JP2010205354A - ガラスブランクの製造方法、プレス成型装置、情報記録媒体用基板の製造方法、および、情報記録媒体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ガラスブランクの製造方法は、軟化状態のガラスを下型プレス面上に供給するガラス供給工程と、プレス面上の塊状となったガラスの上面中央部に、冷却用部材を接触させて塊状ガラスを冷却する塊状ガラス冷却工程と、この直後に、塊状ガラスを上型と下型によりプレスするプレス工程とを経て、0.01≦t/d≦0.02、を満たすガラスブランクを作製する(但しtはガラスブランクの厚み(mm)、dはガラスブランクの直径(mm)を表す)。なお、プレス成型装置は上記製造方法を実施する装置であり、情報記録媒体用基板の製造方法および情報記録媒体の製造方法は、上記製造方法を利用する製造方法である。
【選択図】図2
Description
本発明のガラスブランクの製造方法は、軟化状態のガラスを下型のプレス面上に供給するガラス供給工程と、このプレス面上に供給され、塊状となった軟化状態のガラスの上面中央部に、冷却用部材を接触させることで、塊状ガラスを冷却する塊状ガラス冷却工程と、この塊状ガラス冷却工程の直後に、塊状ガラスを上型と下型とによりプレスするプレス工程と、を少なくとも経て、下式(1)を満たすガラスブランクを作製することを特徴とする。
・式(1) 0.01≦t/d≦0.02
〔式(1)中、tは、ガラスブランクの厚み(mm)を表し、dは、ガラスブランクの直径(mm)を表す。〕
・式(2) 15≦D≦40
〔式(2)中、Dは、柱状の冷却用部材が塊状ガラスの上面中央部と接触する範囲の直径(mm)を表す。〕
・式(3) 15≦D≦40
〔式(3)中、Dは、柱状の冷却用部材が塊状ガラスの上面中央部と接触する範囲の直径(mm)を表す。〕
−ガラスブランクの製造方法−
本実施形態のガラスブランクの製造方法は、軟化状態のガラスを下型のプレス面上に供給するガラス供給工程と、プレス面上に供給され、塊状となった軟化状態のガラスの上面中央部に、冷却用部材を接触させることで、塊状ガラスを冷却する塊状ガラス冷却工程と、この塊状ガラス冷却工程の直後に、塊状ガラスを上型と下型とによりプレスするプレス工程と、を少なくとも経て下式(1)を満たすガラスブランクを作製することを特徴とする。
・式(1) 0.01≦t/d≦0.02
ここで、式(1)中、tは、ガラスブランクの厚み(mm)を表し、dは、ガラスブランクの直径(mm)を表す。
・式(2) 15≦D≦40
ここで、式(2)中、Dは、上記柱状の冷却用部材が塊状ガラスの上面中央部と接触する範囲の直径(mm)を表す。当該範囲は、塊状ガラスの粘度にもよるが、プレス前に塊状ガラスが下型表面と接触する範囲に概ね相当する。
本実施形態のガラスブランクの製造方法を実施するガラス成型装置としては、塊状ガラス冷却工程の直後に、塊状ガラスを上型と下型とによりプレスするプレス工程を備えることが可能な構成を有するものであれば、その構成は特に限定されない。しかしながら、本実施形態のガラス成型装置は、具体的には以下に示す構成を有することが特に好ましい。すなわち、本実施形態のガラス成型装置は、軟化状態の塊状ガラスをプレス成形するプレス面を有する1個の上型および複数個の下型と、この複数個の下型が等間隔で周縁部に配置されると共に、360度を下型の数で割った回転角度毎に一方向へ回転と停止とを繰り返す円形状の回転テーブルと、軟化状態の塊状ガラスを、回転テーブルのいずれか1つの停止位置で停止する下型のプレス面上に供給するガラス供給手段と、いずれか1つの停止位置を基準として、この停止位置に隣接し、かつ、回転テーブルの回転方向下流側の停止位置で停止する下型のプレス面上に配置され、このプレス面に対して略垂直方向に移動可能な冷却用部材と、を少なくとも備え、下型のプレス面上に冷却用部材が配置される停止位置を基準として、この停止位置に隣接し、かつ、回転テーブルの回転方向下流側の停止位置で停止する下型のプレス面上に、上型が、当該下型のプレス面に対して垂直方向に移動可能に配置された構成を有することが特に好ましい。ここで、冷却用部材が「プレス面に対して略垂直方向に移動可能」とは、冷却用部材の移動方向が、プレス面に対して85度〜90度の角度を成すことを意味する。なお、プレス面と移動方向との成す角度は90度が最も好ましい。
次に、本実施形態のガラスブランクの製造方法やこれに用いる本実施形態のガラス成型装置の具体例について、図面を用いてより詳細に説明する。図5は、本実施形態のガラス形成装置を構成する回転テーブルの一例を示す上面模式図である。図5に示す円形状の回転テーブル30は、その周縁部に沿って、16個の下型32が等間隔に配置されている。そして、ガラスブランクを製造する場合、22.5度毎に回転と停止とを交互に繰り返しながら矢印R方向(時計回り方向)に回転する。また、図5中、一点鎖線で示されるラインは、下型32の停止位置を意味する。なお、この停止位置は、下型の数に対応して16あり、図5中では、各々の停止位置に対して、矢印R方向に沿ってP1〜P16の番号が付してある。なお、下型32は、図4に例示したように、胴型36と組み合わせて用いられるものであってもよい。
上述した本実施形態のガラスブランクの製造方法により作製されたガラスブランクについては、このガラスブランクの少なくとも片面を研削・研磨する研削・研磨工程を少なくとも経て、情報記録媒体用基板を作製する。また、ガラスブランクを構成するガラスが熱処理により結晶化可能なガラス組成を有する場合は、上記工程の他に、ガラスブランクを加熱することにより結晶化させる結晶化工程を組み合わせることもできる。なお、情報記録媒体用基板の製造の一典型例としては、たとえば、(1)第1ラッピング工程、(2)切り出し工程(コアリング、フォーミング)、(3)端面研削工程、(4)第2ラッピング工程、(5)端面研磨工程、(6)主表面研磨工程、(7)化学強化工程および冷却工程、(8)精密洗浄工程、をこの順に実施することできる。以下、これら8つの工程についてより具体的に説明する。なお、基板の直径よりも十分大きな直径を有する円盤状ガラスをプレス成形し、スクライビング加工により前記円盤状ガラスから同心円状の円盤状ガラスを取り出し、取り出した円盤状ガラスを上記(1)から(8)に至る工程によって基板にすることもできる。
第1ラッピング工程では、ガラスブランクの両主表面をラッピング加工することで、ディスク状のガラス素板を得る。このラッピング加工は、遊星歯車機構を利用した両面ラッピング装置により、アルミナ系遊離砥粒を用いて行うことができる。具体的には、ガラス素板の両面に上下からラップ定盤を押圧させ、遊離砥粒を含む研削液をガラス素板の主表面上に供給し、これらを相対的に移動させてラッピング加工を行うことができる。このラッピング加工により、平坦な主表面を有するガラス素板が得られる。
次に、ダイヤモンドカッタを用いてガラス素板を切断し、このガラス素板から、円盤状のガラス基板を切り出す。次に、円筒状のダイヤモンドドリルを用いて、このガラス基板の中心部に円孔を形成し、ドーナツ状のガラス基板を得る(コアリング)。
そして内周端面および外周端面をダイヤモンド砥石によって研削し、所定の面取り加工を施す(フォーミング)。
次に、得られたガラス基板の両主表面について、第1ラッピング工程と同様に、第2ラッピング加工を行う。この第2ラッピング工程を行うことにより、前工程である切り出し工程や端面研磨工程において主表面に形成された微細な凹凸形状を予め除去しておくことができ、後続の主表面に対する研磨工程を短時間で完了させることができる。
次に、ガラス基板の端面について、ブラシ研磨方法により、鏡面研磨を行う。このとき、研磨砥粒としては、酸化セリウム砥粒を含むスラリー(遊離砥粒)を用いることができる。この端面研磨工程により、ガラス基板の端面から、パーティクル等の発塵を防止できる。
主表面研磨工程の前半工程として、まず第1研磨工程を実施する。この第1研磨工程は、前述のラッピング工程において主表面に残留したキズや歪みの除去を主たる目的とする。この第1研磨工程においては、遊星歯車機構を有する両面研磨装置により、硬質樹脂ポリッシャを用いて、主表面の研磨を行う。研磨液としては、たとえば、酸化セリウム砥粒を用いることができる。そして、この第1研磨工程を終えたガラス基板を、中性洗剤、純水、IPA(イソプロピルアルコール)の各洗浄槽に順次浸漬して、洗浄する。
情報記録媒体用基板の作製に用いるガラスブランクが、リチウムやナトリウムなどのアルカリ金属を含むガラスからなる場合は、前述のラッピング工程及び研磨工程を終えたガラス基板に、化学強化を施すのが好ましい。化学強化工程を行うことにより、情報記録媒体用基板の表層部に高い圧縮応力を生じさせることができる。このため、情報記録媒体用基板の表面の耐衝撃性を向上させることができる。このような化学強化処理は、情報を記録再生するヘッドが、機械的に情報記録媒体表面に接触する可能性のある磁気記録媒体を作製する上で非常に好適である。
次に、研磨剤残渣や外来の鉄系コンタミなどを除去し、ガラス基板の表面をより平滑かつ清浄にするために、精密洗浄工程を実施するのが好ましい。このような精密洗浄工程の実施は、情報を記録再生するヘッドが、機械的に情報記録媒体表面に接触する可能性のある磁気記録媒体を作製する上で非常に好適である。精密洗浄の実施によりヘッドクラッシュやサーマルアスペリティの発生を抑制できるためである。なお、精密洗浄工程としては、アルカリ性水溶液による洗浄の後に、水リンス洗浄、IPA洗浄工程を行うようにしてもよい。
このようにして得られた情報記録媒体用基板の少なくとも片面に、情報記録層を形成する情報記録層形成工程を少なくとも経ることで、情報記録媒体を製造することができる。なお、磁気記録媒体を作製する場合は、情報記録層として磁気記録層が設けられる。この磁気記録媒体は、水平磁気記録方式および垂直磁気記録方式のいずれであってもよいが、垂直磁気記録方式であることが好ましい。垂直磁気記録方式の磁気記録媒体を作製する場合は、たとえば、情報記録媒体用基板の両面に、Cr合金からなる付着層、FeCoCrB合金からなる軟磁性層、Ruからなる下地層、CoCrPt−TiO2合金からなる垂直磁気記録層、水素化炭素からなる保護層、パーフルオロポリエーテルからなる潤滑層を、この順に順次成膜することができる。なお、付着層、軟磁性層、下地層、垂直磁気記録層は、スパッタリング法により成膜することができ、保護層は、スパッタリング法やCVD法(Chemical Vapor Deposition法)により成膜することができ、潤滑層は浸漬塗布法により成膜することができる。また、付着層から保護層までの成膜は、各層の連続成膜が可能なインライン型または枚葉型のスパッタリング装置を用いることができ、潤滑層の成膜は浸漬塗布装置を用いることができる。
アルミノシリケートガラスを溶融した溶融ガラスを、下型32のプレス面34上に供給した後、上型と下型32とによりサイドフリー方式でプレスすることにより断面形状が図2に示す形状を有するガラスブランク12(薄肉部1の厚みt=0.9mm、薄肉部1の直径d=70mm、厚肉部2の幅=17mm、厚肉部2の厚み=1.5mm)を連続して10000枚作製した。
・ガラス転移温度Tg:485℃
・ガラスの平均線膨張係数:95×10−7/K(100〜300℃)、98×10−7/K(300〜Tg℃)、37×10−6/K(Tg〜530℃)
・溶融ガラスを下型32のプレス面34上に供給する際のプレス面の温度:500℃
・プレス時の上型プレス面の温度:450℃
・下型32上に投入される溶融ガラスの粘度:40Pa・s
・プレス時間(ガラスに圧力を加える時間):1秒
・上型および下型32のプレス面34を構成する材料:鋳鉄(コーティング処理無し)
・冷却用部材50を構成する材料:ステンレス
・下型32からガラスブランク12をテイクアウトする際のガラスブランク12の温度: 520℃
・テイクアウト後のガラスブランク12の放置環境:常温大気中環境
実施例1で製造したガラスブランク12に対して、実施例2で製造するガラスブランク12の寸法を薄肉部1の厚みtを1.05mmに変更し、厚肉部2の厚みを1.65mmに変更した。ここで、このガラスブランク12の製造に際しては、ガラスブランク12のアスペクト比を表2に示すように変更し、これに合わせて、プレス時のプレス圧力を変更した以外は、実施例1と同様にしてガラスブランク12を製造した。
実施例1で製造したガラスブランク12に対して、実施例2で製造するガラスブランク12の寸法を薄肉部1の厚みtを0.8mmに変更し、厚肉部2の厚みを1.4mmに変更した。ここで、このガラスブランク12の製造に際しては、ガラスブランク12のアスペクト比を表2に示すように変更し、これに合わせて、プレス時のプレス圧力を変更した以外は、実施例1と同様にしてガラスブランク12を製造した。
実施例1のガラスブランク12の作製に際して、表2に示すように端面の直径を変更した冷却用部材50を用いた以外は、実施例1と同様にしてガラスブランク12を製造した。
実施例1のガラスブランク12の作製に際して、表3に示すように塊状ガラス冷却工程を実施しなかった以外は、実施例1と同様にしてガラスブランク12を製造した。
比較例1において作製するガラスブランクの形状を厚肉部の無い図1に示す形状に変更すると共に、薄肉部1の厚みを1.6mmに変更したガラスブランク10を作製した。ここで、このガラスブランク10の製造に際しては、ガラスブランク10のアスペクト比を表3に示すように変更し、これに合わせて、プレス時のプレス圧力を変更した以外は、比較例1と同様にしてガラスブランク10を製造した。
評価は、連続プレスの初期(1枚目〜1000枚目)、中期(4500枚目〜5500枚目)および後期(9000枚目〜10000枚目)におけるガラスの上型への貼り付き、ガラスブランク12の変形、および、ガラスブランク12のクラックについて評価した。結果を表2および表3に示す。
貼り付きは、1000枚あたり、何枚貼り付きが発生したかで評価した。評価基準は以下の通りである。
◎:貼り付きは発生せず。
△:1000枚当たり1枚以上5枚未満の貼り付きが発生。
×:1000枚当たり5枚を超える貼り付きが発生。
盛り上がり変形は、1000枚のサンプルについて、ガラスブランク10、12の中央φ30mm内につき、それより外側が形成する基準面に対する盛り上がり高さをサーフコム(株式会社東京精密製)により直径方向に測定することにより評価した。なお、基準面からの盛り上がり高さが20μmを超えたものを不良品としてカウントした。評価基準は以下の通りである。
◎:不良品は発生せず。
○:1000枚当たり1枚以上20枚未満の不良品が発生
×:1000枚当たり20枚以上の不良品が発生
肉厚偏差不良は、有効面内の肉厚偏差が15μmを超えるものを不良とし、1000枚あたり、何枚不良が発生したかで評価した。評価基準は以下の通りである。
◎:不良は発生せず。
△:1000枚当たり1枚以上5枚未満の不良が発生。
×:1000枚当たり5枚を超える不良が発生。
2、3 厚肉部
10、12、14 ガラスブランク
30 回転テーブル
32 下型
34 プレス面
36 胴型
38 上型
40 塊状ガラス
50 柱状の冷却用部材
Claims (7)
- 軟化状態のガラスを下型のプレス面上に供給するガラス供給工程と、
上記プレス面上に供給され、塊状となった上記軟化状態のガラスの上面中央部に、冷却用部材を接触させることで、上記塊状ガラスを冷却する塊状ガラス冷却工程と、
該塊状ガラス冷却工程の直後に、上記塊状ガラスを上型と上記下型とによりプレスするプレス工程と、を少なくとも経て、
下式(1)を満たすガラスブランクを作製することを特徴とするガラスブランクの製造方法。
・式(1) 0.01≦t/d≦0.02
〔式(1)中、tは、上記ガラスブランクの厚み(mm)を表し、dは、上記ガラスブランクの直径(mm)を表す。〕 - 請求項1に記載のガラスブランクの製造方法において、
前記冷却用部材の形状が柱状であり、
前記塊状ガラス冷却工程が、上記柱状の冷却用部材の軸方向を前記プレス面と略直交させた状態で、上記柱状の冷却用部材を前記塊状ガラスの上面中央部と接触させることにより実施され、かつ、下式(2)を満たすことを特徴とするガラスブランクの製造方法。
・式(2) 15≦D≦40
〔式(2)中、Dは、上記柱状の冷却用部材が前記塊状ガラスの上面中央部と接触する範囲の直径(mm)を表す。〕 - 軟化状態の塊状ガラスをプレス成形するプレス面を有する1個の上型および複数個の下型と、
上記複数個の下型が等間隔で周縁部に配置されると共に、360度を上記下型の数で割った回転角度毎に一方向へ回転と停止とを繰り返す円形状の回転テーブルと、
上記軟化状態の塊状ガラスを、上記回転テーブルのいずれか1つの停止位置で停止する下型のプレス面上に供給するガラス供給手段と、
上記いずれか1つの停止位置を基準として、当該停止位置に隣接し、かつ、上記回転テーブルの回転方向下流側の停止位置で停止する下型のプレス面上に配置され、当該プレス面に対して略垂直方向に移動可能な冷却用部材と、を少なくとも備え、
下型のプレス面上に上記冷却用部材が配置される停止位置を基準として、当該停止位置に隣接し、かつ、上記回転テーブルの回転方向下流側の停止位置で停止する下型のプレス面上に、上記上型が、当該下型のプレス面に対して垂直方向に移動可能に配置されたことを特徴とするプレス成型装置。 - 請求項3に記載のプレス成型装置において、
前記冷却用部材の形状が柱状であり、上記柱状の冷却用部材がその軸方向に上下に移動可能であり、
前記ガラス供給手段により軟化状態の塊状ガラスが下型のプレス面上に配置された後、当該下型が、前記回転テーブルの回転により前記冷却用部材の下方に移動して停止した状態において、下式(3)を満たすことを特徴とする請求項3に記載のプレス成型装置。
・式(3) 15≦D≦40
〔式(3)中、Dは、上記柱状の冷却用部材が前記塊状ガラスの上面中央部と接触する範囲の直径(mm)を表す。〕 - 請求項1または2に記載のガラスブランクの製造方法により作製されたガラスブランクの少なくとも片面を研削・研磨する研削・研磨工程を少なくとも経て、情報記録媒体用基板を作製することを特徴とする情報記録媒体用基板の製造方法。
- 請求項5に記載の情報記録媒体用基板の製造方法において、
前記ガラスブランクを加熱することにより結晶化させる結晶化工程を有することを特徴とする情報記録媒体用基板の製造方法。 - 請求項5または請求項6に記載の情報記録媒体用基板の製造方法により作製された情報記録媒体用基板の少なくとも片面に情報記録層を形成する情報記録層形成工程を少なくとも経て、情報記録媒体を製造することを特徴とする情報記録媒体の製造方法。
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