JP2021019150A - 粘着テープ基材用フィルム - Google Patents

Abstract

【課題】紫外線透過性に優れる粘着テープ用透明基材フィルムを提供する。【解決手段】紫外線硬化型粘着テープ基材用フィルムは、熱可塑性樹脂組成物からなり、波長３６５ｎｍにおける紫外線透過率が８０％以上であり、透明である。また、内部ヘーズを１．０以下とする。【効果】紫外線照射後の粘着テープの粘着力を充分に低下させ、粘着テープの剥離を容易とし、被着体に粘着剤が残るのを低減する基材用フィルムを得ることが出来る。【選択図】なし

Description

本発明は粘着テープ、例えば半導体デバイスを製造するにあたり半導体ウエハを半導体チップへと分割するダイシング工程において用いられるダイシングテープの基材フィルムに関する。

粘着テープの要求性能として、貼付け時には強力に粘着し、剥離時には小さい力で剥離することが求められる場合がある。この様な例として、半導体デバイスを製造するにあたり、半導体ウエハを半導体チップへと分割するダイシング工程において用いられるダイシングテープなどが挙げられる。

特許文献１には、基材フィルム上に紫外線硬化型の粘着剤層を有するダイシングテープであって、粘着剤層が、紫外線硬化型樹脂組成物とポリチオールとを含むことを特徴とするダイシングテープが開示されている。

特許文献２には、透明フィルム基材の片面に活性エネルギー線の照射により硬化する粘着剤層を有するダイシングテープが開示されている。

特許第５５０３３５７号公報 特許第６３０３２８１号公報

しかし、従来のダイシングテープ用基材フィルムでは、基材用フィルムの紫外線透過性が充分でない場合がある。このように基材フィルムの紫外線の透過が阻害されると粘着剤の硬化が不十分となり、粘着テープが被着体から剥離しにくくなり、また剥離後の被着体に粘着剤が残る糊残りが発生するとの問題があった。
そこで、本発明は上記の課題を解決したものであって、紫外線透過性に優れる粘着テープ基材用フィルムを提供することを目的とする。

前述の課題を解決するために本発明が用いた手段は、熱可塑性樹脂組成物からなり、波長３６５ｎｍにおける紫外線透過率が８０％以上であり、透明である紫外線硬化型粘着テープ基材用フィルムとする。また、内部ヘーズを１．０以下とすることが好ましく、熱可塑性樹脂をポリ塩化ビニル系樹脂とすることができる。また、熱可塑性樹脂組成物中にβ−ジケトンを含まない紫外線硬化型粘着テープ基材用フィルムとしても良いし、熱可塑性樹脂組成物中にβ−ジケトンを含み、β−ジケトンが、１分子中にフェニル基を含まないまたは１つのフェニル基を有する紫外線硬化型粘着テープ基材用フィルムとしても良い。さらに、熱可塑性樹脂組成物を構成する熱可塑性樹脂１００重量部に対し、１分子中に２つ以上のフェニル基を有する前記β−ジケトンが０重量部を超えて１×１０^−４重量部以下含有されている紫外線硬化型粘着テープ基材用フィルムとすることができる。

本発明によれば、紫外線透過性に優れる粘着テープ基材用フィルムを提供することがでいる。

以下、本発明について詳述する。
本発明における粘着テープ基材用フィルムに使用される熱可塑性樹脂は、一般的に使用されるものなら何でも良く、具体的には、ポリ塩化ビニル系樹脂、アクリル系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、ポリエチレン系樹脂、ポリ（１−）ブテン系樹脂、ポリペンテン系樹脂等のポリオレフィン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリスチレン系樹脂、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン（ＡＢＳ）系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリフェニレンエーテル系樹脂、ポリアミド系樹脂、フェノール系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリイソブチレン等の合成樹脂類が挙げられる。

特に、加工性やコストの観点から、ポリ塩化ビニル系樹脂を用いることが好ましい。また、コストや寸法安定性に優れるとの点からはポリオレフィン系樹脂が好ましく、透明性に優れるとの点ではポリエステル系樹脂やアクリル系樹脂を用いることが好ましい。

