JP6078414B2 - 磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法及び磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 - Google Patents
磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法及び磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 Download PDFInfo
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Description
機械加工をすることにより磁気ディスク用ガラス基板となる磁気ディスク用ガラスブランクを作製する方式としては、代表的には、
(1)溶融ガラスの塊を一対のプレス成形型によりプレス成形するプレス成形工程を経て磁気ディスク用ガラスブランクを作製するプレス方式、及び
(2)フロート法、ダウンドロー法などによって形成されたシート状ガラスを円盤状に切断加工する工程を経て磁気ディスク用ガラスブランクを作製するシートガラス切断方式、
が知られている。
その際、少なくとも1次プレスおよび2次プレスの実施期間中において、上記第1のプレス成形型のプレス成形面の温度と、上記第2のプレス成形型のプレス成形面の温度とが、実質的に同一であり、上記第1のプレスにおいて、上記第1のプレス成形型のプレス成形面と、上記第2のプレス成形型のプレス成形面とを、溶融ガラス塊に対して略同時に接触させた後に上記溶融ガラス塊をプレスする。上記2次プレスの継続時間は上記磁気ディスク用ガラスブランクの平面度が10μm以下になるよう制御される。好ましくは、上記第1のプレス成形型と上記第2のプレス成形型との間に挟持されたガラスブランクの温度が、ガラス材料の歪点温度に10℃を加えた温度以下となるように冷却した後、ガラスブランクが金型から取り出される。これにより、磁気ディスク用ガラスブランクの平坦性が向上するとされている。
水平ダイレクトプレス方式では、落下中の溶融ガラスの塊を一対の型で捕らえて連続的に挟み込む方式であるため、一対の型を水平方向に高速で移動させて型を開状態から閉状態にする必要があり、溶融ガラスの塊はプレス成形面上で高速で薄板状に押し広げられる。特に、型のプレス成形面に溶融ガラスの塊が接してから一対の型が閉じられるまで0.2秒以内であり、この短時間でガラスが伸びきる。
プレス後のガラスブランクの残留歪みを低下させるためには、型をガラス転移点以上の温度とした状態でプレスを行うことが有効であるが、この場合、一対の型が閉じられた後の溶融ガラスは、プレス成形面上で薄板状に伸びきった状態で、かつ粘性流動可能な状態で金型間に一定期間保持される。溶融ガラスが伸びきった状態で金型間に保持されているときには、溶融ガラスから金型への熱の移動が生じ、溶融ガラスは急速に冷却されながら固化するが、この冷却に伴ってガラスの収縮が生ずる。図1Aは、従来の水平ダイレクトプレス方式によって成形される溶融ガラスの、冷却による収縮前後の状態の変化を示す図である。図1Aでは、収縮前後の薄板状の溶融ガラスの平面図を示している。図1Aにおいて、(a)は収縮前の状態を、(b)は収縮後の状態を示す。図1A(a)の収縮前の溶融ガラスの平面図において、矢印は溶融ガラスが収縮する方向を示している。つまり、薄板状の溶融ガラスの冷却による収縮は、外縁から中心に向かう方向(半径方向)と、周方向とで行われる。図示しないが、溶融ガラスの板厚方向にも収縮が行われる。その結果、図1A(b)に示すように、収縮後の溶融ガラスは、収縮前の状態と比べて外径が小さくなる。
