JP3921952B2

JP3921952B2 - 撮像素子及びその製造方法

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Publication number: JP3921952B2
Application number: JP2001054901A
Authority: JP
Inventors: 健蔵福吉; 忠石松; 智史北村
Original assignee: Toppan Inc
Current assignee: Toppan Inc
Priority date: 2001-02-28
Filing date: 2001-02-28
Publication date: 2007-05-30
Anticipated expiration: 2021-02-28
Also published as: JP2002261261A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、Ｃ−ＭＯＳやＣＣＤ等の受光素子に代表される撮像素子及び撮像素子上に形成されるマイクロレンズに関し、特に、マイクロレンズの実効的な開口率を上げることによる感度向上及びスミアを低減した撮像素子及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＣＣＤ等の受光素子の光電変換に寄与する領域（開口部）は、素子サイズや画素数にも依存するが、その全面積に対し２０〜４０％程度に限られてしまう。
開口部が小さいことは、そのまま感度低下につながるため、これを補うために受光素子上に集光のためのマイクロレンズを形成することが一般的である。
しかしながら、近年、２００万画素を超える高精細ＣＣＤ撮像素子への要求が強くなり、これら高精細ＣＣＤに付随するマイクロレンズの開口率低下（すなわち感度低下）、フレア、ゴーストなどのノイズ増加が大きな問題となってきている。
さらに、撮像素子デバイス表面（マイクロレンズ表面など）とカバーガラス内面からの再反射光や散乱光が、撮像素子へのノイズの一因となっており問題となっている。
【０００３】
かかるノイズを防止する技術として、マイクロレンズ表面に反射防止膜を形成する技術が提案されている。例えば、樹脂レンズ上にレンズ材との屈折率差のある薄膜を積層する技術が、特開平４−２２３３７１号公報に開示されている。ここでは、使用する材料名は開示されていないものの、マイクロレンズ表面に形成する高屈折率と低屈折率の２層の反射防止膜として示されている。
【０００４】
また、凸レンズ状のマイクロレンズを形成する手段として、熱フロー法と呼称される技術が開示されている。熱フロー法を用いた際に生じる隣接するマイクロレンズ同士のくっつきを避けるための安定生産技術、あるいは高開口率技術として、特開平６−１１２４５９号公報、特開平９−４５８８４号公報等に、エッチングを利用した“溝方式”と呼ばれる技術が開示されている。高精細ＣＣＤに形成するマイクロレンズ間は、狭ギャップとすることが必要である。しかし、これらの技術はレンズ間にくっつき防止のための凹部の形成は可能であるものの、凹部を小さくする狭ギャップ化手段にはなり難い。すなわち、マイクロレンズを母型としてドライエッチなどによりエッチングして凹部を形成するため、基本的にレンズ形状がなだらかに同時に凹部も丸く広がる傾向に加工されてしまう。等方性エッチング、異方性エッチングのいずれの場合も母型パターンより基本的には、より狭ギャップに加工するものでない。
“溝方式”は、特開平６−１１２４５９号公報に開示されているように１μｍレベルの広いギャップにて効果が出るもので、０．３μｍ以下の狭ギャップを再現できるものでない。上記公開されている技術は、基本的にレンズ間の形状を滑らかに加工する技術である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
