JP2010258341A - ダイシング用粘着シート - Google Patents
ダイシング用粘着シート Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010258341A JP2010258341A JP2009109026A JP2009109026A JP2010258341A JP 2010258341 A JP2010258341 A JP 2010258341A JP 2009109026 A JP2009109026 A JP 2009109026A JP 2009109026 A JP2009109026 A JP 2009109026A JP 2010258341 A JP2010258341 A JP 2010258341A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheet
- dicing
- mass
- pressure
- sensitive adhesive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Adhesive Tapes (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
- Dicing (AREA)
Abstract
【解決手段】基材シート11の少なくとも一方の面に紫外線硬化型粘着剤層12を有するダイシング用粘着シート10であって、前記基材シート11は主成分としてのポリ塩化ビニルと、該ポリ塩化ビニルに対する可塑剤としてのエチレン−一酸化炭素共重合体と、熱安定剤とを含み構成されたものであり、該基材シート11が可視光線の全光線透過率が70%以上であり、波長360nmにおける(紫外線)光線透過率が40%以上であることを特徴とするダイシング用粘着シート10を提案する。
【選択図】図1
Description
この際、エキスパンド工程では、ダイシングシートに優れた伸張性が要求されるため、基材シートの材質として、伸張性に優れたポリ塩化ビニルシートが広く使用されている。
本発明者が、塩化ビニルシートを基材シートに用いたダイシングシートの粘着力の低下について検討した結果、可塑剤と熱安定剤が影響していることが分かった。すなわち、可塑剤自体が粘着剤層へ移行すると共に、熱安定剤成分が可塑剤に溶解し、その可塑剤を通じて粘着剤層中に移行する結果、保管の際に粘着特性が著しく低下するという知見を得た。
本発明は、かかる知見に基づき、可塑剤自体が粘着剤層へ移行するのを防止すると共に熱安定剤成分が可塑剤に溶解することを防止するため、ポリ塩化ビニルに対する可塑剤としてエチレン−一酸化炭素共重合体を使用したものである。かかる可塑剤は、塩化ビニル樹脂との相溶性が高く、分子量も一般の可塑剤に比べて10倍以上高いことから、可塑剤自体が移行せず、しかも熱安定剤を溶解することもなく熱安定剤の粘着剤層への移行を助長しないので、長期保存を行っても著しい粘着力の低下が起こらない。
よって、本発明によれば、熱安定剤が粘着剤層中に移行せず長期にわたって粘着力を維持することができ、長期保存安定性を優れたものとすることができる。同時に、バリア層を形成する必要が無いので、ダイシング用粘着シート自体の柔軟性が損なわれるのを防止することができ、更に、バリア層の形成の為の工程が不要になるため、製造工程の簡素化及び製造コストの低減が可能になる。
基材シート11は、粘着剤層12の支持母体となるものであり、少なくとも、ベース樹脂としてのポリ塩化ビニルと、該ポリ塩化ビニルに対する可塑剤としてのエチレン−一酸化炭素共重合体と、熱安定剤とを含んで形成されるものである。
基材シート11を構成するポリ塩化ビニルとしては、塩化ビニル単独重合体のほか、塩化ビニルと共重合可能な単量体との共重合体(以下、「塩化ビニル共重合体」と称する)、この塩化ビニル共重合体以外の重合体に塩化ビニルをグラフト共重合させたグラフト共重合体等を挙げることができる。これらの共重合体は、共重合体中の塩化ビニル以外の構成単位含有量が多くなると機械的特性が低下するので、共重合体中の塩化ビニルの構成単位含有量は60質量%以上であるのが好ましい。かかる観点から、共重合体中の塩化ビニルの構成単位含有量は70質量%以上であるのがさらに好ましく、中でも80質量%以上であるのがより好ましい。
上記の塩化ビニルと共重合可能な単量体としては、分子中に反応性二重結合を有するものであればよい。例えば、エチレン、プロピレン、ブチレン等のα−オレフィン類:酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル等のビニルエステル類:ブチルビニルエーテル、セチルビニルエーテル等のビニルエーテル類:アクリル酸、メタクリル酸等の不飽和カルボン酸類:アクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸フェニル等のアクリル酸またはメタクリル酸のエステル類:スチレン、α−メチルスチレン等の芳香族ビニル類:塩化ビニリデン、フッ化ビニル等のハロゲン化ビニル類:N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド等のN−置換マレイミド類等を挙げることができ、これらは単独または2種以上の組み合わせで用いることができる。
本ダイシングシートでは、可塑剤としてエチレン−一酸化炭素共重合体を用いる点が重要である。
一般に塩化ビニル樹脂(PVC)の可塑剤として用いられているものは、DOPなどのように低分子量であり、溶媒として作用して添加剤を溶解させる場合がある。これに対し、エチレン−一酸化炭素共重合体は、PVCとの相溶性に優れた高分子量軟質樹脂であることから、PVCを軟質化させる効果を有しつつ、高分子量であるが故に溶媒としての作用が無いため、熱安定剤などを溶解させることが無いという特徴がある。
但し、これらに限定するものではない。
なお、エチレン−酢酸ビニル−一酸化炭素三元共重合体におけるエチレン単位は、45〜75質量%であるのがさらに好ましく、中でも50〜65質量%であるのがより好ましい。酢酸ビニル単位は、10〜40質量%であるのがさらに好ましく、中でも15〜35質量%であるのがより好ましい。一酸化炭素単位は、5〜25質量%であるのがさらに好ましく、中でも8〜20質量%であるのがより好ましい。
なお、エチレン−アルキルアクリレート−一酸化炭素三元共重合体におけるエチレン単位は、45〜75質量%であるのがさらに好ましく、中でも50〜65質量%であるのがより好ましい。アルキルアクリレート単位は、10〜40質量%であるのがさらに好ましく、中でも15〜35質量%であるのがより好ましい。一酸化炭素単位は、5〜25質量%であるのがさらに好ましく、中でも8〜20質量%であるのがより好ましい。
よって、このような観点から、5〜70質量部であるのがより好ましく、中でも10〜60質量部であるのがさらに好ましい。
塩化ビニル樹脂は熱により分解し、塩素ガス等の有毒ガスを発生することがあるため、熱安定剤を添加することにより、塩化ビニル樹脂の熱分解を抑えて有毒ガスの発生を防止することができる。
これらの中でも、安全性および電気絶縁性などの観点から、例えばバリウム塩類と亜鉛塩類との混合物からなるBa−Zn系塩類が特に好ましい。
基材シート11には、基材シート11の特性を損なわない範囲内であれば、低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエステル、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−(メタ)アクリル酸共重合体、エチレン−(メタ)アクリル酸エステル共重合体、アイオノマー樹脂、エチレン−αオレフィン共重合体等が含まれていてもよい。
酸化防止剤として、ヒンダードフェノール系や含硫黄系などの酸化防止剤を挙げることができる。
また、紫外線吸収剤として、ベンゾトリアゾール系やヒンダードアミン系の紫外線吸収剤を挙げることができる。
基材シート11は、押出成形やカレンダーロール成形等の従来公知の方法により製造することができる。また、基材シート11としては無延伸のものを用いてもよく、必要に応じて一軸又は二軸の延伸処理を施したものを用いてもよい。また、その表面部分には、必要に応じてマット処理、コロナ放電処理、プライマー処理、架橋処理(化学架橋(シラン結合))等の慣用の物理的又は化学的処理を施すことができる。
基材シート11の厚みは、50μm〜200μmの範囲内であることが好ましく、80μm〜150μmの範囲内であることがより好ましい。基材シート11の厚みが50μm未満では、半導体ウエハを保持するダイシングシートの基材シート内部まで切込みを行なうフルカットと呼ばれる切断方式において、基材シート11まで切断されてしまいエキスパンド工程で破断してしまう可能性がある。他方、基材シート11の厚みが200μmを超えるとエキスパンド工程での伸ばしやすさが低下する可能性がある。
かかる観点から、基材シート11の厚みは、80μm〜150μmの範囲内であることがより好ましく、中でも90μm〜120μmの範囲内であることがさらに好ましい。
基材シート11は、可視光線の全光線透過率(JIS−K−7361−1)が70%以上であり、分光光度計にて測定した紫外線透過率が波長360nmで40%以上であることが重要である。
基材シート11の全光線透過率が70%未満ではダイシング状態を確認し得るだけの高透明性が得られない。かかる観点から、基材シート11の全光線透過率は、75%以上であるのが好ましく、特に78〜85%であるのがさらに好ましい。
また、基材シート11の紫外線透過率については、近年、紫外線硬化型粘着剤層を持ったダイシング用粘着シートの要求が高まってきており、その基材シートの特性の1つとして、好適な紫外線透過率が求められるようになって来たため重要なファクターである。すなわち、ウエハのダイシングが終了した後に、ダイシングシートの基材シート側から強い紫外線を照射して紫外線硬化型粘着剤を硬化させて、粘着力を低下させた後、ダイシングシートからチップをピックアップするという用途において、基材シートの紫外線透過率が40%未満では粘着剤層の硬化が不十分でウエハに粘着剤が残ったり、ピックアップできなくなったりする不良が発生する可能性がある。かかる観点から、基材シート11の波長360nmでの紫外線透過率は、45%以上であるのが好ましく、特に50〜80%であるのがさらに好ましい。
粘着剤層12は、紫外線硬化型粘着剤層、特に紫外線硬化型アクリル系粘着剤層であるのが好ましい。特に最近のダイシング工程では、半導体ウエハを保持するダイシングシートの内部まで切込みを行なうフルカットと呼ばれる切断方式が主流となって来ており、被切断体をダイシングシート上で完全に切断して分離するため、ダイシングシートの粘着力が小さ過ぎるとダイシングの際に被切断体小片が飛散することになり、逆に粘着力が大き過ぎると、ピックアップが困難になる。ダイシングシートには、このような観点から適度な粘着力が要求されるため、かかる観点から、粘着特性のコントロールの幅が広く、且つ製造も容易な紫外性硬化型粘着剤、特に紫外線硬化型アクリル系粘着剤、その中でも特にポリ(メタ)アクリル酸エステルを主成分とする粘着剤から形成するのが好ましい。
但し、ポリ(メタ)アクリル酸エステルに限定するものではない。
また、前記共重合性モノマーとしては、(メタ)アクリル酸のヒドロキシアルキルエステル(例えばヒドロキシエチルエステル、ヒドロキシブチルエステル、ヒドロキシヘキシルエステル等)、(メタ)アクリル酸グリシジルエステル、(メタ)アクリル酸、イタコン酸、無水マレイン酸、(メタ)アクリル酸アミド、(メタ)アクリル酸N−ヒドロキシメチルアミド、(メタ)アクリル酸アミノアルキル(例えば、ジメチルアミノエチルメタクリレート、t−ブチルアミノエチルメタクリレート等)、酢酸ビニル、スチレン、アクリロニトリル、アクリロイルモルフォリン等を挙げることができる。
架橋剤としては、例えば、ポリイソシアネート化合物、メラミン樹脂、尿素樹脂、アジリジン化合物、エポキシ樹脂、無水化物、ポリアミンカルボキシル基含有ポリマー等を挙げることができる。
かかる観点から、粘着剤層12の厚みは、8μm〜18μmの範囲内であることがより好まく、特に10μm〜15μmの範囲内であることがさらに好ましい。
本ダイシングシート10は、ラベル加工のため、又は粘着剤層12を平滑にする目的のために、粘着剤層12上にセパレータ13を積層してあるが、必ずしもセパレータ13を積層する必要はない。
セパレータ13には、粘着剤層12から剥離しやすくするため、シリコン処理、長鎖アクリル処理、フッ素処理等の剥離処理が施されていてもよい。
また、剛性を高める等の目的に応じて、一軸又は二軸の延伸処理や他のプラスチックフィルム等で積層を行なってもよい。
また、ダイシングシート10は、巻いたテープ状に形成することもできる。
ダイシングシート10は、例えば基材シート11の表面に、粘着剤を塗布し乾燥させて(必要に応じて加熱架橋させて)粘着剤層12を形成し、必要に応じてこの粘着剤層12の表面にセパレータ13を貼り合せることにより製造することができる。
また、セパレータ13に粘着剤層12を形成した後、これらを基材シート11に貼り合せる方法を採用することもできる。
ダイシングシート10を半導体ウエハに貼り付ける工程は、例えば両面ダイシングシートを介して支持ウエハ(支持板)に固定された半導体ウエハをダイシングシート10に貼り合わせ、これをダイシングリングに固定すればよい。
当該工程は、半導体ウエハとダイシングシート10とを、粘着剤層12側が貼り合わせ面となる様に重ね合わせ、圧着ロール等の押圧手段により押圧しながら行うのがよい。
また、加圧可能な容器(例えばオートクレーブ等)中で、半導体ウエハとダイシングシート10を前記のように重ね、容器内を加圧することにより貼り付けることもできる。この際、押圧手段により押圧しながら貼り付けてもよい。
また、真空チャンバー内で、前記と同様に貼り付けることもできる。貼り付けの際の貼り付け温度は何ら限定されないが、20〜80℃であることが好ましい。
本発明において「主成分」とは、特に記載しない限り、当該主成分の機能を妨げない範囲で他の成分を含有することを許容する意を包含する。この際、当該主成分の含有割合を特定するものではないが、主成分(2成分以上が主成分である場合には、これらの合計量)が組成物中の50質量%以上、特に70質量%以上、中でも特に90質量%以上(100%含む)を占めるのが好ましい。
また、「X以上」(Xは任意の数字)と表現した場合、特にことわらない限り「好ましくはXより大きい」の意を包含し、「X以下」(Xは任意の数字)と表現した場合、特にことわらない限り「好ましくはXより小さい」の意を包含する。
(基材シートの作製)
ベース樹脂としてのポリ塩化ビニル樹脂100質量部、可塑剤としてのエチレン−酢酸ビニル−一酸化炭素系共重合体50質量部、熱安定剤としてのステアリン酸バリウム0.55質量部及びステアリン酸亜鉛0.5質量部、さらに熱安定助剤としてのトリ−(オクチル)−ホスファイト0.5質量部を含む組成物を、カレンダー成形機にて製膜してシートを得(設定温度180℃)、該シートの片面にコロナ処理を施して厚さ100μmの基材シートを作製した。
なお、用いたポリ塩化ビニルは、平均重合度1,050の塩化ビニル単独重合体であり、用いたエチレン−酢酸ビニル−一酸化炭素系共重合体は、エチレン単位65質量%、酢酸ビニル単位25質量%及び一酸化炭素単位10質量%からなる、重量平均分子量25,000の三元共重合体である。
アクリル酸ブチル90質量部及びアクリル酸10質量部をトルエン溶液中で常法により共重合させ、重量平均分子量50万のアクリル系共重合体を得た。このアクリル系共重合体を含有する溶液に、ポリイソシアネート化合物(商品名「コロネートL」、日本ポリウレタン(株)製)5質量部を加えて、アクリル系紫外線硬化型粘着剤溶液を調製した。
(基材シートの作製)
本実施例に於いては、エチレン−酢酸ビニル−一酸化炭素系共重合体に代えて、エチレン−アルキルアクリレート−一酸化炭素系共重合体を用いたこと以外は、前記実施例1と同様にして本実施例に係る基材シートを作製した。
なお、用いたエチレン−アルキルアクリレート−一酸化炭素系共重合体は、エチレン単位60質量%、ブチルアクリレート単位30質量%及び一酸化炭素単位10質量%からなる、重量平均分子量100,000の三元共重合体である。
実施例1で調製した粘着剤溶液を、前記で得られた基材シートのコロナ処理面上に塗布し、80℃で10分間加熱架橋させて厚さ10μmの紫外線硬化型粘着剤層を形成した。次いで、当該粘着剤層面に厚さ30μmのセパレータを貼り合せて感圧ダイシング用粘着シートを作製した。
(基材シートの作製)
本比較例に於いては、エチレン−酢酸ビニル−一酸化炭素系共重合体に代えて、ポリエステル系可塑剤を用いたこと以外は、前記実施例1と同様にして本比較例に係る基材シートを作製した。
実施例1で調製した粘着剤溶液を、前記で得られた基材シートのコロナ処理面上に塗布し、80℃で10分間加熱架橋させて厚さ10μmの紫外線硬化型粘着剤層を形成した。次いで、当該粘着剤層面に厚さ30μmのセパレータを貼り合せて感圧ダイシング用粘着シートを作製した。
(基材シートの作製)
本比較例に於いては、エチレン−酢酸ビニル−一酸化炭素系共重合体に代えて、ジオクチルフタレート(DOP)を用いたこと以外は、前記実施例1と同様にして本比較例に係る基材シートを作製した。
実施例1で調製した粘着剤溶液を、前記で得られた基材シートのコロナ処理面上に塗布し、80℃で10分間加熱架橋して、厚さ10μmの紫外線硬化型粘着剤層を形成した。次いで、当該粘着剤層面に厚さ30μmのセパレータを貼り合せて感圧ダイシング用粘着シートを作製した。
次に、実施例及び比較例で作製した感圧ダイシング用粘着シートの評価方法について説明する。
シートの外観シートを目視し、次の基準で評価した
◎:劣化によるブツや着色が見られないもの。
○:若干ブツや着色が見られるが品質上問題ないもの。
△:品質上問題となるもの。
×:サンプルが採取できないもの。