プレス成形面の温度がプレスを開始する際にガラス転移点未満である場合、プレス中における溶融ガラスの厚さ方向の温度分布が生じ、成形されたガラスブランク内の残留応力が発生しやすい。ガラスブランクの内部に残留応力が生じている場合には、後加工の際に、残留応力の影響によりガラスブランクが破損しやすくなるという問題がある。また、プレス成形後のガラスブランクにアニール処理(除冷)を施すことによって、ガラスブランクの残留応力が解消されるが、アニール処理による加熱によって、ガラスブランクの内部の残留応力の開放に伴ってガラスブランクに変形が生じ、逆にガラスブランクの平面度が大きくなる(反りが生じる)という問題が生じる。そこで、これらの問題を回避するために、プレスを開始する際に一対の型のプレス成形面の温度を溶融ガラスのガラス転移点以上屈服点未満の温度とする。それによって、溶融ガラスの厚さ方向の温度分布を小さくすることができ、成形されたガラスブランク内の残留応力を小さくすることができる。
一方、プレスを開始する際の一対の型のプレス成形面の温度を溶融ガラスのガラス転移点以上屈服点未満の温度とすることで、プレス中の溶融ガラスは粘性流動しやすい状態となるが、そのような状態でも、型のプレス成形面の表面粗さRaを0.4μm以上とすることで、上述したシワが生じ難くなる。つまり、溶融ガラスが伸びきって金型間に保持された状態で、冷却に伴うガラスの収縮が生じたときに、プレス成形面の凹凸が溶融ガラスの逃げ場として機能するため、図1B(b)に示した膨れが生じ難くなり、ガラスブランクの主表面にシワが発生することが抑制され、シワの発生に起因するガラスブランクの平面度のばらつきが抑制される。結果として、磁気ディスク用ガラスブランクの主表面にもとめられる平面度を確保しつつそのばらつきを抑制することができる。
磁気ディスク用ガラス基板の元となるガラスブランクは、薄板であって円形形状からなり、磁気ディスク用ガラス基板の製造に用いられるプレス成形品のガラス素材ある。図示しないが、磁気ディスク用ガラス基板は、その中心に内孔が形成された、ドーナツ型の薄板のガラス基板である。
磁気ディスク用ガラス基板の大きさは特に限定するものではないが、例えば、外径(φ)と厚さの組合せとして、φ65mm(公称2.5インチ)−1.27mm厚、φ65mm−0.8mm厚、φ65mm−0.635mm厚、φ95mm(公称3.5インチ)−0.5mm厚などである。
本実施形態における磁気ディスク用ガラス基板の材料として、アルミノシリケートガラス、ソーダライムガラス、ボロシリケートガラスなどを用いることができる。特に、化学強化を施すことができ、また主表面の平坦度及び基板の強度において優れた磁気ディスク用ガラス基板を作製することができるという点で、アルミノシリケートガラスを好適に用いることができる。
このような組成の磁気ディスク用ガラス基板は、Tgが650度以上であり耐熱性が高いのでエネルギーアシスト磁気記録用磁気ディスクに使用される磁気ディスク用ガラス基板に好適である。
本実施形態で作製されるガラスブランクの平面度は、好ましくは4μm以下である。
以下、本実施形態の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法について、工程毎に説明する。ただし、各工程の順番は適宜入れ替えてもよい。
先ず、プレス成形工程について説明する。プレス成形工程は、切断工程とプレス工程と取出工程を含む。
溶融ガラス流が溶融ガラス供給口から所定の量流出したとき、溶融ガラス流を切断ユニットにより切断することによって、溶融ガラスの塊を落下させる。落下する溶融ガラスの塊を水平方向に移動する一対の金型で挟み込んで、落下中の溶融ガラスの塊を水平方向から一対の金型のプレス成形面によって挟むことによりプレスしてガラスブランクを成形する水平ダイレクトプレス方式が用いられる。所定時間プレスを行った後、金型を開いてガラスブランクが取り出される。プレスの際、一対の金型のプレス成形の温度が互いに揃うように溶融ガラスの塊がプレスされる。このような水平ダイレクトプレス方式については、後述する。
次に、スクライブ工程について説明する。プレス成形工程の後、スクライブ工程では、成形されたガラスブランクに対してスクライブが行われる。