カバーガラス内面とマイクロレンズ表面との間での再反射光や散乱光を軽減するために、効果のある手法として、低屈折率弗化物（もしくは低屈折率酸化物）と高屈折率酸化物とを積層した無機多層膜を反射防止膜としてマイクロレンズ表面に形成することが有効である。こうした酸化物や弗化物は屈折率差を大きくとれるために高性能の反射防止膜を作製できる。しかしながら、この類の反射防止膜は、蒸着機などの真空機器を用いて成膜する必要があり、きわめてコストのかかる手法である。
【０００６】
しかも、蒸着機などを用いると、真空槽内部に付着した蒸着物の剥離に起因する異物付着が避けがたく、半導体デバイス形成プロセスとしては収率低下の大きいプロセスといえる。加えて、有機樹脂からなるマイクロレンズ表面に無機多層膜を形成することは、それぞれの熱膨張率差や水分含有の程度の差などから信頼性の点で劣るものである。
また、従来構成ではマイクロレンズ間の凹部へ斜め方向から入射してくる光が光電変換素子へ入射するのを避け難く、フレア、ゴースト及びノイズの原因となり、画質低下につながっている。
【０００７】
撮像素子の高精細化は、５μｍピッチ以下のマイクロレンズの配列及び０．３μｍ以下のレンズパターン間ギャップ（以下、狭ギャップと略称する）を要求してきている。しかし、一般にマイクロレンズは、感光性樹脂を用いたフォトリソグラフィー法と熱フロー技術を併用して形成しており、これら技術からくる制約で、そのマイクロレンズの辺方向のギャップ寸法（レンズ間寸法）は１μｍからせいぜい０．４μｍである。レンズ間寸法を０．３μｍ以下とすると、隣り合うマイクロレンズがそれぞれのパターンエッジでくっつき、ムラ不良となることが多く、量産レベルの技術とはならない。こうした従来技術からくる制約は、高精細化に伴うマイクロレンズの開口率低下、換言すると撮像素子の感度低下につながるという問題を有する。
【０００８】
樹脂レンズ上に、等方的に無機膜や樹脂膜を堆積形成して狭ギャップを達成しようとする技術は、たとえば尿素樹脂を蒸着機を用いて合成蒸着する方法や特開平５−４８０５７号公報に開示されているように、ＥＣＲプラズマ等のＣＶＤを用いて堆積する方法などがある。しかし、これら技術は、高価な真空装置やＣＶＤ装置を使用する必要があり、簡便な方式といえず大幅なコストアップとなる方法である。
【０００９】
本発明は、上記問題点に鑑み考案されたもので、簡便な構成で、且つ有機樹脂の構成で反射防止効果を有するマイクロレンズを有し、フレア、ゴースト及びノイズ防止に著しい効果のある撮像素子及びその製造方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明に於いて上記問題を解決するために、請求項１においては、少なくとも複数の光電変換素子と、平坦化層と、カラーフィルタと、アンダーコート層と、マイクロレンズとを備えた撮像素子において、前記マイクロレンズ（９０）が、樹脂レンズ（７１ａ）と、前記樹脂レンズ（７１ａ）上に形成された複数の柱状樹脂（８１ａ）と柱状樹脂（８１ａ）間に形成されたボイド（空隙）とを有するポーラス層（８１）とからなり、反射防止効果を有することを特徴とする撮像素子としたものである。
【００１１】
また、請求項２においては、前記ポーラス層（８１）は、樹脂レンズ（７１ａ）上に形成された複数の柱状樹脂（８１ａ）と柱状樹脂（８１ａ）間に形成されたボイド（空隙）（８１ｂ）とで構成されており、前記柱状樹脂（８１ａ）間のピッチをＶｐ、ポーラス層（８１）の厚みをＶｔとしたとき、Ｖｐ及びＶｔが、可視光領域の光波長のおよそλ／４になっていることを特徴とする請求項１記載の撮像素子としたものである。
【００１４】
