JP2001280935A - 光学検査方法及び光学検査装置 - Google Patents
光学検査方法及び光学検査装置Info
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- JP2001280935A JP2001280935A JP2000099786A JP2000099786A JP2001280935A JP 2001280935 A JP2001280935 A JP 2001280935A JP 2000099786 A JP2000099786 A JP 2000099786A JP 2000099786 A JP2000099786 A JP 2000099786A JP 2001280935 A JP2001280935 A JP 2001280935A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 プリント基板１やその他の基材（台座を含
む）などに対して略垂直方向に突起が伸びるように、プ
レスフィットにより圧入されている複数のコネクタピン
２などの突起状部材が、所望の形状となるように挿入さ
れているか否かを検査する。 【解決手段】 コネクタピン２などの突起状部材が圧入
されているプリント基板１などの基材に対して、一方向
から面照明３ａにより光を当てて、その光により作られ
た基材上に投影された突起状部材の影をＣＣＤカメラ４
により撮像する。さらに面照明３ｂにより異なる方向か
ら光を当てて、同様にして突起状部材の影を撮像する。
これらの撮像データを基にして画像分析を行い、突起状
部材の影の先端位置を検出して突起状部材の形状を判断
する。
む）などに対して略垂直方向に突起が伸びるように、プ
レスフィットにより圧入されている複数のコネクタピン
２などの突起状部材が、所望の形状となるように挿入さ
れているか否かを検査する。 【解決手段】 コネクタピン２などの突起状部材が圧入
されているプリント基板１などの基材に対して、一方向
から面照明３ａにより光を当てて、その光により作られ
た基材上に投影された突起状部材の影をＣＣＤカメラ４
により撮像する。さらに面照明３ｂにより異なる方向か
ら光を当てて、同様にして突起状部材の影を撮像する。
これらの撮像データを基にして画像分析を行い、突起状
部材の影の先端位置を検出して突起状部材の形状を判断
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、基材に２次元的に
配設された突起状部材が、所望の位置に存在するかどう
かを検査する光学検査方法及び光学検査装置に関し、特
に、プレスフィットにおいてコネクタピンがプリント基
板のスルーホールに正常に圧入されたか否かを検査する
ために好適な光学検査方法及び光学検査装置に関する。
配設された突起状部材が、所望の位置に存在するかどう
かを検査する光学検査方法及び光学検査装置に関し、特
に、プレスフィットにおいてコネクタピンがプリント基
板のスルーホールに正常に圧入されたか否かを検査する
ために好適な光学検査方法及び光学検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】プレスフィットは、プリント基板などの
基材（台座などを含む）のスルーホールにコネクタピン
などの突起状部材を圧入する方法である。これにより、
例えばハンダを使わずにコネクタピンをプリント基板に
固定することが可能となる。２次元的に配設されたスル
ーホールを有するプリント基板にコネクタピンを挿入す
ることで、コネクタピンはプリント基板上に２次元的に
配設される。上記プレスフィットにより、コネクタピン
が正常にプリント基板に挿入されたか否かの判定を行う
ためにプレスフィット検査が行われる。
基材（台座などを含む）のスルーホールにコネクタピン
などの突起状部材を圧入する方法である。これにより、
例えばハンダを使わずにコネクタピンをプリント基板に
固定することが可能となる。２次元的に配設されたスル
ーホールを有するプリント基板にコネクタピンを挿入す
ることで、コネクタピンはプリント基板上に２次元的に
配設される。上記プレスフィットにより、コネクタピン
が正常にプリント基板に挿入されたか否かの判定を行う
ためにプレスフィット検査が行われる。
【０００３】図６は、従来のプレスフィット検査方法の
一例を示す模式図である。また、図７は、従来のプレス
フィット検査方法の他の一例を示す模式図である。従来
のプレスフィット検査方法には、図６のようにＣＣＤカ
メラ４によって１列ずつ横方向からコネクタピン２を撮
像し、その撮像画像を見てコネクタピン２の曲がり及び
コネクタピン２の長さを検出する方法と、図７のように
上方向からコネクタピン２に照明を当てて、上方向から
ＣＣＤカメラ４によってコネクタピン２を１本ずつ撮像
し、その撮像画像からコネクタピン２の先端を検出し、
コネクタピン２の曲がりを検査する方法とがある。
一例を示す模式図である。また、図７は、従来のプレス
フィット検査方法の他の一例を示す模式図である。従来
のプレスフィット検査方法には、図６のようにＣＣＤカ
メラ４によって１列ずつ横方向からコネクタピン２を撮
像し、その撮像画像を見てコネクタピン２の曲がり及び
コネクタピン２の長さを検出する方法と、図７のように
上方向からコネクタピン２に照明を当てて、上方向から
ＣＣＤカメラ４によってコネクタピン２を１本ずつ撮像
し、その撮像画像からコネクタピン２の先端を検出し、
コネクタピン２の曲がりを検査する方法とがある。
【０００４】また、特許公報第２５９９８１２号におい
て、ほぼ同一形状をもち、先端がほぼ一直線上に配列さ
れた複数の突起状部位を有する被検査部材を、所定角度
で照明して突起状部位の影を作り、その影を撮像した画
像から被検査部材の良／不良を判定する光学検査装置が
開示されている。これは１次元的に配列された突起状部
位の影を撮像して、その撮像画像から製品の良／不良を
判定するものである。
て、ほぼ同一形状をもち、先端がほぼ一直線上に配列さ
れた複数の突起状部位を有する被検査部材を、所定角度
で照明して突起状部位の影を作り、その影を撮像した画
像から被検査部材の良／不良を判定する光学検査装置が
開示されている。これは１次元的に配列された突起状部
位の影を撮像して、その撮像画像から製品の良／不良を
判定するものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】図６に示す従来のプレ
スフィット検査方法では、コネクタピン２などの突起状
部材が２次元に配設されている場合、手前のコネクタピ
ンに関しては検査が可能であるが、奥のコネクタピン２
に関してはどのコネクタピン２が不良なのかを正確に特
定することはできない。また、図７に示す従来のプレス
フィット検査方法では、上方向からコネクタピン２を検
査するため、コネクタピン２の曲がりは検出できても長
さの測定はできず、また、１本１本検査を行うため手間
がかかる。さらに、コネクタピン２の形状やプリント基
板１などの基材の表面の状態によりコネクタピン２の先
端の検出の精度が左右されるので、コネクタピン２の良
／不良を確実に判定することは困難である。
スフィット検査方法では、コネクタピン２などの突起状
部材が２次元に配設されている場合、手前のコネクタピ
ンに関しては検査が可能であるが、奥のコネクタピン２
に関してはどのコネクタピン２が不良なのかを正確に特
定することはできない。また、図７に示す従来のプレス
フィット検査方法では、上方向からコネクタピン２を検
査するため、コネクタピン２の曲がりは検出できても長
さの測定はできず、また、１本１本検査を行うため手間
がかかる。さらに、コネクタピン２の形状やプリント基
板１などの基材の表面の状態によりコネクタピン２の先
端の検出の精度が左右されるので、コネクタピン２の良
／不良を確実に判定することは困難である。
【０００６】また、図２から分かるように、プリント基
板１上に投影されるコネクタピン２の影は、コネクタピ
ン２の長さと、照明からのコネクタピン２への照射角度
とによって決まる。したがって、コネクタピン２が２次
元的に配設されている場合、コネクタピン２の影がコネ
クタピン２のピッチ（間隔）より長くなって、その影の
先端位置が隣接するコネクタピン２に重なってしまうこ
とも考えられる。特許公報第２５９９８１２号において
開示されている発明を２次元的に配設されたコネクタピ
ン２を有するプリント基板１に適用すると、コネクタピ
ン２の影がプリント基板１上に投影されるため、隣接し
たコネクタピン２に重なることがあり、コネクタピン２
の良／不良を確実に判定することは困難となる。
板１上に投影されるコネクタピン２の影は、コネクタピ
ン２の長さと、照明からのコネクタピン２への照射角度
とによって決まる。したがって、コネクタピン２が２次
元的に配設されている場合、コネクタピン２の影がコネ
クタピン２のピッチ（間隔）より長くなって、その影の
先端位置が隣接するコネクタピン２に重なってしまうこ
とも考えられる。特許公報第２５９９８１２号において
開示されている発明を２次元的に配設されたコネクタピ
ン２を有するプリント基板１に適用すると、コネクタピ
ン２の影がプリント基板１上に投影されるため、隣接し
たコネクタピン２に重なることがあり、コネクタピン２
の良／不良を確実に判定することは困難となる。
【０００７】本発明は、２次元的に配設されるようにコ
ネクタピンなどの突起状部材が圧入されているプリント
基板やその他の基材に関して、コネクタピンなどの突起
状部材が所望の形状となるよう挿入されているか否かを
検査することを目的とする。
ネクタピンなどの突起状部材が圧入されているプリント
基板やその他の基材に関して、コネクタピンなどの突起
状部材が所望の形状となるよう挿入されているか否かを
検査することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では、コネクタピンなどの突起状部材が圧入
されているプリント基板などの基材に対して一方向から
光を当てて、基材上に作られた突起状部材の影を撮像す
る。さらに異なる方向から光を当てて、同様にして突起
状部材の影を撮像する。これらの撮像データを基にして
画像分析を行い、突起状部材が所望の状態となるよう挿
入されているか否かを検査する。また、突起状部材の検
査に対して、突起状部材の影の長さ及び方向が最適とな
るよう突起状部材の影を作る光源の位置を調節する。
に、本発明では、コネクタピンなどの突起状部材が圧入
されているプリント基板などの基材に対して一方向から
光を当てて、基材上に作られた突起状部材の影を撮像す
る。さらに異なる方向から光を当てて、同様にして突起
状部材の影を撮像する。これらの撮像データを基にして
画像分析を行い、突起状部材が所望の状態となるよう挿
入されているか否かを検査する。また、突起状部材の検
査に対して、突起状部材の影の長さ及び方向が最適とな
るよう突起状部材の影を作る光源の位置を調節する。
【０００９】すなわち本発明によれば、基材と、前記基
材に対して略垂直方向に突起が伸びるように前記基材上
に配設された複数の突起状部位の形状を光学的に検査し
て、前記突起状部位を有する被検査部材の良否を判定す
る光学検査方法であって、前記基材上に前記突起状部位
の第１の影を作るために、第１の光源を用いて、前記被
検査部材に所定の角度から光を照射するステップと、前
記第１の影を前記基材に対し略垂直な方向から撮像する
第１撮像ステップと、前記第１撮像ステップで撮像され
た撮像画像から前記第１の影の先端位置を検出するステ
ップと、前記基材上に前記突起状部位の第２の影を作る
ために、第２の光源を用いて、前記突起の前記第１撮像
ステップで照射される部分とは異なる部分が照射される
よう、前記被検査部材に前記所定の角度とは異なる角度
から光を当てるステップと、前記第２の影を前記基材に
対し略垂直な方向から撮像する第２撮像ステップと、前
記第２撮像ステップで撮像された撮像画像から前記第２
の影の先端位置を検出するステップと、検出された前記
第１及び第２の影のそれぞれの先端位置に基づいて、前
記被検査部材の良／不良を判定するステップとを、有す
る光学検査方法が提供される。この構成により、基材に
２次元的に突起状部材が配設されている被検査部材に関
して、突起状部材が所望の形状となっているか否かを検
査することが可能となる。
材に対して略垂直方向に突起が伸びるように前記基材上
に配設された複数の突起状部位の形状を光学的に検査し
て、前記突起状部位を有する被検査部材の良否を判定す
る光学検査方法であって、前記基材上に前記突起状部位
の第１の影を作るために、第１の光源を用いて、前記被
検査部材に所定の角度から光を照射するステップと、前
記第１の影を前記基材に対し略垂直な方向から撮像する
第１撮像ステップと、前記第１撮像ステップで撮像され
た撮像画像から前記第１の影の先端位置を検出するステ
ップと、前記基材上に前記突起状部位の第２の影を作る
ために、第２の光源を用いて、前記突起の前記第１撮像
ステップで照射される部分とは異なる部分が照射される
よう、前記被検査部材に前記所定の角度とは異なる角度
から光を当てるステップと、前記第２の影を前記基材に
対し略垂直な方向から撮像する第２撮像ステップと、前
記第２撮像ステップで撮像された撮像画像から前記第２
の影の先端位置を検出するステップと、検出された前記
第１及び第２の影のそれぞれの先端位置に基づいて、前
記被検査部材の良／不良を判定するステップとを、有す
る光学検査方法が提供される。この構成により、基材に
２次元的に突起状部材が配設されている被検査部材に関
して、突起状部材が所望の形状となっているか否かを検
査することが可能となる。
【００１０】さらに前記所定の角度と異なる角度が前記
所定の角度と略９０°異なる角度であることを付加する
ことは、本発明の好ましい態様である。また、さらに前
記第１及び第２の光源が面光源であることを付加するこ
とは本発明の好ましい態様である。また、さらに前記突
起状部位の影の長さを調節するため、前記突起状部位の
間隔及び前記突起状部位の長さを基にして最適な光の向
きを算出し、前記最適な光の向きから前記被検査部材を
照射するよう前記第１又は第２の光源の位置を自動的に
調節することは、本発明の好ましい態様である。これら
の構成により、より精度の高い突起状部材の形状の検査
が可能となる。
所定の角度と略９０°異なる角度であることを付加する
ことは、本発明の好ましい態様である。また、さらに前
記第１及び第２の光源が面光源であることを付加するこ
とは本発明の好ましい態様である。また、さらに前記突
起状部位の影の長さを調節するため、前記突起状部位の
間隔及び前記突起状部位の長さを基にして最適な光の向
きを算出し、前記最適な光の向きから前記被検査部材を
照射するよう前記第１又は第２の光源の位置を自動的に
調節することは、本発明の好ましい態様である。これら
の構成により、より精度の高い突起状部材の形状の検査
が可能となる。
【００１１】また本発明によれば、基材と、前記基材に
対して略垂直方向に突起が伸びるように前記基材上に配
設された複数の突起状部位の形状を光学的に検査して、
前記突起状部位を有する被検査部材の良否を判定する光
学検査方法であって、前記基材上に前記突起状部位の第
１の影を作るために、前記被検査部材に所定の角度から
光を照射する第１の照明手段と、前記基材上に前記突起
状部位の第２の影を作るために、前記突起の前記第１撮
像ステップで照射される部分とは異なる部分が照射され
るよう、前記被検査部材に前記所定の角度とは異なる角
度から光を照射する第２の照明手段と、前記第１及び第
２のそれぞれの影を、前記基材に対し略垂直な方向から
撮像するための撮像手段と、前記撮像手段により撮像さ
れた撮像画像から前記第１及び第２の影のそれぞれの先
端位置を検出する検出手段と、検出された前記第１及び
第２の影のそれぞれの先端位置に基づいて、前記被検査
部材の良／不良を判定する判定手段とを、有する光学検
査装置が提供される。この構成により、基材に２次元的
に突起状部材が配設されている被検査部材に関して、突
起状部材が所望の形状となっているか否かを検査するこ
とが可能となる。
対して略垂直方向に突起が伸びるように前記基材上に配
設された複数の突起状部位の形状を光学的に検査して、
前記突起状部位を有する被検査部材の良否を判定する光
学検査方法であって、前記基材上に前記突起状部位の第
１の影を作るために、前記被検査部材に所定の角度から
光を照射する第１の照明手段と、前記基材上に前記突起
状部位の第２の影を作るために、前記突起の前記第１撮
像ステップで照射される部分とは異なる部分が照射され
るよう、前記被検査部材に前記所定の角度とは異なる角
度から光を照射する第２の照明手段と、前記第１及び第
２のそれぞれの影を、前記基材に対し略垂直な方向から
撮像するための撮像手段と、前記撮像手段により撮像さ
れた撮像画像から前記第１及び第２の影のそれぞれの先
端位置を検出する検出手段と、検出された前記第１及び
第２の影のそれぞれの先端位置に基づいて、前記被検査
部材の良／不良を判定する判定手段とを、有する光学検
査装置が提供される。この構成により、基材に２次元的
に突起状部材が配設されている被検査部材に関して、突
起状部材が所望の形状となっているか否かを検査するこ
とが可能となる。
【００１２】さらに前記所定の角度と異なる角度が前記
所定の角度と略９０°異なる角度であることを付加する
ことは、本発明の好ましい態様である。また、さらに前
記第１及び第２の照明手段が面光源であることを付加す
ることは本発明の好ましい態様である。また、さらに前
記突起状部位の影の長さを調節するため、前記突起状部
位の間隔及び前記突起状部位の長さを基にして最適な光
の向きを算出し、前記最適な光の向きから前記被検査部
材を照射するように前記第１又は第２の照明手段の位置
を自動的に調節することは、本発明の好ましい態様であ
る。これらの構成により、より精度の高い突起状部材の
形状の検査が可能となる。
所定の角度と略９０°異なる角度であることを付加する
ことは、本発明の好ましい態様である。また、さらに前
記第１及び第２の照明手段が面光源であることを付加す
ることは本発明の好ましい態様である。また、さらに前
記突起状部位の影の長さを調節するため、前記突起状部
位の間隔及び前記突起状部位の長さを基にして最適な光
の向きを算出し、前記最適な光の向きから前記被検査部
材を照射するように前記第１又は第２の照明手段の位置
を自動的に調節することは、本発明の好ましい態様であ
る。これらの構成により、より精度の高い突起状部材の
形状の検査が可能となる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の光
学検査方法及び光学検査装置に係る実施の形態を説明す
る。図１は、本発明の光学検査方法及び光学検査装置に
係る一実施の形態を示す模式図である。２次元的に配設
されたスルーホールを有するプリント基板１に、プレス
フィット工法によって複数のコネクタピン２（突起状部
位）が圧入された被検査部材において、プリント基板１
を通過した反対側のコネクタピン２の状態を検査するこ
とで、コネクタピン２がプリント基板１に正しく挿入さ
れたか否かを確認する。プリント基板１を通過したコネ
クタピン２の配列に対して、横から見るとコネクタピン
２が重なって見える方向をそれぞれＸ軸、Ｙ軸とする。
コネクタピン２はＺ軸方向に突起が伸びている。図１に
示すように、面照明３ａ（第１の光源、第１の照明）及
び面照明３ｂ（第２の光源、第２の照明）からの光によ
りＸ軸方向及びＹ軸方向にコネクタピン２の影が作られ
るようにする。後述のように、面照明３からの光の方向
とプリント基板１の面とはΘ1の角度をなしている。ま
た、図１ではＸ軸方向及びＹ軸方向に影を作るために２
つの面照明３を設置しているが、１つの面照明３のみを
設置して面照明３又はプリント基板１を略９０°回転さ
せて影を作ることも可能である。また、面照明３ａと面
照明３ｂとが異なる方向に影を作れば、理論的にコネク
タピン２の形状を検査することは可能であるが、コネク
タピン２の影の方向が略９０°となるように面照明３ａ
及び面照明３ｂを設置するのが好ましい。
学検査方法及び光学検査装置に係る実施の形態を説明す
る。図１は、本発明の光学検査方法及び光学検査装置に
係る一実施の形態を示す模式図である。２次元的に配設
されたスルーホールを有するプリント基板１に、プレス
フィット工法によって複数のコネクタピン２（突起状部
位）が圧入された被検査部材において、プリント基板１
を通過した反対側のコネクタピン２の状態を検査するこ
とで、コネクタピン２がプリント基板１に正しく挿入さ
れたか否かを確認する。プリント基板１を通過したコネ
クタピン２の配列に対して、横から見るとコネクタピン
２が重なって見える方向をそれぞれＸ軸、Ｙ軸とする。
コネクタピン２はＺ軸方向に突起が伸びている。図１に
示すように、面照明３ａ（第１の光源、第１の照明）及
び面照明３ｂ（第２の光源、第２の照明）からの光によ
りＸ軸方向及びＹ軸方向にコネクタピン２の影が作られ
るようにする。後述のように、面照明３からの光の方向
とプリント基板１の面とはΘ1の角度をなしている。ま
た、図１ではＸ軸方向及びＹ軸方向に影を作るために２
つの面照明３を設置しているが、１つの面照明３のみを
設置して面照明３又はプリント基板１を略９０°回転さ
せて影を作ることも可能である。また、面照明３ａと面
照明３ｂとが異なる方向に影を作れば、理論的にコネク
タピン２の形状を検査することは可能であるが、コネク
タピン２の影の方向が略９０°となるように面照明３ａ
及び面照明３ｂを設置するのが好ましい。
【００１４】ＣＣＤカメラ４がプリント基板１の上方に
配設され、このＣＣＤカメラ４によって、プリント基板
１上に作られるコネクタピン２の影がプリント基板１に
垂直な方向から撮像される。ＣＣＤカメラ４の撮像によ
る画像信号は、Ａ／Ｄコンバータ５により量子化され、
２値画像データに変換されて、画像メモリ６に記憶され
る。これらの処理はＣＰＵ７により制御されて行われ
る。
配設され、このＣＣＤカメラ４によって、プリント基板
１上に作られるコネクタピン２の影がプリント基板１に
垂直な方向から撮像される。ＣＣＤカメラ４の撮像によ
る画像信号は、Ａ／Ｄコンバータ５により量子化され、
２値画像データに変換されて、画像メモリ６に記憶され
る。これらの処理はＣＰＵ７により制御されて行われ
る。
【００１５】図２は、本発明の光学検査方法及び光学検
査装置に係る面照明からの光によりコネクタピンの影が
プリント基板上に投影される様子を示す模式図である。
プリント基板１に対して角度Θ1となるように、面照明
３からの光が斜め上方から照射される。これにより、プ
リント基板１上にコネクタピン２の影が作られ、ＣＣＤ
カメラ４によってコネクタピン２の影が投影されている
プリント基板１が上方向から撮像される。こうして撮像
された画像からコネクタピン２の影の先端位置を検出す
ることでコネクタピン２の状態を検査し、コネクタピン
２の良／不良を判定する。
査装置に係る面照明からの光によりコネクタピンの影が
プリント基板上に投影される様子を示す模式図である。
プリント基板１に対して角度Θ1となるように、面照明
３からの光が斜め上方から照射される。これにより、プ
リント基板１上にコネクタピン２の影が作られ、ＣＣＤ
カメラ４によってコネクタピン２の影が投影されている
プリント基板１が上方向から撮像される。こうして撮像
された画像からコネクタピン２の影の先端位置を検出す
ることでコネクタピン２の状態を検査し、コネクタピン
２の良／不良を判定する。
【００１６】コネクタピン２に対して異なる２方向から
光を照射してコネクタピン２の影をプリント基板１上に
作り、ＣＣＤカメラ４でその様子を撮像してその画像を
分析することで、どの方向にコネクタピン２が曲がって
いても、その曲がりの検出が可能となる。このとき、光
を照射する２方向がプリント基板１に平行な面内におい
て異なる方向であれば、コネクタピン２の曲がりの検出
は可能であるが、図１に示すように光を照射する２方向
を垂直とした場合、コネクタピン２の曲がりの検出の精
度が最も高くなる。
光を照射してコネクタピン２の影をプリント基板１上に
作り、ＣＣＤカメラ４でその様子を撮像してその画像を
分析することで、どの方向にコネクタピン２が曲がって
いても、その曲がりの検出が可能となる。このとき、光
を照射する２方向がプリント基板１に平行な面内におい
て異なる方向であれば、コネクタピン２の曲がりの検出
は可能であるが、図１に示すように光を照射する２方向
を垂直とした場合、コネクタピン２の曲がりの検出の精
度が最も高くなる。
【００１７】なお、コネクタピン２の影をプリント基板
１上に投影する照明として点光源を用いることも可能で
あるが、面光源を用いたほうが好ましい。面照明３を用
いることにより、エリアとしてＣＣＤカメラ４によって
得られた画像内のどの部分においても一定方向にコネク
タピン２の影が形成され、エリア内のコネクタピン２を
同一条件で検査が可能となる。
１上に投影する照明として点光源を用いることも可能で
あるが、面光源を用いたほうが好ましい。面照明３を用
いることにより、エリアとしてＣＣＤカメラ４によって
得られた画像内のどの部分においても一定方向にコネク
タピン２の影が形成され、エリア内のコネクタピン２を
同一条件で検査が可能となる。
【００１８】また、コネクタピン２の影の長さを調節す
るため、本発明の光学検査方法及び光学検査装置は、
Ｘ、Ｙ軸方向それぞれのコネクタピン２のピッチ及びコ
ネクタピン２の長さのデータを基にして、下記の式を
用いてプリント基板に垂直な面内における面照明３から
の光の向きの最適な角度を算出し、その最適な角度に設
定されるように面照明３の位置を自動的に調節する自動
照明垂直面内角度調節手段を有する。なお、これらの照
明角度の算出、照明角度の設定はＣＰＵの制御によって
行われる。 Θ1＝tan｛Ｌ／（Ｐ−α）｝ … ただし、Ｌはコネクタピン２の長さ、Ｐはコネクタピン
２のピッチ、αは検査余裕のためのバッファ長さであ
る。これにより、コネクタピン２が２次元的に配設され
ている場合、コネクタピン２の影がコネクタピン２のピ
ッチより長くなって、その影の先端位置が隣接するコネ
クタピン２に重なることを防ぐことができる。
るため、本発明の光学検査方法及び光学検査装置は、
Ｘ、Ｙ軸方向それぞれのコネクタピン２のピッチ及びコ
ネクタピン２の長さのデータを基にして、下記の式を
用いてプリント基板に垂直な面内における面照明３から
の光の向きの最適な角度を算出し、その最適な角度に設
定されるように面照明３の位置を自動的に調節する自動
照明垂直面内角度調節手段を有する。なお、これらの照
明角度の算出、照明角度の設定はＣＰＵの制御によって
行われる。 Θ1＝tan｛Ｌ／（Ｐ−α）｝ … ただし、Ｌはコネクタピン２の長さ、Ｐはコネクタピン
２のピッチ、αは検査余裕のためのバッファ長さであ
る。これにより、コネクタピン２が２次元的に配設され
ている場合、コネクタピン２の影がコネクタピン２のピ
ッチより長くなって、その影の先端位置が隣接するコネ
クタピン２に重なることを防ぐことができる。
【００１９】さらに、面照明３をプリント基板１に平行
な面内において移動することにより、コネクタピン２の
影の方向を変えることが可能となる。図４は、本発明の
光学検査方法及び光学検査装置に係るコネクタピンの
Ｘ、Ｙ軸方向の配列とは異なる方向に影を作った様子を
示す模式図である。図４のように、コネクタピン２の縦
横並び（Ｘ、Ｙ軸方向）と同一の方向へ光を照射するよ
りも、斜め方向に光を照射するほうが隣接するコネクタ
ピン２の影響を受けずに長い影を作ることが可能であ
る。このとき、例えば図４に示す４本のコネクタピン２
が作る四辺形の内側にコネクタピン２の影を作るなら
ば、四辺形の対角に向かって伸びるように影を作ればコ
ネクタピン２の影が最も長くなり、コネクタピン２の良
／不良の判定の精度が向上する。
な面内において移動することにより、コネクタピン２の
影の方向を変えることが可能となる。図４は、本発明の
光学検査方法及び光学検査装置に係るコネクタピンの
Ｘ、Ｙ軸方向の配列とは異なる方向に影を作った様子を
示す模式図である。図４のように、コネクタピン２の縦
横並び（Ｘ、Ｙ軸方向）と同一の方向へ光を照射するよ
りも、斜め方向に光を照射するほうが隣接するコネクタ
ピン２の影響を受けずに長い影を作ることが可能であ
る。このとき、例えば図４に示す４本のコネクタピン２
が作る四辺形の内側にコネクタピン２の影を作るなら
ば、四辺形の対角に向かって伸びるように影を作ればコ
ネクタピン２の影が最も長くなり、コネクタピン２の良
／不良の判定の精度が向上する。
【００２０】また、コネクタピン２の影の方向を調節す
るため、本発明の光学検査方法及び光学検査装置は、
Ｘ、Ｙ軸方向それぞれのコネクタピン２のピッチ及びコ
ネクタピン２の長さのデータを基にして、下記の式を
用いてプリント基板に平行な面内における面照明３から
の光の向きの最適な角度を算出し、その最適な角度に設
定されるように面照明３の位置を自動的に調節する自動
照明水平面内角度調節手段を有する。なお、これらの照
明角度の算出、照明角度の設定はＣＰＵの制御によって
行われる。 Θ2＝tan（ＰX／ＰY） … ただし、ＰX、ＰYは、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向のコネクタピ
ン２のピッチである。
るため、本発明の光学検査方法及び光学検査装置は、
Ｘ、Ｙ軸方向それぞれのコネクタピン２のピッチ及びコ
ネクタピン２の長さのデータを基にして、下記の式を
用いてプリント基板に平行な面内における面照明３から
の光の向きの最適な角度を算出し、その最適な角度に設
定されるように面照明３の位置を自動的に調節する自動
照明水平面内角度調節手段を有する。なお、これらの照
明角度の算出、照明角度の設定はＣＰＵの制御によって
行われる。 Θ2＝tan（ＰX／ＰY） … ただし、ＰX、ＰYは、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向のコネクタピ
ン２のピッチである。
【００２１】また、プリント基板１上のコネクタピン２
の影が投影される部分に例えば白色の塗装を施してもよ
い。これにより、照明によってプリント基板１上に投影
されるコネクタピン２の影がより明瞭となり、コネクタ
ピン２の良／不良の判定の精度が向上する。
の影が投影される部分に例えば白色の塗装を施してもよ
い。これにより、照明によってプリント基板１上に投影
されるコネクタピン２の影がより明瞭となり、コネクタ
ピン２の良／不良の判定の精度が向上する。
【００２２】図３は、コネクタピンの影のパターンを示
す模式図である。コネクタピン２の状態は、その影の方
向と長さから判断される。図３（ａ）は、正常に挿入さ
れたコネクタピンの影のパターンを示す模式図である。
この正常に挿入されたコネクタピン２の影の先端位置を
基準にする。コネクタピン２の影の先端位置が所定の基
準を中心とする所定の範囲内にあれば、そのコネクタピ
ン２は正常に挿入されていると判断できる。一方、コネ
クタピン２の影の先端位置が所定の範囲外にある場合
は、そのコネクタピン２は正常に挿入されていないと判
断される。図３（ｂ）、「曲がりＮＧ」のコネクタピン
の影の一例を示す模式図である。図３（ｂ）に示すよう
に、コネクタピン２の影の方向が基準に対して許容範囲
外である場合は「曲がりＮＧ」と判定される。図３
（ｃ）は、「挿入深さＮＧ」のコネクタピンの影の一例
を示す模式図である。図３（ｃ）に示すように、コネク
タピン２の影の長さが許容範囲未満であれば「挿入深さ
ＮＧ」と判定される。図３（ｄ）は、「未挿入ＮＧ」の
コネクタピンの影の一例を示す模式図である。図３
（ｄ）に示すように、コネクタピン２の影が全くない場
合は「未挿入ＮＧ」と判定される。
す模式図である。コネクタピン２の状態は、その影の方
向と長さから判断される。図３（ａ）は、正常に挿入さ
れたコネクタピンの影のパターンを示す模式図である。
この正常に挿入されたコネクタピン２の影の先端位置を
基準にする。コネクタピン２の影の先端位置が所定の基
準を中心とする所定の範囲内にあれば、そのコネクタピ
ン２は正常に挿入されていると判断できる。一方、コネ
クタピン２の影の先端位置が所定の範囲外にある場合
は、そのコネクタピン２は正常に挿入されていないと判
断される。図３（ｂ）、「曲がりＮＧ」のコネクタピン
の影の一例を示す模式図である。図３（ｂ）に示すよう
に、コネクタピン２の影の方向が基準に対して許容範囲
外である場合は「曲がりＮＧ」と判定される。図３
（ｃ）は、「挿入深さＮＧ」のコネクタピンの影の一例
を示す模式図である。図３（ｃ）に示すように、コネク
タピン２の影の長さが許容範囲未満であれば「挿入深さ
ＮＧ」と判定される。図３（ｄ）は、「未挿入ＮＧ」の
コネクタピンの影の一例を示す模式図である。図３
（ｄ）に示すように、コネクタピン２の影が全くない場
合は「未挿入ＮＧ」と判定される。
【００２３】また、本発明の光学検査方法及び光学検査
装置では、コネクタピン２がランダムな配列になってい
たり、ランダムな長さのコネクタピン２が混在していた
りする場合でも、コネクタピン２が正常に挿入されてい
るか否かを検査することが可能である。すなわち、コネ
クタピン２の影の撮像画像を分析するときに、その影の
先端位置が存在すべき所定の範囲を各々のコネクタピン
２に関して設定することにより、各コネクタピン２の状
態をそれぞれ検査することが可能となる。また、異なる
２方向から同時に光を当てて異なる方向にコネクタピン
２の影を２本作り、その影の位置を撮像して、その撮像
画像を基に異なる２方向の曲がりや歪みなどを検査する
ことも可能である。
装置では、コネクタピン２がランダムな配列になってい
たり、ランダムな長さのコネクタピン２が混在していた
りする場合でも、コネクタピン２が正常に挿入されてい
るか否かを検査することが可能である。すなわち、コネ
クタピン２の影の撮像画像を分析するときに、その影の
先端位置が存在すべき所定の範囲を各々のコネクタピン
２に関して設定することにより、各コネクタピン２の状
態をそれぞれ検査することが可能となる。また、異なる
２方向から同時に光を当てて異なる方向にコネクタピン
２の影を２本作り、その影の位置を撮像して、その撮像
画像を基に異なる２方向の曲がりや歪みなどを検査する
ことも可能である。
【００２４】次に、本発明の光学検査方法及び光学検査
装置の使用に係るフローチャートに関して説明する。図
５は、本発明の光学検査方法及び光学検査装置に係る一
実施の形態のフローチャートである。ステップＳ１にお
いて、照明３ａ（Ｘ軸方向）が点灯される。これによ
り、コネクタピン２の影がＸ軸方向に作られる。ステッ
プＳ２において、ＣＣＤカメラ４によってプリント基板
１上にＸ軸方向に作られたコネクタピン２の影が上方向
から撮像される。この撮像データは、画像メモリ６に記
録される。ステップＳ３において、照明３ａ（Ｘ軸方
向）が消灯される。ステップＳ４において、照明３ｂ
（Ｙ軸方向）が点灯される。これにより、コネクタピン
２の影がＹ軸方向に作られる。ステップＳ５において、
プリント基板１上にＸ軸方向に作られたコネクタピン２
の影が、ＣＣＤカメラ４によって上方向から撮像され、
画像メモリ６に撮像データが記録される。ステップＳ６
において、照明３ｂ（Ｙ軸方向）が消灯される。
装置の使用に係るフローチャートに関して説明する。図
５は、本発明の光学検査方法及び光学検査装置に係る一
実施の形態のフローチャートである。ステップＳ１にお
いて、照明３ａ（Ｘ軸方向）が点灯される。これによ
り、コネクタピン２の影がＸ軸方向に作られる。ステッ
プＳ２において、ＣＣＤカメラ４によってプリント基板
１上にＸ軸方向に作られたコネクタピン２の影が上方向
から撮像される。この撮像データは、画像メモリ６に記
録される。ステップＳ３において、照明３ａ（Ｘ軸方
向）が消灯される。ステップＳ４において、照明３ｂ
（Ｙ軸方向）が点灯される。これにより、コネクタピン
２の影がＹ軸方向に作られる。ステップＳ５において、
プリント基板１上にＸ軸方向に作られたコネクタピン２
の影が、ＣＣＤカメラ４によって上方向から撮像され、
画像メモリ６に撮像データが記録される。ステップＳ６
において、照明３ｂ（Ｙ軸方向）が消灯される。
【００２５】ステップＳ７において、ステップＳ２で入
力された画像を基に、コネクタピン２の影の先端位置が
検出される。その後、ステップＳ８において、曲がり角
度が測定され、ステップＳ９において、コネクタピン２
の影の長さが測定される。ステップＳ１０において、コ
ネクタピン２が正常に挿入されているか否かが判定され
る。このとき、コネクタピン２が図３に示す「曲がりＮ
Ｇ」の状態であるか否か、「挿入深さＮＧ」の状態であ
るか否か、「未挿入ＮＧ」の状態であるか否かが判定さ
れる。コネクタピン２が正常に挿入されていないとステ
ップＳ１０で判定された場合、ＮＧと判定されたコネク
タピン２（ＮＧピン）の位置とそのＮＧの項目がステッ
プＳ１１において記録される。以上のステップＳ７〜ス
テップＳ１１は、ステップＳ１２で全てのコネクタピン
２の測定が終了したと判定されるまで行われ、Ｘ軸方向
に作られた全てのコネクタピン２の影の分析、すなわ
ち、全てのコネクタピン２のＹ軸方向の曲がりや歪みが
検査される。
力された画像を基に、コネクタピン２の影の先端位置が
検出される。その後、ステップＳ８において、曲がり角
度が測定され、ステップＳ９において、コネクタピン２
の影の長さが測定される。ステップＳ１０において、コ
ネクタピン２が正常に挿入されているか否かが判定され
る。このとき、コネクタピン２が図３に示す「曲がりＮ
Ｇ」の状態であるか否か、「挿入深さＮＧ」の状態であ
るか否か、「未挿入ＮＧ」の状態であるか否かが判定さ
れる。コネクタピン２が正常に挿入されていないとステ
ップＳ１０で判定された場合、ＮＧと判定されたコネク
タピン２（ＮＧピン）の位置とそのＮＧの項目がステッ
プＳ１１において記録される。以上のステップＳ７〜ス
テップＳ１１は、ステップＳ１２で全てのコネクタピン
２の測定が終了したと判定されるまで行われ、Ｘ軸方向
に作られた全てのコネクタピン２の影の分析、すなわ
ち、全てのコネクタピン２のＹ軸方向の曲がりや歪みが
検査される。
【００２６】ステップＳ１２において、全てのコネクタ
ピン２の測定が終了したと判定されると、続いてステッ
プＳ１３以降のステップが行われる。ステップＳ１３〜
Ｓ１８では、ステップＳ７〜ステップＳ１２と同一のス
テップが、ステップＳ５で入力された画像に関して行わ
れる。すなわち、全てのコネクタピン２に関して、ステ
ップＳ５で入力された画像を基に、ステップＳ１３でコ
ネクタピン２の影の先端位置が検出され、ステップＳ１
４でコネクタピン２の曲がり角度が測定され、ステップ
Ｓ１５でコネクタピン２の影の長さが測定され、ステッ
プＳ１６でコネクタピン２が正常に挿入されているか否
かが判定される。そしてステップＳ１３〜Ｓ１６におい
て、コネクタピン２が正常に挿入されていないと判定さ
れた場合、ステップＳ１７において、ＮＧと判定された
コネクタピン２の位置とそのＮＧの項目が記録される。
以上のステップＳ１３〜ステップＳ１７は、ステップＳ
１８で全てのコネクタピン２の測定が終了したと判定さ
れるまで行われ、Ｙ軸方向に作られた全てのコネクタピ
ン２の影の分析、すなわち、全てのコネクタピン２のＸ
軸方向の曲がりや歪みが検査される。全てのコネクタピ
ン２の測定が終了した場合、プレスフィット検査は終了
となる。
ピン２の測定が終了したと判定されると、続いてステッ
プＳ１３以降のステップが行われる。ステップＳ１３〜
Ｓ１８では、ステップＳ７〜ステップＳ１２と同一のス
テップが、ステップＳ５で入力された画像に関して行わ
れる。すなわち、全てのコネクタピン２に関して、ステ
ップＳ５で入力された画像を基に、ステップＳ１３でコ
ネクタピン２の影の先端位置が検出され、ステップＳ１
４でコネクタピン２の曲がり角度が測定され、ステップ
Ｓ１５でコネクタピン２の影の長さが測定され、ステッ
プＳ１６でコネクタピン２が正常に挿入されているか否
かが判定される。そしてステップＳ１３〜Ｓ１６におい
て、コネクタピン２が正常に挿入されていないと判定さ
れた場合、ステップＳ１７において、ＮＧと判定された
コネクタピン２の位置とそのＮＧの項目が記録される。
以上のステップＳ１３〜ステップＳ１７は、ステップＳ
１８で全てのコネクタピン２の測定が終了したと判定さ
れるまで行われ、Ｙ軸方向に作られた全てのコネクタピ
ン２の影の分析、すなわち、全てのコネクタピン２のＸ
軸方向の曲がりや歪みが検査される。全てのコネクタピ
ン２の測定が終了した場合、プレスフィット検査は終了
となる。
【００２７】コネクタピン２が正常に挿入されていない
プリント基板１では、ステップＳ１１又はステップＳ１
７でＮＧピンの位置とそのＮＧの項目が記録されてい
る。ＮＧピンの存在するプリント基板１は不良品であ
り、良品とは別にされる必要があるが、ＮＧの項目によ
っては、不良品と判定されたプリント基板１は再利用可
能である。例えば「曲がりＮＧ」や「挿入深さＮＧ」の
コネクタピンは挿入圧や挿入方向などの不具合によっ
て、コネクタピン２の挿入が正常に行われなかったと考
えられるので、再度ＮＧピンを挿入し直すことによっ
て、良品を作ることが可能である。一方、「未挿入Ｎ
Ｇ」と判定されたプリント基板１は、スルーホールの大
きさが大きくなってしまっていて、コネクタピン２が固
定できないと考えられるので、再利用することは不可能
である。
プリント基板１では、ステップＳ１１又はステップＳ１
７でＮＧピンの位置とそのＮＧの項目が記録されてい
る。ＮＧピンの存在するプリント基板１は不良品であ
り、良品とは別にされる必要があるが、ＮＧの項目によ
っては、不良品と判定されたプリント基板１は再利用可
能である。例えば「曲がりＮＧ」や「挿入深さＮＧ」の
コネクタピンは挿入圧や挿入方向などの不具合によっ
て、コネクタピン２の挿入が正常に行われなかったと考
えられるので、再度ＮＧピンを挿入し直すことによっ
て、良品を作ることが可能である。一方、「未挿入Ｎ
Ｇ」と判定されたプリント基板１は、スルーホールの大
きさが大きくなってしまっていて、コネクタピン２が固
定できないと考えられるので、再利用することは不可能
である。
【００２８】本発明の光学検査方法及び光学検査装置に
おいて、２つの異なる方向から光を当ててコネクタピン
２の影を撮像した撮像データの分析は、それぞれの方向
において独立である。したがって、ステップＳ２で画像
メモリ６に記録された画像データをステップＳ７〜Ｓ１
２で分析した後、ステップＳ４及びステップＳ５を行
い、ステップＳ５で画像メモリ６に記録された画像デー
タをステップＳ１３〜Ｓ１８で分析することも可能であ
る。
おいて、２つの異なる方向から光を当ててコネクタピン
２の影を撮像した撮像データの分析は、それぞれの方向
において独立である。したがって、ステップＳ２で画像
メモリ６に記録された画像データをステップＳ７〜Ｓ１
２で分析した後、ステップＳ４及びステップＳ５を行
い、ステップＳ５で画像メモリ６に記録された画像デー
タをステップＳ１３〜Ｓ１８で分析することも可能であ
る。
【００２９】また、上記実施の形態では、プレスフィッ
トによって２次元的に配設されたスルーホールを有する
プリント基板１に圧入されたコネクタピン２の良／不良
を検査しているが、本発明はプリント基板１に圧入され
たコネクタピン２の良／不良の検査に限定されることな
く、薄手の基材やコネクタの台座のようなかさのある基
材などに、突起状部材が配設された被検査部材の検査に
おいても適用することが可能である。
トによって２次元的に配設されたスルーホールを有する
プリント基板１に圧入されたコネクタピン２の良／不良
を検査しているが、本発明はプリント基板１に圧入され
たコネクタピン２の良／不良の検査に限定されることな
く、薄手の基材やコネクタの台座のようなかさのある基
材などに、突起状部材が配設された被検査部材の検査に
おいても適用することが可能である。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
コネクタピンなどの突起状部材が圧入されているプリン
ト基板などの基材に対して、一方向から光を当てて、そ
の光により作られた基材上に投影された突起状部材の影
をＣＣＤカメラにより撮像し、さらに異なる方向から光
を当てて、同様にして突起状部材の影を撮像して、こう
して撮像された突起状部材の影から突起状部材の形状を
判断するので、基材に対して略垂直方向に突起が伸びる
ように配設された複数の突起状部材が、所望の形状とな
るように挿入されているか否かを検査することが可能と
なる。
コネクタピンなどの突起状部材が圧入されているプリン
ト基板などの基材に対して、一方向から光を当てて、そ
の光により作られた基材上に投影された突起状部材の影
をＣＣＤカメラにより撮像し、さらに異なる方向から光
を当てて、同様にして突起状部材の影を撮像して、こう
して撮像された突起状部材の影から突起状部材の形状を
判断するので、基材に対して略垂直方向に突起が伸びる
ように配設された複数の突起状部材が、所望の形状とな
るように挿入されているか否かを検査することが可能と
なる。
【図１】本発明の光学検査方法及び光学検査装置に係る
一実施の形態を示す模式図である。
一実施の形態を示す模式図である。
【図２】本発明の光学検査方法及び光学検査装置に係る
面照明からの光によりコネクタピンの影がプリント基板
上に投影される様子を示す模式図である。
面照明からの光によりコネクタピンの影がプリント基板
上に投影される様子を示す模式図である。
【図３】（ａ）は、正常に挿入されたコネクタピンの影
のパターンを示す模式図である。（ｂ）は、「曲がりＮ
Ｇ」のコネクタピンの影の一例を示す模式図である。
（ｃ）は、「挿入深さＮＧ」のコネクタピンの影の一例
を示す模式図である。（ｄ）は、「未挿入ＮＧ」のコネ
クタピンの影の一例を示す模式図である。
のパターンを示す模式図である。（ｂ）は、「曲がりＮ
Ｇ」のコネクタピンの影の一例を示す模式図である。
（ｃ）は、「挿入深さＮＧ」のコネクタピンの影の一例
を示す模式図である。（ｄ）は、「未挿入ＮＧ」のコネ
クタピンの影の一例を示す模式図である。
【図４】本発明の光学検査方法及び光学検査装置に係る
コネクタピンのＸ、Ｙ軸方向の配列とは異なる方向に影
を作った様子を示す模式図である。
コネクタピンのＸ、Ｙ軸方向の配列とは異なる方向に影
を作った様子を示す模式図である。
【図５】本発明の光学検査方法及び光学検査装置に係る
一実施の形態のフローチャートである。
一実施の形態のフローチャートである。
【図６】従来のプレスフィット検査方法の一例を示す模
式図である。
式図である。
【図７】従来のプレスフィット検査方法の他の一例を示
す模式図である。
す模式図である。
１ プリント基板（基材） ２ コネクタピン（突起状部材） ３ 面照明 ４ ＣＣＤカメラ ５ Ａ／Ｄコンバータ ６ 画像メモリ ７ ＣＰＵ
Claims (8)
- 【請求項１】 基材と、前記基材に対して略垂直方向に
突起が伸びるように前記基材上に配設された複数の突起
状部位の形状を光学的に検査して、前記突起状部位を有
する被検査部材の良否を判定する光学検査方法であっ
て、 前記基材上に前記突起状部位の第１の影を作るために、
第１の光源を用いて、前記被検査部材に所定の角度から
光を照射するステップと、 前記第１の影を前記基材に対し略垂直な方向から撮像す
る第１撮像ステップと、 前記第１撮像ステップで撮像された撮像画像から前記第
１の影の先端位置を検出するステップと、 前記基材上に前記突起状部位の第２の影を作るために、
第２の光源を用いて、前記突起の前記第１撮像ステップ
で照射される部分とは異なる部分が照射されるよう、前
記被検査部材に前記所定の角度とは異なる角度から光を
当てるステップと、 前記第２の影を前記基材に対し略垂直な方向から撮像す
る第２撮像ステップと、 前記第２撮像ステップで撮像された撮像画像から前記第
２の影の先端位置を検出するステップと、 検出された前記第１及び第２の影のそれぞれの先端位置
に基づいて、前記被検査部材の良／不良を判定するステ
ップとを、 有する光学検査方法。 - 【請求項２】 前記所定の角度と異なる角度が前記所定
の角度と略９０°異なる角度であることを特徴とする請
求項１記載の光学検査方法。 - 【請求項３】 前記第１及び第２の光源が面光源である
ことを特徴とする請求項１又は２記載の光学検査方法。 - 【請求項４】 前記突起状部位の影の長さを調節するた
め、前記突起状部位の間隔及び前記突起状部位の長さを
基にして最適な光の向きを算出し、前記最適な光の向き
から前記被検査部材を照射するよう前記第１又は第２の
光源の位置を自動的に調節することを特徴とする請求項
１ないし３のいずれかに記載の光学検査方法。 - 【請求項５】 基材と、前記基材に対して略垂直方向に
突起が伸びるように前記基材上に配設された複数の突起
状部位の形状を光学的に検査して、前記突起状部位を有
する被検査部材の良否を判定する光学検査方法であっ
て、 前記基材上に前記突起状部位の第１の影を作るために、
前記被検査部材に所定の角度から光を照射する第１の照
明手段と、 前記基材上に前記突起状部位の第２の影を作るために、
前記突起の前記第１撮像ステップで照射される部分とは
異なる部分が照射されるよう、前記被検査部材に前記所
定の角度とは異なる角度から光を照射する第２の照明手
段と、 前記第１及び第２のそれぞれの影を、前記基材に対し略
垂直な方向から撮像するための撮像手段と、 前記撮像手段により撮像された撮像画像から前記第１及
び第２の影のそれぞれの先端位置を検出する検出手段
と、 検出された前記第１及び第２の影のそれぞれの先端位置
に基づいて、前記被検査部材の良／不良を判定する判定
手段とを、 有する光学検査装置。 - 【請求項６】 前記所定の角度と異なる角度が前記所定
の角度と略９０°異なる角度であることを特徴とする請
求項５記載の光学検査装置。 - 【請求項７】 前記第１及び第２の照明手段が面光源で
あることを特徴とする請求項５又は６記載の光学検査装
置。 - 【請求項８】 前記突起状部位の影の長さを調節するた
め、前記突起状部位の間隔及び前記突起状部位の長さを
基にして最適な光の向きを算出し、前記最適な光の向き
から前記被検査部材を照射するように前記第１又は第２
の照明手段の位置を自動的に調節することを特徴とする
請求項５ないし７のいずれかに記載の光学検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000099786A JP2001280935A (ja) | 2000-03-31 | 2000-03-31 | 光学検査方法及び光学検査装置 |
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|---|---|---|---|
| JP2000099786A JP2001280935A (ja) | 2000-03-31 | 2000-03-31 | 光学検査方法及び光学検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001280935A true JP2001280935A (ja) | 2001-10-10 |
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ID=18614089
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|---|---|---|---|
| JP2000099786A Withdrawn JP2001280935A (ja) | 2000-03-31 | 2000-03-31 | 光学検査方法及び光学検査装置 |
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|---|---|
| JP (1) | JP2001280935A (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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