ここでスクライブとは、成形されたガラスブランクを所定のサイズのリング形状のガラス基板とするために、ガラスブランクの表面に超鋼合金製あるいはダイヤモンド粒子を含んだスクライバにより2つの同心円(内側同心円および外側同心円)状の切断線(線状のキズ)を設けることをいう。2つの同心円の形状にスクライブされたガラスブランクは、部分的に加熱され、ガラスブランクの熱膨張の差異により、外側同心円の外側部分および内側同心円の内側部分が除去される。これにより、円形状の孔があいたリング状のガラス基板が得られる。なお、ガラスブランクに対してコアドリル等を用いて内外周加工して円孔を形成することにより円形状の孔があいたディスク状のガラス基板を得ることもできる。
次に、形状加工工程について説明する。形状加工工程では、スクライブ工程後のガラス基板の端部に対するチャンファリング加工(外周側端面および内側端面の面取り加工)を含む。チャンファリング加工は、スクライブ工程後のガラス基板の外周側端面および内側端面において、ダイヤモンド砥石により面取りを施す形状加工である。この形状加工により所定の形状をしたガラス基板が生成される。面取りの傾斜角度は、主表面に対して例えば40〜50度であり、約45度であることが好ましい。次に、端面研磨工程を説明する。端面研磨では、ガラス基板の内側端面及び外周側端面に対して、ブラシ研磨により鏡面仕上げを行う。このとき、酸化セリウム等の微粒子を遊離砥粒として含むスラリが用いられる。
固定砥粒による研削工程では、遊星歯車機構を備えた両面研削装置を用いて、ガラス基板の主表面に対して研削加工を行う。図2は、両面研削装置100を説明する図である。具体的には、ガラスブランクから生成されたガラス基板2の外周側端面を、両面研削装置の保持部材に設けられた保持孔内に保持しながらガラス基板2の両側の主表面の研削を行う。両面研削装置は、上下一対の定盤(上定盤および下定盤)を有しており、上定盤104(図2参照)及び下定盤102(図2参照)の間にガラス基板2が狭持される。そして、上定盤104または下定盤102のいずれか一方、または、双方を移動操作させることで、ガラス基板2と各定盤とを相対的に移動させることにより、このガラス基板2の両主表面を研削することができる。
必要に応じて適宜主表面の研削工程を実施した後、研削されたガラス基板の主表面に第1研磨が施される。第1研磨は、固定砥粒による研削等により主表面に残留したキズ、歪みの除去、表面凹凸(マイクロウェービネス、粗さ)の調整を目的とする。
第1研磨工程では、遊星歯車機構を備えた両面研磨装置を用いてガラス基板の主表面に対する研磨を行う。両面研磨装置は、上定盤および下定盤を有している。下定盤の上面および上定盤の底面には、研磨パッドが取り付けられている。上定盤および下定盤の間に、キャリヤに収容した1又は複数のガラス基板が狭持され、研磨剤を含む遊離砥粒を供給しながら、遊星歯車機構により、上定盤または下定盤のいずれか一方、または、双方を移動操作することにより、ガラス基板と各定盤とを相対的に移動させることで、このガラス基板の両主表面を研磨することができる。
さらに、必要に応じて、ガラス基板は化学強化されてもよい。
化学強化液として、例えば硝酸カリウムと硫酸ナトリウムの混合塩の溶融液等を用いることができる。化学強化では、化学強化液が、例えば300℃〜400℃に加熱され、洗浄したガラス基板が、例えば200℃〜300℃に予熱された後、ガラス基板が化学強化液中に、例えば1時間〜5時間浸漬される。
このように、ガラス基板を化学強化液に浸漬することによって、ガラス基板の表層のリチウムイオン及びナトリウムイオンが、化学強化液中のイオン半径が相対的に大きいナトリウムイオン及びカリウムイオンにそれぞれ置換され、ガラス基板が強化される。
次に、十分に洗浄されたガラス基板に第2研磨が施される。第2研磨は、主表面の鏡面研磨を目的とする。第2研磨では例えば、第1研磨で用いた研磨装置を用いる。このとき、第1研磨と異なる点は、遊離砥粒の種類及び粒子サイズが異なることと、樹脂ポリッシャの硬度が異なることである。
第2研磨に用いる遊離砥粒として、例えば、スラリに混濁させたコロイダルシリカ等の微粒子が用いられる。これにより、ガラス基板の主表面の表面粗さをさらに低減でき、端部形状を好ましい範囲に調整できる。
