JP2010529616A - 金属層/金属窒化物層及び金属酸窒化物層が形成された燃料電池用ステンレス鋼分離板及びその製造方法 - Google Patents

金属層/金属窒化物層及び金属酸窒化物層が形成された燃料電池用ステンレス鋼分離板及びその製造方法 Download PDF

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Abstract

本発明に係る燃料電池用ステンレス鋼分離板は、ステンレス鋼板と、前記ステンレス鋼板の表面に形成される金属層/金属窒化物層(M/MN)からなる第1のコーティング層(このとき、0.5≦x≦1である。)と、前記第1のコーティング層上に形成される金属酸窒化物(MO)層からなる第2のコーティング層とを含む(このとき、0.05≦y≦2で、0.25≦z≦1.0である。)。また、前記燃料電池用ステンレス鋼分離板の製造方法も提供される。
【選択図】図7

Description

本発明は、燃料電池用ステンレス鋼分離板及びその製造方法に関するもので、より詳細には、金属層/金属窒化物層及び金属酸窒化物層が形成された燃料電池用ステンレス鋼分離板及びその製造方法に関するものである。
分離板(Separator、bipolar plate)は、膜電極集合体(MEA)と共に、燃料電池の核心部品として、膜電極集合体と気体拡散層(GDL)の構造的支持、発生した電流の収集及び伝達、反応ガスの輸送及び除去、反応熱除去のための冷却水の輸送などの多様な役割を担当する。
これによって、分離板が有すべき素材特性としては、優れた電気伝導性、熱伝導性、ガス密閉性及び化学的安定性などが挙げられる。
このような分離板は、その素材として黒鉛系素材及び樹脂と黒鉛とを混合した複合黒鉛材料を用いて製造されてきた。
しかしながら、黒鉛系分離板は、強度及び密閉性が金属系素材に比べて低いという特性を示し、特に、これを用いた分離板の製造時における高い工程費用及び低い量産性により、最近は金属系分離板に対する研究が活発に進行されている。
分離板の素材として金属系を適用する場合、分離板の厚さ減少を通した燃料電池スタックの体積減少及び軽量化が可能であり、スタンピングなどを用いた製造が可能であるので、量産性を確保できるという長所がある。
しかしながら、燃料電池の使用時に発生する金属の腐食は、膜電極集合体の汚染を誘発し、燃料電池スタックの性能を低下させる要因として作用し、かつ、長時間使用時における金属表面上の厚い酸化膜成長は、燃料電池内部の抵抗を増加させる要因として作用しうる。
燃料電池分離時用金属素材としては、ステンレス鋼、チタニウム合金、アルミニウム合金及びニッケル合金などが候補材料として検討されている。これらのうち、ステンレス鋼は、比較的低廉な素材原価及び優れた耐食性などによって分離板の素材として多くの注目を受けているが、依然として耐食性及び電気伝導性の側面で満足する程度の水準を示していない。
図1を参照すれば、特許文献1には、コストが比較的低廉なカーボン粒子3を金属分離板表面の不動態被膜2に分散させ、電気伝導性を改善する技術が開示されている。
しかしながら、燃料電池が自動車に適用される場合、運転中に振動などによってカーボン粒子3が剥離されやすく、適切な前処理をしなければ、金属分離板の原素材であるステンレススチール1の接触抵抗が高いことから、金属分離板として使用するのは不適切であった。
図2を参照すれば、特許文献2には、チタニウムを高温窒化処理し、ステンレススチール1の表面に窒化チタニウム被膜2を形成する技術が開示されている。
しかしながら、この方法は、長時間処理しなければならず、真空中で施行されなければならないので、大量生産のための工程構成が難しく、製品単価が上昇するという短所を有していた。
日本特許公開公報2003―277133 日本特許公開公報2000―353531
本発明が解決しようとする技術的課題は、伝導性及び耐食性に優れた燃料電池用ステンレス鋼分離板を提供することである。
また、本発明が解決しようとする他の技術的課題は、前記燃料電池用ステンレス鋼分離板の製造方法を提供することである。
前記のような技術的課題を解決するための本発明の実施例に係る燃料電池用ステンレス鋼分離板は、ステンレス鋼板と、ステンレス鋼板の表面に形成される金属層/金属窒化物層(M/MNx)からなる第1のコーティング層(このとき、0.5≦x≦1である。)と、第1のコーティング層上に形成される金属酸窒化物(MOyNz)層からなる第2のコーティング層とを含む。
(このとき、0.05≦y≦2で、0.25≦z≦1.0である。)
前記のような他の技術的課題を解決するための本発明の第1の実施例に係る燃料電池用ステンレス鋼分離板の製造方法は、ターゲットとして金属をローディングした状態で第1のコーティング層の金属層の形成時にはアルゴンガス雰囲気でスパッタリング工程を進行し、第1のコーティング層の金属窒化物層の形成時にはアルゴンガスと窒素ガスとが共存する雰囲気でスパッタリング工程を進行し(このとき、金属層/金属窒化物層(M/MNx)を複数層で形成しようとする場合には、前記アルゴンガス雰囲気―アルゴンガスと窒素ガスとが共存する雰囲気工程を反復する。)、第1のコーティング層を形成する工程の連続工程として、アルゴンガス、窒素ガス及び酸素ガスが共存する雰囲気でスパッタリング工程を進行することによって、金属酸窒化物層(MOyNz)からなる第2のコーティング層を形成することを特徴とする。
前記のような他の技術的課題を解決するための本発明の第2の実施例に係る燃料電池用ステンレス鋼分離板の製造方法は、ターゲットとして金属をローディングした状態で第1のコーティング層の金属層(M)形成時にはアルゴンガス雰囲気でスパッタリング工程を進行し、第1のコーティング層の金属窒化物層(MN)形成時にはアルゴンガスと窒素ガスとが共存する雰囲気でスパッタリング工程を進行し(このとき、金属層/金属窒化物層(M/MN)を複数層で形成しようとする場合には、前記アルゴンガス雰囲気―アルゴンガスと窒素ガスとが共存する雰囲気工程を反復する。)、金属層/金属窒化物層(M/MN)で構成される第1のコーティング層が形成されたステンレス鋼板を酸素雰囲気で熱処理し、最外郭の金属窒化物層の一部を金属酸窒化物層(MOyNz)に変化させる熱的酸化又はプラズマ酸化工程によって第2のコーティング層を形成することを特徴とする。
本発明の実施例に係る燃料電池用ステンレス鋼分離板によれば、耐食性及び電気伝導性に非常に優れているだけでなく、ガス拡散層(gas diffusion layer;GDL)との接触性及び電気伝導性に非常に優れている。
また、本発明に係る燃料電池用ステンレス鋼分離板の表面コーティング方法は、それによって製造された燃料電池用ステンレス鋼分離板の運転中の金属イオンの溶出量が少ないことから、電解質膜及び電極の汚染を低減することができ、長期的な燃料電池の性能に優れている。
また、本発明に係る燃料電池用ステンレス鋼分離板の表面コーティング方法は、それによって製造された燃料電池用ステンレス鋼分離板の運転中にコーティング層上に電池抵抗の高い酸化物の生成が抑制され、内部抵抗の増加が僅かであり、長期的な燃料電池の性能に優れている。
従来の技術に係る不動態被膜に伝導性粒子が介在された金属分離板を示した図である。 従来の技術に係る窒化チタニウム被膜を表面に形成した金属分離板を示した図である。 本発明に係る燃料電池用ステンレス鋼分離板の製造方法を説明するための工程フローチャートである。 図3の各工程段階における工程断面図である。 図3の各工程段階における工程断面図である。 図3の各工程段階における工程断面図である。 図3の各工程段階における工程断面図である。 本発明に係るステンレス鋼板の接触抵抗を測定する接触抵抗測定装置を示した図である。 前記実験例によって製造された燃料電池用ステンレス鋼分離板において、第2のコーティング層の表面から約10nmの厚さで[O/N]の原子比の変化による腐食電流値を測定した結果を示すグラフである。 前記実験例によって製造された燃料電池用ステンレス鋼分離板において、第2のコーティング層の表面から約10nmの厚さで[O/N]の原子比の変化による接触抵抗値を測定した結果を示すグラフである。 