また、請求項３においては、以下の工程を少なくとも備えることを特徴とする反射防止効果を有するマイクロレンズを備えた撮像素子の製造方法としたものである。
（ａ）半導体基板１１に光電変換素子２１、遮光部３１、平坦化層４１、カラーフィルタ５１、平坦化層４２及びアンダーコート層６１を形成した中間工程の撮像素子を作製する工程。
（ｂ）前記アンダーコート層６１上に感光性材料を塗布し、感光性樹脂層を形成し、露光、現像処理して樹脂パターン７１を形成する工程。
（ｃ）前記樹脂パターン７１を熱フローさせて樹脂レンズ７１ａを形成する工程。
（ｄ）前記樹脂レンズ７１ａ間の露出した前記アンダーコート層６１に凹部６２を形成する工程。
（ｅ）前記樹脂レンズ７１ａ上に透明樹脂を塗布して、透明樹脂層を形成し、前記透明樹脂層をドライエッチングすることにより、複数の柱状樹脂（８１ａ）と柱状樹脂（８１ａ）間に形成されたボイド（空隙）（８１ｂ）とを有するポーラス層（８１）を形成する工程。
【００１６】
なお、本発明で用いるマイクロレンズ関連の用語について説明する。
マイクロレンズ１４０は図６（ａ）〜（ｃ）に示すように、樹脂レンズ１２１と樹脂レンズ１２１上に形成された透明樹脂層１３１とで構成されたもので、樹脂レンズ１２１は、透明樹脂層１３１が形成される前の樹脂レンズを意味する。レンズ間寸法は、樹脂レンズ１２１の辺方向のパターンエッジ間寸法を指す。ギャップ寸法は、マイクロレンズ１４０を構成する透明樹脂層１３１表面の曲面から凹部１４１にかかる変曲点の位置を目安として、その変曲点間の狭い方（広い方はレンズ開口寸法）の寸法を指す。本発明でのギャップ寸法（凹部寸法）は、光の波長以下となるので光学的に凹レンズ効果を持つものではない。また、本発明で用いる「凹部の深さ」は、大まかにはレンズ断面の曲面の変曲点から凹部１４１の底までの深さを示すものである。凹部１４１は、マイクロレンズ１４０間の凹んだ部分を指す。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態につき説明する。
図１（ａ）に、本発明の撮像素子の一実施例を示す部分模式平面図を、図１（ｂ）に、図１（ａ）の部分模式平面図をＡ−Ａ’線で切断した撮像素子の部分模式構成断面図を、図２（ａ）〜（ｅ）に、本発明の撮像素子の請求項３に係わる撮像素子の製造方法の一実施例を工程順に示す撮像素子の部分模式構成断面図を、図３（ａ）〜（ｆ）に、本発明の撮像素子の請求項３に係わる製造方法の他の実施例を工程順に示す撮像素子の部分模式構成断面図を、図４に、樹脂レンズ上に形成されたポーラス層の模式構成断面図を、それぞれ示す。
【００１８】
本発明の撮像素子の請求項１に係わる発明は、図１（ａ）及び（ｂ）に示すように半導体基板１１に光電変換素子２１、遮光部３１、平坦化層４１、カラーフィルタ５１、平坦化層４２及びアンダーコート層６１を形成した中間工程の撮像素子を作製する。さらに、樹脂レンズ７１ａと、前記樹脂レンズ（７１ａ）上に形成された複数の柱状樹脂（８１ａ）と柱状樹脂（８１ａ）間に形成されたボイド（空隙）とを有するポーラス層（８１）とからなる、反射防止効果を有するマイクロレンズ９０を形成した撮像素子を作製するものである。
本発明の撮像素子の請求項２に係わる発明は、樹脂レンズ（７１ａ）上に形成された複数の柱状樹脂８１ａ）と柱状樹脂（８１ａ）間に形成されたボイド（空隙）とを有するポーラス層８１において、ボイド（空隙）のピッチ及び厚みを可視光領域の光波長のおよそλ／４にして、ポーラス層８１での見かけ上の屈折率を下げることにより、樹脂レンズの反射防止効果を持たせたものである。
【００１９】
本発明の請求項３に係わる撮像素子の製造方法の一実施例について説明する。
まず、半導体基板１１に光電変換素子２１、遮光部３１、平坦化層４１、カラーフィルタ５１、平坦化層４２及びアンダーコート層６１を形成した中間工程の撮像素子を作製する（図２（ａ）参照）。
次に、アンダーコート層６１上に感光性樹脂溶液をスピンコーター等により塗布し、感光性樹脂層を形成し、露光、現像処理して樹脂パターン７１を形成する（図２（ｂ）参照）。
なお、図２（ｂ）〜図２（ｄ）においては、半導体基板１１から平坦化層４２までの部位は図示を省略している。
感光性樹脂層の膜厚は０．３μｍ以下の薄い膜厚で、樹脂パターン７１形成後の樹脂レンズ形状を保持し易く、レンズ間の狭ギャップを達成しやすい。
また、塗布性や分散性を向上させるために、感光性樹脂溶液に界面活性剤を添加したり、複数の溶剤種を混ぜたり、あるいは、樹脂の分子量や他樹脂の添加を行っても良い。また、塗布の前処理としてアンダーコート層を軽くエッチング処理、プラズマ処理、紫外線洗浄等を実施しても良い。
【００２０】
次に、樹脂パターン７１を熱フローさせて、樹脂レンズ７１ａを形成する（図２（ｃ）参照）。
樹脂レンズ７１ａの形成に用いる樹脂材料は、後述するポーラス層を形成する透明樹脂、アンダーコート層を形成する材料を含め、可視域での透明性（可視域透過率）が高く、実用的な信頼性（耐熱性、耐光性、耐熱サイクル等）があれば良い。例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、ウレタン樹脂、メラミン樹脂、エリア樹脂などの尿素樹脂、フェノール樹脂あるいはこれらの共重合物などが樹脂レンズの素材として使用可能であり、一般には、フェノール系の感光性樹脂あるいは低分子量のメラミンーエポキシ共重合物が用いられる。
【００２１】
次に、樹脂レンズ７１ａ間の露出したアンダーコート層６１をプラズマアッシング、ドライエッチング処理を行って、凹部６２を形成する（図２（ｄ）参照）。
ここで、アンダーコート層６１と樹脂レンズ７１ａとの間でエッチングレートに差を付け、樹脂レンズ７１ａに対しアンダーコート層６１のエッチングレートを高く設定してあるので、樹脂レンズ７１ａの表面形状が維持された状態で、凹部６２を形成することができる。凹部６２の深さは６μｍから０．０５μｍの範囲に設定すればよいが、凹部６２の深さが１．５μｍを越えると樹脂レンズ７１ａ上に透明樹脂層形成する際塗布ムラが発生するので、好ましくは、１．５〜０．０５μｍの範囲である。。
【００２２】
次に、凹部６２が形成された樹脂レンズ７１ａ上に透明樹脂溶液をスピンコート等により塗布し、透明樹脂層を形成する。透明樹脂溶液としてはエポキシ樹脂あるいはアクリル樹脂に硬化剤を適量混入したものを使用する。さらに、透明樹脂層の樹脂表面を酸素プラズマ雰囲気でドライエッチングすることにより、樹脂レンズ７１ａ上に複数の柱状樹脂８１ａと柱状樹脂８１ａ間に形成されたボイド（空隙）８１ｂとを有するポーラス層８１を形成し、本発明の撮像素子１００を得る（図２（ｅ）、図４参照）。なお、柱状樹脂８１ａピッチあるいは大きさは０．０３〜０．３μｍとすることが望ましい。
【００２３】
図４にポーラス層８１の模式構成断面図を示す。ポーラス層８１は、図４に示すように、樹脂レンズ７１ａ上に柱状樹脂８１ａとボイド（空隙）８１ｂが形成されている。一般的な樹脂膜では、膜中に微細な気泡が多数存在し、密度が下がると、樹脂膜の屈折率は下がる。ポーラス層８１ではボイド（空隙）８１ｂが上記気泡の役目を有し、屈折率が下がり反射膜としての機能を有することになる。すなはち、ポーラス層とすることで、フッ素系樹脂等の低屈折率であっても、高価な樹脂を用いることなく、低価な樹脂で反射防止膜を形成することが可能となる。
【００２４】
ボイド（空隙）８１ｂは柱状樹脂８１ａ間のピッチＶ_Pで表すことができ、可視光域の光波長のおよそλ／４となるようにＶ_P＝０．１〜０．２μｍになっている。ポーラス層８１の厚みＶｔも可視光領域の光波長のλ／４（０．１〜０．２μｍ）になるように設定されている。このような構成にすることにより、ポーラス層８１に入射後ポーラス層８１より反射する光は位相がズレ、入射する光と反射する光がうち消し合うことになり、ポーラス層８１は反射防止効果を有することになる。また、ポーラス層８１と樹脂レンズ７１ａとの屈折率差を小さくすれば、ポーラス層８１と樹脂レンズ７１ａとの界面における反射を防止できる。このように、マイクロレンズ表面の光の反射を抑制することにより、撮像素子のカバーガラスから再反射、再入射によるスミア等の原因になるノイズ光を減少させ、撮像素子の特性を劣化させることを防止している。
【００２５】
本発明の請求項３に係わる撮像素子の製造方法の他の実施例について説明する。
まず、半導体基板１１に光電変換素子２１、遮光部３１、平坦化層４１、カラーフィルタ５１、平坦化層４２及びアンダーコート層６１を形成した中間工程の撮像素子を作製する（図３（ａ）参照）。
次に、アンダーコート層６１上に感光性樹脂溶液をスピンコーター等により塗布し、感光性樹脂層を形成し、露光、現像処理して樹脂パターン７１を形成する（図３（ｂ）参照）。
なお、図３（ｂ）〜図３（ｅ）においては、半導体基板１１から平坦化層４２までの部位は図示を省略している。
感光性樹脂層の膜厚は０．３μｍ以下の薄い膜厚とすれば、樹脂パターン７１形成後の樹脂レンズ形状を保持し易く、レンズ間の狭ギャップを達成しやすい。
また、塗布性や分散性を向上させるために、感光性樹脂溶液に界面活性剤を添加したり、複数の溶剤種を混ぜたり、あるいは、樹脂の分子量や他樹脂の添加を行っても良い。また、塗布の前処理としてアンダーコート層を軽くエッチング処理、プラズマ処理、紫外線洗浄等を実施しても良い。
【００２６】
次に、樹脂パターン７１を熱フローさせて、樹脂レンズ７１ａを形成する（図３（ｃ）参照）。
樹脂レンズ７１ａの形成に用いる樹脂材料は、ポーラス層を形成する透明樹脂、アンダーコート層を形成する材料含め、可視域の透明性（可視域透過率）が高く、実用的な信頼性（耐熱性、耐光性、耐熱サイクル等）があれば良い。例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、ウレタン樹脂、メラミン樹脂、エリア樹脂などの尿素樹脂、フェノール樹脂あるいはこれらの共重合物などが樹脂レンズ素材として使用可能であり、一般には、フェノール系の感光性樹脂あるいは低分子量のメラミンーエポキシ共重合物が用いられる。
【００２７】
次に、樹脂レンズ７１ａ間の露出したアンダーコート層６１にプラズマアッシング、ドライエッチング等を行って、凹部６２を形成する（図３（ｄ）参照）。ここで、アンダーコート層６１と樹脂レンズ７１ａとの間でエッチングレートに差を付け、樹脂レンズ７１ａに対しアンダーコート層６１のエッチングレートを高く設定してあるので、樹脂レンズ７１ａの表面形状が維持された状態で、凹部６２を形成することができる。凹部６２の深さは６μｍから０．０５μｍの範囲に設定すればよいが、凹部６２の深さが１．５μｍを越えると透明樹脂層形成時に塗布ムラが発生するので、好ましくは、１．５〜０．０５μｍの範囲である。
【００２８】
次に、カーボン或いは着色剤等の光吸収剤を含む着色樹脂溶液をスピンコーターにて塗布し、乾燥後熱リフローさせて光吸収樹脂層を形成し、樹脂レンズ７１ａ上の薄膜光吸収樹脂層をプラズマアッシング等にて除去し、凹部６２に光吸収層６３を形成する（図３（ｅ）参照）。
この光吸収層６３は、マイクロレンズ間に入射する光を吸収し、迷光による撮像素子のＳ／Ｎ比低下を防ぐものである。
【００２９】
次に、樹脂レンズ７１ａ上に透明樹脂溶液をスピンコート等により塗布し、透明樹脂層を形成する。透明樹脂溶液としてはエポキシ樹脂あるいはアクリル樹脂に硬化剤を適量混入したものを使用する。さらに、透明樹脂層の樹脂表面を酸素プラズマ雰囲気でドライエッチングすることにより、樹脂レンズ７１ａ上にピッチ或いは大きさが０．０３〜０．３μｍの複数の柱状樹脂８１ａと柱状樹脂８１ａ間に形成されたボイド（空隙）８１ｂとを有するポーラス層８１を形成し、本発明の撮像素子２００を得る（図３（ｆ）、図４参照）。光吸収層及びポーラス層を設けることにより、マイクロレンズ表面やマイクロレンズ間の凹部からの光の反射を抑制することにより、これら非有効部からの反射が撮像素子のカバーガラスから再反射、再入射してスミア等の原因となるノイズ光を減少させ、撮像素子の特性を劣化させることを防止し、迷光による撮像素子のＳ／Ｎ比低下を防いでいる。
【００３０】
【実施例】
以下実施例により本発明を詳細に説明する。
＜実施例１＞
まず、公知の技術、方法にて、光電変換素子２１が形成された半導体基板１１上に、遮光部３１、平坦化膜４１、カラーフィルター５１及び平坦化膜４２を順次形成し、平坦化層４２上にエポキシ系の樹脂溶液をスピンコートしてアンダーコート層６１を形成し、中間工程の撮像素子を作製した（図２（ａ）参照）。
【００３１】
次に、中間工程の撮像素子のアンダーコート層６１上にフェノール系の感光性樹脂溶液（商品名「３８０Ｈ」：ＪＳＲ社製）をスピンナーで塗布、乾燥して、１．２μｍ厚の感光性樹脂層を形成し、感光性樹脂層を所定のパターンを有するフォトマスクを用いて、露光、現像等の一連のパターニング処理を行って、アンダーコート層６１上に光電変換素子３１の配列に対応した５μｍピッチ、０．６μｍギャップの樹脂パターン７１を形成した（図２（ｂ）参照）。
【００３２】
次に、樹脂パターン７１が形成された中間工程の撮像素子をホットプレートで１８０℃３分間加熱し、熱フロー処理を行い、アンダーコート層６１上に辺方向のギャップが０．４μｍ、レンズの高さ１．４μｍの樹脂レンズ７１ａを形成した（図２（ｃ）参照）。
【００３３】
次に、ドライエッチング装置を用いて、Ｏ₂ガスを導入し、圧力：２０Ｐａ、ＲＦパワー：１ｋｗ、基板温度：常温（ＲＴ）、処理時間：２５秒にて、エッチング処理を行い、樹脂レンズ７１ａ間のアンダーコート層６１に深さ０．３μｍの凹部６２を形成した（図２（ｄ）参照）。
ここで、上記エッチング条件において、樹脂レンズ７１ａの形成に使用した感光性フェノール系樹脂のエッチングレートはアンダーコート層６１の形成に使用したエポキシ樹脂のエッチングレートの１／３であった。
樹脂レンズの材料である感光性フェノール系樹脂のエッチングレートが小さいため、深さ０．３μｍの凹部６２が形成された後でも樹脂レンズのレンズ形状が保持され、レンズ曲率の変化を少なくする効果とマイクロレンズ間の対角方向の凹部を深く加工することが可能で、このことにより、樹脂レンズの狭ギャップを実現することができる。
【００３４】
次に、透明なアクリル樹脂（商品名「ＴＯＣ」：富士薬品（株）社製）５部に酸系硬化剤（商品名「ＴＯＨＣ−ＨＡ」）２部を混合したアクリル樹脂溶液をスピンコートにて塗布し、樹脂レンズ７１ａ及び凹部６２を覆うように、膜厚０．２μｍ弱の透明樹脂層を形成した。結果、マイクロレンズ（樹脂レンズ＋透明樹脂層）間のギャップ寸法は、０．１μｍと狭ギャップであった。さらに、ドライエッチング装置に酸素を５０ｓｃｃｍ導入して、圧力：２０Ｐａ、ＲＦパワー：１ｋｗ、基板温度：常温（ＲＴ）、処理時間：２０秒にて、透明樹脂層表面をエッチング処理し、ポーラス層８１を形成した。ポーラス層８１は、およそ０．１μｍの柱状樹脂８１ａが、０．０５〜０．１５μｍピッチで配置されていた。
以上の工程により、樹脂レンズ７１ａ上にポーラス層８１が形成されたマイクロレンズ９０を有する撮像素子１００を得ることができた（図２（ｅ）参照）。
【００３５】
本実施例１で得られた撮像素子１００の樹脂レンズ７１ａ上にポーラス層８１が形成されたマイクロレンズ９０の反射率は、ポーラス層８１を形成しないものと比較して１／４の低反射率を示した。
図５に、実施例１で得られたポーラス層８１の表面のテクスチャーを示す電子顕微鏡写真（６万倍）を示す。およそ０．１μｍの樹脂柱が形成されていることが確認できた。
【００３６】
＜実施例２＞
まず、公知の技術、方法にて、光電変換素子２１が形成された半導体基板１１上に、遮光部３１、平坦化膜４１、カラーフィルター５１及び平坦化膜４２を順次形成し、平坦化層４２上にエポキシ系の樹脂溶液をスピンコートしてアンダーコート層６１を形成し、中間工程の撮像素子を作製した（図３（ａ）参照）。
【００３７】
次に、中間工程の撮像素子のアンダーコート層６１上にフェノール系の感光性樹脂溶液（商品名「３８０Ｈ」：ＪＳＲ社製）をスピンナーで塗布、乾燥して、１．２μｍ厚の感光性樹脂層を形成し、感光性樹脂層を所定のパターンを有するフォトマスクを用いて、露光、現像等の一連のパターニング処理を行って、アンダーコート層６１上に光電変換素子３１の配列に対応した５μｍピッチ、０．６μｍギャップの樹脂パターン７１を形成した（図３（ｂ）参照）。
【００３８】
次に、樹脂パターン７１が形成された中間工程の撮像素子をホットプレートで１８０℃３分間加熱し、熱フロー処理を行い、アンダーコート層６１上に辺方向のギャップが０．４μｍ、レンズの高さ１．５μｍの樹脂レンズ７１ａを形成した（図３（ｃ）参照）。
【００３９】
次に、ドライエッチング装置を用いて、Ｏ₂ガスを導入し、圧力：２０Ｐａ、ＲＦパワー：１ｋｗ、基板温度：常温（ＲＴ）、処理時間：２５秒にて、エッチング処理を行い、樹脂レンズ７１ａ間のアンダーコート層６１に深さ０．４μｍの凹部６２を形成した（図３（ｄ）参照）。
【００４０】
次に、樹脂レンズ７１ａ及び凹部６２を覆うように、熱硬化フェノール樹脂に０．１μｍ以下の粒径のカーボンを固形比にて８％含有させた光吸収樹脂溶液をスピンナーにて塗布し、このあと、２００℃のホットプレート上で２００℃迄一気に昇温し、樹脂を硬化させ、光吸収樹脂層を形成し、樹脂レンズ７１ａ上の薄膜光吸収樹脂層をプラズマ処理にて除去し、凹部６２に光吸収層６３を形成した（図３（ｅ）参照）。光吸収樹脂には熱フロー性を持たせているため、昇温時に樹脂がメルトし、凹部６２に流れ込み、約０．７μｍ厚の光吸収層６３が形成され、樹脂レンズ７１ａ上にも約０．１μｍの薄膜光吸収樹脂層が残存し、プラズマ処理にて除去した。
【００４１】
次に、透明なアクリル樹脂（商品名「ＴＯＣ」：富士薬品（株）社製）５部に酸系硬化剤（商品名「ＴＯＨＣ−ＨＡ」）２部を混合したアクリル樹脂溶液をスピンコートにて塗布し、樹脂レンズ７１ａを覆うように、膜厚０．２μｍ弱の透明樹脂層を形成した。さらに、ドライエッチング装置に酸素を５０ｓｃｃｍ導入して、圧力：２０Ｐａ、ＲＦパワー：１ｋｗ、基板温度：常温（ＲＴ）、処理時間：２０秒にて、透明樹脂層表面をエッチング処理して、ポーラス層８１を形成した。ポーラス層８１は、およそ０．１μｍの柱状樹脂８１ａが、０．０５〜０．１５μｍピッチで配置されていた。
以上の工程により、樹脂レンズ７１ａ上にポーラス層８１が形成されたマイクロレンズ９０間に光吸収層６３を有する撮像素子２００を得ることができた（図３（ｆ）参照）。
【００４２】
本実施例２で得られた撮像素子２００の樹脂レンズ７１ａ上にポーラス層８１が形成されたマイクロレンズ９０の反射率は、ポーラス層８１を形成しないものと比較して１／４の低反射率を示した。
図５に、実施例２で得られたポーラス層８１の表面のテクスチャーを示す電子顕微鏡写真（６万倍）を示す。およそ０．１μｍの樹脂柱が形成されていることが確認できた。
【００４３】
【発明の効果】
