JP2010155298A - 樹脂被覆方法および樹脂被覆装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】うねりや反りを含んだウェーハ1を液状の樹脂P1上に載置してから押圧パッド23で樹脂P1に向かって押圧し、この後、押圧パッド23の吸着部24にウェーハ1を吸着して保持し、押圧パッド23とともにウェーハ1を変形要素に対応する位置まで上昇させ、この段階でウェーハ1に反り等が戻る変形を起こさせてから、押圧パッド23をウェーハ1から離反させ、この後、樹脂P1を硬化させる。押圧したウェーハ1を樹脂P1上で十分に変形させることにより、研削後に平坦なウェーハ1を得る。
【選択図】図4
Description
[1]半導体ウェーハ
図1は、一実施形態でのワークである半導体ウェーハ(以下、ウェーハ)を示している。このウェーハ1は、シリコン等からなる円柱状の材料インゴットをワイヤソーにより所定の厚さにスライスして得られた素材段階のものである。ウェーハ1は、切断時に生じる抵抗などに起因してうねりおよび反りが生じている。このウェーハ1は、裏面1bに紫外線硬化型の樹脂が塗布されて硬化してから、表面1aが研削され、次いで裏面1bが研削されて平坦に加工された後、研削された表面に、電子回路を有する複数のデバイスからなるパターンが形成される。
図2は、ウェーハ1の裏面1bに樹脂を供給して硬化させる一実施形態の樹脂塗布装置10を示している。図2で符号11は中空の基台であり、この基台11の上部には、上面が平坦、かつ水平なワーク載置面12aとされた矩形板状のステージ12が配設されている。ステージ12は、紫外線が透過するホウ珪酸ガラスや石英ガラス等からなるもので、ステージ12の下面は基台11内の中空に面している。
次に、上記樹脂被覆装置10の動作を説明する。この動作中に、本発明の樹脂被覆方法が含まれている。
以上のようにして裏面1aに樹脂膜P2が被覆されたウェーハ1は、両面が研削される平坦加工工程に移される。図6は、ウェーハ1を研削するための研削スピンドル30およびチャックテーブル40を示している。
上記のようにして樹脂被覆装置10によりウェーハ1の裏面1bに樹脂膜P2を被覆する実施形態においては、樹脂P1上に載置したうねりや反りを含むウェーハ1を押圧パッド23で樹脂P1に向かって押圧した後、押圧パッド23にウェーハ1を保持してウェーハ1を上昇させ、この後、樹脂P1を硬化するといった手順をポイントとしている。
上記実施形態では、図3(c)に示したようにステージ12に供給した樹脂P1上にウェーハ1を載置してから、このウェーハ1を樹脂P1に向かって押圧しているが、変形を矯正して平坦にしたウェーハ1を樹脂P1に押圧してもよい。
Claims (6)
- うねりや反り等の変形要素を含む薄板状ワークの一の面を研削して平坦に加工するために該ワークの他の面に樹脂を被覆する樹脂被覆方法であって、
該ワークを押圧手段により前記一の面側から該樹脂に向かって押圧するワーク押圧工程と、
前記押圧手段に前記ワークを保持した状態で、該ワークを、前記他の面から前記一の面に向かう方向に、少なくとも前記変形要素に対応する位置まで移動させるワーク移動工程と、
前記ワークの前記一の面から前記押圧手段を離反させる押圧手段離反工程と、
外的刺激付与手段によって前記硬化性樹脂に刺激を付与して該樹脂を硬化させる樹脂硬化工程と、を少なくとも備えることを特徴とする樹脂被覆方法。 - 前記ワーク押圧工程において、前記押圧手段に、前記一の面が密着して前記変形要素が矯正された状態で前記ワークを保持し、該ワークを、前記硬化性樹脂に向かって押圧することを特徴とする請求項1に記載の樹脂被覆方法。
- 前記硬化性樹脂は、紫外線照射により硬化する紫外線硬化樹脂であり、
前記外的刺激付与手段は、紫外線を照射する紫外線照射手段であることを特徴とする請求項1または2に記載の樹脂被覆方法。 - 前記硬化性樹脂は、加熱されることにより硬化する熱硬化樹脂であり、
前記外的刺激付与手段は、加熱を行う加熱手段であることを特徴とする請求項1または2に記載の樹脂被覆方法。 - 前記硬化性樹脂は、加熱されることにより液化し、冷却されることにより硬化する熱可塑性樹脂であり、
前記外的刺激付与手段は、冷却を行う冷却手段であることを特徴とする請求項1または2に記載の樹脂被覆方法。 - うねりや反り等の変形要素を含む薄板状ワークの一の面を研削して平坦に加工するために該ワークの他の面に樹脂を被覆する樹脂被覆装置であって、
前記ワークを、前記他の面が露出する状態に着脱自在に保持するワーク保持手段と、
該ワーク保持手段に対向配置されるワーク載置面を有し、該ワーク載置面に硬化性樹脂が供給されるステージと、
前記ワーク保持手段に保持された前記ワークを、前記ステージの前記ワーク載置面に供給された前記硬化性樹脂に向かって押圧する押圧手段と、
前記押圧手段により前記硬化性樹脂に向かって押圧された前記ワークを、前記他の面から前記一の面に向かう方向に移動させるワーク移動手段と、
前記ステージの前記ワーク載置面に供給された前記硬化性樹脂に外的刺激を付与する外的刺激付与手段と、を少なくとも備えることを特徴とする樹脂被覆装置。
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