駆動部（２）の周囲に配置された４つのポンプヘッド（３）を有している請求項１から１３のいずれか１項に記載の膜ポンプ。
15. 前記すべてのポンプヘッド（３）の前記連接棒（５）は、１つの平面内に配置されている請求項１から１４のいずれか１項に記載の膜ポンプ。
16. 前記エラストマー製の中間部材（１０）は、加硫されたエラストマー、又は熱可塑性のエラストマー、又は注入成形可能なエラストマー、又は注入成形可能シリコーンによって形成されている請求項１から１５のいずれか１項に記載の膜ポンプ。

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