研磨されたガラス基板を中性洗剤、純水、IPA等を用いて洗浄することで、磁気ディスク用ガラス基板が得られる。
次に、プレス成形工程について詳細に説明する。プレス成形工程は、溶融ガラスの塊を溶融ガラス流から切り出す切断工程と、一対の型のプレス面によって挟み込むことにより、ガラスブランクを成形するプレス工程と、このガラスブランクを、一対の型のプレス面を離間させて取り出す取出工程と、を含む。プレス工程は、溶融ガラスの塊を板状のガラスブランクとするための1次プレス工程と、このガラスブランクが破損しない程度の時間、1次プレス工程を行った後、1次プレス工程に用いたプレス成形面のプレス圧力よりも低いプレス圧力でガラスブランクを一対の型で保持する2次プレス工程と、を含む。
切断工程では、プレス成形の対象物である溶融ガラスの塊を作製する。溶融ガラスの塊の作製方法としては特に限定されないが、通常は、溶融ガラスをガラス流出口から垂下させて溶融ガラス流をつくり、鉛直方向の下方側へと連続的に流出する溶融ガラス流の先端部を切断することで、溶融ガラスの塊を形成する。なお、溶融ガラス流からその先端部を分離するように実施される切断には、一対のシアブレードを用いることができる。
切断工程では、図3に示すように、上端部が図示されない溶融ガラス供給源に接続された溶融ガラス流出管10の下端部に設けられたガラス流出口12から、溶融ガラス流20を鉛直方向の下方側へと連続的に流出させる。一方、ガラス流出口12よりも下方側には、溶融ガラス流20の両側に、各々、第1のシアブレード(下側ブレード)30と、第2のシアブレード(上側ブレード)40とが、溶融ガラス流20の垂下する方向の中心軸Dに対して略直交する方向に、配置されている。下側ブレード30および上側ブレード40は、各々、中心軸Dに対して直交するX1方向、および、中心軸Dに対して直交するX2方向に移動することで、溶融ガラス流20の両側から、溶融ガラス流20の先端部22側へと接近する。なお、溶融ガラス流20の粘度は、溶融ガラス流出管10や、その上流の溶融ガラス供給源の温度を調整することで制御される。
図4〜6は、1次プレス工程を説明する図である。
1次プレス工程では、落下中の溶融ガラスの塊24を、塊24の落下方向に対して交差する方向に対向配置された第1のプレス成形型50および第2のプレス成形型60によりプレスし、板状のガラスブランクを成形する。ここで、第1のプレス成形型50および第2のプレス成形型60は、塊24の落下方向(Y1方向)に対して略90度(90度±1度)の範囲内の角度を成すように略直交する方向に対向配置されていることが好ましく、溶融ガラスの塊24の落下方向に対して直交する方向に対向配置されていることが特に好ましい。このように溶融ガラスの塊24の落下方向に対して一対のプレス成形型を対向配置することにより、溶融ガラスの塊24を両側から均等にプレスして板状のガラスブランクに成形することがより容易となる。
なお、プレス成形面52A、62Aの平面度を4μm以下とするのが好ましい。プレスによって転写されるガラスブランクの主表面の平面度が磁気ディスク用ガラス基板にもとめられる目標平面度(例えば4μm以下)に近くなるため、後工程の研削工程における取しろを少なくすることができるためである。
図3中の第1のプレス成形型50のプレス成形本体52のプレス成形面52Aと反対側には、第1の押出部材56及び第2の押出部材58が設けられている。
