JP2010267770A - 固体撮像装置、および、その製造方法、電子機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】バインダー樹脂112Rと、低屈折率粒子112Pとを用いて、反射防止層112を形成する。ここでは、下層のオンチップレンズ111よりも屈折率が低いバインダー樹脂112Rを用いる。そして、バインダー樹脂112Rよりも屈折率が低い低屈折率粒子112Pを用いる。
【選択図】図5
Description
1.実施形態1(反射防止膜の膜厚が均一な場合)
2.実施形態2(OCLの凸部よりも凹部において、反射防止膜の膜厚が厚い場合)
3.実施形態3(反射防止膜の表面がフラットな場合)
4.実施形態4(反射防止膜が多層で形成されている場合)
5.実施形態5(OCLに低屈折率粒子が含有している場合)
6.その他
[A]装置構成
(1)カメラの要部構成
図1は、本発明にかかる実施形態1において、カメラ40の構成を示す構成図である。
(2)固体撮像装置の要部構成
固体撮像装置1の全体構成について説明する。
撮像領域PAについて説明する。
図3は、本発明にかかる実施形態において、撮像領域PAにおいて設けられた画素Pの要部を示す回路図である。
周辺領域SAについて説明する。
本実施形態にかかる固体撮像装置1の詳細内容について説明する。
フォトダイオード21は、図4に示すように、基板101の内部に設けられている。フォトダイオード21は、入射光Hを受光面JSで受光し光電変換することによって信号電荷を生成するように構成されている。
オンチップレンズ111は、いわゆるマイクロレンズであって、図4に示すように、基板101の受光面JSの上方に設けられており、入射光Hを受光面JSへ集光するように構成されている。
反射防止層112は、図4に示すように、複数のオンチップレンズ111の上面を被覆しており、オンチップレンズ111の上面において、入射光Hが反射することを防止するように構成されている。
この他に、低屈折率粒子としては、中空シリカのように、内部に空隙を有し、比重が小さいものが好適であり、チタニヤ、アルミナ、ジルコニアなどの無機材料を用いることが好適である。この他に、内部に空隙を有し、比重が小さい有機材料についても、用いることができる。
光導波路コア部131は、図4に示すように、基板101の面の上方に設けられており、入射した光をフォトダイオード21の受光面JSへ導くように構成されている。
カラーフィルタ301は、図4に示すように、基板101の面の上方にて受光面JSに対面して配置されており、入射光Hが着色されて受光面JSへ透過するように構成されている。
以下より、上記の固体撮像装置1を製造する製造方法について説明する。
まず、図6に示すように、フォトダイオード21などの各部の形成が行われる。
つぎに、図7に示すように、孔Kを形成する。
つぎに、図9に示すように、第2のコア部131bを形成する。
つぎに、図10に示すように、カラーフィルタ301を形成する。
つぎに、図11に示すように、オンチップレンズ111を形成する。
つぎに、図4に示すように、反射防止層112を形成する。
以上のように、本実施形態においては、反射防止層112は、バインダー樹脂112Rと、低屈折率粒子112Pとを含む(図5参照)。ここでは、バインダー樹脂112Rは、下層のオンチップレンズ111よりも屈折率が低い。また、低屈折率粒子112Pは、バインダー樹脂112Rよりも屈折率が低い。
[A]装置構成など
図13は、本発明にかかる実施形態2において、固体撮像装置1bの要部を示す図である。図13は、図4の場合と同様な部分の断面を示している。
d2+オンチップレンズ111bの厚み−d1>100nm ・・・(A)
以上のように、本実施形態では、オンチップレンズ111bは、「ギャップレス構造」であって、複数が互いに接して配置されている。そして、反射防止層112bは、複数のオンチップレンズ111bの間において凹んだ凹部が、オンチップレンズ111において凸状に突出した頂部よりも厚い「ウェーブ型」になるように、設けられている。
[A]装置構成など
cは、本発明にかかる実施形態3において、固体撮像装置1cの要部を示す図である。図14は、図4の場合と同様な部分の断面を示している。
以上のように、本実施形態において、反射防止層112cは、実施形態1および実施形態2の場合と同様に、バインダー樹脂(図示なし)と、低屈折率粒子(図示なし)とを含む。このため、同様に、反射防止特性を向上させることができる。また、反射防止層112cの膜厚を調整することで、感度特性を向上させることができる。
[A]装置構成など
図16は、本発明にかかる実施形態4において、固体撮像装置1dの要部を示す図である。図16は、図4の場合と同様な部分の断面を示している。
・中空シリカの含有割合:10〜50重量%(好適には、10〜40重量%)
・膜厚:30〜100nm
・中空シリカの含有割合:10〜50重量%(好適には、20〜50重量%)
・膜厚:30〜100nm
なお、第1の反射防止層1121について、上記の含有割合を40重量%,膜厚を50nmとし、第2の反射防止層1122について、含有割合を50重量%,膜厚を50nmとした場合、単層の反射防止層に比べて、約0.5%の反射防止機能の向上が確認された。
以上のように、本実施形態において、反射防止層112dは、複数の層1121,1122を積層することによって形成されている。ここでは、上層の方が下層よりも、低屈折率粒子を多く含有するように形成されている。
なお、上記においては、上層に含まれる低屈折率粒子の粒径が、下層に含まれる低屈折率粒子の粒径も大きいことが、好適である。この場合には、熱による凝集効果によって粒径が大きなものが上方へ向かうので、複数回の塗布を実施しなくても、上層に粒径が大きい低屈折率層が形成されるからである。
[A]装置構成など
図17は、本発明にかかる実施形態5において、固体撮像装置1eの要部を示す図である。図17は、図4の場合と同様な部分の断面を示している。
まず、図18(a)に示すように、レンズ材膜LMを形成する。
以上のように、本実施形態のオンチップレンズ111eは、低屈折率粒子111Pとバインダー樹脂111Rとを含む。
本発明の実施に際しては、上記した実施形態に限定されるものではなく、種々の変形例を採用することができる。
Claims (13)
- 基板の撮像面に設けられており、受光面にて入射光を受光し光電変換することによって信号電荷を生成する光電変換部と、
前記基板の撮像面において前記光電変換部の受光面の上方に設けられており、前記入射光を前記受光面へ集光するオンチップレンズと、
前記基板の撮像面において前記オンチップレンズの上面に設けられている反射防止層と
を有し、
前記反射防止層は、前記オンチップレンズよりも屈折率が低いバインダー樹脂と、前記バインダー樹脂よりも屈折率が低い低屈折率粒子とを含む、
固体撮像装置。 - 前記反射防止層は、中空シリカを、前記低屈折率粒子として含む、
請求項1に記載の固体撮像装置。 - 前記反射防止層は、前記受光面の上方において前記受光面から離れるに伴って、前記低屈折率粒子が前記バインダー樹脂よりも多く分布するように形成されている、
請求項2に記載の固体撮像装置。 - 前記光電変換部は、複数が前記撮像面に配置されており、
前記オンチップレンズは、前記受光面から上方へ向かって凸状に突出した凸レンズであって、前記複数の光電変換部に対応するように、複数が互いに接して配置されており、
前記反射防止層は、前記複数のオンチップレンズの上面を被覆して設けられている、
請求項3に記載の固体撮像装置。 - 前記反射防止膜は、前記複数のオンチップレンズの間において凹んだ凹部における第1の膜厚が、前記複数のオンチップレンズにおいて凸状に突出した頂部における第2の膜厚よりも厚くなるように設けられている、
請求項4に記載の固体撮像装置。 - 前記反射防止膜は、表面が前記基板の撮像面に沿って平坦になるように、前記オンチップレンズの上面に設けられている、
請求項5に記載の固体撮像装置。 - 前記反射防止膜は、
前記オンチップレンズの上面に設けられた第1の反射防止層と、
前記第1の反射防止層の上方に設けられた第2の反射防止層と
を少なくとも有し、
前記第1の反射防止層と前記第2の反射防止層とのそれぞれは、前記低屈折率粒子と、前記バインダー樹脂とを含み、
前記第2の反射防止層が前記第1の反射防止層よりも前記低屈折率粒子を多く含有するように形成されている、
請求項5に記載の固体撮像装置。 - 基板の撮像領域に設けられており、受光面にて入射光を受光し光電変換することによって信号電荷を生成する光電変換部と、
前記基板の撮像領域において前記光電変換部の受光面の上方に設けられており、前記入射光を前記受光面へ集光するオンチップレンズと
を有し、
前記オンチップレンズは、バインダー樹脂と、前記バインダー樹脂よりも屈折率が低い低屈折率粒子とを含む、
固体撮像装置。 - 前記オンチップレンズは、中空シリカを、前記低屈折率粒子として含有する、
請求項8に記載の固体撮像装置。 - 基板の撮像面に設けられており、受光面にて入射光を受光し光電変換することによって信号電荷を生成する光電変換部と、
前記基板の撮像面において前記光電変換部の受光面の上方に設けられており、前記入射光を前記受光面へ集光するオンチップレンズと、
前記基板の撮像面において前記オンチップレンズの上面に設けられている反射防止層と
を有し、
前記反射防止層は、前記オンチップレンズよりも屈折率が低いバインダー樹脂と、前記バインダー樹脂よりも屈折率が低い低屈折率粒子とを含む、
電子機器。 - 基板の撮像領域に設けられており、受光面にて入射光を受光し光電変換することによって信号電荷を生成する光電変換部と、
前記基板の撮像領域において前記光電変換部の受光面の上方に設けられており、前記入射光を前記受光面へ集光するオンチップレンズと
を有し、
前記オンチップレンズは、バインダー樹脂と、前記バインダー樹脂よりも屈折率が低い低屈折率粒子とを含む、
電子機器。 - 受光面にて入射光を受光し光電変換することによって信号電荷を生成する光電変換部を、基板の撮像面に設ける光電変換部形成工程と、
前記入射光を前記受光面へ集光するオンチップレンズを、前記光電変換部の受光面の上方に設けるオンチップレンズ形成工程と、
前記オンチップレンズの上面に反射防止膜を設ける反射防止層形成工程と
を有し、
前記反射防止層形成工程においては、前記オンチップレンズよりも屈折率が低いバインダー樹脂と、前記バインダー樹脂よりも屈折率が低い低屈折率粒子とを用いて、前記反射防止層を形成する、
固体撮像装置の製造方法。 - 受光面にて入射光を受光し光電変換することによって信号電荷を生成する光電変換部を、基板の撮像面に設ける光電変換部形成工程と、
前記入射光を前記受光面へ集光するオンチップレンズを、前記光電変換部の受光面の上方に設けるオンチップレンズ形成工程と
を有し、
前記オンチップレンズ形成工程においては、バインダー樹脂と、前記バインダー樹脂よりも屈折率が低い低屈折率粒子とを用いて、前記オンチップレンズを形成する、
固体撮像装置の製造方法。
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