JP5172211B2 - 被検査体の検査システム - Google Patents
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Description
図1は、第1の実施形態に係る基板検査システム10Aの模式的な全体構成図である。基板検査システム10Aは、外観検査装置12およびインサーキットテスタ14、および検査結果表示装置62を備える。
図7は、第2の実施形態に係る基板検査システム10Bの模式的な全体構成図である。なお、第1の実施形態と同様の箇所は、同一の符号を付して説明を省略する。基板検査システム10Bは、外観検査装置112およびインサーキットテスタ114を備える。
Claims (6)
- 被検査体の画像を撮像する撮像部と、
撮像された画像を解析して外観検査情報を取得し、取得した外観検査情報を利用して被検査体の部品の実装状態を検査する外観検査部と、
被検査体に接触して被検査体の電気的特性を検出するプローブと、
前記プローブの移動を制御するプローブ制御部と、
検出された被検査体の電気的特性を利用して被検査体の部品の実装状態を検査するインサーキット検査部と、
被検査体の外観に関する外観基準データを格納する記憶部と、
格納された外観基準データを管理するデータ管理部と、
を備え、
前記プローブ制御部は、前記外観検査部によって取得された外観検査情報を利用して、被検査体における前記プローブを接触させるべき位置を補正し、補正した位置に前記プローブを接触させるよう前記プローブの移動を制御し、
前記外観検査部は、取得した外観検査情報と格納された外観基準データとを比較することにより、被検査体の部品の実装状態を検査し、
前記データ管理部は、外観検査部によって被検査体のある部品の実装状態が正常でないと判定されたにもかかわらずインサーキット検査部によって当該部品の実装状態が正常と判定された場合、当該判定に用いられた外観検査情報と比較したときに当該部品の実装状態が正常と判定されるよう、格納された外観基準データを変更することを特徴とする被検査体の検査システム。 - 前記外観検査部は、撮像された画像を解析して被検査体の部品の実装位置を示す部品位置情報を外観検査情報として取得し、取得した部品位置情報が示す部品の実装位置が適正なものか否かを判定することにより被検査体の部品の実装状態を検査し、
前記プローブ制御部は、取得された部品位置情報が示す部品の実装位置に応じて、前記プローブを接触させるべき位置を補正することを特徴とする請求項1に記載の被検査体の検査システム。 - 前記外観検査部は、撮像された画像を解析して被検査体の形状を示す形状情報を外観検査情報として取得し、取得した形状情報が示す被検査体の形状が適正なものか否かを判定することにより被検査体の部品の実装状態を検査し、
前記プローブ制御部は、取得された形状情報が示す被検査体の形状に応じて、前記プローブを接触させるべき位置を補正することを特徴とする請求項1または2に記載の被検査体の検査システム。 - 前記外観検査部は、撮像された画像を解析して被検査体の部品が存在するか否か示す欠品情報を外観検査情報として取得し、取得した欠品情報が被検査体のいずれかの部品が存在しない旨を示すものである場合、当該部品の実装状態は正常でないと判定し、
前記プローブ制御部は、取得した欠品情報が被検査体のいずれかの部品が存在しない旨を示すものである場合、前記プローブを当該部品に接触させるように移動させないことを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の被検査体の検査システム。 - 前記外観検査部は、撮像された画像を解析して被検査体の位置を示す被検査体位置情報を外観検査情報として取得し、取得した被検査体位置情報が示す被検査板の位置と被検査体が位置しているべき基準位置とのずれを利用して、被検査板の部品の実装状態を検査し、
前記プローブ制御部は、取得した被検査体位置情報が示す被検査板の位置に応じて、被検査体における前記プローブを接触させるべき位置を補正することを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の被検査体の検査システム。 - ユーザによって入力された、電気的特性を検出すべき被検査体の箇所を示す指定検査箇所情報を取得する検査箇所取得部をさらに備え、
前記プローブ制御部は、前記外観検査部によって取得された外観検査情報を利用して、指定検査箇所情報が示す被検査体の箇所における、前記プローブを接触させるべき位置を補正することを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の被検査体の検査システム。
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