粘着テープ基材用フィルムの紫外線透過性は、紫外線照射に使用されるランプの主波長が３６５ｎｍ付近であることが多く、また光開始剤は３６５ｎｍを中心として吸収を持つ化合物が多用されるため、３６５ｎｍ付近での紫外線透過率が高いことが好ましい。より具体的に、３６５ｎｍにおける紫外線透過率は８０％以上が好ましく、８３％以上がより好ましく、８５％以上が更に好ましい。紫外線透過率が８０％以上となることで、粘着テープ基材用フィルムに紫外線が照射された際により効率的に紫外線が粘着剤に照射される。これにより、紫外線照射後の粘着テープの粘着力を充分に低下させ、粘着テープの剥離を容易とし、被着体に粘着剤が残るのを低減する基材用フィルムを得ることが出来る。

粘着テープを透明とすることで、粘着テープを被着体に貼り付けても、粘着テープ面から見た被着体の視認性を向上させられる等の効果が得られる。透明性が低下すると紫外線の透過率も低下する場合があり、その点からも透明とすることが好ましい。

ここで透明とは可視光が透過する状態であり、基材用フィルムが着色されると可視光の透過率が低下する。また、透明性としてはヘーズを測定することで評価することができる。ヘーズ（曇り度）はヘーズメーターで測定でき、全光線透過率に対する拡散透過率の比として定義される。

内部ヘーズは、前記粘着テープ基材用フィルムのヘーズを構成する光の散乱要因のうち、表面の散乱要因に起因するヘーズを除外した、粘着テープ基材用フィルム内部の散乱要因のみによるヘーズを意味する。粘着テープ基の紫外線透過性や粘着テープ面から見た被着体の視認性から、内部ヘーズが低いことが好ましい。より具体的に、内部ヘーズは１.０％以下が好ましく、０.７％以下がより好ましく、０.５％以下が更に好ましい。内部ヘーズは１.０％以下となることで、粘着テープ基材用フィルムに紫外線が照射された際により効率的に紫外線が粘着剤に照射され、効率的に粘着力を低減させることができる。また、粘着テープを被着体に貼り付けても、粘着テープ面から見た被着体の視認性を向上させられる等の効果が得られる。

熱可塑性樹脂としてポリ塩化ビニル系樹脂を用いる実施形態について説明する。本実施形態において、熱可塑性樹脂組成物は、少なくともポリ塩化ビニル系樹脂と可塑剤と安定剤が含有されている。ポリ塩化ビニル系樹脂としては、ポリ塩化ビニルやエチレン‐塩化ビニル、プロピレン‐塩化ビニル共重合体、塩化ビニル‐酢酸ビニル共重合体、塩化ビニル‐塩化ビニリデン共重合体などを用いことができる。

ポリ塩化ビニル系樹脂の平均重合度としては、実質的に成型加工が可能であれば、特に制限されるものではないが、平均重合度５００〜２０００の範囲が好ましく、平均重合度７００〜１３００の範囲がさらに好ましい。平均重合度５００未満では溶融時の粘度が低いため加工し難く、平均重合度２０００を超える場合は溶融時の粘度が高いため加工し難くなる可能性がある。

可塑剤はポリ塩化ビニル系樹脂の柔軟化や加工性の向上等を目的として添加されるものであって、ＤＯＰ（ジ‐２‐エチルヘキシルフタレート）、ＤＩＮＰ（ジイソノニルフタレート）、ＤＩＤＰ（ジイソデシルフタレート）、ＤＯＴＰ（ジオクチルテレフタレート）等のフタル酸系可塑剤、二塩基酸とグリコールの重縮合を基本構造とし、その両末端を一塩基酸または一価アルコールにより停止することにより分子量を８００〜８０００としたポリエステル系可塑剤、ＤＯＡ（ジ‐２‐エチルヘキシルアジペート）、ＤＩＤＡ（ジイソデシルアジペート）などのアジピン酸エステル系可塑剤、ＤＯＳ（ジ‐２‐エチルヘキシルセバケート）などのセバシン酸エステル系可塑剤、ＤＯＺ（ジ‐２‐エチルヘキシルアゼレート）などのアゼライン酸エステル系可塑剤といった脂肪族二塩基酸エステル系可塑剤、リン酸トリクレジル、リン酸トリキシレニル、リン酸クレジルジフェニル、リン酸トリス(イソプロピル化フェニル)、リン酸トリス(ジクロロプロピル)等などのリン酸エステル系可塑剤、スルホン酸エステル系可塑剤を用いることができる。

可塑剤の添加量はポリ塩化ビニル系樹脂１００重量部に対して５〜５０重量部が好ましい。可塑剤の添加量が５０重量部を超えるとポリ塩化ビニル系樹脂フィルムからの可塑剤のブリードやブロッキング等が起こる場合がある。１０重量部より少ないと加工が困難になる可能性がある。可塑剤の添加量は１０〜４０重量部がより好ましく、適度な柔軟性と延伸性を有するとともにべた付きや加工中でのプレートアウトがないとの点で優れる。

ここで、基材用フィルムに粘着剤を塗布し粘着テープとした際に可塑剤が粘着テープに移行しにくいとの点からポリエステル系可塑剤、特にアジピン酸系ポリエステル可塑剤が好適に用いられる。アジピン酸系ポリエステル可塑剤はアジピン酸あるいはアジピン酸誘導体とアルコールからなるポリエステルで、例えばポリエチレンアジペート、ポリアジピン酸ジオクチル、ポリアジピン酸ジイソオクチル、ポリアジピン酸ジイソデシル等が挙げられる。
また粘度として１００ｍＰａ・ｓ／２５℃〜５０００ｍＰａ・ｓ／２５℃程度であるアジピン酸系ポリエステル可塑剤を用いることができる。粘度において、好ましくは１００ｍＰａ・ｓ／２５℃〜３０００ｍＰａ・ｓ／２５℃、より好ましくは１２０ｍＰａ・ｓ／２５℃〜２５００ｍＰａ・ｓ／２５℃、さらに好ましくは１５０ｍＰａ・ｓ／２５℃〜２０００ｍＰａ・ｓ／２５℃である。アジピン酸系ポリエステル可塑剤の粘度が概ね５０００ｍＰａ・ｓ／２５℃を超えると流動性が低く、加工時に取り扱いにくくなる。粘度が３０００ｍＰａ・ｓ／２５℃以下であれば流動性も向上し取り扱いやすくなり、２０００ｍＰａ・ｓ／２５℃以下であればＤＯＰ等のフタル酸系可塑剤と同様な取り扱いができるために好ましい。

安定剤としてバリウム（Ｂａ）系、カルシウム（Ｃａ）系、亜鉛（Ｚｎ）系安定剤を用いることができ、これらを複合したＢａ／Ｚｎ系複合安定剤やＣａ／Ｚｎ系複合安定剤を用いることができる。より具体的には、ステアリン酸バリウム、ステアリン酸カルシウム、ステアリン酸亜鉛等のＢａ系金属石鹸、Ｃａ系金属石鹸、Ｚｎ系金属石鹸が好適に用いられる。さらに、スズ系安定剤やホスファイト、エポキシ化大豆油、ハイドロタルサイトを用いても良い。

ポリ塩化ビニル系樹脂を用いる本実施形態においてβ−ジケトンは主に熱安定剤として添加される。特に加工中の着色を防止する効果に優れる。β−ジケトンは具体例としては、β−ジケトン１分子中にフェニル基を含まないアセチルアセトン、ジピバロイルメタン、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、アセト酢酸−ｎ−プロピル、アセト酢酸イソプロピル、ヘキサフルオロアセチルアセトン、２−テノイルトリフルオロアセトン、２，４−ヘキサンジオン、３，５―ヘプタンジオン、２−メチルヘキサン−３，５−ジオン、６−メチルヘプタン−２，４−ジオン、２，６−ジメチルヘプタン−３，５−ジオン等、１分子中にフェニル基を１つ含むベンゾイルアセトン、ベンゾイルトリフルオロアセトン等、１分子中にフェニル基を２つ含むジベンゾイルメタン、アボベンゾン、ジベンゾイルジブロモメタン、１, ３−ビス(４−メトキシフェニル)−１, ３−プロパンジオン、１−(４−ｔeｒｔ−ブチルフェニル)−３−(４−メトキシフェニル) −１, ３−プロパンジオン等を用いることができる。

一方、β−ジケトンは紫外線を吸収する場合があるため、ポリ塩化ビニル系樹脂を用いる場合においてβ−ジケトンを用いなくても所望の熱安定性を有していれば、β−ジケトンを熱可塑性樹脂組成物中に含まないことが好ましい。また、紫外線の吸収が少ないため、１分子中にフェニル基を含まないまたは１分子中にフェニル基を１つ含むβ−ジケトンは好適に用いることができる。
他方、１分子中にフェニル基を２つ以上含むβ−ジケトンは紫外線の吸収が大きいため、ポリ塩化ビニル系樹脂１００重量部に対し、１分子中にフェニル基を２つ以上含むβ−ジケトンの添加量を１×１０^−４重量部以下とすることが好ましい。添加量が１×１０^−４重量部を超えると、粘着テープ基材用フィルムの紫外線透過性が充分でなくなる場合がある。また、紫外線が充分に透過されずに粘着剤の硬化が不十分となり、粘着テープが被着体から剥離しにくくなる、剥離後に糊残りが発生するといった問題が発生する場合がある。

また、必要に応じて、充填剤、帯電防止剤、難燃剤、増粘剤、界面活性剤、蛍光剤、架橋剤、衝撃改良剤など、一般的に樹脂に添加される他の配合剤を添加してもよい。

粘着テープ基材用フィルムの厚みは、用途にもよるが１０〜１０００μｍ程度とすることができる。好ましくは２０〜５００μｍであり、４０〜３００μｍがより好ましく、５０〜２００μｍがさらに好ましい。

粘着テープ基材用フィルムを製造する際の混合工程には、通常、熱可塑性樹脂において用いられている公知の装置を利用することができる。例えば、熱可塑性樹脂に安定剤等を添加した熱可塑性樹脂組成物を高速攪拌機、低速攪拌機、ヘンシェルミキサーなどで均一に混合し、バッチ式混練ミキサー、バンバリーミキサー、コニーダ、押出機などで溶融混合し、直ちに成型してもよい。また、溶融混合した後、一旦ペレット化し、その後成型してもよい。

粘着テープ基材用フィルムを製造する際の溶融賦形する工程はシート成形法を用いることができる。シート成形法として、得られたシートの厚み精度の点から、カレンダー成形法またはロール成形法が好ましく、さらにスピードの点からカレンダー成形法が好ましい。その他にも一般的なシート成形法により成形することができる。例えば押出成形法、プレス成形法、ブロー成形法などが挙げられる。

以下、実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。

実施例および比較例に使用した各配合剤は以下の通りである。
ポリ塩化ビニル系樹脂Ａ−１：ポリ塩化ビニル樹脂平均重合度１０００
アクリル系樹脂Ｂ−１：パラペットＳＡ−ＦＷ００１（クラレ社製）
アクリル系樹脂Ｂ−２：パラペットＧＲ−Ｆ（クラレ社製）
可塑剤Ｃ：アジピン酸系ポリエステル系可塑剤（粘度：１５０mPa・s／２５℃）
安定剤Ｄ−１：金属石鹸系複合安定剤
酸化防止剤Ｅ−１：フェノール系酸化防止剤
顔料Ｆ−１：フタロシアニン系青色顔料
顔料Ｆ−２：ウルトラマリン系青色顔料
β−ジケトンＧ−１：アセチルアセトン（１分子中のフェニル基が０）
β−ジケトンＧ−２：ジピバロイルメタン（１分子中のフェニル基が０）
β−ジケトンＧ−３：ベンゾイルアセトン（１分子中のフェニル基が１つ）
β−ジケトンＧ−４：ジベンゾイルメタン（１分子中のフェニル基が２つ）
β−ジケトンＧ−５：アボベンゾン（１分子中のフェニル基が２つ）

「実施例１」
表１の実施例１に示した配合欄の記載した配合剤を用いて、表中の成型条件により粘着テープ基材用フィルムを成型し、表中に示した評価項目について以下の方法により評価を行った。
他の実施例、比較例も実施例１と同様に表１〜表３に従って成型し評価を行った。

表１〜表３に示した成型方法は以下の方法で行った。
＜成型条件１＞
配合剤を攪拌して混合した後、１８０℃に設定した二本ロールにて、所定の厚さのフィルム成型した。
＜成型条件２＞
配合剤をヘンシェルミキサーにて混合した後、バンバリーミキサーにて混練し、カレンダー成形機を用いて所定の厚さのフィルムを成型した。

実施例及び比較例の評価は以下の方法で行った。

＜紫外線透過率の測定方法＞
紫外線透過率の評価は以下の方法で行った。
実施例、比較例のフィルムをジャスコエンジニアリング社製紫外可視分光光度計（型番：Ｖ−７７０）を用い、波長範囲２００ｎｍ〜１２００ｎｍ、試験速度２５００ｎｍ/ｍiｎ、データ間隔５ｎｍにて紫外線透過率測定を行った。

日本電色工業製ヘーズメーター（型番：ＮＤＨ−２）を用いて、以下のような操作により内部ヘーズの測定を行った。
［１］空のガラスセル（横４０ｍｍ×縦１４ｍｍ×高さ５４．５ｍｍ）を用いて標準合わせを行う。
［２］ 流動パラフィンをガラスセルの標線まで入れ、このガラスセルのヘーズを測定する。
［３］測定値（ヘーズ）が０．５以下であることを確認し、再度、標準合わせを行う。
［４］なお、流動パラフィンを入れたガラスセルのヘーズが０．５以上の場合はガラスセルを溶剤等で洗浄し［２］、［３］の操作を繰り返す。
［５］実施例、比較例のフィルム３０ｍｍ×６５ｍｍに切り出し、切り出したフィルムを流動パラフィンの入ったガラスセルの横面（４０ｍｍ×１４ｍｍ）に沿って気泡が入らないように入れる。このとき、ガラスセルの４０ｍｍの辺に切り出したフィルムの３０ｍｍの辺を合わせる。
［６］フィルムを入れたガラスセルのヘーズを測定し、その測定値を内部ヘーズとする。
［７］複数のサンプルを測定する際には、フィルムの測定の前に流動パラフィンを入れたガラスセルのヘーズを測定し、測定値が０．１以下であることを確認する。その後、［５］、［６］の操作により内部ヘーズを測定する。

＜色調＞
実施例または比較例の成型後のフィルムを目視で確認し、色が透明か否かを確認した。

＜総合評価＞
紫外線透過率、内部ヘーズ、色調を総合的に評価し、○は紫外線透過率、内部ヘーズ、色調に優れ、×は紫外線透過率、内部ヘーズ、色調のいずれかで大きく劣る部分があり不可と判断する。

β−ジケトンを含まない、またはβ−ジケトンとしてＧ−１（１分子中のフェニル基が０）、Ｇ−２（１分子中のフェニル基が０）、Ｇ−３（１分子中のフェニル基が１つ）を０．１重量部用いた場合（実施例１〜４、実施例６〜７）、比較例５および比較例６に示すβ−ジケトンとしてＧ−４（１分子中のフェニル基が２つ）、Ｇ−５（１分子中のフェニル基が２つ）を０．１重量部用いた場合よりも紫外線透過率が高く優れていた。

β−ジケトンとしてＧ−５（１分子中のフェニル基が２つ）を１×１０^−４重量部用いた場合（実施例５）、比較例６に示すβ−ジケトンとしてＧ−５（１分子中のフェニル基が２つ）を０．１重量部用いた場合よりも紫外線透過率が高く優れていた。

顔料を含まない場合（実施例１〜７）、比較例１〜４に示す顔料としてＦ−１およびＦ−２を用いた場合よりも紫外線透過率、内部ヘーズ、色調で優れていた。

Claims (6)

1. 熱可塑性樹脂組成物からなり、波長３６５ｎｍにおける紫外線透過率が８０％以上であり、透明である紫外線硬化型粘着テープ基材用フィルム。
2. 内部ヘーズが１．０以下である請求項１に記載の紫外線硬化型粘着テープ基材用フィルム。
3. 前記熱可塑性樹脂がポリ塩化ビニル系樹脂である請求項１または請求項２に記載の紫外線硬化型粘着テープ基材用フィルム。
4. 前記熱可塑性樹脂組成物中にβ−ジケトンを含まないことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の紫外線硬化型粘着テープ基材用フィルム。
5. 前記熱可塑性樹脂組成物中に前記β−ジケトンを含み、前記β−ジケトンが、１分子中にフェニル基を含まないまたは１つのフェニル基を有する請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の紫外線硬化型粘着テープ基材用フィルム。
6. 前記熱可塑性樹脂組成物を構成する熱可塑性樹脂１００重量部に対し、１分子中に２つ以上のフェニル基を有する前記β−ジケトンが０重量部を超えて１×１０^−４重量部以下含有されている請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の紫外線硬化型粘着テープ基材用フィルム。