前記実験例によって製造された燃料電池用ステンレス鋼分離板において、第2のコーティング層の表面から約50nmの厚さで[O/N]の原子比の変化による接触抵抗値を測定した結果を示すグラフである。 前記実験例によって製造された燃料電池用ステンレス鋼分離板において、第2のコーティング層の表面から約100nmの厚さ(第1のコーティング層と第2のコーティング層との境界付近)で[O/N]の原子比の変化による接触抵抗値を測定した結果を示すグラフである。 発明例4の燃料電池のシミュレート環境での時間による接触抵抗値の評価結果を示したグラフである。 発明例4及び比較例1の燃料電池の性能評価を示したグラフで、発明例及び比較例の分離板を装着した燃料電池に定電流(1A/cm)を印加した後で測定した電圧を示したグラフである。
図3は、本発明に係る燃料電池用ステンレス鋼分離板の製造方法を説明するための工程フローチャートで、図4〜図7は、図3の各工程段階における工程断面図である。
本発明に係る燃料電池用ステンレス鋼分離板を製造するためには、まず、図4に示すように、ステンレス鋼板を用意する(S310)。
本工程段階で使用されるステンレス鋼板400としては、一般的に市中で購入可能なオーステナイト(Austenite)系ステンレスであるSUS 316L,0.2tなどがある。
ただし、図4には、ステンレス鋼板400の表面に何らの膜も形成されていない状態が示されているが、本発明に使用されるステンレス鋼板400の表面は、不動態被膜が形成されている状態であったり、不動態被膜がエッチングによって完全に除去された状態であったり、不動態被膜の内部の鉄(Fe)、ニッケル(Ni)成分がエッチングによって選択的に除去されている状態である。
また、後でコーティングされる層との結合力を考慮して、ステンレス鋼板400の表面は一定の粗さが与えられた状態でもある。
本段階は、後でコーティングが適切に行われるようにするための段階であって、本段階には、酸性及びアルカリ性脱脂剤を用いてステンレス鋼板400の表面の不純物を除去する工程が含まれることもある。
次に、図5に示すように、ステンレス鋼板400の表面に第1のコーティング層405(1)を形成しはじめる(S320)。
第1のコーティング層405(1)は、金属層(M)410(1)及び金属窒化物層(MNx)420(1)で構成されるが、第1のコーティング層405(1)の内部には工程過程で不可避な不純物が導入されることもある。
このとき、第1のコーティング層405(1)を構成する金属(M)は、電気伝導性及び耐食性に優れた遷移金属から選択され、具体的にはクロム(Cr)、チタニウム(Ti)及びジルコニウム(Zr)であることが望ましい。
第1のコーティング層405(1)を形成する方法としては、スパッタリングなどの物理的気相蒸着法又はアークイオンめっき法が使用されるが、これに限定されることはない。
本発明では、第1のコーティング層405(1)を構成する金属としてクロム(Cr)を使用し、コーティング面の物性に最も優れており、工程操作が比較的容易な反応性スパッタリング法を用いて第1のコーティング層405(1)を形成することについて説明する。
ただし、第1のコーティング層405(1)を構成する金属物質としてクロム(Cr)以外の他の遷移金属が使用されることもあり、反応性スパッタリング以外の技術が使用されることもある。
再び図5を参照すれば、第1のコーティング層405(1)を形成するために、スパッタリングのターゲットとしてクロム金属(Cr)が使用される。
このときに使用されるクロム(Cr)金属ターゲットは、99.999以上の純度を有するクロム金属であることが望ましい。
第1のコーティング層405(1)を形成するためには、まず、ステンレス鋼板400とクロム金属ターゲットをスパッタリングチャンバにローディングし、アルゴンガス(Ar)雰囲気でスパッタリング工程を進行し、ステンレス鋼板400の表面にクロム層(図5の410(1)に対応する。)を形成する。
このとき、クロム層410(1)は5〜500nmの厚さを有している。
その後、チャンバの内部でアルゴンガス(Ar)に窒素ガス(N2)をさらに供給すれば、クロム層410(1)上に連続工程でクロム窒化物層(CrN)420(1)が形成される。
このとき、クロム窒化物層420(1)の厚さも、前記クロム層410(1)と同一又は類似の厚さを有している。
上記の工程において、クロム層410(1)の形成時には、スパッタリングチャンバの内部でアルゴンガス(Ar)雰囲気で工程が進行され、クロム窒化物層420(1)の形成時には、スパッタリングチャンバの内部でアルゴンガスと窒素ガス(N2)とが共存する雰囲気で工程が進行される。
次に、図6に示すように、前記スパッタリングチャンバの内部でアルゴンガス雰囲気でスパッタリング工程を継続的に進行すれば、前記クロム窒化物層420(1)上には再びクロム層410(2)が形成され、その後、再びチャンバの内部をアルゴンガスと窒素ガスとが共存する雰囲気にした状態でスパッタリング工程を進行すれば、クロム層410(2)上にクロム窒化物層420(2)が形成される。このようなクロム層/クロム窒化物層を形成する工程を継続的に反復することによって第1のコーティング層405(n)を完成する。(S330)
すなわち、図6を参照すれば、第1のコーティング層405(n)は、合計nのクロム層/クロム窒化物層で構成されており、このとき、第1のコーティング層405(n)を構成するクロム層/クロム窒化物層の数は、2〜200であり、n=5〜100にすることが望ましい。
上述したように、第1のコーティング層405(n)は、クロム層/クロム窒化物層が複数層で蒸着されて構成されるが、このように第1のコーティング層を形成する理由は、第1のコーティング層405(n)を貫通するスルーホールの形成を抑制して耐食性を増加させるためである。
また、第1のコーティング層405(n)をクロム層410又はクロム窒化物層420単独の層で形成せず、クロム層/クロム窒化物層が交互に蒸着されるように形成する理由は、クロム層410のみを蒸着したときに生じる耐食性の低下と、クロム窒化物層420のみを蒸着したときに生じる電気伝導性の低下とを互いに相補するためである。
前記のような工程によって形成される第1のコーティング層405(n)の内部において、一つのクロム層/クロム窒化物層の厚さは、第1のコーティング層405(n)全体の厚さの1/200〜1/60の範囲にすることが望ましい。
最後に、図7に示すように、第1のコーティング層405(n)上に第2のコーティング層430を形成する(S340)。
前記第2のコーティング層430は、金属酸窒化物層(MOyNz)であって、0超100nm以下、望ましくは10〜100nmの厚さを有する(このとき、0.05≦y≦2で、0.25≦z≦1.0である。)。
また、金属酸窒化物層(MOyNz)を形成するための技術としては、前記のように使用されたスパッタリング工程の連続工程でチャンバの内部に窒素(N2)と酸素(O2)を同時に供給することによって形成することもでき、蒸着方法でない酸素の拡散、すなわち、第1のコーティング層405の形成工程が完了した後、酸素雰囲気で熱処理することによって金属窒化物層の内部に酸素を拡散させ、熱的酸化又はプラズマ酸化によって金属酸窒化物層(MOyNz)を形成することもできる。
このとき、熱的酸化工程は、300〜900℃の温度で行われることが望ましい。
ただし、工程の容易性及び優れた性質の金属酸窒化物層(MOyNz)430を形成するためには、前記のように使用されたスパッタリング工程の連続工程で金属酸窒化物層(MOyNz)430を形成することが望ましい。
すなわち、第1のコーティング層405の形成が完了した後、スパッタリングチャンバの内部で連続工程で窒素ガスと酸素ガスをチャンバの内部に供給した状態でスパッタリング工程を進行することによって金属酸窒化物層(MOyNz)430を形成すれば、第1のコーティング層405から表面に行くほど酸素(O)の濃度が増加する金属酸窒化物層(CrOyNz)が形成される。
前記では、第1のコーティング層405(1)〜405(n)及び第2のコーティング層430を形成するにおいてアルゴンガス(Ar)が使用されているが、これに限定されることなく、ヘリウム(He)、ネオン(Ne)などのような0族不活性ガスも使用可能である。
このとき、第2のコーティング層の厚さが100nmである場合、表面からの深さ5〜15nmでの[O/N]の原子比は0.2〜8にし、表面からの深さ45〜55nmでの[O/N]の原子比は0.5以下にすることが、優れた電気伝導度を有するための側面で望ましい。
第2のコーティング層430を構成する金属酸窒化物層(CrOyNz)は、金属窒化物層420に比べて優れた耐食性及び同等な水準の伝導性を有するが、このような性質は、上述したように、金属酸窒化物層(CrOyNz)が100nm以下の厚さを有する場合のみに可能であり、100nmを超える厚さを有する場合には、耐食性には優れているが、伝導性が目標値より低くなる。
前記のような方法によって完成する燃料電池用ステンレス鋼分離板の接触抵抗は10mΩ・cm以下の値を有し、腐食電流は1μA/cm以下の値を有するようになる。
前記のような値は、米国エネルギー省(DOE;Department of Energy)で提示する基準である10mΩ・cm以下の接触抵抗、1μA/cm以下の腐食電流値を満足する水準である。
以下では、本発明の各実施例に係る燃料電池用ステンレス鋼分離板の製造方法によって製造された燃料電池用ステンレス鋼分離板の場合、伝導度及び耐食性に非常に優れていることを具体的な各実験例に基づいて説明する。ただし、ここに記載されていない内容は、この技術分野で熟練した者であれば充分に技術的に類推可能であるので、それに対する説明は省略する。
1.実験例及び比較例
<実験例>
316Lステンレススチールを母材として、J&L社のPVDスパッタリングシステム及びクロムターゲットを用いて下記のような条件でコーティングを実施した。
表1は、前記各実施例のコーティング条件を示す。
Figure 2010529616
基板温度は200℃に、プラズマパワーは2.9kWに、CrNx/CrOyNzコーティング時のアルゴンガス流量は30sccmに維持し、CrOyNzコーティング時には、酸素ガス又は酸素ガスと窒素ガスの流量をコーティング時間の間、前記表1のように一定の速度で変化させた。
いずれの実験例においてもCr/CrNxコーティング条件を25回反復して約1μmの厚さの第1のコーティング層を形成し、第2のコーティング層の厚さは、実験例1では約50nm、実験例2〜5では約100nmであった。
<比較例>
316Lステンレススチールを母材として、J&L社のPVDスパッタリングシステム及びクロムターゲットを用いて下記のような条件でコーティングを実施した。
表2は、前記各比較例のコーティング条件を示す。
Figure 2010529616
基板温度は200℃に、プラズマパワーは2.9kWに、CrNx/CrOyNzコーティング時のアルゴンガス流量は30sccmに維持し、CrOyNzコーティング時には酸素又は酸素/窒素ガスの流量を一定の速度で変化させた。前記のいずれの比較例においてもCr/CrNxコーティング条件を25回反復して約1μmの厚さの第1のコーティング層を形成し、第2のコーティング層の厚さは、比較例1では約50nm、比較例2では約120nmであった。
2.物性の測定
(1)AESを用いた第2のコーティング膜の厚さによる成分比測定
VG Scientific社のESCALAB250を用いて、前記各実験によって製造された燃料電池用ステンレス鋼分離板の第2のコーティング層に対する厚さによる酸素(O)と窒素(N)の成分比を測定した。
(2)接触抵抗(伝導性)の測定
図8は、本発明に係るステンレス鋼板の接触抵抗を測定する接触抵抗測定装置を示した図である。
図8を参照すれば、ステンレス鋼板500の接触抵抗測定を通してセル締結のための最適化された定数を得るために、修正されたDavies方法がステンレススチール(Stainless Steel:SS)とカーボン紙との間の接触抵抗を測定するのに使用された。
接触抵抗は、4点法(four―wire current―voltage)測定原理を用いてZahner社のIM6装備で測定した。
測定方法は、定電流モードで測定領域DC 2A及びAC 0.2Aにし、10kHzから10mHzまでの範囲で接触抵抗を測定した。
カーボン紙としては、SGL社の10BBを使用した。
前記接触抵抗測定装置50においては、カーボン紙520と、金がめっきされた銅プレート510とが試片500を挟んでそれぞれ上下に設けられ、前記銅プレート510は、電流供給装置530及び電圧測定装置540に連結されている。
前記試片500に電流を供給可能な電流供給装置530(Zahner社のIM6)でDC 2A/AC 0.2Aの電流を印加して電圧を測定した。
そして、前記接触抵抗測定装置50の銅プレート510の上下で前記試片500、カーボン紙520及び銅プレート510が積層構造を有するように圧力を提供可能な圧力器(Instron社のモデル5566、圧縮維持試験)を用意する。前記圧力器は、前記接触抵抗測定装置50に50〜150N/cmの圧力を提供する。
このように設けられた接触抵抗測定装置50で前記表1及び表2に示した実験例と比較例の試片500、すなわち、ステンレス鋼板の接触抵抗を測定した。
(3)腐食電流の測定
本発明のステンレス鋼板の腐食電流を測定する測定装備としては、EG&G 273Aを使用した。腐食耐久性実験は、PEFC(Polymer Electrolyte Fuel Cell)のシミュレート環境下で行われた。
本発明に係るステンレス鋼板を腐食する実験溶液としては、0.1N H2SO4+2ppm HFを80℃で使用し、1時間のN2バブリング後、−0.25V〜1V vs.SCE(Saturated Calomel Electrode)のOCP(Open Circuit Potential)で腐食電流を測定した。
そして、PEFCアノード環境に対しては−0.24V vs.SCEで物性を測定し、PEFCカソード環境に対しては0.658V vs.SCE(0.9 vs.NHE)で物性を測定した。
ここで、前記物性測定比較は、燃料電池環境と類似したカソード環境の0.658V vs.SCE(0.9 vs.NHE)の腐食電流データを通して比較評価した。
前記アノード環境は、水素が膜電極接合体(Membrane Electrode Assembly、MEA)を通過しながら水素イオンと電子とに分離される反応が起きる環境であり、前記カソード環境は、酸素が通過して水素電子と水を生成する反応が起きる環境である。
ここで、前記条件のように、カソード環境は、その電位が高く、より劣悪な環境であるので、カソード環境を基準にして耐食性を試験することが望ましい。
そして、前記米国エネルギー省(DOE)の基準によって、0.658V vs.SCE(0.9 vs.NHE)でステンレス鋼板の腐食電流密度が1μA/cm以下の値を有することが望ましい。
3.物性測定結果及びその分析
図9は、前記各実験例及び各比較例によって製造されたステンレス鋼分離板において、第2のコーティング層の表面から約10nmの厚さで[O/N]の原子比の変化による腐食電流値を測定した結果を示すグラフである。このとき、目標値は、DOE基準である1μA/cmにした。
図9を参照すれば、第2のコーティング層の表面から10nmの厚さで[O/N]の原子比が約0.2以上であるときには、腐食電流値が目標値を満足していることが分かるが、[O/N]の原子比が0.2未満であるときには、腐食電流値が目標値から逸脱していることが分かる。
図10は、前記実験例及び比較例によって製造されたステンレス鋼分離板において、第2のコーティング層の表面から約10nmの厚さで[O/N]の原子比の変化による接触抵抗値を測定した結果を示すグラフである。このとき、目標値は、DOE基準である10mΩ・cmにした。
図10を参照すれば、第2のコーティング層の表面から10nmの厚さで[O/N]の原子比が約8以下であるときには、接触抵抗が目標値を満足していることが分かるが、[O/N]の原子比が8を超えるときには、接触抵抗が目標値から逸脱していることが分かる。
図11は、前記実験例によって製造された燃料電池用ステンレス鋼分離板において、第2のコーティング層の表面から約50nmの厚さで[O/N]の原子比の変化による接触抵抗値を測定した結果を示すグラフである。このとき、目標値は、DOE基準である10mΩ・cmにした。
