JP2010256275A - 形状検査装置および形状検査プログラム - Google Patents
形状検査装置および形状検査プログラム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010256275A JP2010256275A JP2009109109A JP2009109109A JP2010256275A JP 2010256275 A JP2010256275 A JP 2010256275A JP 2009109109 A JP2009109109 A JP 2009109109A JP 2009109109 A JP2009109109 A JP 2009109109A JP 2010256275 A JP2010256275 A JP 2010256275A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light source
- light
- inclination
- plane
- viewpoint
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】形状検査装置100の位置制御部122は、光源を移動させることにより、検査対象となるSIPのピンから光源に向かう方向である光源方向を変化させる。位置特定部124は、ピンから反射される光の方向(反射方向)と、ピンから視点に向かう方向(視点方向)が一致するときの光源の位置を特定する。このとき、光源の移動速度と光源の移動時間に基づいて光源の位置を計算する。平面傾斜算出部130は反射方向と視点方向が一致するときの視点方向と光源方向に基づいて、ピンの傾きを算出する。
【選択図】図5
Description
110 UI部
112 撮像部
114 警告部
120 データ処理部
122 位置制御部
124 位置特定部
126 反射強度計測部
128 傾斜算出部
130 平面傾斜算出部
132 曲面傾斜算出部
134 異常判定部
136 高度算出部
140 データ保持部
142 画像保持部
144 反射強度情報保持部
200 検査対象面
202 傾斜基準面
204 SIP
206 ピン
220 光源
222 カメラ
230 BGA
232 はんだボール
234 はんだボール設置面
Claims (7)
- 外形に平面部を有する検査対象物体、前記平面部に光を照射する光源、前記平面部からの反射光を撮像するカメラのうち一以上の位置を変化させることにより、前記平面部から前記光源に向かう光源方向と前記平面部から前記カメラに向かう視点方向の双方または一方を変化させる位置制御部と、
前記光源方向および前記視点方向の双方または一方の変化速度と変化時間に基づいて、前記光源方向および前記視点方向を特定する位置特定部と、
前記平面部から前記視点方向に光が反射されるときの前記光源方向および前記視点方向に基づいて、前記平面部の傾きを算出する傾斜算出部と、
を備えることを特徴とする形状検査装置。 - 前記カメラの位置における前記反射光の強度を計測する反射強度計測部、を更に備え、
前記傾斜算出部は、前記反射光の強度が最大となるときの前記光源方向および前記視点方向の中心方向を前記平面部の法線ベクトルとして、前記平面部の傾きを算出することを特徴とする請求項1に記載の形状検査装置。 - 前記検査対象物体は、複数の平面部を有し、
前記傾斜算出部は、各平面部から前記視点方向に光が反射されるときの前記光源方向および前記視点方向に基づいて、前記複数の平面部それぞれの傾きを算出することを特徴とする請求項1または2に記載の形状検査装置。 - いずれかの平面部について、所定の基準値から所定量以上乖離する傾きが検出されたときに警告を発生させる警告部、を更に備えることを特徴とする請求項3に記載の形状検査装置。
- 前記警告部は、前記複数の平面部の傾きの平均値を前記基準値とすることを特徴とする請求項4に記載の形状検査装置。
- 前記検査対象物体はピン挿入型のIC(Integrated Circuit)であって、前記平面部はピンであることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の形状検査装置。
- 外形に平面部を有する検査対象物体、前記平面部に光を照射する光源、前記平面部からの反射光を撮像するカメラのうち一以上の位置を変化させることにより、前記平面部から前記光源に向かう光源方向と前記平面部から前記カメラに向かう視点方向の双方または一方を変化させる機能と、
前記光源方向および前記視点方向の双方または一方の変化速度と変化時間に基づいて、前記光源方向および前記視点方向を特定する機能と、
前記平面部から前記視点方向に光が反射されるときの前記光源方向および前記視点方向に基づいて、前記平面部の傾きを算出する機能と、
をコンピュータに発揮させることを特徴とする形状検査プログラム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009109109A JP5108827B2 (ja) | 2009-04-28 | 2009-04-28 | 形状検査装置および形状検査プログラム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009109109A JP5108827B2 (ja) | 2009-04-28 | 2009-04-28 | 形状検査装置および形状検査プログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010256275A true JP2010256275A (ja) | 2010-11-11 |
JP5108827B2 JP5108827B2 (ja) | 2012-12-26 |
Family
ID=43317344
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009109109A Active JP5108827B2 (ja) | 2009-04-28 | 2009-04-28 | 形状検査装置および形状検査プログラム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5108827B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011203241A (ja) * | 2010-03-25 | 2011-10-13 | Mitsubishi Electric Research Laboratories Inc | 低密度の反射対応から鏡面物体の表面を再構築するための方法 |
JP2013054011A (ja) * | 2011-09-06 | 2013-03-21 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 面法線計測装置、面法線計測システム及び面法線計測プログラム |
JP2013113793A (ja) * | 2011-11-30 | 2013-06-10 | Panasonic Corp | 3次元計測装置およびそれに用いられる照明装置 |
Citations (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6222009A (ja) * | 1985-07-23 | 1987-01-30 | Sony Corp | 三次元物体認識方法 |
JPS62127617A (ja) * | 1985-11-29 | 1987-06-09 | Fujitsu Ltd | 線状物体検査装置 |
JPH0278937A (ja) * | 1988-09-14 | 1990-03-19 | Omron Tateisi Electron Co | 基板検査装置における表示方法および表示装置 |
JPH04237114A (ja) * | 1991-01-21 | 1992-08-25 | Soltec:Kk | アライメント光透過率制御方法及びその装置 |
JPH04237145A (ja) * | 1991-01-22 | 1992-08-25 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 部品検査装置 |
JPH061173B2 (ja) * | 1988-05-09 | 1994-01-05 | オムロン株式会社 | 曲面性状検査装置 |
JPH06258041A (ja) * | 1993-03-04 | 1994-09-16 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体パッケージのリード検査方法及びその検査装置 |
JPH07306023A (ja) * | 1994-05-10 | 1995-11-21 | Shigeki Kobayashi | 形状計測装置、検査装置及び製品製造方法 |
JPH08136252A (ja) * | 1994-11-14 | 1996-05-31 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 面方向検出装置 |
JPH09145633A (ja) * | 1995-11-24 | 1997-06-06 | Omron Corp | パラメータの設定支援方法、ならびにその方法を用いたパラメータ設定方法およびその装置、ならびにこのパラメータ設定装置を用いた実装部品検査装置 |
JPH09210653A (ja) * | 1996-01-31 | 1997-08-12 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 面方向検出装置 |
JPH09218935A (ja) * | 1996-02-08 | 1997-08-19 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 画像による外観検査方法 |
JPH09297011A (ja) * | 1996-05-08 | 1997-11-18 | Hitachi Ltd | 物体表面の形状検出方法および形状検出装置 |
JPH10132524A (ja) * | 1996-11-01 | 1998-05-22 | Fujitsu Ten Ltd | 基板検査装置 |
JP2000304520A (ja) * | 1999-04-23 | 2000-11-02 | Matsushita Electric Works Ltd | はんだフィレットの形状計測装置および形状計測方法 |
JP2000329519A (ja) * | 1999-05-18 | 2000-11-30 | Nkk Corp | コイル位置検出装置 |
JP2001124515A (ja) * | 1999-10-28 | 2001-05-11 | Pentel Corp | 光学式位置座標指示装置 |
JP2002174595A (ja) * | 2000-12-07 | 2002-06-21 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 表面種別識別方法および装置 |
JP2003202216A (ja) * | 2002-01-08 | 2003-07-18 | Canon Inc | 三次元画像処理方法、三次元画像処理装置、三次元画像処理システムおよび三次元画像処理プログラム |
JP2003227801A (ja) * | 2001-11-26 | 2003-08-15 | Omron Corp | 曲面性状検査方法およびこの方法を用いた基板検査装置 |
JP2003270173A (ja) * | 2002-01-10 | 2003-09-25 | Omron Corp | 表面状態検査方法および基板検査装置 |
WO2004013572A1 (ja) * | 2002-08-01 | 2004-02-12 | Asahi Glass Company, Limited | 湾曲形状検査方法および装置 |
JP2004085204A (ja) * | 2002-08-22 | 2004-03-18 | Kurabo Ind Ltd | 座屈検査装置及び方法 |
JP2004239810A (ja) * | 2003-02-07 | 2004-08-26 | Mitsubishi Electric Corp | 形状検査方法および形状検査装置 |
JP2004279187A (ja) * | 2003-03-14 | 2004-10-07 | Mitsubishi Electric Corp | 形状計測方法 |
JP2006030204A (ja) * | 2004-07-15 | 2006-02-02 | Byk Gardner Gmbh | 光表面特性の測角検査装置 |
JP2006047290A (ja) * | 2004-06-30 | 2006-02-16 | Omron Corp | 基板検査用の画像生成方法、基板検査装置、および基板検査用の照明装置 |
JP2007226334A (ja) * | 2006-02-21 | 2007-09-06 | Omron Corp | カラー画像の処理方法およびカラー画像処理装置 |
JP2008507682A (ja) * | 2004-07-23 | 2008-03-13 | 3シェイプ・アクティーゼルスカブ | 適応三次元走査 |
JP2009042089A (ja) * | 2007-08-09 | 2009-02-26 | Omron Corp | 基板外観検査装置 |
JP2011237369A (ja) * | 2010-05-13 | 2011-11-24 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 表面状態分類装置、表面状態分類方法及び表面状態分類プログラム |
-
2009
- 2009-04-28 JP JP2009109109A patent/JP5108827B2/ja active Active
Patent Citations (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6222009A (ja) * | 1985-07-23 | 1987-01-30 | Sony Corp | 三次元物体認識方法 |
JPS62127617A (ja) * | 1985-11-29 | 1987-06-09 | Fujitsu Ltd | 線状物体検査装置 |
JPH061173B2 (ja) * | 1988-05-09 | 1994-01-05 | オムロン株式会社 | 曲面性状検査装置 |
JPH0278937A (ja) * | 1988-09-14 | 1990-03-19 | Omron Tateisi Electron Co | 基板検査装置における表示方法および表示装置 |
JPH04237114A (ja) * | 1991-01-21 | 1992-08-25 | Soltec:Kk | アライメント光透過率制御方法及びその装置 |
JPH04237145A (ja) * | 1991-01-22 | 1992-08-25 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 部品検査装置 |
JPH06258041A (ja) * | 1993-03-04 | 1994-09-16 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体パッケージのリード検査方法及びその検査装置 |
JPH07306023A (ja) * | 1994-05-10 | 1995-11-21 | Shigeki Kobayashi | 形状計測装置、検査装置及び製品製造方法 |
JPH08136252A (ja) * | 1994-11-14 | 1996-05-31 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 面方向検出装置 |
JPH09145633A (ja) * | 1995-11-24 | 1997-06-06 | Omron Corp | パラメータの設定支援方法、ならびにその方法を用いたパラメータ設定方法およびその装置、ならびにこのパラメータ設定装置を用いた実装部品検査装置 |
JPH09210653A (ja) * | 1996-01-31 | 1997-08-12 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 面方向検出装置 |
JPH09218935A (ja) * | 1996-02-08 | 1997-08-19 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 画像による外観検査方法 |
JPH09297011A (ja) * | 1996-05-08 | 1997-11-18 | Hitachi Ltd | 物体表面の形状検出方法および形状検出装置 |
JPH10132524A (ja) * | 1996-11-01 | 1998-05-22 | Fujitsu Ten Ltd | 基板検査装置 |
JP2000304520A (ja) * | 1999-04-23 | 2000-11-02 | Matsushita Electric Works Ltd | はんだフィレットの形状計測装置および形状計測方法 |
JP2000329519A (ja) * | 1999-05-18 | 2000-11-30 | Nkk Corp | コイル位置検出装置 |
JP2001124515A (ja) * | 1999-10-28 | 2001-05-11 | Pentel Corp | 光学式位置座標指示装置 |
JP2002174595A (ja) * | 2000-12-07 | 2002-06-21 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 表面種別識別方法および装置 |
JP2003227801A (ja) * | 2001-11-26 | 2003-08-15 | Omron Corp | 曲面性状検査方法およびこの方法を用いた基板検査装置 |
JP2003202216A (ja) * | 2002-01-08 | 2003-07-18 | Canon Inc | 三次元画像処理方法、三次元画像処理装置、三次元画像処理システムおよび三次元画像処理プログラム |
JP2003270173A (ja) * | 2002-01-10 | 2003-09-25 | Omron Corp | 表面状態検査方法および基板検査装置 |
WO2004013572A1 (ja) * | 2002-08-01 | 2004-02-12 | Asahi Glass Company, Limited | 湾曲形状検査方法および装置 |
JP2004085204A (ja) * | 2002-08-22 | 2004-03-18 | Kurabo Ind Ltd | 座屈検査装置及び方法 |
JP2004239810A (ja) * | 2003-02-07 | 2004-08-26 | Mitsubishi Electric Corp | 形状検査方法および形状検査装置 |
JP2004279187A (ja) * | 2003-03-14 | 2004-10-07 | Mitsubishi Electric Corp | 形状計測方法 |
JP2006047290A (ja) * | 2004-06-30 | 2006-02-16 | Omron Corp | 基板検査用の画像生成方法、基板検査装置、および基板検査用の照明装置 |
JP2006030204A (ja) * | 2004-07-15 | 2006-02-02 | Byk Gardner Gmbh | 光表面特性の測角検査装置 |
JP2008507682A (ja) * | 2004-07-23 | 2008-03-13 | 3シェイプ・アクティーゼルスカブ | 適応三次元走査 |
JP2007226334A (ja) * | 2006-02-21 | 2007-09-06 | Omron Corp | カラー画像の処理方法およびカラー画像処理装置 |
JP2009042089A (ja) * | 2007-08-09 | 2009-02-26 | Omron Corp | 基板外観検査装置 |
JP2011237369A (ja) * | 2010-05-13 | 2011-11-24 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 表面状態分類装置、表面状態分類方法及び表面状態分類プログラム |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011203241A (ja) * | 2010-03-25 | 2011-10-13 | Mitsubishi Electric Research Laboratories Inc | 低密度の反射対応から鏡面物体の表面を再構築するための方法 |
JP2013054011A (ja) * | 2011-09-06 | 2013-03-21 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 面法線計測装置、面法線計測システム及び面法線計測プログラム |
JP2013113793A (ja) * | 2011-11-30 | 2013-06-10 | Panasonic Corp | 3次元計測装置およびそれに用いられる照明装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5108827B2 (ja) | 2012-12-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5421763B2 (ja) | 検査装置および検査方法 | |
JP5365643B2 (ja) | はんだ付け検査方法、および基板検査システムならびにはんだ付け検査機 | |
EP3454004B1 (en) | Shape measurement device and shape measurement method | |
JP2008292430A (ja) | 外観検査方法および外観検査装置 | |
US20090208132A1 (en) | Image Binarizing Method, Image Processing Device, and Computer Program | |
CN104254757A (zh) | 图像处理系统、图像处理方法以及图像处理程序 | |
KR20120052087A (ko) | 기판 검사방법 | |
JP5108827B2 (ja) | 形状検査装置および形状検査プログラム | |
JP2011158363A (ja) | Pga実装基板の半田付け検査装置 | |
JP5065329B2 (ja) | 形状検査装置および形状検査プログラム | |
KR101158324B1 (ko) | 형상 검사장치 | |
Yen et al. | A fast full-field 3D measurement system for BGA coplanarity inspection | |
US7747066B2 (en) | Z-axis optical detection of mechanical feature height | |
JP5172211B2 (ja) | 被検査体の検査システム | |
WO2021079541A1 (ja) | 外観検査装置及び、不良検査方法 | |
JP2690675B2 (ja) | 平坦度検査装置 | |
JPH09196625A (ja) | コプラナリティ検査装置 | |
KR101005076B1 (ko) | 범퍼 검사장치 및 방법 | |
CN111480088A (zh) | 检查插入于基板的多个引脚的插入状态的方法及基板检查装置 | |
US20040086198A1 (en) | System and method for bump height measurement | |
KR101005077B1 (ko) | 범퍼 검사장치 | |
JPH0372203A (ja) | 半田付け部の外観検査方法 | |
JP4496149B2 (ja) | 寸法測定装置 | |
JP2803427B2 (ja) | 表面実装icリードずれ検査装置 | |
CN117808754A (zh) | 目标对象的检测方法、系统、电子设备及存储介质 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120404 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20120404 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20120417 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120515 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120621 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120925 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121005 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5108827 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151012 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |