JP2010287676A - 固体撮像素子及びその製造方法、撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体基板1に形成された受光部2と、半導体基板1の上に形成された絶縁層9と、受光部2の上方の絶縁層9に形成された孔部の内部の外側に塗布により形成され、絶縁層9と共に導波路10のクラッド部を構成する膜11と、絶縁層9の材料及び塗布により形成された膜11の材料よりも屈折率の高い材料から成り、孔部の内部の内側に形成された導波路10のコア部12と、孔部の底部において、塗布により形成された膜11とコア部12との界面によってレンズ面10Aが形成され、導波路10と一体化している層内レンズとを含む、固体撮像素子を構成する。
【選択図】図1
Description
その1つとして、受光部の直上の位置に形成した孔部内に、高屈折率材料を充填して導波路構造とした構成が提案されている(例えば、特許文献1〜特許文献3参照。)。
シリコン基板等の半導体基板51の素子分離層53によって分離された領域に、受光部(フォトダイオード)52が形成されている。この受光部(フォトダイオード)52の左側の半導体基板51上には、ゲート絶縁膜54を介して転送ゲート電極55が形成されている。
また、コンタクト層(導電プラグ)57を介して半導体基板51に接続された、2層の配線層58が設けられている。これら2層の配線層58は、絶縁層59により覆われている。
この絶縁層59の上に、パッシベーション膜(保護膜)61、平坦化膜62、カラーフィルタ63、オンチップレンズ64が形成されている。
なお、図中56は、エッチングストッパー膜であり、絶縁層59に孔部を形成するエッチングの際のエッチングストッパーとなるものである。
従って、入射光の受光部への集光度を高めて、より多くの入射光を受光部へ導くことができる。
また、絶縁層の孔部の内部の外側に形成された膜が塗布により形成された膜であるため、塗布の際の表面張力により、孔部の底部にレンズ面となる曲面を容易に形成することができる。
そして、孔部の底部において、塗布により形成された膜とコア部との界面によってレンズ面が形成され、導波路と一体化している層内レンズにより、レンズ面で入射光を集光させて、受光部に入射させることができる。これにより、受光部への集光度を高めて、より多くの入射光を受光部に入射させることができる。
そして、孔部の内部をも埋めて全面的に、絶縁層の材料及び膜の材料よりも屈折率の高い、導波路のコア部の材料の層を形成して、孔部の内部以外のコア部の材料を除去することにより、孔部の内部のみにコア部の材料が残る。これにより、クラッド部(絶縁層及び塗布膜)の内部にコア部がある導波路が形成される。
また、絶縁層と共に導波路のクラッド部を構成する膜を塗布により形成することにより、この膜によって、導波路の底部に容易に層内レンズのレンズ形状を形成することが可能になる。これにより、層内レンズのレンズ形状の制御を容易にして、固体撮像素子を容易に製造することが可能になる。さらに、導波路及び層内レンズを一体化して同時に形成することができ、導波路と層内レンズを別々に形成した場合よりも、工程数を削減することができる。
従って、高い感度を有し、比較的暗い所でも撮像が可能な撮像装置を実現することができる。
なお、説明は以下の順序で行う。
1.本発明の概要
2.固体撮像素子の実施の形態
3.撮像装置の実施の形態
本発明においては、固体撮像素子の半導体基板に形成された受光部(フォトダイオード)の上方に、クラッド部とコア部とから成る導波路を形成する。
そして、この導波路の底部に一体化して、受光部側(下側)に凸なレンズ面を有する層内レンズを形成する。
また、導波路のクラッド部を、絶縁層と、この絶縁層の受光部の上方の部分に形成された孔部の内壁に塗布により形成された膜とによって構成する。これにより、塗布の際の表面張力を利用して、導波路の底部に層内レンズのレンズ面となる曲面を容易に形成することができる。
これにより、膜の材料の表面張力により、孔部の底部において、膜が受光部側に凸なレンズ形状の曲面となる。
このように、膜を塗布することによって、導波路の底部に容易に層内レンズのレンズ形状を形成することが可能になるため、層内レンズのレンズ形状を容易に制御することが可能になる。
その後、孔部の内部をも埋めて全面的に、絶縁層の材料及び膜の材料よりも屈折率の高い、導波路のコア部の材料の層を形成して、孔部の内部以外のコア部の材料を除去する。これにより、孔部の内部のみにコア部の材料が残るので、クラッド部の内部にコア部がある導波路を形成することができる。
導波路と一体化している層内レンズにより、層内レンズのレンズ面で入射光を集光させて、受光部に入射させることができるので、受光部への集光度を高めて、より多くの入射光を受光部に入射させることができる。
従って、固体撮像素子の感度を向上することができる。
例えば、SOG(Spin On Glass)、無機シロキサン、有機シロキサン、ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、有機膜等が挙げられる。
また、クラッド部はコア部よりも低い屈折率でなければならないので、コア部の材料の屈折率に対応して、膜の材料を選定する。
コア部の材料よりも低い屈折率とするので、周囲の絶縁層の材料とは、同程度もしくは近い屈折率となる。例えば、膜の材料にSOGを使用した場合には、形成される層の屈折率が1.40〜1.45程度であり、周囲の絶縁層に使用される、TEOSによって形成した酸化シリコン層(屈折率1.46)に近い。
例えば、ポリイミド系樹脂(屈折率n=1.65)、ポリベンゾオキサゾール(n=1.7)、シロキサン(n=1.5)、TiO2含有シロキサン(n=1.7)、有機樹脂(n=1.65)等の、比較的屈折率の高い樹脂が挙げられる。
また、TiO2(n=2.0)、Ta2O5(n=2.16)等の、比較的屈折率の高い金属酸化物が挙げられる。
コア部の材料を塗布材料で形成すると、クラッド部の膜とコア部とを共通の塗布装置で形成することや、クラッド部の膜及びコア部の各塗布工程を連続して行うことが、可能になる。
シロキサンに限らず、反応基を有する材料をクラッド部の膜に使用することにより、クラッド部の膜と周囲の絶縁層やコア部の材料との密着力を向上することができる。
これに対して、本発明では、導波路用の孔部の底部に、塗布膜の表面張力によって層内レンズを形成するので、層内レンズの曲率を一定にしてレンズ効果を一定にすることや、層内レンズのレンズ形状を容易に制御することが、可能になる。
さらに、導波路及び層内レンズを一体化して形成するので、これら導波路及び層内レンズを同時に形成することができ、別々に形成した場合と比較して、界面での反射を抑制して感度を向上することができ、かつ製造工程数を大幅に削減することができる。
従って、本発明により、導波路及び層内レンズを共に有する固体撮像素子を、少ない工程数で、容易に製造することができる。
また、塗布膜のベーク温度や溶剤の種類等によっても、孔部の外壁の絶縁層との濡れ性が変わるので、このことを利用して、層内レンズの曲率を変えることができる。
従って、塗布の厚さやベーク温度や溶剤の種類を選定することによって、層内レンズの曲率をフレキシブルに変えることが可能であるため、層内レンズの設計の自由度が増大する。
塗布膜の膜厚の目安としては、孔部の幅の1/10程度以下であればよい。
現状と今後の固体撮像素子の画素サイズを考慮すると、導波路用の孔部の幅は、おおむね0.1μm〜2μmの範囲内である。これに対応して、クラッド部の塗布膜の膜厚を1nm〜100nmの範囲内とすれば、塗布膜を孔部の内壁に良好な状態で形成し、かつレンズ面を問題なく形成することができる。
これに対して、本発明によれば、上述のように層内レンズの曲率をフレキシブルに変えることが可能になるため、層内レンズと受光部との距離も層内レンズの曲率に対応して変えることができる。これにより、層内レンズと受光部との距離の自由度も増大する。
そして、例えば、層内レンズの曲率を小さくすれば、集光する深さが深くなるため、導波路を形成するための孔部の底を、受光部から離すことができる。このように孔部の底を受光部から離すことにより、孔部を形成するエッチングの際に、プラズマによる電荷(チャージ)等が半導体基体に与えるダメージを、さらに低減することが可能になる。
従って、高い感度を有し、比較的暗い所でも撮像が可能な撮像装置を実現することができる。
本発明の固体撮像素子の一実施の形態の概略構成図(断面図)を、図1に示す。図1は、固体撮像素子の1画素分の断面図を示している。
本実施の形態は、本発明をCMOS型の固体撮像素子に適用した場合である。
受光部(フォトダイオード)2の左側の半導体基板1上には、ゲート絶縁膜4を介して転送ゲート電極5が形成されている。
また、コンタクト層(導電プラグ)7を介して、半導体基板1に接続された3層の配線層8が設けられている。これら3層の配線層8は、絶縁層9により覆われている。
そして、この絶縁層9の上に、パッシベーション膜(保護膜)13、3色(赤R、緑G、青B)のカラーフィルタ14、平坦化膜15、オンチップレンズ16が形成されている。
この導波路10は、絶縁層9の孔部の内部の外側の膜11と、この膜11の内側に形成された、周囲の絶縁層9及び膜11よりも高い屈折率を有するコア部12とから成る。そして、周囲の絶縁層9と孔部の内部の外側の膜11とによって、導波路10のクラッド部が構成される。
なお、膜11は、コア部12よりも屈折率が低く、周囲の絶縁層9と同等の屈折率か、それ以上の屈折率を有することが好ましい。
膜11の材料に塗布材料を使用することにより、塗布材料を塗布する際の表面張力を利用して、孔部の底部において、膜11の表面をレンズ面10Aの形状とすることができる。
まず、従来の製造方法と同様にして、例えばシリコンから成る半導体基板1内に受光部(フォトダイオード)2を、半導体基板1上にゲート絶縁膜4を介して転送ゲート電極5を、それぞれ形成する。
その後、転送ゲート電極5を覆って、例えば、酸化シリコン層等の絶縁層21を形成する。
さらに、絶縁層21の上に、例えばプラズマによる窒化シリコン膜を形成して、この窒化シリコン膜をフォトダイオード2上に残るようにパターニングすることにより、エッチングストッパー膜6を形成する(以上、図2A参照)。
このとき、エッチングストッパー膜6によって、エッチングストッパー膜6の上又はエッチングストッパー膜6の中間まで孔部22が形成される。図2Cでは、エッチングストッパー膜6の中間まで孔部22が形成されている。
絶縁層(例えば、酸化シリコン層)9と、エッチングストッパー膜(プラズマシリコン窒化膜)6との間では、10程度のエッチング選択比を確保することができる。
膜11の材料としては、前述した塗布材料、例えば、無機シロキサン、有機シロキサン、ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、有機膜等が挙げられる。
そして、膜厚1nm〜100nm程度となるように、膜11の材料の塗布を行う。1nm〜100nm程度の薄膜を孔部22に形成すると、孔部22の底部に膜11の材料が溜まるのと同時に、膜11の材料と絶縁層9との間で作用する表面張力により、曲率を持った形状を得ることが可能となる(以上、図3D参照)。
このとき、先に形成した膜11の材料が、孔部22の底部において制御された曲率で形成されているため、コア部12の底部がレンズ形状となる。
さらに、図4Fに示すように、全面的に絶縁層9を形成して、導波路10を絶縁層9内に埋め込む。
このようにして、図1に示した固体撮像素子を製造することができる。
これにより、感度の向上を図ることが可能になる。
従って、導波路と層内レンズとの界面における反射や干渉による損失を低減して、集光度を向上させることができる。
従って、導波路及び層内レンズを別々に形成した場合と比較して、工程数を大幅に削減することができ、導波路及び層内レンズを共に有する固体撮像素子を、少ない工程数で容易に製造することができる。
もし、膜11の材料と絶縁層9の材料や導波路10とにおいて、反応基同士が少ないと、密着力が悪くなる。
これに対して、膜11に、例えばシロキサン(無機シロキサンや有機シロキサン)を使用すると、Siに結合するOH基が多くなるので、熱分解による密着性が向上する。
なお、シロキサンに限らず、反応基を有する材料を膜11に使用すれば、同様に密着力を高める機能を持たせることが可能になる。
本発明では、半導体基板の代わりに、半導体基板及びその上の半導体エピタキシャル層を半導体基体として、その半導体エピタキシャル層に受光部(フォトダイオード)を形成することも可能である。また、本発明では、半導体基体として、シリコン以外の半導体を使用することも可能である。
本発明では、エッチングストッパー膜は必須ではなく、エッチングストッパーを設けないで導波路用の孔部を形成しても構わない。
エッチングストッパー膜を設けた場合には、導波路形成用の孔部の深さを一定に制御することができる、という利点を有する。
例えば、CCD固体撮像素子においても、本発明を適用して、受光部の上方に、導波路の底部に導波路と一体化した層内レンズを設けることにより、同様に本発明の効果が得られる。
次に、本発明の撮像装置の実施の形態を説明する。
本発明の撮像装置の一実施の形態の概略構成図(ブロック図)を、図6に示す。
この撮像装置としては、例えば、ビデオカメラ、デジタルスチルカメラ、携帯電話のカメラ等が挙げられる。
このような撮像装置500において、固体撮像素子として、前述した実施の形態の固体撮像素子等の、本発明の固体撮像素子を用いることができる。
例えば、固体撮像素子は、ワンチップとして形成された形態であってもよいし、撮像部と、信号処理部または光学系とがまとめてパッケージングされた撮像機能を有するモジュール状の形態であってもよい。
本発明の撮像装置は、例えば、カメラや撮像機能を有する携帯機器等、各種の撮像装置に適用することができる。また、「撮像」の広義の意味として、指紋検出装置等も含む。
Claims (7)
- 半導体基体に形成され、光電変換が行われる受光部と、
前記半導体基体の上に形成された絶縁層と、
前記受光部の上方の前記絶縁層に形成された孔部の内部の外側に塗布により形成され、前記絶縁層と共に導波路のクラッド部を構成する膜と、
前記絶縁層の材料及び前記塗布により形成された膜の材料よりも屈折率の高い材料から成り、前記孔部の内部の内側に形成された、導波路のコア部と、
前記孔部の底部において、前記塗布により形成された膜と前記コア部との界面によってレンズ面が形成され、前記導波路と一体化している、層内レンズとを含む
固体撮像素子。 - 前記塗布により形成された膜の材料がシロキサンである、請求項1に記載の固体撮像素子。
- 光電変換が行われる受光部が形成された半導体基体の上に、絶縁層を形成する工程と、
前記受光部の上方の前記絶縁層に、孔部を形成する工程と、
前記孔部の内壁を含む前記絶縁層の表面上に、塗布法によって、前記孔部の幅よりも十分に薄く、前記絶縁層と共に導波路のクラッド部を構成する膜を形成して、前記孔部の底部にレンズ形状の曲面を形成する工程と、
前記孔部の内部をも埋めて全面的に、前記絶縁層の材料及び前記膜の材料よりも屈折率の高い、導波路のコア部の材料の層を形成する工程と、
前記孔部の内部以外の前記コア部の材料を除去する工程とを少なくとも有する
固体撮像素子の製造方法。 - 前記孔部の幅を0.1μm〜2μmの範囲内とし、前記膜の膜厚を1nm〜100nmの範囲内とする、請求項3に記載の固体撮像素子の製造方法。
- 前記コア部も塗布法によって形成する請求項3に記載の固体撮像素子の製造方法。
- 前記膜の材料として、シロキサンを用いる請求項3に記載の固体撮像素子の製造方法。
- 入射光を集光する集光光学部と、
半導体基体に形成され、光電変換が行われる受光部と、前記半導体基体の上に形成された絶縁層と、前記受光部の上方の前記絶縁層に形成された孔部の内部の外側に塗布により形成され、前記絶縁層と共に導波路のクラッド部を構成する膜と、前記絶縁層の材料及び前記塗布により形成された膜の材料よりも屈折率の高い材料から成り、前記孔部の内部の内側に形成された、導波路のコア部と、前記孔部の底部において、前記塗布により形成された膜と前記コア部との界面によってレンズ面が形成され、前記導波路と一体化している、層内レンズとを含む固体撮像素子と、
前記固体撮像素子で光電変換されて得られた信号を処理する信号処理部とを含む
撮像装置。
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