KR101592910B1

KR101592910B1 - 임프린팅 장치

Info

Publication number: KR101592910B1
Application number: KR1020140122787A
Authority: KR
Inventors: 박근노; 이문경
Original assignee: 박근노
Priority date: 2014-09-16
Filing date: 2014-09-16
Publication date: 2016-02-11

Abstract

본 발명은 메인롤을 가압하도록 2개의 가압롤이 구비되고, 2개의 가압롤 사이에 라인빔 형태로 자외선을 조사하는 가경화부가 구비되어 다양한 크기 또는 두께의 필름 소재에 대하여 임프린팅 공정을 자동화 공정으로 진행할 수 있는 임프린팅 장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 임프린팅 장치는, 특정한 패턴이 형성된 스템퍼가 외면에 부착되는 메인롤; 상기 메인롤의 일측에 설치되며, 패턴이 형성될 필름 소재를 공급하는 필름 공급롤; 상기 메인롤의 타측에 설치되며, 패턴이 형성된 필름 소재를 권취하는 필름 회수롤; 상기 메인롤의 측하방에 설치되며, 상기 필름 공급롤에서 공급되는 필름 소재의 하면을 상기 메인롤 방향으로 가압하는 제1 가압롤; 상기 메인롤의 측하방에 상기 제1 가압롤과 일정 간격 이격된 상태로 설치되며, 상기 필름 소재의 하면을 상기 메인롤 방향으로 가압하는 제2 가압롤; 상기 메인롤의 상측에 설치되며, 상기 메인롤 외주면에 자외선 경화형 수지를 분사하는 수지 분사부; 상기 제1 가압롤과 제2 가압롤 사이에 설치되며, 상기 필름 소재 방향으로 자외선을 조사하여 상기 필름 소재와 메인롤 사이의 자외선 경화형 수지를 가경화하는 가경화부; 상기 메인롤과 상기 필름 회수롤 사이에 설치되며, 상기 필름 소재 상면에 형성된 패턴에 자외선을 조사하여 완전히 경화시키는 본경화부;를 포함한다.

Description

임프린팅 장치{THE IMPRINTING APPARATUS}

본 발명은 임프린팅 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 메인롤을 가압하도록 2개의 가압롤이 구비되고, 2개의 가압롤 사이에 라인빔 형태로 자외선을 조사하는 가경화부가 구비되어 다양한 크기 또는 두께의 필름 소재에 대하여 임프린팅 공정을 자동화 공정으로 진행할 수 있는 임프린팅 장치에 관한 것이다.

반도체 또는 디스플레이 제조 분야 등 정밀 제조 분야에서는 필름 또는 기판 상에 미세한 패턴을 형성하는 방법으로 포토리소그래피(photholithography) 공정을 이용한 방법이 널리 사용되고 있다. 그런데 이 포토리소그래피 공정은 매우 고가의 장비가 필요할 뿐만아니라, 공정 시간이 많이 소요되는 문제점도 있다.

따라서 이러한 포토리소그래피 공정을 대신하여 임프린팅(imprinting) 공정이 도입되어 사용되고 있다. 임프린팅 공정은 기판 또는 필름 등에 형성하고자 하는 패턴의 반대 형상을 메인롤에 형성한 상태에서 자외선 경화형 수지 등을 이용하여 기판 또는 필름 상에 메인롤을 가압하여 특정한 패턴을 형성하는 방법이다.

이러한 임프린팅 방식은 필름 소재를 롤투롤(roll to roll) 형태로 제조하는 방식에 적합하여 그 사용 범위가 확대되고 있으며, 공정 시간을 대폭 축소할 수 있는 장점이 있다.

그리고 이러한 임프린팅 장치에 대해서는 한국등록특허 제10-755235호 등에 기재되어 있는 바와 같이, 기판 형태의 소재에 패턴을 형성하는 기술에 대한 내용이 대부분을 이루고 있으며, 필름 소재를 롤투롤 형태로 제조하는 방식에 대해서는 그 기술 개발이 부족한 상태이다.

특히, 필름 소재에 자외선 경화형 수지를 이용하여 패턴을 형성하는 과정에서 가경화를 효율적으로 진행하는 기술과 가경화된 필름을 메인롤에서 효과적으로 분리시키는 기술을 상대적으로 매우 개발이 저조한 상황이다.

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 메인롤을 가압하도록 2개의 가압롤이 구비되고, 2개의 가압롤 사이에 라인빔 형태로 자외선을 조사하는 가경화부가 구비되어 다양한 크기 또는 두께의 필름 소재에 대하여 임프린팅 공정을 자동화 공정으로 진행할 수 있는 임프린팅 장치를 제공하는 것이다.

전술한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 임프린팅 장치는, 특정한 패턴이 형성된 스템퍼가 외면에 부착되는 메인롤; 상기 메인롤의 일측에 설치되며, 패턴이 형성될 필름 소재를 공급하는 필름 공급롤; 상기 메인롤의 타측에 설치되며, 패턴이 형성된 필름 소재를 권취하는 필름 회수롤; 상기 메인롤의 측하방에 설치되며, 상기 필름 공급롤에서 공급되는 필름 소재의 하면을 상기 메인롤 방향으로 가압하는 제1 가압롤; 상기 메인롤의 측하방에 상기 제1 가압롤과 일정 간격 이격된 상태로 설치되며, 상기 필름 소재의 하면을 상기 메인롤 방향으로 가압하는 제2 가압롤; 상기 메인롤의 상측에 설치되며, 상기 메인롤 외주면에 자외선 경화형 수지를 분사하는 수지 분사부; 상기 제1 가압롤과 제2 가압롤 사이에 설치되며, 상기 필름 소재 방향으로 자외선을 조사하여 상기 필름 소재와 메인롤 사이의 자외선 경화형 수지를 가경화하는 가경화부; 상기 메인롤과 상기 필름 회수롤 사이에 설치되며, 상기 필름 소재 상면에 형성된 패턴에 자외선을 조사하여 완전히 경화시키는 본경화부;를 포함한다.

그리고 본 발명에서 상기 가경화부는 자외선을 라인빔 형태로 조사하는 LED로 구성되는 것이 바람직하다.

또한 본 발명의 임프린팅 장치에는, 상기 제2 가압롤보다 높은 위치에 설치되며, 상기 필름소재가 상기 메인롤과 분리되는 시점에서 이루는 분리각을 확대시키는 분리각 확대롤이 더 구비되는 것이 바람직하다.

또한 본 발명의 상기 분리각 확대롤에는, 상기 메인롤 반대 방향에 설치되며, 상기 분리각 확대롤에 가해지는 압력을 센싱하여 필름 소재의 텐션을 측정하는 텐션 측정부가 더 구비되는 것이 바람직하다.

또한 본 발명에서 상기 제1 가압롤에는, 상기 메인롤의 반대 방향에 설치되며, 상기 제1 가압롤에 가해지는 압력을 측정하여 상기 제1 가압롤과 상기 메인롤 사이의 간격을 조정하는 제1 간격 조정부가 더 구비되는 것이 바람직하다.

한편 본 발명에서 상기 제2 가압롤에도, 상기 메인롤의 반대 방향에 설치되며, 상기 제2 가압롤에 가해지는 압력을 측정하여 상기 제2 가압롤과 상기 메인롤 사이의 간격을 조정하는 제2 간격 조정부가 더 구비되는 것이 바람직하다.

본 실시예에 따른 임프린팅 장치는 라인빔 형태의 가경화부를 제1, 2 가압롤 사이의 공간에 설치하여 매우 효과적으로 가경화 공정이 이루어지고, 분리각 확대롤에 의하여 가경화된 패턴이 변형되지 않고 메인롤에서 분리되는 장점이 있다.

또한 패턴 형성 과정에서 필름 소재에 가해지는 텐션을 실시간으로 측정하고 이를 바탕으로 제1, 2 가압롤, 분리각 확대롤의 가압 크기를 조절하여 필름 형태의 소재에 대한 패턴 형성 공정을 자동화할 수 있는 장점도 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 장치의 구조를 도시하는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 분리각 확대롤에 의한 필름 소재의 분리 상태를 도시하는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 메인롤의 제조 과정을 도시하는 도면이다.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다.

본 실시예에 따른 임프린팅 장치(100)는 도 1에 도시된 바와 같이, 메인롤(110), 필름 공급롤(120), 필름 회수롤(130), 제1 가압롤(140), 제2 가압롤(150), 수지 분사부(160), 가경화부(170) 및 본경화부(180)를 포함하여 구성될 수 있다.

먼저 상기 메인롤(110)은 필름 소재(1)에 형성될 패턴과 반대 형상의 특정한 패턴이 표면에 형성되어 있는 스템퍼(114)가 롤(112)의 외면에 부착되는 구성요소이다. 상기 메인롤(110)은 회전하면서 스템퍼(114)에 형성되어 있는 패턴 전체를 순차적으로 필름 소재(1) 표면에 전사하게 된다.

상기 메인롤(110)에 대한 스템퍼(114) 설치 방법은 도 3에 도시된 바와 같이, 미리 제작되어 있는 스템퍼(114)를 상기 메인롤(112)의 외면에 권취하는 방식으로 부착한다. 이렇게 설치된 스템퍼(114)는 일정한 횟수 동안 지속적으로 사용되고, 패턴 형상의 일부가 무너지는 현상이 발생하여 정확한 패턴 형성이 이루어지지 않는 경우에는 제거하고 다시 새로운 스템퍼를 설치하게 된다. 따라서 스템퍼(114)를 교체하면서 많은 수의 공정을 반복적으로 진행할 수 있는 장점이 있다.

다음으로 상기 필름 공급롤(120)은 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 메인롤(110)의 일측에 설치되며, 패턴이 형성될 필름 소재(1)를 공급하는 구성요소이다. 즉, 상기 필름 공급롤(120)에는 임프린팅 공정이 진행될 필름 소재(1)가 권취되어 설치되며, 상기 필름 공급롤(120)의 회전에 의하여 상기 메인롤(110) 방향으로 연속적으로 필름 소재(1)가 공급되는 것이다.

다음으로 상기 필름 회수롤(130)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 메인롤(110)의 타측 즉, 상기 필름 공급롤(120)이 설치된 위치의 반대측에 설치되며, 패턴이 형성된 필름 소재(1)를 권취하는 구성요소이다. 즉, 상기 필름 회수롤(130)에는 상기 메인롤(110)을 거치면서 특정한 패턴이 표면에 형성되고 경화되어 완성된 필름 소재(1)가 회수되면서 권취되는 것이다.

이때 상기 필름 회수롤(130)이 권취되는 속도는 상기 필름 공급롤(120)의 공급속도 및 상기 메인롤(110)에서의 필름 소재 배출속도에 연동되어 상기 필름 소재(1)가 일정한 텐션(tension)을 유지하도록 제어된다.

다음으로 상기 제1 가압롤(140)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 메인롤(110)의 측하방에 설치되며, 상기 필름 공급롤(120)에서 공급되는 필름 소재(1)의 하면을 상기 메인롤(110) 방향으로 가압하는 구성요소이다.

상기 필름 소재(1)에 특정한 패턴을 형성하기 위해서는 상기 필름 소재(1)가 상기 메인롤(112)에 부착되어 있는 스템퍼(114)의 표면과 완벽하게 밀착되어야 한다. 그러면 상기 필름 소재(1)와 메인롤(110) 사이에 공급되는 자외선 경화형 수지(2)가 가경화되면서 상기 필름 소재(1)에 전사되는 것이다. 따라서 상기 제1 가압롤(140)은 상기 필름 소재(1)의 전면에 대하여 균일하게 상기 메인롤(110) 방향으로 가압할 수 있도록 설치된다.

본 실시예에서 상기 제1 가압롤(140)은 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 메인롤(110)의 좌측 하방에 설치되는 것이 바람직하다.

이때 상기 제1 가압롤(140)에는 제1 간격 조정부(142)가 더 구비되는 것이 바람직하다. 상기 제1 가압롤(140)과 상기 메인롤(110) 사이의 간격은 정확한 공정 수행을 위하여 매우 미세하게 제어되어야 한다. 그런데 상기 필름 소재(1)가 개재되어 이동하는 상태에서 상기 제1 가압롤(140)과 메인롤(110) 사이의 간격을 측정하는 것은 매우 어려운 일이다. 따라서 상기 제1 가압롤(140)이 상기 메인롤(110) 방향으로 가하는 압력을 측정하여 상대적으로 상기 제1 가압롤(140)과 메인롤(110) 사이의 간격을 측정하고 제어할 수 있다.

따라서 본 실시예에서는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 제1 가압롤(140) 중 상기 메인롤(110)의 반대 방향에 설치되며, 상기 제1 가압롤(140)에 가해지는 압력을 측정하여 상기 제1 가압롤(140)과 상기 메인롤(110) 사이의 간격을 조정하는 제1 간격 조정부(142)가 더 구비되는 것이다. 구체적으로 상기 제1 간격 조정부(142)는 압력을 측정하는 로드셀(141)과 상기 제1 가압롤(140)을 상기 메인롤(110) 방향으로 전후진시키는 구동수단(143)을 포함하여 구성될 수 있다.

다음으로 상기 제2 가압롤(150)은 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 메인롤(110)의 우측 측하방에 상기 제1 가압롤(140)과 일정 간격 이격된 상태로 설치되며, 상기 필름 소재(1)의 하면을 상기 메인롤(110) 방향으로 가압하는 구성요소이다. 즉, 상기 제2 가압롤(150)은 제1 가압롤(110)과 마찬가지로 원활한 패턴 형성을 위하여 상기 필름 소재(1)를 상기 메인롤(110) 방향으로 가압하는 것이다. 이렇게 상기 제1, 2 가압롤(140, 150)에 의하여 일정한 구간에서 필름 소재(1)가 메인롤(110) 방향으로 가압되면, 패턴 형성이 더욱 확실하게 이루어지는 장점이 있다.

또한 상기 제1, 2 가압롤(140, 150) 사이의 공간에 도 1에 도시된 바와 같이, 가경화부(170)가 설치되어 용이한 가경화 작업이 진행될 수 있는 장점도 있다.

그리고 상기 제2 가압롤(150)에도, 제1 가압롤(140)과 마찬가지로 제2 간격 조정부(152)가 더 구비되는 것이 바람직하며, 상기 제2 간격 조정부(152)의 실질적인 구조는 상기 제1 간격 조정부(142)와 동일하므로 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.

다음으로 상기 수지 분사부(160)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 메인롤(110)의 상측에 설치되며, 상기 메인롤(110) 외주면에 자외선 경화형 수지를 분사하는 구성요소이다. 본 실시예에서 상기 수지 분사부(160)는 다양한 디스펜서(dispenser) 구조를 가질 수 있으며, 어느 정도 점도가 있는 자외선 경화형 수지(2)를 상기 메인롤(110)의 외면에 분사하여 상기 자외선 경화형 수지(2)가 상기 메인롤(110)을 타고, 상기 필름 소재(1)와 스템퍼(114) 사이의 공간으로 연속적으로 공급되도록 한다.

이때 상기 메인롤(110)과 제1 가압롤(140) 사이에 공급된 수지가 외측으로 흘러넘치는 것을 방지하기 위하여, 본 실시예에 따른 임프린팅 장치(100)에는 도 1에 도시된 바와 같이, 수지 넘침 방지부(161)가 더 구비되는 것이 바람직하다.

상기 수지 넘침 방지부(161)는 구체적으로 상기 메인롤(110)과 제1 가압롤(140) 사이의 공간을 양측에서 차단하는 차단 몸체(163)과 상기 차단 몸체 내에 형성되며, 상기 메인롤(110)과 제1 가압롤(140)에 형성되는 미세한 틈에 기체를 고압으로 분사하여 수지의 미세한 넘침 현상도 방지하는 기체 분사부(164)를 포함하여 구성될 수 있다.

따라서 상기 차단 몸체(163)은 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 메인롤(110)과 제1 가압롤(140) 사이의 공간 형상과 대응되는 형상을 가지는 것이 바람직하며, 상기 기체 분사부(164)의 기체 분사구는 상기 차단 몸체(163)의 좁은 말단에 형성되는 것이 바람직하다.

상기 필름 소재(1)와 스템퍼(114) 사이에서는 상기 자외선 경화형 수지(2)가 빈 공간을 채우게 되고, 상기 가경화부(170)에 의하여 가경화되면서 상기 필름 소재(1)에 패턴(3)이 부착된다.

다음으로 상기 가경화부(170)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 제1 가압롤(140)과 제2 가압롤(150) 사이에 설치되며, 상기 필름 소재(1) 방향으로 자외선을 조사하여 상기 필름 소재(1)와 메인롤(110) 사이에 패턴 형상으로 충진된 자외선 경화형 수지(2)를 가경화하는 구성요소이다. 따라서 상기 가경화부(170)에 의하여 자외선 경화형 수지(2)가 1차적으로 경화되어, 그 형태가 변형되지 않을 정도로 경화되는 것이다. 이렇게 가경화된 패턴(3)은 상기 메인롤(110)에서 분리되는 과정에서도 변형되지 않고, 그 형태를 유지하면서 상기 필름 소재(1)로 전사된다.

본 실시예에서는 상기 가경화부(170)를 자외선을 라인빔(line beam) 형태로 조사하는 LED로 구성하는 것이 바람직하다. 이렇게 상기 가경화부(170)를 LED로 구성하면, 조사되는 빛의 직진성이 강화되고, 필름 소재(1)의 모든 면에 대하여 균일한 조도를 확보하면서 자외선을 조사할 수 있는 장점이 있다.

다음으로 상기 본경화부(180)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 메인롤(110)과 상기 필름 회수롤(130) 사이에 설치되며, 상기 필름 소재(1) 상면에 형성된 패턴에 자외선을 조사하여 완전히 경화시키는 구성요소이다. 따라서 상기 본경화부(180)는 상기 필름 소재(1) 표면에 형성되어 있으며, 상기 가경화부(170)에 의하여 임시로 경화되어 있는 패턴을 완전하게 경화시킬 수 있는 에너지를 공급하는 특성을 가지는 자외선을 조사할 수 있는 자외선 조사장치로 구성된다.

한편 본 실시예에 따른 임프린팅 장치(100)에는, 도 1에 도시된 바와 같이, 분리각 확대롤(190)이 더 구비되는 것이 바람직하다. 본 실시예에서 '분리각'이라 함은, 일정한 패턴이 형성된 필름 소재(1)가 상기 메인롤(110)로부터 분리되는 시점에서, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 필름 소재(1)의 표면과 메인롤(110)의 외주면 접선 방향이 이루는 각(θ)을 말하는 것이며, 상기 분리각 확대롤(190)은 이 분리각(θ)이 확대되도록 상기 필름 소재(1)를 제어하는 구성요소이다.

따라서 상기 분리각 확대롤(190)은 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 제2 가압롤(150)보다 높은 위치에 설치되어, 상기 필름 소재(1)가 매우 급격하게 상기 필름 회수롤(130) 방향으로 꺽이도록 제어한다. 이렇게 상기 분리각 확대롤(190)에 의하여 필름 소재(1)의 분리각(θ)이 커지면, 상기 필름 소재(1) 표면에 형성된 패턴(3)의 모서리 부분이 분리 과정에서 무너지거나 변형되는 현상을 최소화할 수 있는 장점이 있다.

한편 본 실시예에서 상기 분리각 확대롤(190)에는, 도 1, 2에 도시된 바와 같이, 상기 메인롤(110) 반대 방향에 설치되며, 상기 분리각 확대롤(190)에 가해지는 압력을 센싱하여 필름 소재(1)의 텐션을 측정하는 텐션 측정부(192)가 더 구비되는 것이 바람직하다.

상기 분리각 확대롤(190)은 상기 필름 소재(1)의 분리각을 확대하기 위하여 상기 필름 소재(1)를 상기 메인롤(110) 방향으로 가압한다. 그런데 이 과정에서 과도한 압력이 가해지고, 상기 필름 소재(1)의 텐션이 비정상적으로 증가하면 필름 소재(1)가 코팅이 정상적ㅇ로 이루어지지 않는 등의 문제가 발생할 수 있다. 따라서 상기 분리각 확대롤(190)에는 도 1에 도시된 바와 같이, 텐션 측정부(192)가 더 구비되고, 상기 텐션 측정부(192)에서 측정되는 텐션에 따라 상기 필름 회수롤(130)의 회전속도를 변경 제어하여 균일한 코팅 조건이 유지되도록 한다. 또한 상기 분리각 확대롤에는, 상기 분리각 확대롤(190)을 상기 메인롤(110) 방향으로 전후진시키는 구동수단(도면에 미도시)도 더 구비될 수 있다.

1 : 필름 소재 2 : 자외선 경화형 수지
100 : 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 장치
110 : 메인롤 120 : 필름 공급롤
130 : 필름 회수롤 140 : 제1 가압롤
150 : 제2 가압롤 160 : 수지 분사부
170 : 가경화부 180 : 본경화부
190 : 분리각 확대롤 101 : 세정부

Claims

특정한 패턴이 형성된 스템퍼가 외면에 부착되는 메인롤;
상기 메인롤의 일측에 설치되며, 패턴이 형성될 필름 소재를 공급하는 필름 공급롤;
상기 메인롤의 타측에 설치되며, 패턴이 형성된 필름 소재를 권취하는 필름 회수롤;
상기 메인롤의 측하방에 설치되며, 상기 필름 공급롤에서 공급되는 필름 소재의 하면을 상기 메인롤 방향으로 가압하는 제1 가압롤;
상기 메인롤의 측하방에 상기 제1 가압롤과 일정 간격 이격된 상태로 설치되며, 상기 필름 소재의 하면을 상기 메인롤 방향으로 가압하는 제2 가압롤;
상기 메인롤의 상측에 설치되며, 상기 메인롤 외주면에 자외선 경화형 수지를 분사하는 수지 분사부;
상기 제1 가압롤과 제2 가압롤 사이에 자외선을 라인빔 형태로 조사하는 LED로 설치되며, 상기 필름 소재 방향으로 자외선을 조사하여 상기 필름 소재와 메인롤 사이의 자외선 경화형 수지를 가경화하는 가경화부;
상기 메인롤과 상기 필름 회수롤 사이에 설치되며, 상기 필름 소재 상면에 형성된 패턴에 자외선을 조사하여 완전히 경화시키는 본경화부;
상기 제2 가압롤보다 높은 위치에 설치되며, 상기 필름소재가 상기 메인롤과 분리되는 시점에서 이루는 분리각을 확대시키는 분리각 확대롤;
상기 제1 가압롤 중 상기 메인롤의 반대 방향에 설치되며, 상기 제1 가압롤에 가해지는 압력을 측정하여 상기 제1 가압롤과 상기 메인롤 사이의 간격을 조정하는 제1 간격 조정부;
상기 제2 가압롤 중상기 메인롤의 반대 방향에 설치되며, 상기 제2 가압롤에 가해지는 압력을 측정하여 상기 제2 가압롤과 상기 메인롤 사이의 간격을 조정하는 제2 간격 조정부;
상기 분리각 확대롤 중 상기 메인롤 반대 방향에 설치되며, 상기 분리각 확대롤에 가해지는 압력을 센싱하여 필름 소재의 텐션을 측정하는 텐션 측정부;
상기 메인롤과 제1 가압롤의 양 측부에 구비되며, 상기 메인롤과 제1 가압롤 사이에 공급된 수지가 외측으로 흘러넘치는 것을 방지하는 수지 넘침 방지부;를 포함하는 임프린팅 장치.
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제1항에 있어서, 상기 수지 넘침 방지부는,
상기 메인롤과 제1 가압롤 사이의 공간을 양측에서 차단하는 차단 몸체;
상기 차단 몸체 내에 형성되며, 상기 메인롤과 제1 가압롤에 형성되는 미세한 틈에 기체를 고압으로 분사하는 기체 분사부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 임프린팅 장치.