図11を参照すれば、第2のコーティング層の表面から50nmの厚さで[O/N]の原子比が約0.5以下であるときには、接触抵抗が目標値を満足していることが分かるが、[O/N]の原子比が約0.5を超えるときには、接触抵抗が目標値から逸脱していることが分かる。
図12は、前記実験例によって製造された燃料電池用ステンレス鋼分離板において、第2のコーティング層の表面から約100nmの厚さ(第1のコーティング層と第2のコーティング層との境界付近)で[O/N]の原子比の変化による接触抵抗値を測定した結果を示すグラフである。
図12を参照すれば、第2のコーティング層の表面から100nmの厚さで[O/N]の原子比が"0"を超える場合、接触抵抗が目標値から逸脱していることが分かる。
すなわち、第2のコーティング層の表面から100nmの厚さでは、酸素(O)原子が存在しない方が電気伝導の側面で有利であることが分かる。
これによって、上述したように、第2のコーティング層の厚さは100nm以下にすることが望ましいことが分かる。
図13は、発明例4の燃料電池のシミュレート環境での時間による接触抵抗値の評価結果を示したグラフである。すなわち、ステンレス鋼分離板を80℃の0.1N H2SO4+2ppm HF溶液に入れて、これに0.658V vs.SCE(0.9V vs.NHE)の電位を印加した後、一定の時間間隔で接触抵抗を評価した結果である。
図13を参照すれば、接触抵抗は、前記溶液に入れる前の9.1mΩ・cmから1500時間後に約9.3mΩ・cmに約2.2%増加したが、目標値である10mΩ・cm以下の値を示し、長期間にも優れた特性を維持することが分かる。
図14は、発明例4及び比較例1の燃料電池の性能評価を示したグラフである。すなわち、発明例及び比較例の分離板を装着した燃料電池に定電流(1A/cm)を印加した後で測定した電圧を示したものである。
図14を参照すれば、初期には、発明例4及び比較例1のいずれにおいても0.625Vの高い電圧を示す。しかし、時間の経過とともに、比較例では、電圧が継続的に減少し、1500時間後に0.578Vにまで減少する一方、発明例では、1500時間後にも0.623Vであり、優れた燃料電池性能が長期間持続されることが分かる。

Claims (18)

  1. ステンレス鋼板と、
    前記ステンレス鋼板の表面に形成される金属層/金属窒化物層(M/MN)からなる第1のコーティング層(このとき、0.5≦x≦1である。)と、
    前記第1のコーティング層上に形成される金属酸窒化物(MO)層からなる第2のコーティング層と、を含む燃料電池用ステンレス鋼分離板。
    (このとき、0.05≦y≦2で、0.25≦z≦1.0である。)
  2. 前記ステンレス鋼板の表面状態は、不動態被膜が形成されている状態、不動態被膜がエッチングによって除去された状態、不動態被膜内部の鉄(Fe)とニッケル(Ni)成分がエッチングによって選択的に除去されている状態のうち一つの状態となっていることを特徴とする、請求項1に記載の燃料電池用ステンレス鋼分離板。
  3. 前記第1のコーティング層は、金属層/金属窒化物層(M/MN)が複数の層で形成されていることを特徴とする、請求項1に記載の燃料電池用ステンレス鋼分離板。
  4. 前記複数の層の数は、具体的に2〜200であることを特徴とする、請求項3に記載の燃料電池用ステンレス鋼分離板。
  5. 前記第1のコーティング層を構成する金属層/金属窒化物層(M/MN)は、金属層(M)が前記ステンレス鋼板と接しており、金属窒化物層(MN)が前記第2のコーティング層と接していることを特徴とする、請求項1に記載の燃料電池用ステンレス鋼分離板。
  6. 前記第1のコーティング層及び第2のコーティング層を構成する金属(M)は、クロム(Cr)、チタニウム(Ti)、ジルコニウム(Zr)のうち1つ又は2つ以上が選択されることを特徴とする、請求項1に記載の燃料電池用ステンレス鋼分離板。
  7. 前記第1のコーティング層及び第2のコーティング層を構成する金属(M)は、遷移金属から選択されることを特徴とする、請求項1に記載の燃料電池用ステンレス鋼分離板。
  8. 前記金属層/金属窒化物層は、具体的にCr/CrN層であることを特徴とする、請求項1に記載の燃料電池用ステンレス鋼分離板。
  9. 前記金属酸窒化物層は、具体的にCrO(0.05≦y≦2で、0.25≦z≦1.0)であることを特徴とする、請求項1に記載の燃料電池用ステンレス鋼分離板。
  10. 前記第2のコーティング層の厚さは10〜100nmであることを特徴とする、請求項1に記載の燃料電池用ステンレス鋼分離板。
  11. 前記第2のコーティング層の厚さが100nmである場合、表面からの深さ5〜15nmでの[O/N]の原子比は0.2〜8であることを特徴とする、請求項1に記載の燃料電池用ステンレス鋼分離板。
  12. 前記第2のコーティング層の厚さが100nmである場合、表面からの深さ45〜55nmでの[O/N]の原子比は0.5以下であることを特徴とする、請求項1に記載の燃料電池用ステンレス鋼分離板。
  13. 請求項1に記載の燃料電池用ステンレス鋼分離板をスパッタリング技術を用いて製造するにおいて、
    ターゲットとして金属をローディングした状態で前記第1のコーティング層の金属層の形成時にはアルゴンガス雰囲気でスパッタリング工程を進行し、
    前記第1のコーティング層の金属窒化物層の形成時にはアルゴンガスと窒素ガスとが共存する雰囲気でスパッタリング工程を進行し(このとき、金属層/金属窒化物層(M/MN)を複数層で形成しようとする場合には、前記アルゴンガス雰囲気―アルゴンガス/窒素ガス共存雰囲気工程を反復する。)、
    前記第1のコーティング層を形成する工程の連続工程として窒素ガスと酸素ガスとが共存する雰囲気でスパッタリング工程を進行することによって、金属酸窒化物層(MOz)からなる第2のコーティング層を形成することを特徴とする燃料電池用ステンレス鋼分離板の製造方法。
    (このとき、0.05≦y≦2で、0.25≦z≦1.0である。)
  14. 請求項1に記載の燃料電池用ステンレス鋼分離板をスパッタリング技術を用いて製造するにおいて、
    ターゲットとして金属をローディングした状態で前記第1のコーティング層の金属層の形成時にはアルゴンガス雰囲気でスパッタリング工程を進行し、
    前記第1のコーティング層の金属窒化物層の形成時にはアルゴンガスと窒素ガスとが共存する雰囲気でスパッタリング工程を進行し(このとき、金属層/金属窒化物層(M/MN)を複数層で形成しようとする場合には、前記アルゴンガス雰囲気―アルゴンガス/窒素ガス共存雰囲気工程を反復する。)、
    金属層/金属窒化物層(M/MN)で構成される第1のコーティング層が形成されたステンレス鋼板を酸素雰囲気で熱処理し、最外郭の金属窒化物層の一部を金属酸窒化物層(MOyz)に変化させる熱的酸化又はプラズマ酸化工程によって第2のコーティング層を形成することを特徴とする燃料電池用ステンレス鋼分離板の製造方法。
    (このとき、0.05≦y≦2で、0.25≦z≦1.0である。)
  15. 前記第1のコーティング層及び第2のコーティング層を構成する金属(M)は、クロム(Cr)、チタニウム(Ti)、ジルコニウム(Zr)のうち1つ又は2つ以上が選択されることを特徴とする、請求項13又は14に記載の燃料電池用ステンレス鋼分離板の製造方法。
  16. 前記第1のコーティング層及び第2のコーティング層を構成する金属(M)は、遷移金属から選択されることを特徴とする、請求項13又は14に記載の燃料電池用ステンレス鋼分離板の製造方法。
  17. 前記スパッタリング技術は、具体的に反応性スパッタリング技術であることを特徴とする、請求項13又は14に記載の燃料電池用ステンレス鋼分離板の製造方法。
  18. 前記熱処理温度は300〜900℃であることを特徴とする、請求項14に記載の燃料電池用ステンレス鋼分離板の製造方法。
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