JP5991853B2 - 樹脂塗布装置 - Google Patents
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Description
図1は、一実施形態の樹脂塗布装置1の外観を概略的に示している。図1の符号11は、一端側にポスト12が立設された装置台11である。装置台11上のポスト12側には円板状のステージ20が配設されており、ポスト12と反対側の他端側には、帯状の長尺なポリオレフィン等からなる透明なシート部材がロール状に蓄積されたシート部材ロールSRが、シート部材をステージ20方向に供給可能なように回転可能に配設されている。ステージ20は、後述するように紫外線を透過可能に透明部材によって形成されている。
20…ステージ
21…保持面
40…液状樹脂吐出手段
41…配管経路
42…吐出ノズル
421…吐出ノズル移動手段
43…樹脂タンク
45…ポンプ
46…吐出圧力測定手段
50…押圧手段
51…押圧部材
511…押圧部材の押圧面
52…移動手段
53…押圧荷重測定手段
60…紫外線照射手段(外的刺激付加手段)
70…制御手段
71…CPU(演算手段)
73…RAM(記憶手段)
P…液状樹脂
P1…樹脂膜
S…シート部材
W…ワーク
Claims (2)
- ステージ上に保持されたシート部材の上面に液状樹脂を供給し、該液状樹脂に板状のワークを載置して押圧し、該液状樹脂を該ワークの下面に広げて該シート部材と該ワークとに挟まれた所定の厚さの樹脂膜を形成する樹脂塗布装置であって、
シート部材を保持するステージと、該ステージに保持された該シート部材の上面に液状樹脂を吐出する液状樹脂吐出手段と、該シート部材の上面に吐出された液状樹脂に該ワークを載置して押圧する押圧手段と、該押圧手段を制御する制御手段と、から少なくとも構成され、
前記ステージは前記シート部材を吸引保持する保持面を有し、
前記液状樹脂吐出手段は、液状樹脂を貯留する樹脂タンクと、該樹脂タンクに貯留された該液状樹脂を搬送する配管経路と、該液状樹脂を吐出する吐出ノズルと、該液状樹脂を所定量だけ該吐出ノズルに送るポンプと、該ポンプによって所定量の該液状樹脂を該吐出ノズルに送って吐出させる際に該ポンプと該吐出ノズルとをつなぐ該配管経路内に発生する吐出圧力値を測定して前記制御手段に送る吐出圧力測定手段と、前記吐出ノズルを前記ステージに保持された前記シート部材の上面に前記液状樹脂を吐出可能な吐出位置と前記押圧手段に干渉しない退避位置とに選択的に位置付ける吐出ノズル移動手段と、を有し、
前記押圧手段は、前記ステージの上方に配設され下面に前記ワークを該ステージに対向させて吸引保持する押圧面が形成された押圧部材と、該押圧部材を該ステージの前記保持面に対して垂直な方向に近接または離反させる移動手段と、該ステージに保持された前記シート部材の上面に吐出された前記液状樹脂に該押圧部材が該ワークを載置して押圧する際の押圧荷重値を測定して前記制御手段に送る押圧荷重測定手段とを有し、
前記制御手段は、前記液状樹脂の粘度と所定量の該液状樹脂を所定速度で吐出する際の前記吐出圧力値との関係および該液状樹脂の粘度と所定量の該液状樹脂で所定の厚さの樹脂膜を形成する際の前記押圧荷重値との関係とから予め求められた、所定の厚さの樹脂膜を形成する際の吐出圧力と押圧荷重との関係を示す制御テーブルと、前記吐出圧力測定手段から送られた該吐出圧力値と、前記押圧荷重測定手段から送られた該押圧荷重値と、を記憶する記憶手段と、該吐出圧力測定手段で測定された該吐出圧力値と該記憶手段に記憶された該制御テーブルとから所定の厚さの樹脂膜を形成するために必要な押圧荷重値を算出する演算手段とを有し、該押圧荷重測定手段で測定されて該制御手段に送られた該押圧荷重値が、該演算手段によって算出された押圧荷重値と等しくなるように前記押圧手段を制御すること
を特徴とする樹脂塗布装置。 - 前記液状樹脂は外的刺激によって硬化する外的刺激硬化性の液状樹脂であり、前記ステージには外的刺激を付加する外的刺激付加手段が配設され、
該外的刺激付加手段は、該ステージ上で前記押圧手段が前記ワークを押圧し、該液状樹脂を該ワークの下面に広げて前記シート部材と該ワークとに挟まれた所定の厚さの樹脂膜を形成した状態で該液状樹脂に外的刺激を付加して硬化させる
ことを特徴とする請求項1に記載の樹脂塗布装置。
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JP2012123105A JP5991853B2 (ja) | 2012-05-30 | 2012-05-30 | 樹脂塗布装置 |
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