実施例、比較例で得られたダイシング用粘着シートを幅10mm、長さ100mmに切り出し、セパレータを剥がして粘着剤層をアルミ板に貼り合せ、JIS−Z−0237に準拠して、万能引張試験機にて試験速度300mm/minにて初期(貼り合せ後、23℃、30%、72時間経過した後)の180°剥離力と、促進試験(貼り合せ後、40℃、95%、1週間経過後、恒温恒湿槽から取り出して、23℃、30%、78時間経過した後)での180°剥離力を測定し、その変化の割合(促進試験での剥離力/初期の剥離力)を計算し、以下の基準で判定した。
×:粘着力の変化率が1未満
厚み100μmで採取した基材シートを、JIS−K−7361−1に準拠して全光線透過率を測定し、また分光光度計を用いて波長360nmでの紫外線透過率を測定し、それぞれ全光線透過率、紫外線透過率とした。
また、エチレン−アルキルアクリレート−一酸化炭素三元共重合体における各成分量は、ポリ塩化ビニルとの相溶性や透明性、および粘着剤との親和性の観点から、エチレン単位40〜80質量%、アルキルアクリレート単位5〜50質量%及び一酸化炭素単位3〜30質量%であるのが好ましいと考えられる。
11 基材シート
12 粘着剤層
13 セパレータ
Claims (6)
- 基材シートの少なくとも一方の面に紫外線硬化型粘着剤層を有するダイシング用粘着シートであって、
前記基材シートは主成分としてのポリ塩化ビニルと、該ポリ塩化ビニルに対する可塑剤としてのエチレン−一酸化炭素共重合体と、熱安定剤とを含み構成されたものであり、
該基材シートは、可視光線の全光線透過率が70%以上であり、波長360nmにおける紫外線透過率が40%以上であることを特徴とするダイシング用粘着シート。 - 可塑剤としての前記エチレン−一酸化炭素共重合体は、前記ポリ塩化ビニル100質量部に対して1〜80質量部含有されていることを特徴とする請求項1に記載のダイシング用粘着シート。
- 前記エチレン−一酸化炭素共重合体は、エチレン単位40〜80質量%、酢酸ビニル単位5〜50質量%及び一酸化炭素単位3〜30質量%からなる三元共重合体であることを特徴とする請求項1又は2に記載のダイシング用粘着シート。
- 前記エチレン−一酸化炭素共重合体は、エチレン単位40〜80質量%、アルキルアクリレート単位5〜50質量%及び一酸化炭素単位3〜30質量%からなる三元共重合体であることを特徴とする請求項1又は2に記載のダイシング用粘着シート。
- 前記紫外線硬化型粘着剤層は、主成分としてポリ(メタ)アクリル酸エステルを含有していることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載のダイシング用粘着シート。
- 前記基材シートの厚みは50μm〜200μmであり、かつ前記紫外線硬化型粘着剤層の厚みが5μm〜20μmであることを特徴とする請求項1〜5の何れかに記載のダイシング用粘着シート。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009109026A JP5290853B2 (ja) | 2009-04-28 | 2009-04-28 | ダイシング用粘着シート |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009109026A JP5290853B2 (ja) | 2009-04-28 | 2009-04-28 | ダイシング用粘着シート |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010258341A true JP2010258341A (ja) | 2010-11-11 |
JP5290853B2 JP5290853B2 (ja) | 2013-09-18 |
Family
ID=43318886
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009109026A Active JP5290853B2 (ja) | 2009-04-28 | 2009-04-28 | ダイシング用粘着シート |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5290853B2 (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014103467A1 (ja) * | 2012-12-28 | 2014-07-03 | リンテック株式会社 | ダイシングシート用基材フィルムおよびダイシングシート |
WO2015098609A1 (ja) | 2013-12-25 | 2015-07-02 | 日本碍子株式会社 | ハンドル基板、半導体用複合基板、半導体回路基板およびその製造方法 |
