JP3286956B2

JP3286956B2 - 肉薄板状ガラスの製造方法及び情報記録媒体用ガラス基板の製造方法並びに磁気記録媒体

Info

Publication number: JP3286956B2
Application number: JP35309797A
Authority: JP
Inventors: 武雄小田切; 俊雄関場; 明村上; 静夫鈴木; 匠矢田; 哲也斉藤; 淳齋藤; 勝也長倉
Original assignee: Hoya Corp
Current assignee: Hoya Corp
Priority date: 1996-12-26
Filing date: 1997-12-22
Publication date: 2002-05-27
Anticipated expiration: 2017-12-22
Also published as: JPH10236831A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録媒体、光
磁気記録媒体および光記録媒体などの情報記録媒体の基
板として、あるいはカメラ用フィルタ、マスクブランク
スなどの板状ガラスとして使用される、例えば肉厚３ｍ
ｍ程度以下の肉薄板状ガラスをプレス成形により製造す
る肉薄板状ガラスの製造方法に関し、さらには情報記録
媒体用ガラス基板の製造方法並びに磁気記録媒体に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】最近、磁気記録媒体など情報記録媒体の
基板としてガラス基板が多く使用されている。しかも、
そのガラス基板を製造する方法として、板状のガラスか
ら切り出す方法に代えて、溶融ガラスから成形型を用い
て直接プレス成形する方法、すなわちダイレクトプレス
法が採用されている。

【０００３】このダイレクトプレス法の従来例として
は、特開平５−１０５４５８号公報に開示される方法が
ある。この方法は、離型剤層を成形面に形成した成形型
で、ガラス原料の温度が軟化点以下で、上下型と熱的に
平衡となるまで充分な時間プレスすることにより、反り
の小さな近最終形状のディスク形状ガラス製品を製造す
る方法である。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ガラス
原料の温度が軟化点以下で、上下型と熱的に平衡となる
まで充分な時間プレス成形する上記方法では、プレス成
形にかかる時間が長く、量産性が悪いという問題点があ
った。また、特開平５−１０５４５８号公報に記載の方
法では、温度コントロールを完全に制御することは難し
く、反りをある程度以上に小さくすることができなかっ
た。このような製造方法で得られたガラス製品は、従来
では磁気記録媒体用基板として使用できたかもしれない
が、最近では磁気記録媒体の高密度化の要求が高まり、
従来より、より反りの小さな基板が求められ、特にＭＲ
ヘッドに対応可能な磁気記録媒体用基板では高い平坦性
が要求されていることから、好ましい製法とはいえな
い。したがって、特開平５−１０５４５８号公報に記載
の方法でも、ＭＲヘッド対応用の磁気記録媒体用ガラス
基板を製造する場合、結局、ガラス基板を所定のスペッ
クに収まるように研削・研磨加工する必要がある。この
研削は、研削板によって肉薄板状ガラスの両側面から圧
力をかけた状態でなされるが、反りがある肉薄板状ガラ
スは、研削の際に撓むため、研削後に肉薄板状ガラスの
両側から圧力を解くと、再び肉厚板状ガラスが反るとい
う問題がある。このため、肉薄板状ガラスを研削する場
合に、肉薄板状ガラスが撓まないように常にきめ細かく
肉薄板状ガラスに加える圧力を調節しなければならず、
このため研削時間が長くなるから、この点からも平坦性
の良い肉薄板状ガラスの量産性を向上させることはでき
ない。

【０００５】また、従来のダイレクトプレス法の他の例
として特開平７−１３３１２１号公報に開示される方法
がある。この方法は、上下の型のプレス面の表面温度を
プレス成形するガラスの転移点近傍に設定するととも
に、胴型の内表面温度を前記プレス面の表面温度より高
く設定し、このような設定状態の下、溶融ガラスを上下
の型でプレスして最終製品に近いディスク状ガラス製品
を得る方法である。しかし、この方法でも、前記の方法
と同様に、得られたガラス基板を所定のスペックに収ま
るように研削・研磨加工する必要があり、上記と同様の
理由により量産性が悪いという問題がある。

【０００６】したがって、本発明の目的は、平坦性の良
い肉薄板状ガラスを高い量産性のもとに生産できる肉薄
板状ガラスの製造方法を提供することであり、さらには
情報記録媒体用ガラス基板の製造方法並びに磁気記録媒
体を提供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、溶融ガラスが
供給される下型と該下型に対向した上型との間でプレス
成形を行う肉薄板状ガラスの製造方法であって、所定の
温度に保たれた下型及び上型でプレス成形し、かつ肉薄
板状ガラスの内部がガラス転移点より高い温度状態にあ
るときに前記肉薄板状ガラスから上型を離してプレス成
形を終了し、次いで、プレス成形により成形された肉薄
板状ガラスの反りを修正する工程を施し、該反りを修正
する工程を肉薄板状ガラスの内部がガラス転移点より高
い温度状態にあるときに終了することを特徴とする肉薄
板状ガラスの製造方法とする。好ましくは、プレス時間
の短縮の観点から、プレス成形、反り修正プレスは、ガ
ラスの軟化点より高い時間で終了することが好ましい。
また、反りを修正するガラスの温度は、プレス成形する
温度より低い方が好ましい。このように、ガラス転移
点、ガラス軟化点、より高い温度で各プレスを終了する
ので、成形プレス終了時のガラスは、型の成形面に対応
する形状を、離型後も基本的には維持し、且つ外力によ
って微小変形も可能な状態になっている。各プレスの所
用時間は、２秒以内が好ましく、更に好ましくは１．８
秒以内である。なお、上述したガラス内部とは、放熱が
著しいガラスの表層部に覆われたガラスの主要部のこと
である。このガラス内部の温度が、形状維持性、形状変
形性に影響を与える。また、本発明の肉薄板状ガラスと
は、磁気ディスク用ガラス基板に代表されるような薄板
状ガラス基板のことである。例えば、板厚が２〜４ミリ
以下、直径、長さが１５センチ以下のガラスが代表的な
ものである。

【０００８】下型は、ガラスゴブの供給の工程、プレス
成形の工程、反り修正の工程、成形品の取り出し工程等
の工程を順次経るように設計され、例えばターンテーブ
ルの円周上に複数個の下型を配置し、下型が各工程を経
るようにターンテーブルを回転させることが好ましい
が、直線方向に移動するように設計してもよい。また、
各工程に、同時に供せられる下型の数は、単数個であっ
てもよい。一方、上型は、プレス成形の工程に位置した
下型に対向して配置される。従って、上型は、一度のプ
レス成形に使用される下型と少なくとも同数が必要であ
るが、それ以上の個数を備えてもよい。また、プレス成
形後に溶融ガラスから上型に移動した熱を除去して、上
型の温度が成形時の適切温度になるように短時間で温度
コントロールすることができれば、１個の上型でもよ
い。

【０００９】次に、上型及び下型（以下、上型及び下型
を成形型と呼ぶことがある）のそれぞれの成形面の温度
は、プレス成形開始時に、ある所定の温度に調節される
ことが必要である。ここで、成形型について所定の温度
とは、ガラス材料を、肉薄の板状に成形するのに適した
温度をいう。かかる温度は、硝子種、肉厚、ガラス板の
サイズ等により適宜決定される温度である。

【００１０】さらに、プレス成形開始時の上型および下
型の成形面の温度を前記所定温度に調節するために、上
型および下型に対して、必要に応じて加熱する手段、お
よび冷却する手段が講じられる。加熱する手段として
は、例えば、ニクロムヒータを下型（上型）の周囲に複
数配置して加熱する方法、下型（上型）の周囲を取り囲
むように配置したコイルに電流を流して導電体からなる
成形型を誘導加熱する方法、ガスにより加熱する方法等
がある。下型（上型）が複数個配置される場合に、各々
の下型（上型）の周囲にニクロムヒータを配置して加熱
する場合には、各ニクロムヒータ間の温度のバラツキに
より、各々の下型（上型）を均一に加熱するのが困難で
あるので、均一な加熱ができる誘導加熱による方法が好
ましい。誘導加熱によると、一つのコイルで各々の下型
（上型）を加熱することができるため熱源温度のバラツ
キという問題がなく、コイルと各々の下型（上型）との
距離を一定にすることで成形型を均一に加熱することが
できる。ここで、誘導加熱の際にコイルに流す電流は、
高周波電流であることが好ましい。低周波電流では装置
が大がかりになり、また、人の可聴音域であるため騒音
が問題となる場合がある。一方、下型（上型）が単数個
である場合には、各ニクロムヒータ間での温度のバラツ
キという問題がないので、ニクロムヒータを下型（上
型）の周囲に配置して加熱する方法を採用できる。

【００１１】一方、プレス成形に供せられた成形型の温
度は、プレス成形前に比べて上昇している。連続してガ
ラスの成形を行うためには、次のプレス成形までに成形
型を冷却して、どの成形品についても同等の温度条件で
成形する必要が生じる。したがって、加熱手段と同時
に、冷却手段も必要となる。冷却手段としては、成形型
の中空部に水や空気を循環させる方法、水等の液体を成
形型の中空部内面に吹き付けて気化させる方法などを採
用することができる。液体を吹き付けて気化させる方法
によると、液体の気化熱で成形型を冷却することができ
るため、液体を循環させる方法よりも少ない液量で冷却
効果が得られる。従って、水等の気化熱を利用する方法
は、冷却効果の観点ばかりでなく、冷却装置をより小さ
くすることができる観点からも好ましい。さらに、例え
ば上型の冷却に時間がかかり、成形後、次の成形までに
所定の温度までに冷却できない場合等には、上型を複数
個用意し、どれか１つの上型がプレス成形を行っている
ときに、他の上型を冷却しておき、冷却後の上型を順次
プレス成形に供するようにしてもよい。

【００１２】本発明では、プレス成形終了時に、肉薄板
状ガラスの温度が、成形型の温度より高く、この時点で
肉薄板状ガラスと成形型とは熱的に平衡状態に至ってい
ない。しかし、上記の如く、成形型があらかじめ所定の
温度に保たれているので、成形後冷却して得られた肉薄
板状ガラスは、反り等の品質が一定した一定の形状をし
ており、研削・研磨しやすい形状となっている。また、
肉薄板状ガラスと成形型は熱的に平衡状態に達するまで
冷却する必要がないため、成形時間を短縮することもで
きる。

【００１３】本発明において、プレス成形後のガラス体
は、各型を通して放出される熱量が異なっており、これ
が原因となってガラス体の対向主表面が湾曲したように
反っている。この反りを低減、除去するのが、肉薄板状
ガラスの反り修正工程である。この反りの修正方法とし
ては、例えば、プレス成形後の肉薄板状ガラスにおけ
る、上面と下面の温度が高い方から、空気等を吹きかけ
て熱を奪う方法や、プレス成形後のガラス体を平坦な一
対の基盤で押圧して、外力によって平坦な形態になるよ
うに変形する方法（以下、反り修正プレスと呼ぶ）があ
る。平坦な一対の基盤でガラス体を押圧する場合は、平
坦な一対の基盤として、プレス成形で使用した上型と下
型を用いてもよい。この反り修正工程におけるガラスの
粘度は、外力が付与されなければ、プレス成形で付与さ
れた形状を維持し、外力が付与されれば、微小変形する
値であることが好ましい。反り修正で使用する平坦な基
盤の温度は、４００〜６５０°Ｃが好ましい。４００°
Ｃ未満だとガラスに欠陥を発生させ、６００°Ｃを超え
るとガラスが基盤に張り付くためである。この温度はガ
ラスの温度より２５０〜２０°Ｃ低く、成形プレスで使
用する型より、５０〜２００°Ｃ高くするのが好まし
い。これは、反りの修正工程では、プレス成形時よりガ
ラスの温度、粘度が低下しており、反り修正でワレが発
生するのを防止するためである。

【００１４】プレス成形は、不定形な溶融ガラスを成形
型の内周成形面に対応した一定形状に成形するものであ
るが、上記の反り修正プレスは、プレス成形により得ら
れた肉薄板状ガラスを形状加工するという意味合いから
ではなく、プレス成形によって形状加工された肉薄板状
ガラスの反りを取り除き（または低減し）、肉薄板状ガ
ラスを平坦または平坦に近い形態にするためになされる
ものである。好ましい反り修正プレスは、上型と下型と
の間で平坦な状態とされた肉薄板状ガラスをこれよりも
低温になっている一対の平坦な基盤（または上型と下
型）によって冷やし硬くすることにより、肉薄板状ガラ
スの反りを修正するというものである。反り修正プレス
は、肉薄板状ガラスの内部がガラス転移点より高い状態
にあるときに行うのが好ましい。ガラス転移点以下の状
態で反り修正プレスを行うと、肉薄板状ガラスが硬すぎ
るため、肉薄板状ガラスにひびや割れが発生する傾向が
ある。一方、肉薄板状ガラスが軟らかすぎると、反り修
正プレスにより肉薄板状ガラスの形状が変化してしまい
好ましくないので、この観点から反り修正プレスを行う
温度の上限が定められる。

【００１５】プレス成形に使用する上型、下型の温度
は、ガラスの種類、ガラスの離形性、型の損傷等の観点
から設定されるが、上型は２５０〜４５０°Ｃ、下型は
３５０〜５５０°Ｃが好ましい。これは、型の温度の下
限より下の温度だとガラスの伸びが充分ではなく、上限
の温度を超えると、焼き付きや張り付きが起こるからで
ある。上型の温度は、下型と同じ温度か、または下型の
温度より５０〜１００°Ｃ低い方が好ましい。また、下
型又は／及び上型を案内する胴型は、下型と近似した温
度が好ましい。下型の温度は、プレス成形、反り修正後
の肉薄板状ガラスの反りの状態によって制御することが
好ましい。完成した板状ガラスが凹形状の反りを有して
いる場合は、下型の温度を下げることにより、ガラスの
粘度が下がり、次工程の反り修正を適正に行うことがで
きる。逆に凸形状の反りがある場合は、下型の温度を上
げ、反り修正時のガラスの粘度を上げることにより、反
り修正を適正に行うことができる。

【００１６】溶融ガラスを薄い板状に成形するために
は、溶融ガラスを外周方向によく引き延ばすことが必要
であるため、成形型の成形面に固体潤滑剤を付着させて
溶融ガラスの潤滑性を上げることが好ましい。このと
き、肉薄板状ガラスを成形する際の成形型は、肉厚のも
のをプレス成形する場合よりもより多くの熱を溶融ガラ
スから受け取るため高温になる。従って、固体潤滑剤は
高温域においても潤滑性を失わない耐熱性のものである
ことが好ましい。このような耐熱性固体潤滑剤として
は、耐熱性に優れるものであれば特に限定されないが、
窒化ホウ素（ＢＮ）が好適である。また、極薄い肉薄板
状ガラスであっても機械的強度に優れる板状ガラスを得
るために、ガラス素材として溶融温度が高いものを用い
ることがある。このような場合には、成形型もかなり高
温となるため、固体潤滑剤に要求される耐熱性は非常に
高度なものとなる。このような場合にもＢＮ粉末等の高
耐熱性固体潤滑剤粉末は好適に用いられる。耐熱性固体
潤滑剤は粉末化したものを用いることで、ガラスの成形
面への均一な付着および余剰分の除去を容易に行うこと
ができる。

【００１７】さらに、成形型の材料は、耐熱性のあるも
のであればよく、グラファイト、タングステン合金、窒
化物、炭化物、耐熱金属等が用いられるが、特に鋳鉄
が、強度、耐久性に優れるため好ましい。

【００１８】本発明の成形プレス、反り修正プレスを経
て完成した肉薄板状ガラスは、完全に反りが除去されて
いる場合と、反りが残存している場合がある。反りを機
械的研削、研磨で除去することができれは反りが残存し
たプレス完成品としてもよい。反ったガラス基板を単純
に通常の研削、研磨すると、その完成品は依然反ったも
のになってしまう。したがって、反ったプレス品を研
削、研磨するには、工夫が必要になる。良好な研削方法
を実現するには、要は、研削する際、プレス品の湾曲
が、研削のラップ盤の荷重により変形することを抑制し
て研削すればよい。具体的には、ラップ盤の荷重を、研
削開始から時間がたつに従って徐々に上げて、まず平坦
なガラス基板を形成した後、板厚が所定の寸法になるよ
うに更に荷重を上げて研削すればよい。また、プレス品
の湾曲の変形を抑える他の方法としては、プレス品の形
状を単純な円盤状にするのではなく、プレス品の周辺部
にラップ盤の圧力を支持する圧力受け部をプレス成形の
段階で形成してもよい。このような形状の場合、ラップ
盤の圧力は、圧力受け部で受けられるので、湾曲した部
分の変形を容易に抑制することができる。なお、このよ
うな、反ったガラス基板を平坦に研削、研磨する発明
は、特開平５−１０５４５８号公報、特開平７−１３３
１２１号公報に記載されたプレス方法に記載された方法
によって得られたプレス品にも適用できる。

【００１９】上記の製造方法により得られた肉薄板状ガ
ラスは、研削、研磨等の機械加工を経て例えば情報記録
媒体用ガラス基板となる。その際の研削、研磨の工程
は、通常、大きく分けて、（１）荒ずり（粗研磨）、
（２）砂掛け（精研削、ラッピング）、（３）第一研磨
（ポリッシュ）、（４）第二研磨（ファイナル研磨、ポ
リッシュ）の各工程からなる。場合によっては、（１）
荒ずり（粗研磨）を省略してもよい。

【００２０】さらに、上記情報記録媒体用ガラス基板
は、そのガラス基板上に下地層、磁性層、保護層、潤滑
層を順次積層することにより、磁気記録媒体を構成す
る。ここで、磁気記録媒体のガラス基板の材質として
は、たとえば、アルミノシリケートガラス、ソーダライ
ムガラス、ソーダアルミノケイ酸ガラス、アルミノボロ
シリケートガラス、ボロシリケートガラス、石英ガラ
ス、チェーンシリケートガラス、または、結晶化ガラス
等のガラスセラミックなどが挙げられる。さらに、好ま
しくは、次のような組成のガラスが使用される。（１）結晶化ガラス１重量％表示で、ＳｉＯ₂が６０〜８７％、Ｌｉ₂Ｏが５
〜２０％、Ｎａ₂Ｏが０〜５％、Ｋ₂Ｏが０〜１０％、
Ｎａ₂ＯとＫ₂Ｏが合計で０．５〜１０％、ＭｇＯが
０．５〜７．５％、ＣａＯが０〜９．５％、ＳｒＯが０
〜１５％、ＢａＯが０〜１３％、ＺｎＯが０〜１３％、
Ｂ₂Ｏ₃が０〜１０％、Ａｌ₂Ｏ₃が０〜１０％、Ｐ₂
Ｏ₅が０．５〜８％、ＴｉＯ₂が０〜５％、ＺｒＯ₂が
０〜３％、ＳｎＯ₂が０〜３％、Ａｓ₂Ｏ₃とＳｂ₂Ｏ
₃が合計で０〜２％、、上記金属酸化物の１種以上の金
属元素のフッ化物をＦの合計量として０〜５％含有し、
場合により着色成分として、Ｖ₂Ｏ₅、ＣｕＯ、ＭｎＯ
₂、Ｃｒ₂Ｏ₃、ＣｏＯ、ＭｏＯ₃、ＮｉＯ、Ｆｅ₂Ｏ
₃、ＴｅＯ₂、ＣｅＯ₂、Ｐｒ₂Ｏ₃、Ｎｄ₂Ｏ₃、Ｅ
ｒ₂Ｏ₃の群より選ばれた少なくとも１種を０〜５％含
有し、主結晶としてリチウムジシリケート、場合により
α−クリストバライト、α−クオーツ、リチウムモノシ
リケート、β−スポジューメン等を含有し、結晶粒の大
きさが３．０μｍ以下である結晶化ガラス。（２）結晶化ガラス２重量％表示で、ＳｉＯ₂が４５〜７５％、ＣａＯが４〜
３０％、Ｎａ₂Ｏが２〜１５％、Ｋ₂Ｏが０〜２０％、
Ａｌ₂Ｏ₃が０〜７％、ＭｇＯが０〜２％、ＺｎＯが０
〜２％、ＳｎＯ₂が０〜２％、Ｓｂ₂Ｏ₃が０〜１％、
Ｂ₂Ｏ₃が０〜６％、ＺｒＯ₂が０〜１２％、Ｌｉ₂Ｏ
が０〜３％、上記金属酸化物の１種以上の金属元素のフ
ッ化物をＦの合計量として３〜１２％含有し、場合によ
り着色成分としてＣｒ₂Ｏ₃、Ｃｏ₃Ｏ₄等を含有し、
主結晶としてカナサイト又はカリウム・フルオロ・リヒ
テライトを含有し、結晶粒の大きさが１．０μｍ以下で
ある結晶化ガラス。（３）ガラス３重量％表示で、ＳｉＯ₂が６２〜７５％、Ａｌ₂Ｏ₃が
４〜１８％、ＺｒＯ₂が０〜１５％、Ｌｉ₂Ｏが３〜１
２％、Ｎａ₂Ｏが３〜１３％含有するガラス。重量％
で、６２〜７５％のＳｉＯ₂、５〜１５％のＡｌ
₂Ｏ₃、４〜１０％のＬｉ₂Ｏ、４〜１２％のＮａ
₂Ｏ、および５．５〜１５％のＺｒＯ₂を含有し、かつ
Ｎａ₂Ｏ／ＺｒＯ₂の重量比が０．５〜２．０であり、
さらにＡｌ₂Ｏ₃／ＺｒＯ₂の重量比が０．４〜２．５
である化学強化用ガラス。

【００２１】このようなガラス基板は、耐衝撃性や耐振
動性等の向上を目的として、表面に低温イオン交換法に
よる化学強化処理を施すことができる。ここで、化学強
化方法としては、従来より公知の化学強化法であれば特
に制限されないが、例えば、ガラス転移点の観点から転
移温度を超えない領域でイオン交換を行う低温型化学強
化などが好ましい。化学強化に用いるアルカリ溶融塩と
しては、硝酸カリウム、硝酸ナトリウム、あるいは、そ
れらを混合した硝酸塩などが挙げられる。

【００２２】下地層としては、例えば、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｔ
ａ、Ｔｉ、Ｗ、Ｖ、Ｂ、Ａｌなどの非磁性金属から選ば
れる少なくとも一種以上の材料からなる下地層等が挙げ
られる。Ｃｏを主成分とする磁性層の場合には、磁気特
性向上等の観点からＣｒ単体やＣｒ合金であることが好
ましい。また、下地層は単層とは限らず、同一又は異種
の層を積層した複数層構造とすることもできる。例え
ば、Ｃｒ／Ｃｒ、Ｃｒ／ＣｒＭｏ、Ｃｒ／ＣｒＶ、Ｃｒ
Ｖ／ＣｒＶ、Ａｌ／Ｃｒ／ＣｒＭｏ、Ａｌ／Ｃｒ／Ｃ
ｒ、Ａｌ／Ｃｒ／ＣｒＶ、Ａｌ／ＣｒＶ／ＣｒＶ等の多
層下地層等が挙げられる。

【００２３】磁性層としては、例えば、Ｃｏを主成分と
するＣｏＰｔ、ＣｏＣｒ、ＣｏＮｉ、ＣｏＮｉＣｒ、Ｃ
ｏＣｒＴａ、ＣｏＰｔＣｒ、ＣｏＮｉＰｔや、ＣｏＮｉ
ＣｒＰｔ、ＣｏＮｉＣｒＴａ、ＣｏＣｒＴａＰｔ、Ｃｏ
ＣｒＰｔＳｉＯなどの磁性薄膜が挙げられる。磁性層
は、磁性膜を非磁性膜（例えば、Ｃｒ、ＣｒＭｏ、Ｃｒ
Ｖなど）で分割してノイズの低減を図った多層構成（例
えば、ＣｏＰｔＣｒ／ＣｒＭｏ／ＣｏＰｔＣｒ、ＣｏＣ
ｒＴａＰｔ／ＣｒＭｏ／ＣｏＣｒＴａＰｔなど）として
もよい。磁気抵抗型ヘッド（ＭＲヘッド）又は大型磁気
抵抗型ヘッド（ＧＭＲヘッド）対応の磁性層としては、
Ｃｏ系合金に、Ｙ、Ｓｉ、希土類元素、Ｈｆ、Ｇｅ、Ｓ
ｎ、Ｚｎから選択される不純物元素、又はこれらの不純
物元素の酸化物を含有させたものなども含まれる。ま
た、磁性層としては、上記の他、フェライト系、鉄−希
土類系や、ＳｉＯ₂、ＢＮなどからなる非磁性膜中にＦ
ｅ、Ｃｏ、ＦｅＣｏ、ＣｏＮｉＰｔ等の磁性粒子が分散
された構造のグラニュラーなどであってもよい。また、
磁性層は、内面型、垂直型のいずれの記録形式であって
もよい。

【００２４】保護層としては、例えば、Ｃｒ膜、Ｃｒ合
金膜、カーボン膜、ジルコニア膜、シリカ膜等が挙げら
れる。これらの保護層は、下地層、磁性層等とともにイ
ンライン型スパッタ装置で連続して形成できる。また、
これらの保護層は、単層としてもよく、あるいは、同一
又は異種の膜からなる多層構成としてもよい。さらに、
上記保護層上に、あるいは上記保護層に替えて、他の保
護層を形成してもよい。例えば、上記保護層に替えて、
Ｃｒ膜の上にテトラアルコキシランをアルコール系の溶
媒で希釈した中に、コロイダルシリカ微粒子を分散して
塗布し、さらに焼成して酸化ケイ素（ＳｉＯ₂）膜を形
成してもよい。

【００２５】潤滑層は、例えば、液体潤滑剤であるパー
フロロポリエーテル（ＰＦＰＥ）をフレオン系などの溶
媒で希釈し、媒体表面にディッピング法、スピンコート
法、スプレイ法によって塗布し、必要に応じ加熱処理を
行って形成する。

【００２６】

【発明の実施の形態】次に添付図面を参照して本発明に
よる肉薄板状ガラスの製造方法の実施の形態を詳細に説
明する。図１は原料ガラスの温度変化特性概念図、図２
は製造方法の工程図である。図１に温度変化特性を示し
た原料ガラスの組成は次の通りである。すなわち、Ｓｉ
Ｏ₂が６３．７、Ａｌ₂Ｏ₃が１４、Ｌｉ₂Ｏが７、Ｎ
ａ₂Ｏが９、ＺｒＯ₂が６、Ｓｂ₂Ｏ₃が０．３の各重
量％である。図２に示すように、本発明の実施の形態の
製造方法では、まず工程１で、下型の成形面に耐熱性固
体潤滑剤粉末を付着させる。この耐熱性固体潤滑剤粉末
は六方晶ＢＮ（窒化ボロン）粉末からなり、気体ととも
に噴射して下型の成形面に付着させる。この耐熱性固体
潤滑剤粉末を成形面に付着させることにより、離型性の
向上、溶融ガラスの延びの向上等を図ることができる。
次に、工程２で、下型の成形面上に溶融ガラス（図１に
示すように１２００℃）を適当量供給し、表面張力で丸
みを帯びたオハジキ状のガラスゴブとする。次に、工程
３で下型上に上型を下降させ、上下の型でガラスゴブを
肉薄の板状ガラスにプレス成形する。このとき、プレス
成形は１秒程度のごく短時間で行い、肉薄の板状ガラス
が軟化状態にあるとき、すなわち肉薄の板状ガラスの内
部が図１で示すように６９０℃の軟化点（Ｔｓ）以上の
温度であるときに上型を上昇させてプレス成形を終了す
る。なお、このプレス成形に供される上型には、下型と
同様にあらかじめ成形面に耐熱性固体潤滑剤粉末（六方
晶ＢＮ粉末）が付着されている。したがって、軟化状態
の高温の板状ガラスから上型を離す際に、上型にガラス
が融着するのを防止することができる。

【００２７】次に、下型上に残された肉薄板状ガラスに
対して、反り率を修正する工程を行う。ここでは、上型
と同様な成形面を有した成形型によって、反り修正プレ
スを行った。この反り修正プレスは、ここでは２回行う
こととし、図２の工程４で示すように第１回目の反り修
正プレスを行った時は、肉薄板状ガラスは図１に示すよ
うに未だ６９０℃の軟化点以上の温度にあった。次に、
工程５で第２回目の反り修正プレスを肉薄板状ガラスに
対して行ったときは、肉薄板状ガラスは図１に示すよう
に、６９０℃の軟化点と５００℃の転移点（Ｔｇ）との
中間の温度にあった。その後、５００℃の転移点温度以
下に下がった状態（ただし、３８０℃の歪み点以上の温
度）で肉薄板状ガラスを下型上から取り出し（工程
６）、工程７のアニーリング工程（９時間）に移す。

【００２８】このような方法によれば、肉薄の板状ガラ
スが軟化状態にあり、成形型とガラスが熱的に平衡でな
い状態にあるときにプレス成形を終了しているので、プ
レス成形にかかる時間が短くなる。このプレス時間が短
くなるのに加えて、反り修正プレスが、肉薄板状ガラス
の内部がガラス転移点より高い状態にあるときに終了し
プレス成形終了から反り修正プレス終了までの時間も短
く設定されているので、この方法によれば、肉薄板状ガ
ラスの量産性が向上する。さらに、この方法では、プレ
ス時間が短く、肉薄板状ガラスから上型及び下型へ移動
する熱量が均一ではなく、肉薄板状ガラスの上型側と下
型側とが熱的に非均衡な状態となっており、肉薄板状ガ
ラスはある程度反った状態となるが、反り修正プレスに
よって反りが修正されるので、平坦性の良い肉薄板状ガ
ラスが製造される。

【００２９】図３は、上記の方法に使用される上型装置
１１および下型装置１２の一具体例を示す平面図であ
る。下型装置１２は、中心部の図示しない回転軸を中心
として２秒に１回の割合で１ピッチずつ回転するターン
テーブル１３上の同一円周上に１６個の下型１４を等間
隔に設けて構成されており、下型１４はターンテーブル
１３が１ピッチずつ回転するごとに図に示すＡからＰの
位置を順次移動する。そして、下型１４に関しては、位
置Ｏで成形面に図１および図２の工程１で示すように耐
熱性固体潤滑剤粉末が付着され、位置Ａで図１および図
２の工程２で示すようにガラスゴブが供給され、位置Ｃ
で図１および図２の工程３で示すようにプレス成形が行
われ、位置Ｄで図１および図２の工程４で示すように第
１回目の反り修正プレスが行われ、位置Ｅで図１および
図２の工程５で示すように第２回目の反り修正プレスが
行われ、位置Ｌ〜Ｎで図１および図２の工程６で示すよ
うに肉薄板状ガラスの取り出しが行われる。また、この
ような１６個の下型１４の外側と内側を囲んで１つの高
周波コイル１５が設けられている。すなわち、この装置
においては、共通の１つの高周波コイル１５により１６
個の下型１４が一括して高周波誘導加熱されるものであ
る。しかも、高周波コイル１５は、各下型を同一温度に
加熱するために、下型とコイルとの距離が一定になるよ
うに、円周上に配置されている下型の外側と内側を囲ん
で配置されている。これにより１６個の下型１４を均一
に加熱できる。しかも、１６個の下型１４が回転して、
１６個の下型１４と高周波コイル１５との位置関係が均
等になるため、より均一に１６個の下型１４を加熱でき
る。このため、高周波誘導加熱により成形型を加熱した
場合には、一つの成形型における部分的な温度差が生じ
ないため、ガラスの部分的な延び不良や型への融着を防
止することができる。また、全部の型を、所望の温度に
制御することが可能となり、同品質の肉薄板状ガラスを
量産できる。

【００３０】上型装置１１は、タコ足状の回転ユニット
１６の各足先端部に上型１７を取り付けて、８個の上型
１７が回転ユニット１６と一体に、ターンテーブル１３
と同様、２秒に１回の割合で１ピッチずつ位置ａ〜ｈを
回転するように構成されている。この上型１７について
も高周波誘導加熱により加熱している。この場合、８個
の上型１７の内側と外側を囲んで１つの高周波コイル１
８を設け、この高周波コイル１８により８個の上型１７
が一括して高周波誘導加熱されるようにすることが好ま
しい。また、上型１７は成形面に耐熱性固体潤滑剤粉末
が付着されるが、この付着は、上型１７がプレスに供さ
れる位置以外のいずれの位置でも行うことができ、たと
えば位置ｅにおいて行うことができる。また、上型１７
は、位置ｅと正反対の位置ａにおいて、位置Ｃの下型１
４上に位置して（図では図示の都合上、左側にずれてい
る）プレス成形に供される。したがって、この装置で
は、各上型１７は位置ａに回転して来たとき、つまり８
回のプレス成形に１回の割合でプレス成形に供されるこ
とになり、時間を置いて同一上型がプレス成形に使用さ
れるため、上型１７の異常加熱を防止できる。すなわ
ち、上型１７はプレス成形に供されたときガラスゴブか
ら熱を受けて温度が上昇し、これを連続的に繰り返すと
異常加熱状態となりガラスが成形面に張り付くなどの問
題が生じるが、この装置によれば８回のプレス成形に１
回の割合で時間を置いて同一上型が使用されるため、上
型１７は異常加熱状態になることはなく、高周波誘導加
熱で管理された所定温度に維持され、ガラスの張り付き
などを防止できる。

【００３１】なお、上型装置１１の高周波コイル１８お
よび下型装置１２の高周波コイル１５は、ともに水冷
し、成形型が放射する熱により高周波コイルが高温化す
るのを防止することが好ましい。また、例えば、上型が
単数である場合には、図４に示すとおり、上型１７とコ
イル１８との距離が一定となるようにコイル１８を配置
することで上型１７を均一に加熱することができる。ま
た、上型が図４のように単数の場合には、コイル１８に
代えてニクロムヒータを同様に上型の周囲に配置して加
熱する方法を採用してもよい。

【００３２】上型１７および下型１４は種々の構造のも
のを使用できるが、図５に一具体例を示す。上型１７
は、円柱状の上型本体２１と、この上型本体２１の上面
中央部に形成されて上型本体２１を支持する支持ロッド
２２とにより構成されており、上型本体２１の平坦な下
面はプレス面（成形面）２３となっている。さらに、支
持ロッド２２が図示しない駆動手段によって上下動され
ることによって、上型１７が上下動するようになってい
る。また、上型本体２１および支持ロッド２２の中心部
には、支持ロッド２２の上面に開口する空洞部２４が形
成されており、さらにこの空洞部２４の周りの上型部分
には、空洞部２４の奥の部分でこの空洞部２４と連通
し、かつ支持ロッド２２の上面に開口する排出孔２５が
図６の平面図で示すように８本形成されている。ここ
で、空洞部２４に水を空気とともに噴霧すると、水の気
化熱を用いて上型１７を冷却することができる。気化し
た水は排出孔２５から排出される。単位体積あたりの水
の気化熱は、比熱よりも大きいため、この気化熱を利用
した冷却法は、水を冷却媒体として循環させる方法より
も大きな設備を必要とせずに効率よく冷却できる。

【００３３】上型１７は、該上型１７を囲むように胴型
２６を備えており、この胴型２６は、円筒状の胴型本体
２７と、この胴型本体２７の上端部に内側に突出して形
成された円環状のフランジ部２８とによって構成されて
いる。ここで、胴型本体２７の下面部の内周面は他より
径大となっており、しかもプレス成形した肉薄板状ガラ
スに面取りを形成するために下広がりの斜面２９となっ
ている。上型１７は、このような胴型２６の内周面を上
下に摺動自在に設けられている。

【００３４】下型１４は、円柱状の下型本体３１と、こ
の下型本体３１の下面中央部に形成されて下型本体３１
を支持する支持ロッド３２とによって構成されており、
下型本体３１の平坦な上面はプレス面（成形面）３３と
なっている。さらに、支持ロッド３２が図示しない駆動
手段によって上下動されることによって、下型１４が上
下動するようになっている。また、下型本体３１および
支持ロッド３２の中心部には、支持ロッド３２の下面に
開口する空洞部３４が形成されており、さらにこの空洞
部３４の周りの下型部分には、空洞部３４の奥の部分で
この空洞部３４と連通し、かつ支持ロッド３２の下面に
開口する排出孔３５が図６の下面図で示すように８本形
成されている。ここで、空洞部３４には、水が空気とと
もに噴霧される。この噴霧された水の気化熱を用いて下
型１４を冷却する。気化した水は排出孔３５から排出さ
れる。上記の冷却は、成形型に設置された熱電対からの
信号によりＰＩＤ制御されており、成形型は所定の温度
に制御され、連続成形しても、溶融ガラスを常に一定の
温度に保たれた成形型により成形できるようにしてい
る。

【００３５】下型１４は、該下型１４を囲むように胴型
３６を備えており、この胴型３６は、円筒状の胴型本体
３７と、この胴型本体３７の下端部に内側に突出して形
成された円環状のフランジ部３８とによって構成されて
いる。ここで、胴型本体３６の上面部の内周面は他より
径大となっており、しかも径大に変化した部分の内周面
は、プレス成形した肉薄板状ガラスに面取りを形成する
ために上広がりの斜面３９となっている。下型１４は、
このような胴型３６の内周面を上下に摺動自在に設けら
れている。

【００３６】なお、下型１４のプレス面３３および上型
１７のプレス面２３は、例えば面粗さ（Ｒａ）が０．５
〜２．０μｍの粗面に形成されている。この粗面は、プ
レス面３３，２３の全体に形成してもよいし、プレス面
３３，２３の一部にだけ形成してもよい。この粗面をプ
レス面３３，２３に形成することにより、断熱性の向
上、ガラスの張り付き防止、耐熱性固体潤滑剤粉末の付
着性向上を図ることができる。また、上記の構成では、
胴型２６，３６の内周面に面取り部形成用の斜面２９，
３９が形成されているが、このような斜面形成法は、成
形型に突起などで斜面を形成する方法に比較して耐久性
が向上する。

【００３７】上記のような上型１７および下型１４の外
に、図３の位置Ｄ，Ｅにおいては、反り修正プレスを行
うために、下型１４に対向して図１０（図１０では、空
洞部２４，３４および排出孔２５，３５の図示は省略さ
れている）に示すように、反り修正プレス用の上型（成
形型）７１，７２が設けられる。この反り修正プレス用
の上型７１，７２は、胴型７１Ａ，７２Ａを備えて、こ
こでは上記したプレス成形用の上型１７と同一に構成さ
れる。ただし、プレス成形用上型１７の成形面の温度が
４１０℃であるのに対して、第１回目反り修正プレス用
上型７１の成形面の温度は６００℃、第２回目反り修正
プレス用上型７２の成形面の温度は５６０℃にそれぞれ
調整されている。

【００３８】次に、以上のように構成された成形装置を
用いてディスク状の肉薄板状ガラスをプレス成形する方
法を図３および図７〜図１０を参照して説明する。な
お、図７ないし図９では、図１０と同様に、図の簡素化
のため、空洞部２４，３４および排出孔２５，３５の図
示は省略されている。下型１４が図３の位置Ａに回転す
ると、図７（ａ）および図１０の位置Ａに示すように、
白金製パイプ４１から１２００℃に加熱された溶融ガラ
ス４２が一定流量で下型１４（成形面の温度４５０℃）
上に供給され、所定量となったところで溶融ガラス４２
が図７（ｂ）に示すように切断刃４３で切断される。切
断された溶融ガラス４２は、表面張力で丸みを帯びたオ
ハジキ状ガラスゴブとなる。次に下型１４が図３の位置
Ｃに回転すると、図８（ａ）に示すように、上型１７
（成形面の温度４１０℃）が胴型２６と一体に下降し、
胴型２６の下面が下型用胴型３６の上面に当接する。次
に、図８（ｂ）および図１０の位置Ｃに示すように上型
１７が胴型２６の内周面を摺動して下降し、上型１７と
下型１４とでガラスゴブをプレス成形する。すると、ガ
ラスゴブは、胴型２６，３６で囲まれた偏平状の空間一
杯に広がって肉薄板状ガラス４４となる。このとき、肉
薄板状ガラス４４の外周部両表面には、胴型２６，３６
内周面の斜面２９，３９により欠け防止用の面取り部が
形成される。成形に要した時間は約１．７秒である。

【００３９】次に、図９（ａ）で示すように上型１７が
胴型２６の内周面を摺動して上昇する。このとき、上型
１７に張り付いて肉薄板状ガラス４４が上昇する恐れが
あるが、この装置においては、上型用胴型２６の下面部
の内周面径大部分の内面（斜面２９を有する部分の内面
部）で肉薄板状ガラス４４が押え付けられるので、上型
１７と一体に肉薄板状ガラス４４が上昇せず、肉薄板状
ガラス４４は下型１４上に保持される。その後、図９
（ｂ）に示すように上型用胴型２６が上昇する。このと
き、上型用胴型２６と肉薄板状ガラス４４は接触面積が
少ないので、肉薄板状ガラス４４が上型用胴型２６に張
り付いて上昇することはない。

【００４０】次に、下型１４が図３の位置Ｄに回転する
と、図１０の位置Ｄに示すように下型１４および胴型３
６上に第１回目反り修正プレス用の上型７１および胴型
７１Ａが下降し、下型１４上に保持されている肉薄板状
ガラス４４に対して第１回目の反り修正プレスが行われ
る。さらに、下型１４が図３の位置Ｅに回転すると、図
１０の位置Ｅに示すように下型１４および胴型３６上に
第２回目反り修正プレス用の上型７２および胴型７２Ａ
が下降し、下型１４上に保持されている肉薄板状ガラス
４４に対して第２回目の反り修正プレスが行われる。１
回の反り修正に要した時間は約１．７秒である。その
後、下型１４が図３の位置Ｌ〜Ｎに回転すると、下型１
４が胴型３６の内周面を摺動して上昇し、肉薄板状ガラ
ス４４の取出しが行われる。その後、下型１４は図３の
位置Ｏ，Ｐ，Ａ…と回転して再びプレス成形に供せられ
る。なお、反り修正で使用される上型は、図１０の上型
７１（または７２）と胴型７１Ａ（または７２Ａ）を一
体にしたような図１６の上型７３でもよい。

【００４１】このような方法で実際に図１１に示す直径
６６ｍｍ、肉厚１．３ｍｍのディスク状ガラス６１を製
造した。さらに、このように製造されたディスク状の肉
薄板状ガラスの反り率を調べた。反り率の大きさは、図
１１の基準長さ（ディスク状ガラス６１の直径）ａに対
する反り量ｂの割合（ｂ／ａ）の値とした。表１から明
らかなように、反り修正プレス工程を経るごとに、ディ
スク状ガラスの反りｂが小さくなっていることが分か
る。

【表１】このようにしてプレス成形された肉薄板状ガラスは、最
終製品より厚く形成されており、両主表面をラップ研磨
等により研削する。このとき、本例の肉薄板状ガラスで
は、反りの大きさがある程度一定にでき、また、反りの
方向もすべて上向きに凹状と一定にできた。このため、
その後のラップ研磨においても、反り方向を揃えて配置
でき、高精度に平坦に研削することができた。逆に、反
りの方向が上向きであったり、下向きであったりする
と、ラップ研磨が安定せず高精度に平坦に研削・研磨で
きない、いわゆる不適品が増加する。ここで、反りの方
向がすべて一定であったのは、製造工程において、溶融
ガラスの熱の奪われ方が、どのガラスにおいても一定で
あったためであると考えられる。

【００４２】以下、機械加工について詳しく説明する。
機械加工については、具体的には、上記のガラスの表面
を水洗浄し、以下の（１）荒ずり（粗研磨）、（２）砂
掛け（精研削、ラッピング）、（３）第一研磨（ポリッ
シュ）、（４）第二研磨（ファイナル研磨、ポリッシ
ュ）の各工程を経る。

【００４３】（１）荒ずり工程まず、粒度の細かいダイヤモンド砥石で上記ガラス基板
の両面を片面ずつ研削加工した。このときの荷重は１０
０ｋｇ程度とした。これにより、ガラス基板両面の表面
粗さをＲmax(JIS B 0601で測定）で１０μｍ程度に仕上
げた。次に、円筒状の砥石を用いてガラス基板の中央部
分に孔を開けるとともに、外周端面も研削して直径を６
５ｍｍφとした後、外周端面及び内周面に所定の面取り
加工を施した。

【００４４】（２）砂掛け（ラッピング）工程次に、ガラス基板に砂掛け加工を施した。この砂掛け工
程は、寸法精度及び形状精度の向上を目的としている。
砂掛け加工は、ラッピング装置を用いて行い、砥粒の粒
度を＃４００、＃１０００と替えて２回行った。詳しく
は、はじめに、粒度＃４００のアルミナ砥粒を用い、内
転ギアと外転ギアを回転させることによって、キャリア
内に収納したガラス基板の両面を両精度０〜１μｍ、表
面粗さ（Ｒmax)６μｍ程度にラッピングした。このラッ
ピングにおいては荷重を８０ｋｇから１２０ｋｇに次第
に上げた。次いで、アルミナ砥粒の粒度を＃１０００に
替えてラッピングを行い、表面粗さ（Ｒmax)２μｍ程度
とした。上記砂掛け加工を終えたガラス基板を、中性洗
剤、水の各洗浄槽に順次浸漬して、洗浄した。

【００４５】（３）第一研磨（ポリッシュ）工程次に、第一研磨工程を施した。この第一研磨工程は、上
述した砂掛け工程で残留したキズや歪みの除去を目的と
するもので、研磨装置を用いて行った。詳しくは、ポリ
シャ（研磨粉）として硬質ポリシャ（セリウムパッドＭ
ＨＣｌ：スピードファム社製）を用い、以下の研磨条件
で第一研磨工程を実施した。研磨液：酸化セリウム＋水荷重：３００ｇ／ｃｍ²（Ｌ＝２３８ｋｇ）研磨時間：１５分除去量：３０μｍ下定盤回転数：４０ｒｐｍ上定盤回転数：３５ｒｐｍ内ギア回転数：１４ｒｐｍ外ギア回転数：２９ｒｐｍ上記第一研磨工程を終えたガラス基板を、中性洗剤、純
水、純水、ＩＰＡ（イソプロピレンアルコール）、ＩＰ
Ａ（蒸気乾燥）の各洗浄槽に順次浸漬して、洗浄した。

【００４６】（４）第二研磨工程次に、第一研磨工程で使用した研磨装置を行い、ポリシ
ャを硬質ポリシャから軟質ポリシャ（ポリラックス：ス
ピードファム社製）に替えて、第二研磨工程を実施し
た。研磨条件は、荷重を１００ｇ／ｃｍ²、研磨時間を
５分、除去量を５μｍとしたこと以外は、第一研磨工程
と同様とした。上記第二研磨工程を終えたガラス基板
を、中性洗剤、中性洗剤、純水、純水、ＩＰＡ（イソプ
ロピルアルコール）、ＩＰＡ（蒸気乾燥）の各洗浄槽に
順次浸漬して、洗浄した。なお、各洗浄槽に超音波を印
加した。このようにして、外径６５ｍｍφ、中心部の孔
径２０ｍｍφ、厚さ０．５ｍｍ、Ｒmax ４０オングスト
ローム、Ｒａ８オングストローム程度の円板状の情報記
録媒体用ガラス基板を得た。

【００４７】本発明の上記の実施の形態の製造方法で
は、下型１４をターンテーブル１３に複数個配置し、順
次、各々の下型をプレスを行う位置に搬送してプレス工
程等を行い、各々の下型から成形された肉薄板状ガラス
を取り出し、各々の下型１４を再び肉薄板状ガラスの製
造に供するので、肉薄板状ガラスを量産できる。なお、
上記の実施の形態では、反り修正プレスを位置Ｄ及び位
置Ｅで行っているが、平坦度がそれほど要求されていな
い場合には、位置Ｄ及び位置Ｅの一方で行っても良い。
ただし、位置Ｆ以降では、肉薄板状ガラス４４が硬くな
り過ぎ、反り修正プレスを行うと、ひびや割れを生じる
傾向にある。

【００４８】さらに、上記の実施の形態では、反り修正
プレスの上型として、プレス成形の上型と同様のものを
使用しているが、図１２ないし図１４に示されるような
上型を用いてもよい。図１２に示す如く、上型５０は、
冷却用の空気の通路となる溝部５２が形成された小径筒
状部材５１と、開口部側にフランジ５４が形成された有
底の大径円筒状部材５３とが溶接部５７で溶接されてな
るものである。このような上型５０は、筒状の胴型５６
内に設けられており、上型５０は図示しないエアシリン
ダによって胴型５６内を軸線方向に沿って往復移動され
るようになっている。上型５０は、フランジ５４が、胴
型５６の上端部内側に形成された段差面５６Ｂへ当接す
ることにより下方への移動が制限されるようになってい
る。

【００４９】上型５０の大径円筒状部材５３の胴部５３
Ａの外径は、図１３（図１２の円Ａ部分の拡大図）に示
す下型６０のプレス面６１の径よりも小さくなってお
り、しかも胴部５３Ａの下端部には面取り部５３Ｂが周
方向全体に沿って形成されている。これにより、反り修
正プレスの際に、肉薄板状ガラス４４の冷却速度が速く
最も硬化された周縁部に上型５０のプレス面５５が当た
ることがなく、肉薄板状ガラス４４にひびや割れが発生
するのが防止される。

【００５０】上型５０のプレス面５５には、図１４に示
される如く、ｖ字状の複数個の溝５５Ａが放射状に形成
されている。各々の溝５５Ａは、反り修正プレス後に上
型５０のプレス面５５から肉薄板状ガラス４４が離れ易
くするためのものである。なお、反り修正プレスは、上
記の如く、肉薄板状ガラス４４の形状が変形しない硬さ
の時になされるので、肉薄板状ガラス４４の形状に溝５
５Ａが影響を与えることはない。

【００５１】胴型５６の下端部内面には、図１３に示す
下型６０との芯合わせ用の溝５６Ａが周方向全体に沿っ
て形成されている。下型６０の突起部６０Ａに溝５６Ａ
が嵌合する状態にすることにより、上型５０と下型６０
の軸芯が一致するようになっている。

【００５２】なお、このような上型５０は、図１５の後
述する支持部４５が外周端部に形成された肉薄板状ガラ
ス４４の反り修正プレスを行う場合に特に効果を発揮す
る。すなわち、支持部４５は、上型側へ突出する部位が
あるので、この突出する部位に上型５０のプレス面５５
が当たると、該突出部及び肉薄板状ガラス４４の突出部
との境界部５８にひびや割れを生じ易いが、上型５０に
面取り部５３Ｂが形成されていれば、上型５０のプレス
面５５が支持部４５に当たるのが防止される。

【００５３】プレス成形された肉薄板状ガラスは、最終
製品より厚く形成されており、最終製品とするためには
両主表面をラップ研磨等により研削する必要がある。こ
のとき、肉薄板状ガラスに反りがあると、研削板により
肉薄板状ガラスの両面側から圧力が加えられた際に、肉
薄板状ガラスが撓む。したがって、この状態で研削して
肉薄板状ガラスを平坦にしても、両側から圧力を解くと
再び肉薄板状ガラスが反り、平坦な肉薄板状ガラスを得
られにくい。そこで、肉薄板状ガラスの一部に、該肉薄
板状ガラスの両表面側からの圧力を受け止める部位を設
けてもよい。一具体例としては、図１５に示すように、
湾曲した部分の厚さが１．３ｍｍである肉薄板状ガラス
４４の外周端部に肉薄板状ガラス４４の周方向全体に沿
って圧力受け部としての支持部４５（高さ１．５ｍｍ）
を形成する。この支持部４５は、肉薄板状ガラス４４の
表裏面の各々よりも突出した状態に形成するのが好まし
い。支持部４５よりも肉薄板状ガラス４４の表面が突出
すると、研削の際に、支持部４５が上定盤４６に当接す
る前に肉薄板状ガラス４４の湾曲部が上定盤４６に当た
り、湾曲部状態が変化してしまい、研削後に肉薄板状ガ
ラス４４が反ってしまうからである。

【００５４】肉薄板状ガラス４４を図１５に示す如く上
定盤４６と下定盤４７との間に配置し、これら定盤４
６，４７により両面側から圧力を与えつつ肉薄板状ガラ
ス４４を研削し、肉薄板状ガラス４４を平坦にすると共
に所定の肉厚寸法に加工する。この研削において、上定
盤４６及び下定盤４７による両側からの圧力は、支持部
４５で受け止められるので、肉薄板状ガラス４４が撓む
ことが防止され、肉薄板状ガラス４４の湾曲状態の変化
が抑制された状態で研削される。したがって、上定盤４
６と下定盤４７による両側からの圧力が解かれても肉薄
板状ガラス４４が反ることはなく、格段に平坦性の良い
肉薄板状ガラス４４を得やすくなる。また、支持部４５
によって上定盤４６及び下定盤４７による両側からの圧
力を受けて、肉薄板状ガラス４４の湾曲部が移動しない
ようにしているので、研削工程において、肉薄板状ガラ
ス４４の湾曲部が移動しないように肉薄板状ガラス４４
に加える圧力をきめ細かく調整する必要はなく、肉薄板
状ガラス４４の研削を効率的に行え、平坦性の良い肉薄
板状ガラス４４を量産できる。

【００５５】なお、上記の研削において、研削の後半は
研削が進み肉薄板状ガラス４４と上定盤４６（下定盤４
７）との接触面積が大きくなるので、前半よりも大きな
圧力を掛けて研削するのが好ましい。また、支持部４５
は、図１５の外周端部のほか、肉薄板状ガラスの外周端
部よりも中心部側に設けてもよい。また、このような支
持部４５は、上述した上型、下型および胴型の成形面に
凹部を設けることにより容易に得られる。

【００５６】以上本発明について詳述したが、上述の実
施の形態は一具体例にすぎないことはいうまでもない。
上型装置および下型装置の具体的構成、上型および下型
の個数、上型および下型の位置と各工程の関係、上型お
よび下型の具体的構成などは種々に変形可能である。ま
た、上型および下型は、プレス面の表面温度より胴型の
内表面温度をより高く設定することも可能である。さら
に、肉薄板状ガラスの反り率は０．００１〜１％程度で
あることが適当であり、反り方向も、上方向か、あるい
は下方向のいずれか一方向に一定であれば、その後のラ
ップ研磨において高精度に平坦に研削することが可能と
なる。

【００５７】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、平坦性
のよい肉薄状板ガラスを高い量産性のもとに製造でき、
ひいては高品質、高性能な情報記録媒体用ガラス基板お
よび磁気記録媒体を高い量産性で製造できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による肉薄板状ガラスの製造方法の実施
の形態における原料ガラスの温度変化特性概念図。

【図２】本発明による肉薄板状ガラスの製造方法の実施
の形態を示す工程図。

【図３】図２の方法で使用される上型装置および下型装
置の平面図。

【図４】上型と高周波コイルとの関係の他の例を示す平
面図。

【図５】図３の装置の上型および下型の具体例を示す断
面図。

【図６】図５の上型および下型の平面図および下面図。

【図７】プレス成形を説明するための断面図。

【図８】同プレス成形を説明するための断面図。

【図９】同プレス成形を説明するための断面図。

【図１０】プレス成形および反り修正プレスを説明する
ための断面図。

【図１１】本発明の実施の形態により製造されたディス
ク状ガラスを示す断面図。

【図１２】反り修正プレス用上型の他の例を示す断面
図。

【図１３】図１２のＡ部を拡大して示す断面図。

【図１４】図１２の反り修正プレス用上型のプレス面を
示す下面図。

【図１５】本発明に係る肉薄板状ガラスの他の例と研削
工程を示す断面図。

【図１６】反り修正プレス用上型の他の例を示す断面
図。

【符号の説明】

１４下型１７上型４２溶融ガラス４４肉薄板状ガラス４５支持部７１，７２，７３，５０反り修正プレス用上型

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者鈴木静夫東京都新宿区中落合二丁目７番５号ホーヤ株式会社内 (72)発明者矢田匠東京都新宿区中落合二丁目７番５号ホーヤ株式会社内 (72)発明者斉藤哲也東京都新宿区中落合二丁目７番５号ホーヤ株式会社内 (72)発明者齋藤淳東京都新宿区中落合二丁目７番５号ホーヤ株式会社内 (72)発明者長倉勝也東京都新宿区中落合二丁目７番５号ホーヤ株式会社内 (56)参考文献特開平７−247128（ＪＰ，Ａ) 特開平８−245228（ＪＰ，Ａ) 特開平７−133121（ＪＰ，Ａ) 特開平２−31325（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) C03B 11/00 - 11/16

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】溶融ガラスが供給される下型と該下型に
対向した上型との間でプレス成形を行う肉薄板状ガラス
の製造方法であって、所定の温度に保たれた下型及び上
型でプレス成形し、かつ肉薄板状ガラスの内部がガラス
転移点より高い温度状態にあるときに前記肉薄板状ガラ
スから上型を離してプレス成形を終了し、次いで、プレ
ス成形により成形された肉薄板状ガラスの反りを修正す
る工程を施し、該反りを修正する工程を肉薄板状ガラス
の内部がガラス転移点より高い温度状態にあるときに終
了することを特徴とする肉薄板状ガラスの製造方法。
【請求項２】反りを修正する工程は、プレス成形後の
変形可能な状態にある肉薄板状ガラスを、一対の平坦基
盤で押圧することを特徴とする請求項１記載の肉薄板状
ガラスの製造方法。
【請求項３】肉薄板状ガラスの内部が軟化点より高い
温度状態にあるときにプレス成形を終了することを特徴
とする請求項１記載の肉薄板状ガラスの製造方法。
【請求項４】プレス成形は、肉薄板状ガラスの上型側
と下型側とが熱的に非均衡な状態で終了することを特徴
とする請求項１記載の肉薄板状ガラスの製造方法。
【請求項５】肉薄板状ガラスと、上型及び／又は下型
とは熱的に非均衡な状態であることを特徴とする請求項
１記載の肉薄板状ガラスの製造方法。
【請求項６】プレス成形後の上型及び下型を冷却する
ことによって、少なくとも次のプレス開始時に上型の成
形面及び下型の成形面を所定の温度に保つことを特徴と
する請求項１記載の肉薄板状ガラスの製造方法。
【請求項７】溶融ガラスを成形型でプレス成形する肉
薄板状ガラスの製造方法において、上型及び下型のプレ
ス面に所定の加工を施すことにより、前記肉薄板状ガラ
スの一方の主表面および他方の主表面の各々に各々の主
表面よりも突出する圧力受け部を形成することを特徴と
する肉薄板状ガラスの製造方法。
【請求項８】請求項１記載の肉薄板状ガラスの製造方
法において、前記下型は複数個設けられ、各下型は順次
移動しながらそれぞれ所定の位置で溶融ガラス供給、前
記プレス成形、前記反り修正、ガラス取り出しが順次実
施され、ガラス取り出し後の下型は再び肉薄板状ガラス
の製造に供せられることを特徴とする肉薄板状ガラスの
製造方法。
【請求項９】請求項１記載の製造方法により製造され
た肉薄板状ガラスの主表面を研削及び研磨して情報記録
媒体用ガラス基板を得ることを特徴とする情報記録媒体
用ガラス基板の製造方法。
【請求項１０】溶融ガラスを成形型でプレス成形して
得られ、且つ微小湾曲しているガラス基板を研削、研磨
する情報記録媒体用ガラス基板の製造方法であって、前
記研削工程は、肉薄板状ガラスの湾曲状態の変形を抑制
した状態で肉薄板状ガラスを平坦化する工程と、所望厚
さを得るために表面を所定量除去する工程とからなるこ
とを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板の製造方法。
【請求項１１】平坦化は、ラップ盤の圧力を研削開始
から終了に至る間、連続的又は段階的に増加させること
を特徴とする請求項１０記載の情報記録媒体用ガラス基
板の製造方法。
【請求項１２】溶融ガラスを少なくとも一対の成形型
でプレス成形して得られたガラス基板を、研削、研磨す
る情報記録媒体用ガラス基板の製造方法において、前記研削工程におけるラップ盤の荷重は、ガラス基板の
湾曲した形状の変形を抑制可能な値に設定し、平坦なガ
ラス基板を形成することを特徴とする情報記録媒体用ガ
ラス基板の製造方法。
【請求項１３】請求項７記載の肉薄板状ガラスの製造
方法によって製造された肉薄板状ガラスの各々の圧力受
け部が研削の際の圧力を受けた状態で該肉薄板状ガラス
を研削し、次いで研磨して情報記録媒体用ガラス基板を
得ることを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板の製造
方法。
【請求項１４】請求項９ないし１３のいずれかに記載
の製造方法により製造された情報記録媒体用ガラス基板
の主表面に少なくとも磁性層が形成されてなる磁気記録
媒体。