JP2010529616A - 金属層/金属窒化物層及び金属酸窒化物層が形成された燃料電池用ステンレス鋼分離板及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図7
Description
Claims (18)
- ステンレス鋼板と、
前記ステンレス鋼板の表面に形成される金属層/金属窒化物層(M/MNx)からなる第1のコーティング層(このとき、0.5≦x≦1である。)と、
前記第1のコーティング層上に形成される金属酸窒化物(MOyNz)層からなる第2のコーティング層と、を含む燃料電池用ステンレス鋼分離板。
(このとき、0.05≦y≦2で、0.25≦z≦1.0である。) - 前記ステンレス鋼板の表面状態は、不動態被膜が形成されている状態、不動態被膜がエッチングによって除去された状態、不動態被膜内部の鉄(Fe)とニッケル(Ni)成分がエッチングによって選択的に除去されている状態のうち一つの状態となっていることを特徴とする、請求項1に記載の燃料電池用ステンレス鋼分離板。
- 前記第1のコーティング層は、金属層/金属窒化物層(M/MN)が複数の層で形成されていることを特徴とする、請求項1に記載の燃料電池用ステンレス鋼分離板。
- 前記複数の層の数は、具体的に2〜200であることを特徴とする、請求項3に記載の燃料電池用ステンレス鋼分離板。
- 前記第1のコーティング層を構成する金属層/金属窒化物層(M/MN)は、金属層(M)が前記ステンレス鋼板と接しており、金属窒化物層(MN)が前記第2のコーティング層と接していることを特徴とする、請求項1に記載の燃料電池用ステンレス鋼分離板。
- 前記第1のコーティング層及び第2のコーティング層を構成する金属(M)は、クロム(Cr)、チタニウム(Ti)、ジルコニウム(Zr)のうち1つ又は2つ以上が選択されることを特徴とする、請求項1に記載の燃料電池用ステンレス鋼分離板。
- 前記第1のコーティング層及び第2のコーティング層を構成する金属(M)は、遷移金属から選択されることを特徴とする、請求項1に記載の燃料電池用ステンレス鋼分離板。
- 前記金属層/金属窒化物層は、具体的にCr/CrN層であることを特徴とする、請求項1に記載の燃料電池用ステンレス鋼分離板。
- 前記金属酸窒化物層は、具体的にCrOyNz(0.05≦y≦2で、0.25≦z≦1.0)であることを特徴とする、請求項1に記載の燃料電池用ステンレス鋼分離板。
- 前記第2のコーティング層の厚さは10〜100nmであることを特徴とする、請求項1に記載の燃料電池用ステンレス鋼分離板。
- 前記第2のコーティング層の厚さが100nmである場合、表面からの深さ5〜15nmでの[O/N]の原子比は0.2〜8であることを特徴とする、請求項1に記載の燃料電池用ステンレス鋼分離板。
- 前記第2のコーティング層の厚さが100nmである場合、表面からの深さ45〜55nmでの[O/N]の原子比は0.5以下であることを特徴とする、請求項1に記載の燃料電池用ステンレス鋼分離板。
- 請求項1に記載の燃料電池用ステンレス鋼分離板をスパッタリング技術を用いて製造するにおいて、
ターゲットとして金属をローディングした状態で前記第1のコーティング層の金属層の形成時にはアルゴンガス雰囲気でスパッタリング工程を進行し、
前記第1のコーティング層の金属窒化物層の形成時にはアルゴンガスと窒素ガスとが共存する雰囲気でスパッタリング工程を進行し(このとき、金属層/金属窒化物層(M/MN)を複数層で形成しようとする場合には、前記アルゴンガス雰囲気―アルゴンガス/窒素ガス共存雰囲気工程を反復する。)、
前記第1のコーティング層を形成する工程の連続工程として窒素ガスと酸素ガスとが共存する雰囲気でスパッタリング工程を進行することによって、金属酸窒化物層(MOyNz)からなる第2のコーティング層を形成することを特徴とする燃料電池用ステンレス鋼分離板の製造方法。
(このとき、0.05≦y≦2で、0.25≦z≦1.0である。) - 請求項1に記載の燃料電池用ステンレス鋼分離板をスパッタリング技術を用いて製造するにおいて、
ターゲットとして金属をローディングした状態で前記第1のコーティング層の金属層の形成時にはアルゴンガス雰囲気でスパッタリング工程を進行し、
前記第1のコーティング層の金属窒化物層の形成時にはアルゴンガスと窒素ガスとが共存する雰囲気でスパッタリング工程を進行し(このとき、金属層/金属窒化物層(M/MN)を複数層で形成しようとする場合には、前記アルゴンガス雰囲気―アルゴンガス/窒素ガス共存雰囲気工程を反復する。)、
金属層/金属窒化物層(M/MN)で構成される第1のコーティング層が形成されたステンレス鋼板を酸素雰囲気で熱処理し、最外郭の金属窒化物層の一部を金属酸窒化物層(MOyNz)に変化させる熱的酸化又はプラズマ酸化工程によって第2のコーティング層を形成することを特徴とする燃料電池用ステンレス鋼分離板の製造方法。
(このとき、0.05≦y≦2で、0.25≦z≦1.0である。) - 前記第1のコーティング層及び第2のコーティング層を構成する金属(M)は、クロム(Cr)、チタニウム(Ti)、ジルコニウム(Zr)のうち1つ又は2つ以上が選択されることを特徴とする、請求項13又は14に記載の燃料電池用ステンレス鋼分離板の製造方法。
- 前記第1のコーティング層及び第2のコーティング層を構成する金属(M)は、遷移金属から選択されることを特徴とする、請求項13又は14に記載の燃料電池用ステンレス鋼分離板の製造方法。
- 前記スパッタリング技術は、具体的に反応性スパッタリング技術であることを特徴とする、請求項13又は14に記載の燃料電池用ステンレス鋼分離板の製造方法。
- 前記熱処理温度は300〜900℃であることを特徴とする、請求項14に記載の燃料電池用ステンレス鋼分離板の製造方法。
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