JP2016180630A (ja) * | 2015-03-23 | 2016-10-13 | 株式会社エイアンドティー | イオン選択性電極及び電解質分析装置 |
WO2016175119A1 (ja) * | 2015-04-28 | 2016-11-03 | 株式会社クラレ | 積層用アクリル系熱可塑性重合体組成物 |
JP2016216577A (ja) * | 2015-05-18 | 2016-12-22 | ロンシール工業株式会社 | 粘着テープ基材用フィルム |
WO2018207080A1 (en) * | 2017-05-12 | 2018-11-15 | 3M Innovative Properties Company | Adhesive tapes |
JP2020194905A (ja) * | 2019-05-29 | 2020-12-03 | 古河電気工業株式会社 | ガラス加工用テープ |
WO2020240963A1 (ja) * | 2019-05-29 | 2020-12-03 | 古河電気工業株式会社 | ガラス加工用テープ |
JP2020194903A (ja) * | 2019-05-29 | 2020-12-03 | 古河電気工業株式会社 | ガラス加工用テープ |
JP2020194906A (ja) * | 2019-05-29 | 2020-12-03 | 古河電気工業株式会社 | ガラス加工用テープ |
JP2021019150A (ja) * | 2019-07-23 | 2021-02-15 | ロンシール工業株式会社 | 粘着テープ基材用フィルム |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06330001A (ja) * | 1992-09-28 | 1994-11-29 | Mitsui Toatsu Chem Inc | 分解性粘着フィルム |
JP2007321087A (ja) * | 2006-06-02 | 2007-12-13 | Nitto Denko Corp | ダイシング用粘着シート |
JP2008143924A (ja) * | 2006-12-06 | 2008-06-26 | Nitto Denko Corp | 再剥離型粘着剤組成物、及び粘着テープ又はシート |
-
2009
- 2009-04-28 JP JP2009109026A patent/JP5290853B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06330001A (ja) * | 1992-09-28 | 1994-11-29 | Mitsui Toatsu Chem Inc | 分解性粘着フィルム |
JP2007321087A (ja) * | 2006-06-02 | 2007-12-13 | Nitto Denko Corp | ダイシング用粘着シート |
JP2008143924A (ja) * | 2006-12-06 | 2008-06-26 | Nitto Denko Corp | 再剥離型粘着剤組成物、及び粘着テープ又はシート |
Cited By (35)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2014103467A1 (ja) * | 2012-12-28 | 2017-01-12 | リンテック株式会社 | ダイシングシート用基材フィルムおよびダイシングシート |
CN104756237A (zh) * | 2012-12-28 | 2015-07-01 | 琳得科株式会社 | 切割片用基材膜及切割片 |
WO2014103467A1 (ja) * | 2012-12-28 | 2014-07-03 | リンテック株式会社 | ダイシングシート用基材フィルムおよびダイシングシート |
WO2015098609A1 (ja) | 2013-12-25 | 2015-07-02 | 日本碍子株式会社 | ハンドル基板、半導体用複合基板、半導体回路基板およびその製造方法 |
US9425083B2 (en) | 2013-12-25 | 2016-08-23 | Ngk Insulators, Ltd. | Handle substrate, composite substrate for semiconductor, and semiconductor circuit board and method for manufacturing the same |
