JP7436288B2

JP7436288B2 - 保護部材形成装置

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Publication number: JP7436288B2
Application number: JP2020091987A
Authority: JP
Inventors: 亮水島; 昌之高橋
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2020-05-27
Filing date: 2020-05-27
Publication date: 2024-02-21
Anticipated expiration: 2040-05-27
Also published as: JP2021190488A

Description

本発明は、ウェーハに保護部材を形成する保護部材形成装置に関する。

例えば、特許文献１には、シリコンインゴット等からスライスしたアズスライスウェーハを研削砥石で研削してアズスライスウェーハの反り、及び切り出された面のうねりを除去するために、研削を実施する前にアズスライスウェーハの一方の面に液状樹脂を押し広げ硬化させ保護部材を形成する保護部材形成装置が開示されている。

特開２０１７－１６８５６５号公報

特許文献１に開示されているような保護部材形成装置は、ガラスステージに保持させたシートフィルムに液状樹脂を所定量供給し、その液状樹脂を保持手段に保持されたウェーハで上側から押圧してウェーハの下面に押し広げた後、紫外線を照射する等して硬化させ保護部材を形成している。その液状樹脂を押し広げる際に、保持手段とガラスステージとに荷重がかかる。その荷重によってウェーハを吸引保持する保持手段が傾くと、ウェーハに均一な厚みの保護部材が形成できないという問題が有る。
したがって、保護部材形成装置においては、保持手段を傾けてしまうことなく、均一な厚みの保護部材をウェーハに形成するという解決すべき課題がある。

上記課題を解決するための本発明は、シートを載置する載置面を有するステージと、該ステージに載置した該シートの上に所定量の液状樹脂を供給する液状樹脂供給手段と、該載置面に対面しウェーハを保持する保持面を有する保持部と、該ステージと該保持部とを相対的に該載置面に垂直な方向に移動させ該液状樹脂を押し広げる押し広げ手段と、該載置面と該保持面とに挟まれ該ウェーハの下面に押し広げられた該液状樹脂に外的刺激を与えて硬化させる硬化手段と、制御手段と、を備える保護部材形成装置であって、該押し広げ手段は、該ステージを下から支持する下ベースと、該保持部を支持する支持ベースと、該支持ベースを該下ベースとによって挟むように該下ベースに対向して配置する上ベースと、該下ベースと該上ベースとの間で該支持ベースの該ステージに対する垂直方向の移動をガイドするためのガイドレールと、該保持部の重心を中心として水平方向に形成した三角形の各頂点にそれぞれ配置し該支持ベースを上方向に付勢するカウンタバランスと、該保持部の重心上で該垂直方向に延在する軸で回転可能なボールネジと、該ボールネジを回転させるモータと、を備え、該保持部の重心を中心として水平方向に形成した該三角形の各頂点に配置され該ステージの該載置面と該保持部の該保持面との距離を測定する３つのスケールを備え、該制御手段は、３つの該スケールの測定値が一致するように、各々の該カウンタバランスによる該支持ベースを上方向に付勢する力を制御する保護部材形成装置である。

前記カウンタバランスは、シリンダと、該シリンダ内で前記垂直方向に移動可能なピストンと、該ピストンに連結したロッドと、該シリンダにエアを導入させ該ピストンを上方向に移動させるためのエア導入口と、該エア導入口とエア源とを連通させるエア配管と、該エア配管に配設する電動レギュレータと、を備え、前記制御手段は、該電動レギュレータに供給する電力を制御し該シリンダ内、及び該エア配管内の圧力を調整すると好ましい。

本発明に係る保護部材形成装置は、押し広げ手段は、ステージを下から支持する下ベースと、保持部を支持する支持ベースと、支持ベースを下ベースとによって挟むように下ベースに対向して配置する上ベースと、下ベースと上ベースとの間で支持ベースのステージに対する垂直方向の移動をガイドするためのガイドレールと、保持部の重心を中心として水平方向に形成した三角形の各頂点にそれぞれ配置し支持ベースを上方向に付勢するカウンタバランスと、保持部の重心上で垂直方向に延在する軸で回転可能なボールネジと、ボールネジを回転させるモータと、を備え、保持部の重心を中心として水平方向に形成した三角形の各頂点に配置されステージの載置面と保持部の保持面との距離を測定する３つのスケールを備え、制御手段は、３つのスケールの測定値が一致するように、各々のカウンタバランスによる支持ベースを上方向に付勢する力を制御することで、保護部材形成時にウェーハの押し付けにより保持部が荷重（ステージ側からの反力）を受けても保持部の傾きが変わることが無いように保持部の傾き補正がなされるため、ウェーハに対する均一な厚みの保護部材の形成が可能になる。

カウンタバランスは、シリンダと、シリンダ内で垂直方向に移動可能なピストンと、ピストンに連結したロッドと、シリンダにエアを導入させピストンを上方向に移動させるためのエア導入口と、エア導入口とエア源とを連通させるエア配管と、エア配管に配設する電動レギュレータと、を備え、制御手段は、電動レギュレータに供給する電力を制御しシリンダ内、及びエア配管内の圧力を調整することで、カウンタバランスによる支持ベースを上方向に付勢する力を容易に制御することが可能となる。

保護部材形成装置の一例を示す斜視図である。保護部材形成装置の一例を示す正面図である。支持ベース、ボールネジ、カウンタバランス、及びガイドレールの配置位置を説明するための平面図である。保護部材形成装置を用いてウェーハに保護部材を形成する場合を説明する正面図である。

図１は、シート８２を載置する載置面３０００を有するステージ３０と、ステージ３０に載置したシート８２の上に所定量の液状樹脂を供給する液状樹脂供給手段１８と、載置面３０００にＺ軸方向（鉛直方向）において対面しウェーハ８０を保持する保持面６０１を有する保持部６０と、ステージ３０と保持部６０とを相対的に載置面３０００に垂直な方向（Ｚ軸方向）に移動させ液状樹脂を押し広げる押し広げ手段４と、載置面３０００と保持面６０１とに挟まれウェーハ８０の下面８００に押し広げられた液状樹脂に外的刺激（本実施形態においては紫外線照射）を与えて硬化させる硬化手段４０２（図２参照）と、制御手段９と、を備える保護部材形成装置１を示す斜視図である。

図１に示すウェーハ８０は、例えば、円柱状のシリコンインゴットをワイヤーソー等で薄く切断して形成された円形のアズスライスウェーハであるが、これに限定されるものではない。ウェーハ８０は分割予定ラインに区画された領域にデバイスが形成された半導体ウェーハであってもよい。

図１に示すシート８２は、例えば、ポリオレフィン系の樹脂等で構成されるシートであり、ウェーハ８０よりも大径の円形となっているが、これに限定されるものではない。

図１、２に示すステージ３０は、外形が平面視円形状であり、例えば、石英ガラス等の円形のガラス板３００と、ガラス板３００を支持する円形凹部を有する円筒状の枠体３０１とを備える。ガラス板３００の平坦な上面である載置面３０００には、シート８２が載置され、シート８２上に液状樹脂が溜められる。

例えば、所定の合金等で形成される枠体３０１の円環状の上面は、ガラス板３００の載置面３０００と同一の高さに設定されている。枠体３０１の直径は、例えば、保持するウェーハ８０よりも大径に設定されている。

ステージ３０は、押し広げ手段４を構成する下ベース４０によって下側から支持されている。下ベース４０は、例えば、平面視略正三角状に形成されており、下ベース４０の上面にガラス板３００を支持した枠体３０１が固定されている。
図２に示すように、例えば、下ベース４０によって支持されたステージ３０のガラス板３００と下ベース４０との間には円柱状の空間が設けられており、該空間内に硬化手段４０２が配設されている。そして、硬化手段４０２は例えば紫外線照射ランプであり、硬化手段４０２から上方に向かって照射されガラス板３００やシート８２を透過した紫外線によって、ステージ３０の載置面３０００に載置されたシート８２上に溜められ上からウェーハ８０によって押圧されウェーハ８０の下面８００全面に広げられた液状樹脂１８８が硬化される。

