JPH09196625A - コプラナリティ検査装置 - Google Patents
コプラナリティ検査装置Info
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- JPH09196625A JPH09196625A JP910696A JP910696A JPH09196625A JP H09196625 A JPH09196625 A JP H09196625A JP 910696 A JP910696 A JP 910696A JP 910696 A JP910696 A JP 910696A JP H09196625 A JPH09196625 A JP H09196625A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＩＣチップの各バンプの高さの差の検査を安
価、高速に行う。 【解決手段】 カメラ４は検査対象基板１を撮像しＡＤ
変換手段５は濃淡画像データｂを出力する。二値化手段
６は、バンプ斜面部のみを”１”にする二値化レベルに
より二値化する。検査位置算出手段７はラベリング処理
後各ラベルの重心位置を算出し各バンプのコプラナリテ
ィ検査位置とし検査位置データｄを出力する。ＸＹステ
ージ駆動手段８は検査位置データｄとレーザ変位計９の
計測位置が一致するようにＸＹステージ１０を駆動し、
高さ計測手段１１はレーザ変位計により検査位置の高さ
測定を行いバンプ高さデータｇを出力する。検査位置が
ある場合はＸＹステージ１０の移動とレーザ変位計９に
よる高さの測定を繰り返す。コプラナリティ算出手段１
２は各バンプのバンプ高さデータｇを入力しコプラナリ
ティ値ｈを出力し、良不良判定１３はコプラナリティ判
定値との比較を行う。
価、高速に行う。 【解決手段】 カメラ４は検査対象基板１を撮像しＡＤ
変換手段５は濃淡画像データｂを出力する。二値化手段
６は、バンプ斜面部のみを”１”にする二値化レベルに
より二値化する。検査位置算出手段７はラベリング処理
後各ラベルの重心位置を算出し各バンプのコプラナリテ
ィ検査位置とし検査位置データｄを出力する。ＸＹステ
ージ駆動手段８は検査位置データｄとレーザ変位計９の
計測位置が一致するようにＸＹステージ１０を駆動し、
高さ計測手段１１はレーザ変位計により検査位置の高さ
測定を行いバンプ高さデータｇを出力する。検査位置が
ある場合はＸＹステージ１０の移動とレーザ変位計９に
よる高さの測定を繰り返す。コプラナリティ算出手段１
２は各バンプのバンプ高さデータｇを入力しコプラナリ
ティ値ｈを出力し、良不良判定１３はコプラナリティ判
定値との比較を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はコプラナリティ検査
装置、特にＩＣチップの各バンプ間の高さの差を検査す
るコプラナリティ検査装置に関する。
装置、特にＩＣチップの各バンプ間の高さの差を検査す
るコプラナリティ検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のレーザによる高さ検査装置は、例
えば特開平４−１５０８号公報に示された「電子部品の
外観検査方法」がある。
えば特開平４−１５０８号公報に示された「電子部品の
外観検査方法」がある。
【０００３】図３は、この従来の検査装置を示す斜視図
であり、１０１は基板、１０２は基板１０１に実装され
た電子部品１０８のリード、１０３は基板１０１に形成
された回路パターン、１０４はリード１０２と回路パタ
ーン１０３を接着している半田部、１０５はＰＳＤのよ
うなｘｙ方向位置検出素子、１１０はレーザ装置、１１
１はレーザ装置１１０から照射されたレーザスポット光
をｘｙ方向にスキャンニングさせるミラーである。
であり、１０１は基板、１０２は基板１０１に実装され
た電子部品１０８のリード、１０３は基板１０１に形成
された回路パターン、１０４はリード１０２と回路パタ
ーン１０３を接着している半田部、１０５はＰＳＤのよ
うなｘｙ方向位置検出素子、１１０はレーザ装置、１１
１はレーザ装置１１０から照射されたレーザスポット光
をｘｙ方向にスキャンニングさせるミラーである。
【０００４】次に、この従来の検査装置での高さ測定に
ついて説明する。
ついて説明する。
【０００５】レーザ装置１１０から照射されたレーザス
ポット光を、リード１０２から半田部１０４へ向かって
ｘ方向にスキャンニングさせながら、各反射点Ａ〜Ｈで
反射されたレーザ光を位置検出素子１０５に入射させ、
ｙ方向の入射点ｙａ〜ｙｈの位置から、リード１０２や
半田部１０４の表面の高さを検出し、半田部１０４の形
状を判断する。その際、ｘ方向の入射点ｘａ〜ｘｈの位
置を同時に検出することにより、反射点Ａ〜Ｈのｘ方向
の位置を検出し検出された高さの検出位置の適否を判断
する。
ポット光を、リード１０２から半田部１０４へ向かって
ｘ方向にスキャンニングさせながら、各反射点Ａ〜Ｈで
反射されたレーザ光を位置検出素子１０５に入射させ、
ｙ方向の入射点ｙａ〜ｙｈの位置から、リード１０２や
半田部１０４の表面の高さを検出し、半田部１０４の形
状を判断する。その際、ｘ方向の入射点ｘａ〜ｘｈの位
置を同時に検出することにより、反射点Ａ〜Ｈのｘ方向
の位置を検出し検出された高さの検出位置の適否を判断
する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のレーザ
による高さ検査方法においては、レーザ走査させるため
機構部が複雑になり、検査時間も長くなるという欠点が
あった。
による高さ検査方法においては、レーザ走査させるため
機構部が複雑になり、検査時間も長くなるという欠点が
あった。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のコプラナリティ
検査装置は、バンプの斜面部を光らせるために検査対象
基板の周囲に配置された照明と、検査対象基板を撮像し
アナログ画像データを出力するカメラと、前記アナログ
画像データを入力しＡＤ変換を行い濃淡画像信号を出力
するＡＤ変換手段と、前記濃淡画像信号を入力し反射光
量が多いバンプ部分が”１”となるように二値化する二
値化手段と、前記二値化手段で二値化された二値化デー
タを入力しラベリング処理により各ラベルの重心位置を
算出しバンプ高さ検査位置とする検査位置算出手段と、
前記検査位置算出手段で得られたバンプの高さ検査位置
とレーザ変位計の計測位置とを一致させるように前記検
査対照基板をＸＹ移動するＸＹ駆動手段と、前記レーザ
変位計を用いてバンプの高さを計測する高さ測定手段
と、前記バンプ高さ検査位置の高さ計測結果からコプラ
ナリティを算出するコプラナリティ算出手段と、前記コ
プラナリティと良品判定値とを比較して良不良判定する
良不良判定手段を含んで構成される。
検査装置は、バンプの斜面部を光らせるために検査対象
基板の周囲に配置された照明と、検査対象基板を撮像し
アナログ画像データを出力するカメラと、前記アナログ
画像データを入力しＡＤ変換を行い濃淡画像信号を出力
するＡＤ変換手段と、前記濃淡画像信号を入力し反射光
量が多いバンプ部分が”１”となるように二値化する二
値化手段と、前記二値化手段で二値化された二値化デー
タを入力しラベリング処理により各ラベルの重心位置を
算出しバンプ高さ検査位置とする検査位置算出手段と、
前記検査位置算出手段で得られたバンプの高さ検査位置
とレーザ変位計の計測位置とを一致させるように前記検
査対照基板をＸＹ移動するＸＹ駆動手段と、前記レーザ
変位計を用いてバンプの高さを計測する高さ測定手段
と、前記バンプ高さ検査位置の高さ計測結果からコプラ
ナリティを算出するコプラナリティ算出手段と、前記コ
プラナリティと良品判定値とを比較して良不良判定する
良不良判定手段を含んで構成される。
【０００８】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施例について図
面を参照して説明する。
面を参照して説明する。
【０００９】図１は本発明の一実施形態を示すブロック
図である。
図である。
【００１０】図１に示すコプラナリティ検査装置は、検
査対象基板１の周囲に配置された照明２によりバンプ３
の斜面部を光らせる。カメラ４は、検査対象基板１を撮
像しアナログ画像データａを出力する。ＡＤ変換手段５
は、アナログ画像データを入力しＡＤ変換し濃淡画像デ
ータｂを出力する。二値化手段６は、濃淡画像データｂ
を入力し反射光量が多いバンプ斜面部のみが”１”とな
るように予め設定された二値化レベルで二値化し二値化
画像データｃを出力する。検査位置算出手段７は、二値
化画像データｃを入力しラベリング処理により各ラベル
の重心位置を算出しバンプ高さ検査位置としてバンプ高
さ検査位置データｄを出力する。ＸＹステージ駆動手段
８は、バンプ高さ検査位置データｄを入力しバンプ高さ
検査位置とレーザ変位計９の計測位置が一致するように
ＸＹステージ１０を駆動し位置合わせ終了信号ｅを出力
する。高さ測定手段１１は、位置合わせ終了信号ｅを入
力しレーザ変位計９によるバンプの高さ測定を行い、測
定終了信号ｆとバンプ高さデータｇを出力する。ＸＹス
テージ駆動手段８は測定終了信号ｆを入力しラベル数分
だけバンプ高さの測定を行い、全ラベル数分測定終了
後、全バンプ測定終了信号ｈを出力する。コプラナリテ
ィ算出手段１２は、バンプ高さデータｇを順次入力し全
バンプ測定終了信号ｈの入力後、コプラナリティの計算
を行いコプラナリティｉを出力する。良不良判定手段１
３は、コプラナリティｉと予め設定されたコプラナリテ
ィ良品最大値との比較を行いコプラナリティ良品最大値
より算出されたコプラナリティが大きい場合は不良、同
じか小さい場合は良品と判定する。
査対象基板１の周囲に配置された照明２によりバンプ３
の斜面部を光らせる。カメラ４は、検査対象基板１を撮
像しアナログ画像データａを出力する。ＡＤ変換手段５
は、アナログ画像データを入力しＡＤ変換し濃淡画像デ
ータｂを出力する。二値化手段６は、濃淡画像データｂ
を入力し反射光量が多いバンプ斜面部のみが”１”とな
るように予め設定された二値化レベルで二値化し二値化
画像データｃを出力する。検査位置算出手段７は、二値
化画像データｃを入力しラベリング処理により各ラベル
の重心位置を算出しバンプ高さ検査位置としてバンプ高
さ検査位置データｄを出力する。ＸＹステージ駆動手段
８は、バンプ高さ検査位置データｄを入力しバンプ高さ
検査位置とレーザ変位計９の計測位置が一致するように
ＸＹステージ１０を駆動し位置合わせ終了信号ｅを出力
する。高さ測定手段１１は、位置合わせ終了信号ｅを入
力しレーザ変位計９によるバンプの高さ測定を行い、測
定終了信号ｆとバンプ高さデータｇを出力する。ＸＹス
テージ駆動手段８は測定終了信号ｆを入力しラベル数分
だけバンプ高さの測定を行い、全ラベル数分測定終了
後、全バンプ測定終了信号ｈを出力する。コプラナリテ
ィ算出手段１２は、バンプ高さデータｇを順次入力し全
バンプ測定終了信号ｈの入力後、コプラナリティの計算
を行いコプラナリティｉを出力する。良不良判定手段１
３は、コプラナリティｉと予め設定されたコプラナリテ
ィ良品最大値との比較を行いコプラナリティ良品最大値
より算出されたコプラナリティが大きい場合は不良、同
じか小さい場合は良品と判定する。
【００１１】以下に、具体的な検出例を図２（ａ）〜
（ｄ）を用いて説明する。図２（ａ）〜（ｄ）は本発明
のコプラナリティ検査装置の原理を示すための図であ
る。検査対象基板１上のバンプ３の斜面部からの反射光
量が最も大きく真上に反射するように照明２を検査対象
基板１の周囲に配置する。カメラ４は、検査対象基板１
を撮像しアナログ画像データａを出力する。ＡＤ変換手
段５は、アナログ画像データを入力しＡＤ変換し濃淡画
像データｂを出力する。図２（ａ）は検査対象基板１の
濃淡画像データｂのパターン図である。図２（ａ）にお
いてバンプ斜面部は濃度値の大きな部分である。二値化
手段６は、濃淡画像データｂを入力し濃度値の大きいバ
ンプ斜面部のみが”１”となるように予め設定された二
値化レベルで二値化し二値化画像データｃを出力する。
図２（ｂ）は二値化画像データｃのパターン図で、バン
プの斜面部が二値化後の”１”の領域である。図２
（ｂ）において基板とボール頂上部は反射光量が低く濃
度値が小さいため二値化後は”０”の領域となる。検査
位置算出手段７は、二値化画像データｃを入力しラベリ
ング処理により各ラベルの重心位置を算出しバンプ高さ
検査位置としてバンプ高さ検査位置データｄを出力す
る。図２（ｃ）は位置検査手段７により算出された各ラ
ベルの重心位置である。ＸＹステージ駆動手段８は、バ
ンプ高さ検査位置データｄを入力しバンプ高さ検査位置
とレーザ変位計９の計測位置が一致するようにＸＹステ
ージ１０を駆動し位置合わせ終了信号ｅを出力する。高
さ測定手段１１は、位置合わせ終了信号ｅを入力後レー
ザ変位計９によるバンプの高さ測定を行い、測定終了信
号ｆとバンプ高さデータｇを出力する。
（ｄ）を用いて説明する。図２（ａ）〜（ｄ）は本発明
のコプラナリティ検査装置の原理を示すための図であ
る。検査対象基板１上のバンプ３の斜面部からの反射光
量が最も大きく真上に反射するように照明２を検査対象
基板１の周囲に配置する。カメラ４は、検査対象基板１
を撮像しアナログ画像データａを出力する。ＡＤ変換手
段５は、アナログ画像データを入力しＡＤ変換し濃淡画
像データｂを出力する。図２（ａ）は検査対象基板１の
濃淡画像データｂのパターン図である。図２（ａ）にお
いてバンプ斜面部は濃度値の大きな部分である。二値化
手段６は、濃淡画像データｂを入力し濃度値の大きいバ
ンプ斜面部のみが”１”となるように予め設定された二
値化レベルで二値化し二値化画像データｃを出力する。
図２（ｂ）は二値化画像データｃのパターン図で、バン
プの斜面部が二値化後の”１”の領域である。図２
（ｂ）において基板とボール頂上部は反射光量が低く濃
度値が小さいため二値化後は”０”の領域となる。検査
位置算出手段７は、二値化画像データｃを入力しラベリ
ング処理により各ラベルの重心位置を算出しバンプ高さ
検査位置としてバンプ高さ検査位置データｄを出力す
る。図２（ｃ）は位置検査手段７により算出された各ラ
ベルの重心位置である。ＸＹステージ駆動手段８は、バ
ンプ高さ検査位置データｄを入力しバンプ高さ検査位置
とレーザ変位計９の計測位置が一致するようにＸＹステ
ージ１０を駆動し位置合わせ終了信号ｅを出力する。高
さ測定手段１１は、位置合わせ終了信号ｅを入力後レー
ザ変位計９によるバンプの高さ測定を行い、測定終了信
号ｆとバンプ高さデータｇを出力する。
【００１２】また、バンプ高さ測定の手段としては、図
２（ｄ）に示すように各ラベルの重心座標が中心になる
ように予め設定した大きさの検査範囲を発生させバンプ
高さ測定範囲とし、バンプ高さ測定範囲内を予め設定し
たピッチで測定し、測定されたバンプ高さの最大値をバ
ンプ高さデータとすることで、バンプのピークが重心位
置から少し外れた位置にある場合でもバンプの高さを測
定する方法も考えられる。
２（ｄ）に示すように各ラベルの重心座標が中心になる
ように予め設定した大きさの検査範囲を発生させバンプ
高さ測定範囲とし、バンプ高さ測定範囲内を予め設定し
たピッチで測定し、測定されたバンプ高さの最大値をバ
ンプ高さデータとすることで、バンプのピークが重心位
置から少し外れた位置にある場合でもバンプの高さを測
定する方法も考えられる。
【００１３】ＸＹステージ駆動手段８は測定終了信号ｆ
を入力しラベル数分だけバンプ高さの測定を繰り返し、
全てのラベル数分だけ測定終了後全バンプ測定終了信号
ｈを出力する。コプラナリティ算出手段１２は、バンプ
高さデータｇを順次入力し全バンプ測定終了信号ｈを入
力後、コプラナリティの計算を行いコプラナリティｉを
出力する。コプラナリティの計算方法としては、例えば
全バンプの高さデータから最小誤差自乗法により平面を
求め、平面から最も離れた低いバンプと高いバンプの差
をコプラナリティとする方法がある。良不良判定手段１
３は、コプラナリティｉと予め設定されたコプラナリテ
ィ良品最大値との比較を行いコプラナリティ良品最大値
より算出されたコプラナリティｉが大きい場合は不良、
同じか小さい場合は良品と判定する。
を入力しラベル数分だけバンプ高さの測定を繰り返し、
全てのラベル数分だけ測定終了後全バンプ測定終了信号
ｈを出力する。コプラナリティ算出手段１２は、バンプ
高さデータｇを順次入力し全バンプ測定終了信号ｈを入
力後、コプラナリティの計算を行いコプラナリティｉを
出力する。コプラナリティの計算方法としては、例えば
全バンプの高さデータから最小誤差自乗法により平面を
求め、平面から最も離れた低いバンプと高いバンプの差
をコプラナリティとする方法がある。良不良判定手段１
３は、コプラナリティｉと予め設定されたコプラナリテ
ィ良品最大値との比較を行いコプラナリティ良品最大値
より算出されたコプラナリティｉが大きい場合は不良、
同じか小さい場合は良品と判定する。
【００１４】なお、図１のブロック図ではカメラとレー
ザ変位計が固定で検査対象基板側がＸＹ移動する構成と
なっているが、検査対象基板側が固定でカメラとレーザ
変位計がＸＹ移動する構成も考えられる。また、レーザ
変位計以外の光スキャン型の変位測定装置を利用するこ
ともできる。
ザ変位計が固定で検査対象基板側がＸＹ移動する構成と
なっているが、検査対象基板側が固定でカメラとレーザ
変位計がＸＹ移動する構成も考えられる。また、レーザ
変位計以外の光スキャン型の変位測定装置を利用するこ
ともできる。
【００１５】
【発明の効果】本発明のコプラナリティ検査装置は、カ
メラにより検査対象基板上のバンプを一括撮像し、撮像
画像からバンプ高さ検査位置を算出し、算出された検査
位置のみをレーザ変位計を用いて高さ測定しコプラナリ
ティを算出するため、バンプ位置ズレの影響を受けるこ
となく検査を安価、高速に行うことができるという効果
がある。
メラにより検査対象基板上のバンプを一括撮像し、撮像
画像からバンプ高さ検査位置を算出し、算出された検査
位置のみをレーザ変位計を用いて高さ測定しコプラナリ
ティを算出するため、バンプ位置ズレの影響を受けるこ
となく検査を安価、高速に行うことができるという効果
がある。
【図１】本発明の一実施形態を示すブロック図である。
【図２】（ａ）〜（ｄ）は本発明の原理を説明するため
の図である。
の図である。
【図３】従来の一例を示す斜視図である。
１ 検査対照基板 ２ 照明 ３ バンプ ４ カメラ ５ ＡＤ変換手段 ６ 二値化手段 ７ 検査位置算出手段 ８ ＸＹステージ駆動手段 ９ レーザ変位計 １０ ＸＹステージ １１ 高さ測定手段 １２ コプラナリティ算出手段 １３ 良不良判定手段 ２１ 検査対照基板 ２２ バンプ ２３ バンプ斜面部 ２４ ラベル重心位置 ２５ バンプ高さ測定範囲
Claims (5)
- 【請求項１】 バンプの斜面部を光らせるために検査対
象基板の周囲に配置された照明と、検査対象基板を撮像
しアナログ画像データを出力するカメラと、前記アナロ
グ画像データを入力しＡＤ変換を行い濃淡画像信号を出
力するＡＤ変換手段と、前記濃淡画像信号を入力し反射
光量が多いバンプ部分が”１”となるように二値化する
二値化手段と、前記二値化手段で二値化された二値化デ
ータを入力しラベリング処理により各ラベルの重心位置
を算出し前記算出された重心位置にもとづいてバンプ高
さ検査範囲を定める検査位置算出手段と、前記検査位置
算出手段で得られたバンプの高さ検査位置と光学的変位
計測手段の計測位置とを一致させるように前記検査対照
基板をＸＹ移動するＸＹ駆動手段と、前記レーザ変位計
を用いてバンプの高さを計測する高さ測定手段と、前記
バンプ高さ検査位置の高さ計測結果からコプラナリティ
を算出するコプラナリティ算出手段と、前記コプラナリ
ティと良品判定値とを比較して良不良判定する良不良判
定手段を含むことを特徴とするコプラナリティ検査装
置。 - 【請求項２】 前記光学的変位計測手段がレーザ変位計
である請求項１記載のコプラナリティ検査装置。 - 【請求項３】 前記検査位置算出手段において設定され
るバンプ高さ検査範囲が前記各ラベルの重心位置である
請求項１記載のコプラナリティ検査装置。 - 【請求項４】 前記検査位置算出手段において設定され
るバンプ高さ検査範囲が前記重心位置を含む指定面積と
した請求項１記載のコプラナリティ検査装置。 - 【請求項５】 前記コプラナリティ算出手段が、バンプ
の高さデータから最小誤差自乗法により平面を求め、前
記平面から最も離れた低いバンプと高いバンプの差をコ
プラナリティとするものである請求項１記載のコプラナ
リティ検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP910696A JP2877061B2 (ja) | 1996-01-23 | 1996-01-23 | コプラナリティ検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP910696A JP2877061B2 (ja) | 1996-01-23 | 1996-01-23 | コプラナリティ検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09196625A true JPH09196625A (ja) | 1997-07-31 |
| JP2877061B2 JP2877061B2 (ja) | 1999-03-31 |
Family
ID=11711386
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP910696A Expired - Lifetime JP2877061B2 (ja) | 1996-01-23 | 1996-01-23 | コプラナリティ検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2877061B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002286430A (ja) * | 2001-03-23 | 2002-10-03 | Ckd Corp | はんだ印刷検査装置 |
| JP2007178367A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Shibaura Mechatronics Corp | ペーストの塗布量測定装置及びペースト塗布装置 |
| JP2009295814A (ja) * | 2008-06-05 | 2009-12-17 | Takaoka Electric Mfg Co Ltd | Ｉｃパッケージ基板検査装置 |
| DE19841235B4 (de) * | 1997-09-12 | 2010-07-29 | Mitutoyo Corp., Kawasaki-shi | Positionskalibrierverfahren für eine optische Meßeinrichtung |
| US7968858B2 (en) | 2007-06-28 | 2011-06-28 | Hong Fu Jin Precision Industry (Shenzhen) Co., Ltd. | System and method for scanning and measuring points of an object |
| CN102147237A (zh) * | 2009-12-24 | 2011-08-10 | 雅马哈发动机株式会社 | 检查装置以及检查方法 |
| CN109000594A (zh) * | 2018-08-01 | 2018-12-14 | 广西玉柴机器股份有限公司 | 激光检测柴油机前端轮系共面度的工艺方法 |
-
1996
- 1996-01-23 JP JP910696A patent/JP2877061B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| DE19841235B4 (de) * | 1997-09-12 | 2010-07-29 | Mitutoyo Corp., Kawasaki-shi | Positionskalibrierverfahren für eine optische Meßeinrichtung |
| DE19841235C5 (de) * | 1997-09-12 | 2012-10-11 | Mitutoyo Corp. | Positionskalibrierverfahren für eine optische Meßeinrichtung |
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| JP2007178367A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Shibaura Mechatronics Corp | ペーストの塗布量測定装置及びペースト塗布装置 |
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| CN102147237A (zh) * | 2009-12-24 | 2011-08-10 | 雅马哈发动机株式会社 | 检查装置以及检查方法 |
| CN109000594A (zh) * | 2018-08-01 | 2018-12-14 | 广西玉柴机器股份有限公司 | 激光检测柴油机前端轮系共面度的工艺方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2877061B2 (ja) | 1999-03-31 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19981222 |