JP2016180630A (ja) * | 2015-03-23 | 2016-10-13 | 株式会社エイアンドティー | イオン選択性電極及び電解質分析装置 |
CN107531980A (zh) * | 2015-04-28 | 2018-01-02 | 株式会社可乐丽 | 层叠用丙烯酸类热塑性聚合物组合物 |
JPWO2016175119A1 (ja) * | 2015-04-28 | 2018-02-22 | 株式会社クラレ | 積層用アクリル系熱可塑性重合体組成物 |
US10647096B2 (en) | 2015-04-28 | 2020-05-12 | Kuraray Co., Ltd. | Laminating acrylic thermoplastic polymer compositions |
CN107531980B (zh) * | 2015-04-28 | 2020-11-27 | 株式会社可乐丽 | 层叠用丙烯酸类热塑性聚合物组合物 |
US11400695B2 (en) | 2015-04-28 | 2022-08-02 | Kuraray Co., Ltd. | Laminating acrylic thermoplastic polymer compositions |
WO2016175119A1 (ja) * | 2015-04-28 | 2016-11-03 | 株式会社クラレ | 積層用アクリル系熱可塑性重合体組成物 |
JP2016216577A (ja) * | 2015-05-18 | 2016-12-22 | ロンシール工業株式会社 | 粘着テープ基材用フィルム |
US10870780B2 (en) | 2017-05-12 | 2020-12-22 | 3M Innovative Properties Company | Adhesive tapes |
WO2018207080A1 (en) * | 2017-05-12 | 2018-11-15 | 3M Innovative Properties Company | Adhesive tapes |
US10774245B2 (en) | 2017-05-12 | 2020-09-15 | 3M Innovative Properties Company | Adhesive tapes |
US11578240B2 (en) | 2017-05-12 | 2023-02-14 | 3M Innovative Properties Company | Adhesive tapes |
JP2020194903A (ja) * | 2019-05-29 | 2020-12-03 | 古河電気工業株式会社 | ガラス加工用テープ |
CN112368108A (zh) * | 2019-05-29 | 2021-02-12 | 古河电气工业株式会社 | 玻璃加工用胶带 |
WO2020240962A1 (ja) * | 2019-05-29 | 2020-12-03 | 古河電気工業株式会社 | ガラス加工用テープ |
WO2020240964A1 (ja) * | 2019-05-29 | 2020-12-03 | 古河電気工業株式会社 | ガラス加工用テープ |
JP2020194904A (ja) * | 2019-05-29 | 2020-12-03 | 古河電気工業株式会社 | ガラス加工用テープ |
JP2020194906A (ja) * | 2019-05-29 | 2020-12-03 | 古河電気工業株式会社 | ガラス加工用テープ |
KR20210015891A (ko) * | 2019-05-29 | 2021-02-10 | 후루카와 덴키 고교 가부시키가이샤 | 유리 가공용 테이프 |
CN112368107A (zh) * | 2019-05-29 | 2021-02-12 | 古河电气工业株式会社 | 玻璃加工用胶带 |
CN112368106A (zh) * | 2019-05-29 | 2021-02-12 | 古河电气工业株式会社 | 玻璃加工用胶带 |
WO2020240965A1 (ja) * | 2019-05-29 | 2020-12-03 | 古河電気工業株式会社 | ガラス加工用テープ |
JP7269095B2 (ja) | 2019-05-29 | 2023-05-08 | 古河電気工業株式会社 | ガラス加工用テープ |
JP7060548B2 (ja) | 2019-05-29 | 2022-04-26 | 古河電気工業株式会社 | ガラス加工用テープ |
JP7060547B2 (ja) | 2019-05-29 | 2022-04-26 | 古河電気工業株式会社 | ガラス加工用テープ |
WO2020240963A1 (ja) * | 2019-05-29 | 2020-12-03 | 古河電気工業株式会社 | ガラス加工用テープ |
JP2020194905A (ja) * | 2019-05-29 | 2020-12-03 | 古河電気工業株式会社 | ガラス加工用テープ |
KR102505643B1 (ko) | 2019-05-29 | 2023-03-06 | 후루카와 덴키 고교 가부시키가이샤 | 유리 가공용 테이프 |
JP7269096B2 (ja) | 2019-05-29 | 2023-05-08 | 古河電気工業株式会社 | ガラス加工用テープ |
JP2021019150A (ja) * | 2019-07-23 | 2021-02-15 | ロンシール工業株式会社 | 粘着テープ基材用フィルム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5290853B2 (ja) | 2013-09-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5290853B2 (ja) | ダイシング用粘着シート | |
TWI409314B (zh) | 處理用之感壓黏著片 | |
CN107057594B (zh) | 激光切割用膜基材、激光切割用膜以及电子部件的制造方法 | |
JP5596129B2 (ja) | ダイシングシート用基材フィルムおよびダイシングシート | |
EP1860168A2 (en) | Pressure-sensitive adhesive sheet | |
JP4891659B2 (ja) | ダイシング用粘着シート | |
JP2005136298A (ja) | 粘着テープ | |
KR20150099769A (ko) | 다이싱 시트용 기재 필름 및 다이싱 시트 | |
JP5414085B1 (ja) | ダイシングシート用基材フィルムおよび当該基材フィルムを備えるダイシングシート | |
KR20190107563A (ko) | 감온성 점착 시트 및 적층체 | |
JP2012188597A (ja) | フィルム、前記フィルムの製造方法及びそれを用いたダイシング方法 | |
JP2004228420A (ja) | 半導体ウェハー固定用粘着テープ | |
JP4286043B2 (ja) | ウエハダイシング用粘着テープ | |
KR102106923B1 (ko) | 반도체 가공시트 및 반도체 장치의 제조방법 | |
JP2006193690A (ja) | 表面保護テープ、およびその製造方法 | |
JP2011061189A (ja) | ダイシング用基材シート及びダイシング用粘着テープ | |
JP2005033000A (ja) | ウエハバックグラインド用粘着テープ | |
JP5253322B2 (ja) | 半導体製造工程粘着テープ用フィルム | |
JP5519189B2 (ja) | 電子部品のダイシング用粘着シート | |
JP5207660B2 (ja) | ダイシング用基体フイルム及びダイシングフイルム | |
TW202239850A (zh) | 晶圓切割膠帶及晶圓切割黏晶膜 | |
KR20170132088A (ko) | 다이싱 테이프 | |
JP6980684B2 (ja) | ダイシングシート | |
JP2006036834A (ja) | 半導体ウエハ加工用粘着テープ | |
JP7427530B2 (ja) | ダイシングテープ用の基材フィルムおよびダイシングテープ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20111228 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130508 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130606 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5290853 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |