JP2010248629A5 - - Google Patents

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  1. 基板の一部の領域に第１の成膜材料が被着されるように配置された第１の蒸発源と、
    前記基板の他の一部の領域に第２の成膜材料が被着されるように配置された第２の蒸発源と、
    前記第１の蒸発源と前記第２の蒸発源とに対向して前記基板を保持する基板保持部と、
    前記基板の被成膜面において前記第１の成膜材料と前記第２の成膜材料とが所定の比率で含まれるように前記基板を前記基板保持部に保持された状態で回転させる駆動部を有することを特徴とする成膜装置。
  2. 請求項１において、前記基板保持部は円形基板を保持するものであり、前記駆動部は前記円形基板の中央を回転中心として回転させるものであることを特徴とする成膜装置。
  3. 請求項２において、前記駆動部が前記基板を回転させる回転数が３００回転／分以上３００００回転／分以下であることを特徴とする成膜装置。
  4. 基板の被成膜面における一部の領域に第１の成膜材料が被着されるように第１の蒸発源から前記第１の成膜材料を蒸発させ、かつ前記基板の被成膜面の他の一部の領域に第２の成膜材料が被着されるように第２の蒸発源から前記第２の成膜材料を蒸発させ、
    前記第１の成膜材料と前記第２の成膜材料が前記基板の被成膜面の全面に交互に被着するように前記基板を回転させながら、前記被成膜面において前記第１の成膜材料と前記第２の成膜材料とが所定の比率で含まれるように共蒸着することを特徴とする成膜方法。
  5. 請求項４において、前記基板の回転数を３００回転／分以上３００００回転／分以下とすることを特徴とする成膜方法。
  6. 請求項４または請求項５において、前記第１の蒸発源から前記第１の成膜材料としてホスト材料を供給し、前記第２の蒸発源から前記第２の成膜材料としてゲスト材料を供給することで前記ゲスト材料と前記ホスト材料を共蒸着することを特徴とする成膜方法。
  7. 請求項６に記載の成膜方法を用いて発光層を含む発光ユニットを形成することを特徴とする照明装置の作製方法。
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