その後、図6に示すように、溶融ガラスの塊24を、その両側から第1のプレス成形型50および第2のプレス成形型60により押圧し続けると、溶融ガラスの塊24は、溶融ガラスの塊24とプレス成形面52A、62Aとが最初に接触した位置を中心に均等な厚みで押し広げられる。図6に示すようにガイド面54Aとガイド面64Aとが接触するところまで、第1のプレス成形型50および第2のプレス成形型60により押圧し続けることで、プレス成形面52A、62A間に、円盤状もしくは略円盤状の板状ガラス(ガラスブランク)26に成形される。このとき、第1のプレス成形型50および第2のプレス成形型60により成形されるガラスブランクは、ガイド面54Aとガイド面64Aの端部まで達しない。すなわち、ガラスブランクの端面は、自由曲面となっている。この状態で、1次プレス工程は終了する。したがって、ガラスブランクの端面における熱は、プレス成形面52A、62Aと接触せず、プレス成形面52A、62A内の気相空間の空気に対して放冷される。したがって、ガラスブランクの端面では、冷却に伴って表面に形成される圧縮応力層はほとんどないか、あるいは極めて小さい。すなわち、ガラスブランクの端面には残留応力がないか、あっても極めて小さい。
図7は、プレス成形面52A、62Aの表面粗さRaを0.4μm以上としたことの作用効果を説明するために、1次プレス工程において溶融ガラスの塊24がプレス成形面52A、62Aの間に到達してから押し広げられてガラスブランクとして成形されるまでの間の溶融ガラスの塊24の状態の変化について状態S1〜S3の順に示す図である。図7において、(a)は、プレス成形面52A、62Aが平滑面(例えば表面粗さRaが0.25μm以下の状態)であると仮定した場合であり、(b)は、本実施形態のプレス成形面52A(表面粗さRa:0.4μm以上)の場合である。
2次プレス工程では、ガラスブランクが破損しない程度の時間、1次プレス工程を行った後、1次プレス工程後に1次プレス工程に用いるプレス面(プレス成形面52A、62A)のプレス圧よりも低いプレス圧力でガラスブランクを一対の型で保持する工程である。
プレス圧力は、第1プレス工程時、第2の押出部材58が第1のプレス成形型50に与えた押圧荷重を除去することにより、低下することができる。したがって、2次プレス工程では、図6に示す状態と変化はない。
1次プレス工程における、プレス成形面52A、62Aのプレス圧力は、例えば0.04〜0.40トン/cm2であり、2次プレス工程におけるプレス圧力は、例えば1×10−5〜4×10−3トン/cm2である。
1次プレス工程において高いプレス圧力を用いてプレスをすることにより、ガラスブランクを所定の厚さ(薄さ)にするとともに、板厚差を低下させることができる。2次プレス工程において低いプレス圧力を用いてプレスすることにより、ガラスブランクの温度分布を均一に近づけることができ、平面度を向上することができる。
具体的に説明すると、2次プレス工程前の1次プレス工程では、高いプレス圧力により、溶融ガラスの塊24の不均一な温度分布に起因して成形直後のガラスブランクの温度分布は不均一である。この不均一な温度分布のガラスブランクから熱が第1のプレス成形型50および第2のプレス成形型60に移動して、第1のプレス成形型50および第2のプレス成形型60に不均一の温度分布を生じさせる。2次プレス工程において低いプレス圧力を用いることにより、2次プレス工程では、ガラスブランクとプレス成形面52A、62Aとの間の実質的な接触面積が低下する。その結果、ガラスブランクから第1のプレス成形型50および第2のプレス成形型60への熱移動が低下する。その間、第1のプレス成形型50および第2のプレス成形型60の不均一な温度分布は、熱伝導による拡散により均一に近づき、温度分布が均一に近づいた第1のプレス成形型50および第2のプレス成形型60が、ガラスブランクと接触することにより、ガラスブランクの温度分布は均一に近づく。
1次プレス工程は、ガラスブランクに一定の厚さを確保するために行われるため、1次プレスの継続時間は、ガラスブランクが一定の厚さの形状を確保する時間であればよい。この継続時間が過度に長いと、ガラスブランクが不均一な温度分布に起因する熱歪み(熱応力)によって、あるいは、プレス成形面52A,62Aの不均一な表面凹凸等によって破損する。このため、1次プレス工程の継続時間は、ガラスブランクが温度分布に起因する熱歪み(熱応力)によって破損しない程度の時間である。一方、2次プレス工程の継続時間は、ガラスブランクの温度分布が略均一になる時間であればよい。また、ガラスブランクの生産効率を高める点で、1次プレス工程及び2次プレス工程の合計の継続時間である、プレス開始からプレス終了までの時間が300秒以下であることが好ましい。さらに、1次プレス工程の継続時間と2次プレス工程の継続時間との比は、1:5〜1:100の範囲であることが好ましい。
取出工程では、ガラスブランクは、第1のプレス成形型50および第2のプレス成形型60のプレス成形面を離間して取り出される。図9は、取出工程を示す図である。図9に示すように、第1のプレス成形型50と第2のプレス成形型60とを互いに離間させるように、第1のプレス成形型50をX2方向へ移動させるとともに、第2のプレス成形型60をX1方向へ移動させる。これにより、プレス成形面62A及びプレス成形面52Aと、ガラスブランク26とを離型させて、ガラスブランク26を鉛直方向下方に落下させて取り出す。ここで、第1のプレス成形型50と第2のプレス成形型60とを離間する際に、第1のプレス成形型50と第2のプレス成形型60との間に向けて空気を吹き付けてもよい。この空気を吹き付けることにより、ガラスブランク26が第1のプレス成形型50又は第2のプレス成形型60に貼り付いた場合でも、空気流によってガラスブランク26を冷却することによって、第1のプレス成形型50、第2のプレス成形型60、及びガラスブランク26の熱収縮を促して、第1のプレス成形型50又は第2のプレス成形型60からガラスブランク26を剥離することができる。こうして、ガラスブランク26を得る。ガラスブランク26は、図示されない断熱板上に載せられて、大気中で放冷される。
以上がプレス成形工程の説明である。本実施形態で得られるガラスブランクは、平坦性に優れ(平面度が小さく)、残留応力も小さいことから、従来のように、ガラスブランクにアニール処理を施す必要がない。
また、本実施形態のプレス成形工程では、プレス中の第1のプレス成形型50および第2のプレス成形型60のプレス成形面52A、62Aの表面粗さRaを0.4μm以上とし、プレス成形面52A、62Aの温度を溶融ガラスのガラス転移点以上屈服点未満の温度としてプレス成形する。その結果、ガラスブランクの残留歪みを低減できるとともに、プレス成形面52A、62Aの間で伸びきった薄板状の溶融ガラスが冷却して収縮するときに、粗面であるプレス成形面の凹凸が溶融ガラスが収縮するときの逃げ場として機能し、局所的に平面度が悪化した領域であるシワの発生が抑制され、成形されたガラスブランクの平面度のばらつきが抑制される。さらに、プレス成形面52A、62Aの平面度が4μm以下である場合には、プレスによって転写されるガラスブランクの主表面の平面度が磁気ディスク用ガラス基板にもとめられる目標平面度(例えば4μm以下)に近くなるため、後工程の研削工程における取しろを少なくすることができるので好ましい。
以下、本実施形態で作製されるガラスブランクの特性を調べるために、種々のガラスブランクを作製した。
本実施形態の製造方法を用い、1次プレス工程のプレス圧力、2次プレス工程の継続時間とプレス圧力、あるいは、第1のプレス成形型50および第2のプレス成形型60の設定温度(ガラス転移点以上屈服点未満の温度範囲内)等を調整して実施例1のガラスブランクを100個作製した。比較例1のガラスブランクは、プレス成形面の表面粗さRaが実施例1のものと異なること以外の条件は実施例と同様にして、100個作製した。実施例、比較例ともに、型のプレス成形面の平面度を4μmとした。実施例1、比較例1ともに、プレス後のガラスブランクの残留応力をアニール処理により低下させた。成形後は、ガラスブランクの平面度(JIS B0621)を、フラットネステスターを用いて測定した。
表1において「ガラスブランクの平面度のばらつき」は、成形した100個のサンプルの平面度を測定し、測定して得られた平面度の標準偏差とした。なお、100個のサンプルの平面度の平均値は、4μm以下であった。
[平面度のばらつきの評価基準]
・平面度の標準偏差が1.0μm以上 … ×
・平面度の標準偏差が0.5μm以上〜1.0μm未満 … ○
以上、本発明の磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法及び磁気ディスク用ガラス基板の製造方法について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態及び実施例に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更をしてもよいのはもちろんである。
10 溶融ガラス流出管
12 ガラス流出口
20 溶融ガラス流
22 先端部
24 塊
26 ガラスブランク
30 下側ブレード
34、44 刃部
34U 上面
40 上側ブレード
44B 下面
50 第1のプレス成形型
52、62 プレス成形型本体
52A、62A プレス成形面
52B 被押出面
54、64 ガイド部材
54A、64A ガイド面
54B 押出面
56 第1の押出部材
56A 押出面
56B 面
56H 貫通穴
58 第2の押出部材
60 第2のプレス成形型
100 両面研削装置
102 下定盤
104 上定盤
106 インターナルギヤ
108 キャリヤ
112 太陽ギヤ
Claims (5)
- 磁気ディスク用ガラス基板の製造に用いられるガラスブランクを製造するための磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法であって、
溶融ガラスの塊を一対の型のプレス成形面によって挟み込むことにより、ガラスブランクを成形するプレス工程を有し、
前記プレス工程では、前記一対の型のプレス成形面で前記溶融ガラスの塊を挟み込む際の前記一対の型のプレス成形面の温度を前記溶融ガラスのガラス転移点以上屈服点未満の温度とし、
プレス成形によって得られるガラスブランクの平面度の平均値が4μm以下であって、かつ平面度の標準偏差が0.5μm以上1.0μm以下とすべく、前記プレス成形面の平面度が4μm以下であり、かつ前記プレス成形面の表面粗さRaが0.4μm以上の型を用いてプレス成形することを特徴とする磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法。 - 溶融ガラス供給口から供給された溶融ガラス流を切断し、溶融ガラスの塊を落下させる切断工程をさらに有し、
前記プレス工程では、落下中の前記溶融ガラスの塊を前記一対の型のプレス面でプレスする
ことを特徴とする請求項1に記載の磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法。 - 前記ガラスブランクを、前記一対の型のプレス成形面を離間させて取り出す取出工程をさらに有し、
前記取出工程では、前記一対の型を離間させる際に、前記一対の型の間に空気流を吹きつけて、前記一対の型から前記ガラスブランクを落下させる
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法。 - 前記プレス工程は、
前記溶融ガラスの塊を前記一対の型のプレス成形面によって挟み込み、ガラスブランクを所定の厚さにするための1次プレス工程と、
前記1次プレス工程後に行われ、前記1次プレス工程でのプレス圧力よりも小さなプレス圧力で前記ガラスブランクを前記一対の型のプレス成形面間で、前記1次プレス工程のプレス時間よりも長い時間プレスする2次プレス工程と
を含んでいることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法。 - 請求項1から4のいずれかに記載された磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法によって製造されたガラスブランクから磁気ディスク用ガラス基板を製造することを特徴とする、磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
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