本発明は、樹脂レンズ上にポーラス層が形成されたマイクロレンズを撮像素子エレメント上に設けているため、マイクロレンズ上での光の反射・散乱が抑制され、実質的な開口率を向上でき、Ｓ／Ｎ比の大幅な改善を得ることができる撮像素子を低コストで提供できる。
さらに、光吸収層をマイクロレンズ間に選択的（セルフアライン）に形成しているため、光吸収層を位置合わせ精度良く形成でき、斜め入射光や散乱光をカットして、撮像素子のＳ／Ｎ比の大幅な改善を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は、本発明の撮像素子の一実施例を示す模式部分平面図である。
（ｂ）は、（ａ）の模式平面図をＡ−Ａ’線で切断した模式部分構成断面図である。
【図２】（ａ）〜（ｅ）は、本発明の撮像素子の請求項３に係わる撮像素子の製造方法の一実施例を工程順に示す部分模式構成断面図である。
【図３】（ａ）〜（ｆ）は、本発明の撮像素子の請求項３に係わる撮像素子の製造方法の他の実施例を工程順に示す部分模式構成断面図である。
【図４】本発明の撮像素子の樹脂レンズ上に形成されたポーラス層を模式的に示す説明図である。
【図５】本発明の撮像素子の樹脂レンズ上に形成されたポーラス層の表面のテクスチャーの電子顕微鏡写真を示す説明図である。
【図６】（ａ）は、マイクロレンズの模式部分平面図を示す平面図である。
（ｂ）は、アンダーコート層上に形成された樹脂レンズの構成を示す説明図である。
（ｃ）は、アンダーコート層上に形成されたマイクロレンズの構成を示す説明図である。
【符号の説明】
１１……半導体基板
２１……光電変換素子
３１……遮光部
４１、４２……平坦化層
５１……カラーフィルタ
６１、１１１……アンダーコート層
６２……凹部
６３……光吸収層
７１……樹脂パターン
７１ａ、１２１……樹脂レンズ
８１……ポーラス層
８１ａ……柱状樹脂
８１ｂ……ボイド（空隙）
９０、１４０……マイクロレンズ
１００、２００……撮像素子
１３１……透明樹脂層
１４１……凹部
ＶP……ボイド（空隙）のピッチ
Ｖｔ……ポーラス層の膜厚

Claims

少なくとも複数の光電変換素子と、平坦化層と、カラーフィルタと、アンダーコート層と、マイクロレンズとを備えた撮像素子において、前記マイクロレンズ（９０）が、樹脂レンズ（７１ａ）と、前記樹脂レンズ（７１ａ）上に形成された複数の柱状樹脂（８１ａ）と該柱状樹脂（８１ａ）間に形成されたボイド（空隙）とを有するポーラス層（８１）とからなり、反射防止効果を有することを特徴とする撮像素子。
前記ポーラス層（８１）は、樹脂レンズ（７１ａ）上に形成された複数の柱状樹脂（８１ａ）と該柱状樹脂（８１ａ）間に形成されたボイド（空隙）（８１ｂ）とで構成されており、前記柱状樹脂（８１ａ）間のピッチをＶｐ、ポーラス層（８１）の厚みをＶｔとしたとき、Ｖｐ及びＶｔが、可視光領域の光波長のおよそλ／４になっていることを特徴とする請求項１記載の撮像素子。
以下の工程を少なくとも備えることを特徴とする反射防止効果を有するマイクロレンズを備えた撮像素子の製造方法。
（ａ）半導体基板（１１）に光電変換素子（２１）、遮光部（３１）、平坦化層（４１）、カラーフィルタ（５１）、平坦化層（４２）及びアンダーコート層（６１）を形成した中間工程の撮像素子を作製する工程。
（ｂ）前記アンダーコート層（６１）上に感光性材料を塗布し、感光性樹脂層を形成し、露光、現像処理して樹脂パターン（７１）を形成する工程。
（ｃ）前記樹脂パターン（７１）を熱フローさせて樹脂レンズ（７１ａ）を形成する工程。
（ｄ）前記樹脂レンズ（７１ａ）間の露出した前記アンダーコート層（６１）に凹部（６２）を形成する工程。
（ｅ）前記樹脂レンズ（７１ａ）上に透明樹脂を塗布して、透明樹脂層を形成し、前記透明樹脂層をドライエッチングすることにより、複数の柱状樹脂（８１ａ）と柱状樹脂（８１ａ）間に形成されたボイド（空隙）（８１ｂ）とを有するポーラス層（８１）を形成する工程。