図１に示す液状樹脂供給手段１８は、樹脂供給ノズル１８０と、樹脂供給ノズル１８０に所定量の液状樹脂１８８を送出する図示しないディスペンサと、可撓性を備える樹脂チューブ等を介して図示しないディスペンサに連通する樹脂供給源１８９とを備えている。
例えば側面視逆Ｌ字状の樹脂供給ノズル１８０は、ステージ３０の載置面３０００に向く供給口１８００を有している。樹脂供給ノズル１８０は、軸方向がＺ軸方向である回転軸回りに旋回可能となっており、ステージ３０の上方から退避位置まで供給口１８００を移動することができる。
樹脂供給源１８９が供給する液状樹脂１８８は、本実施形態においては紫外線が照射されることで硬化する紫外線硬化樹脂であるが、熱が加えられることで硬化する熱硬化樹脂であってもよい。この場合には、図２に示す硬化手段４０２は、ヒーターであってもよい。

図１、２に示す保持部６０は、本実施形態においては、例えば、平面視円形のホイール６００と、ポーラス部材等からなりホイール６００によって支持されウェーハ８０を吸引保持する図示しないポーラス板とを備えている。円形板状の図示しないポーラス板は、例えば、ホイール６００の下面側に嵌め込まれており、真空発生装置等の吸引源に連通している。そして、吸引源が吸引することで生み出された吸引力が、保持部６０の下面であり水平面（Ｘ軸Ｙ軸平面）に平行な平坦な保持面６０１に伝達されることで、保持面６０１でウェーハ８０を吸引保持することができる。
ウェーハ８０に保護部材を形成しておらず保持部６０が傾いていない状態においては、水平面に平行な保持面６０１とステージ３０の載置面３０００とは平行となっている。

保持部６０のホイール６００の上面には、図２に示すように、例えば、保持したウェーハ８０をステージ３０上にシート８２を介して溜められた液状樹脂１８８に＋Ｚ方向側から押し付けた際に、ステージ３０からウェーハ８０に加わる荷重を測定する荷重センサ６１が複数配設されている。荷重センサ６１は、例えば、ホイール６００の上面にホイール６００の周方向に１２０度間隔を空けて、３つ配設されている。そして、本実施形態において、３つの荷重センサ６１は、それぞれ、ホイール６００と後述する保持部連結具６６とにより上下から挟まれ、ステージ３０からウェーハ８０に加わる＋Ｚ方向の向きの荷重が作用する作用点部となるように配設されている。荷重センサ６１は、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の圧電素子を用いたキスラー社製の薄型力センサ等で構成されている。

図１、２に示す押し広げ手段４は、ステージ３０を下から支持する下ベース４０と、保持部６０を支持する支持ベース４２と、支持ベース４２を下ベース４０とによって挟むように下ベース４０に対向して配置する上ベース４４と、下ベース４０と上ベース４４との間で支持ベース４２のステージ３０に対する垂直方向（Ｚ軸方向）の移動をガイドするためのガイドレール４９と、保持部６０の重心を中心として水平面方向（Ｘ軸Ｙ軸平面方向）に形成した仮想的な三角形（本実施形態においては、正三角形）の各頂点に配置し支持ベース４２を上方向に付勢するカウンタバランス４６と、保持部６０の重心上でＺ軸方向に延在する軸で回転可能なボールネジ４７（図２のみ図示）と、ボールネジ４７を回転させるモータ４８と、を備えている。

保持部６０を支持する支持ベース４２は、例えば、図１、図３に示すように外形が平面視略正三角形状に形成されており、また、図２に示すように保持部６０を円板状の保持部連結具６６及び図示しない固定ボルト等を介して、その下面の中央領域において支持している。

例えば、図１に示すように、上下方向に移動可能な支持ベース４２には、各頂点側の領域にカウンタバランス４６がそれぞれ連結されている。カウンタバランス４６は、押し広げ手段４に保持部６０及び支持ベース４２の自重による大きな負荷が掛かるため、その負荷を軽減相殺するための機構である。

カウンタバランス４６について具体的に説明する。カウンタバランス４６は、例えば、図１、２に示すようにエアシリンダで構成され、円筒状のシリンダ４６０と、シリンダ４６０内部に配設され該内部を垂直方向（Ｚ軸方向）に移動可能な図２に示すピストン４６２と、シリンダ４６０に挿入され上端がピストン４６２に連結されたロッド４６４とを備える。

図２に示すように各ロッド４６４の下端側には、持ち上げブロック４６７が形成されており、図１に示す支持ベース４２から下方に突き出た持ち上げブロック４６７の上面に支持ベース４２の下面が当接し、持ち上げブロック４６７によって該下面が持ち上げられるように支持される。

また、シリンダ４６０の上端側は、上ベース４４に連結されている。シリンダ４６０の側壁の下部側又は底板には、エア導入口４６１が貫通形成されており、各エア導入口４６１は、コンプレッサー等からなるエア源１５が各エア配管４６６を介して連通している。そして、シリンダ４６０内にエア導入口４６１を通してエア源１５が供給するエアの圧力を調整することで、カウンタバランス４６による支持ベース４２及び保持部６０を持ち上げる力を調整することが可能となる。

図２に示すシリンダ４６０にエアを導入することによってピストン４６２を上方向に移動させるエア導入口４６１をエア源１５と連通させる各エア配管４６６には、それぞれ電動レギュレータ４６９が配設されている。各電動レギュレータ４６９は、制御手段９から供給される電力に比例して、各シリンダ４６０に供給するエアの圧力を無段階に調整することができる。なお、図１においては、電動レギュレータ４６９を簡略化して示している。

支持ベース４２の上方には、上ベース４４が支持ベース４２を下ベース４０とで上下方向から挟むように配置されている。上ベース４４の外形は、例えば、支持ベース４２と平面視相似形の略正三角形状に形成されており、各カウンタバランス４６を３つの頂点側の各領域で支持している。

図１、２に示すように、上ベース４４の中心にはボールネジ挿通孔４４０がＺ軸方向に貫通形成されており、該ボールネジ挿通孔４４０には軸中心が保持部６０の重心を通る、即ち、保持部６０の水平面内における中心を通る軸心を備えＺ軸方向に延在するボールネジ４７が挿通されている。ボールネジ４７の上端側はカップリング４８０及び図示しない軸受け等を介してモータ４８が連結しており、ボールネジ４７が回転可能となっている。

例えば、図２に示すように、支持ベース４２の上面から内部にかけてはボールネジ４７が入り込むことが可能な進入口が形成されており、また、支持ベース４２の上面には内部が空洞でありその上端側に備えるボールナット４２０がボールネジ４７に螺合するボールネジ連結具４２１が配設されている。そして、ボールネジ連結具４２１の下端側は支持ベース４２の上面に連結されている。

下ベース４０と上ベース４４との間で支持ベース４２のステージ３０に対する垂直方向（Ｚ軸方向）の移動をガイドするための図１、２に示すガイドレール４９は、本実施形態においては、保持部６０の重心を中心として水平方向に形成した仮想的な正三角形の各頂点となる位置に１本ずつ、計３本配設されているが、計２本であってもよい。

ガイドレール４９の上端は、ガイドレール固定ナット４９０によって上ベース４４に固定されている。各ガイドレール４９は支持ベース４２の各頂点側に設けられた挿通孔を通り、その下端がガイドレール固定ナット４０５によって下ベース４０に固定されている。

図１、２に示すように、保護部材形成装置１は、保持部６０の重心を中心として水平方向に形成した仮想的な例えば正三角形の各頂点に配置されステージ３０の上面、即ち載置面３０００と保持部６０の保持面６０１とのＺ軸方向における距離を測定する３つスケール、即ち、第１のスケール１７１（図１のみ図示）、第２のスケール１７２、及び第３のスケール１７３（図２のみ図示）を備えている。

第１のスケール１７１～第３のスケール１７３の構造は同様となっており、本実施形態においては、第１のスケール１７１～第３のスケール１７３は、投光部と受光部とが例えば支持ベース４２の下面に並べて配設された反射型光電センサである。そして、第１のスケール１７１の投光部が、例えば載置面３０００と面一の枠体３０１の上面に対して測定光１７５を照射する。そして、枠体３０１の上面で反射した反射光を受光部が受けた際の光路差から、例えば三角測量の原理等によって枠体３０１の上面と支持ベース４２の下面との距離が測定され、測定値が制御手段９に電気信号として送られる。制御手段９は、予め支持ベース４２の下面と保持部６０の保持面６０１との装置構成における高さの差を把握しているため、制御手段９は、保持部６０が下降することに伴って変化するステージ３０の載置面３０００と保持部６０の保持面６０１との距離を認識できる。

なお、保持部６０の保持面６０１と支持ベース４２の下面とが面一になっていてもよい。また、第１のスケール１７１～第３のスケール１７３は、投光部と受光部とがステージ３０の枠体３０１の上面に並べて配設されており支持ベース４２の下面に測定光を照射する構成となっていてもよいし、投光部と受光部とがＺ軸方向において上下で対向する光測長センサであってもよいし、静電容量変位センサ、超音波変位センサ等であってもよい。また、ガイドレール４９に並行にＺ軸方向に延在するメモリを備えた尺と、尺の目盛を読む読取り部を支持ベース４２に配置するという構成で支持ベース４２の高さを測定してもよい。

制御手段９は、各種の制御プログラムに従って演算処理するＣＰＵ及びメモリ等の記憶媒体等を備えており、有線又は無線の通信経路を介して、第１のスケール１７１～第３のスケール１７３からそれぞれの測定情報を受け取る。また、制御手段９は、配線を介して各電動レギュレータ４６９に接続されており、各カウンタバランス４６のシリンダ４６０内、及びエア配管４６６内の所望の圧力値を算出し、算出したエアの圧力値についての情報を電力量に換算して、それぞれの電動レギュレータ４６９に対して所定の電力を供給することで、各カウンタバランス４６による支持ベース４２を上方向に付勢する力（持ち上げる力）を制御する。

以下に、上述した保護部材形成装置１を用いて図１に示すウェーハ８０に保護部材を形成する場合の、保護部材形成装置１の動作について説明する。
まず、保持部６０が、保持面６０１の中心とウェーハ８０の中心とが略合致するように、ウェーハ８０の上面を吸引保持する。

保持部６０によるウェーハ８０の吸引保持と並行して、ステージ３０の載置面３０００にシート８２が載置される。さらに、図１に示す液状樹脂供給手段１８の樹脂供給ノズル１８０が旋回移動し、供給口１８００が載置面３０００上のシート８２の中央領域上方に位置付けられる。続いて、図示しないディスペンサが、樹脂供給ノズル１８０に基準温度に温度管理されている液状樹脂１８８を送り出して、供給口１８００からステージ３０に吸引保持されているシート８２に向けて液状樹脂１８８を滴下する。そして、所定量の液状樹脂１８８がシート８２上に堆積したら、液状樹脂供給手段１８によるシート８２への液状樹脂１８８の供給が停止され、樹脂供給ノズル１８０が旋回移動して載置面３０００上から退避する。

次に、図１、２に示すモータ４８がボールネジ４７を所定の回転速度で回動させると、ボールネジ４７の回転運動がボールネジ４７に螺合するボールナット４２０を備えるボールネジ連結具４２１のＺ軸方向における直線運動に変換される。これに伴いボールネジ連結具４２１に接続された支持ベース４２及びウェーハ８０を保持する保持部６０が、３本のガイドレール４９にガイドされてＺ軸方向に下降していく。

支持ベース４２及び保持部６０の下降が開始されるのと並行して、カウンタバランス４６によって、支持ベース４２を＋Ｚ方向に付勢する力（持ち上げる力）が加えられる。すなわち、図１，２に示すエア源１５からエアが送出され、送出されたエアがエア配管４６６を通り電動レギュレータ４６９に到達する。エアが到達した電動レギュレータ４６９に対して、制御手段９から電力が供給され、電動レギュレータ４６９は、供給された電力量に基づいてエア源１５から送られてきたエアの供給圧を調整し、例えば、支持ベース４２及び保持部６０の自重を相殺することができる程度の力を生み出すことを可能とするエア圧を、シリンダ４６０内にエア導入口４６１を通して供給する。ピストン４６２はシリンダ４６０内に供給されるエアの圧力を下面に受けることによってピストン４６２の下面の面積をエアの圧力で＋Ｚ方向に上昇しようとするため、支持ベース４２に対して、支持ベース４２を＋Ｚ方向に持ち上げようとする所定の力が加えられる。

この状態で、支持ベース４２及び保持部６０が降下していき、そして、保持部６０に吸引保持されたウェーハ８０の下面８００が、例えばシート８２の中央で水滴上に溜められていた液状樹脂１８８に接触する。さらに保持部６０が下降すると、ウェーハ８０の下面８００によって下方に押圧された液状樹脂１８８は、ウェーハ８０の径方向に押し広げられる。その結果、ウェーハ８０の下面８００に図４に示す液状樹脂１８８の膜が形成される。

例えば、ウェーハ８０の下面８００が液状樹脂１８８に接触し始める少し前の段階からと、図２に示す第１のスケール１７１～第３のスケール１７３が先に説明した通りの測定方法によって、保持部６０の重心を中心として水平方向に形成した仮想的な正三角形の各頂点となる各測定点において、ステージ３０の上面である載置面３０００と保持部６０の保持面６０１との距離を測定し始め、測定情報を制御手段９に逐次送信する。この段階においては、保持部６０にはステージ３０からの荷重が掛かっていないため、第１のスケール１７１、第２のスケール１７２、及び第３のスケール１７３による測定距離は同値となる。
つまり、保護部材形成装置１は、予め上記のような保護部材の形成を開始する前の装置のセットアップにおいて、載置面３０００に保持面６０１を接触させた際に、第１のスケール１７１、第２のスケール１７２、及び第３のスケール１７３の値を同値とする。その後、保持面６０１を載置面３０００から離間させている。

ウェーハ８０の下面８００が液状樹脂１８８を押し始めると、ステージ３０からの荷重が保持部６０に掛かってくる。ここで、液状樹脂１８８のウェーハ８０の下面８００における径方向への広がり速度や量の偏り等を要因として、該荷重が保持部６０に対して均一に掛からず、該荷重によって保持部６０を傾かせないようにする必要がある。

例えば、図４に示すように、保持部６０に保持されたウェーハ８０の下面８００に液状樹脂１８８が押し広げられている際に、制御手段９に送られてくる第３のスケール１７３の測定値が、第１のスケール１７１（図１参照）及び第２のスケール１７２の測定値よりも小さな値になった場合を考える。この場合には、保持部６０及び支持ベース４２が、図４に示す第３のスケール１７３側部分（図１においては、紙面奥側部分）が低くなるように傾きかけているため、制御手段９は、例えば、図４に示す＋Ｘ方向側の電動レギュレータ４６９、即ち、第３のスケール１７３側のカウンタバランス４６に対応する電動レギュレータ４６９に供給する電力を徐々に増加させる制御を行い、第３のスケール１７３側のカウンタバランス４６を構成するシリンダ４６０内のピストン４６２よりも下方側の空間の圧力値、及び対応するエア配管４６６内の圧力値を増加させる調整を行う。
つまり、シリンダ４６０内のピストン４６２よりも上方側の空間は大気開放させておくとよい。

これによって、第３のスケール１７３側のカウンタバランス４６の支持ベース４２を上方向に付勢する力が増加して、保持部６０が傾むかずに、保持面６０１が水平方向に平行な面を維持し、第１のスケール１７１、第２のスケール１７２、及び第３のスケール１７３による測定距離が再び同じ値となる。例えば、第１のスケール１７１、第２のスケール１７２、及び第３のスケール１７３による測定距離が再び同じ値なると、制御手段９による第３のスケール１７３側のカウンタバランス４６に対応する電動レギュレータ４６９に供給する電力を徐々に増加させる制御が停止される。

上記のような制御手段９による第１のスケール１７１、第２のスケール１７２、及び第３のスケール１７３の測定値が一致するように、保持部６０の重心を中心として水平方向に形成した正三角形の各頂点にそれぞれ配置した各カウンタバランス４６による支持ベース４２を上方向に付勢する力の制御が実施され、保持部６０が所定の高さ位置まで降下し液状樹脂１８８を押し広げた際に保持面６０１を載置面３０００に平行にすることで、ウェーハ８０の下面８００全面に液状樹脂１８８の膜が形成される。該液状樹脂１８８の膜は、上記制御手段９による制御の下で、保持部６０が荷重（ステージ３０側からの反力）を受けても保持部６０の傾きが変わることが無いように保持部６０の傾き補正がなされ保持面６０１が水平方向に平行な面となった状態で形成されているため、均一な厚みとなっている。
なお、例えば、ウェーハ８０の下面８００にうねりや反りがある場合であっても、形成された膜によって該うねりや反りが吸収され、保護部材が形成されたウェーハ８０は平坦な露出面（上面）を備えるため、後にウェーハ８０が研削装置のチャックテーブルに搬送された場合等においても、ウェーハ８０の被研削面である上面を研削砥石の下面に対して平行な状態にすることが可能となる。

次いで、図４に示すように、硬化手段４０２が、液状樹脂１８８の均一な厚みの膜に向けて外的刺激となる紫外線を照射する。その結果、液状樹脂１８８の膜は、硬化するとともに均一な厚みの保護部材としてウェーハ８０の下面８００に形成される。
なお、本発明に係る保護部材形成装置は本実施形態に限定されず、その技術的思想の範囲内において種々異なる形態にて実施されてよいことは言うまでもない。

８０：ウェーハ８００：ウェーハの下面８２：シート
１：保護部材形成装置
１８：液状樹脂供給手段１８０：樹脂供給ノズル１８９：樹脂供給源１８８：液状樹脂
３０：ステージ３００：ガラス板３０００：載置面３０１：枠体
６０：保持部６００：ホイール６０１：保持面
６１：荷重センサ６６：保持部連結具
４：押し広げ手段
４０：下ベース４０２：硬化手段
４２：支持ベース４２０：ボールナット４２１：ボールネジ連結具
４４：上ベース４４０：ボールネジ挿通孔
４６：カウンタバランス４６０：シリンダ４６２：ピストン４６４：ロッド４６７：持ち上げブロック４６１：エア導入口４６６：エア配管４６９：電動レギュレータ１５：エア源
４７：ボールネジ４８：モータ４８０：カップリング
４９：ガイドレール
１７１～１７３：第１のスケール～第３のスケール
９：制御手段１５：エア源

Claims

シートを載置する載置面を有するステージと、該ステージに載置した該シートの上に所定量の液状樹脂を供給する液状樹脂供給手段と、該載置面に対面しウェーハを保持する保持面を有する保持部と、該ステージと該保持部とを相対的に該載置面に垂直な方向に移動させ該液状樹脂を押し広げる押し広げ手段と、該載置面と該保持面とに挟まれ該ウェーハの下面に押し広げられた該液状樹脂に外的刺激を与えて硬化させる硬化手段と、制御手段と、を備える保護部材形成装置であって、
該押し広げ手段は、
該ステージを下から支持する下ベースと、該保持部を支持する支持ベースと、該支持ベースを該下ベースとによって挟むように該下ベースに対向して配置する上ベースと、該下ベースと該上ベースとの間で該支持ベースの該ステージに対する垂直方向の移動をガイドするためのガイドレールと、該保持部の重心を中心として水平方向に形成した三角形の各頂点にそれぞれ配置し該支持ベースを上方向に付勢するカウンタバランスと、該保持部の重心上で該垂直方向に延在する軸で回転可能なボールネジと、該ボールネジを回転させるモータと、を備え、
該保持部の重心を中心として水平方向に形成した該三角形の各頂点に配置され該ステージの該載置面と該保持部の該保持面との距離を測定する３つのスケールを備え、
該制御手段は、３つの該スケールの測定値が一致するように、各々の該カウンタバランスによる該支持ベースを上方向に付勢する力を制御する保護部材形成装置。
前記カウンタバランスは、
シリンダと、該シリンダ内で前記垂直方向に移動可能なピストンと、該ピストンに連結したロッドと、該シリンダにエアを導入させ該ピストンを上方向に移動させるためのエア導入口と、該エア導入口とエア源とを連通させるエア配管と、該エア配管に配設する電動レギュレータと、を備え、
前記制御手段は、該電動レギュレータに供給する電力を制御し該シリンダ内、及び該エア配管内の圧力を調整する請求項１記載の保護部材形成装置。