JP2010137156A - 紙素子からのイソプロピルアルコールの除去装置 - Google Patents
紙素子からのイソプロピルアルコールの除去装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010137156A JP2010137156A JP2008315014A JP2008315014A JP2010137156A JP 2010137156 A JP2010137156 A JP 2010137156A JP 2008315014 A JP2008315014 A JP 2008315014A JP 2008315014 A JP2008315014 A JP 2008315014A JP 2010137156 A JP2010137156 A JP 2010137156A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- isopropyl alcohol
- cleaning
- washing
- paper element
- water
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 414
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims abstract description 126
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 69
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 64
- 239000002351 wastewater Substances 0.000 claims description 27
- 238000005273 aeration Methods 0.000 claims description 6
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 5
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 4
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 4
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 7
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 6
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000007605 air drying Methods 0.000 description 4
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 4
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 4
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 3
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000001745 non-dispersive infrared spectroscopy Methods 0.000 description 3
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CWYNVVGOOAEACU-UHFFFAOYSA-N Fe2+ Chemical compound [Fe+2] CWYNVVGOOAEACU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M Sodium chloride Chemical compound [Na+].[Cl-] FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 2
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 2
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004064 recycling Methods 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010426 asphalt Substances 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 1
- 239000012459 cleaning agent Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000001784 detoxification Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- -1 etc. Substances 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 239000010893 paper waste Substances 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 239000011780 sodium chloride Substances 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 1
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001988 toxicity Effects 0.000 description 1
- 231100000419 toxicity Toxicity 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Processing Of Solid Wastes (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明の紙素子からのイソプロピルアルコールの除去装置は、イソプロピルアルコールでPCBを洗浄除去した例えば紙素子11を投入する洗浄籠12と、前記洗浄籠12内に洗浄水13を供給する洗浄水供給部であるシャワー部14と、洗浄後のIPAを含む洗浄水を受けると共に、外部へ洗浄排水15として排出する洗浄槽16と、洗浄排水15中のIPAの残量を判定する判定器17とを具備する。
【選択図】 図1−1
Description
また、蛍光灯安定器、トランス、コンデンサ等の紙素子のPCB除去を行うために、アルコール洗浄剤として、イソプロピルアルコール(以下「IPA」ともいう。)を用い、除去されたPCBを含むIPAは水熱分解処理装置でPCBを分解することを先に提案した(特許文献5)。
このイソプロピルアルコールは、沸点が82.4℃と通常の有機溶剤(n−ヘキサン、アセトン等)よりは高いので、洗浄素子からなかなか除去できない、という問題がある。
図1−1は、実施例1に係る紙素子からのイソプロピルアルコールの除去装置の概略図である。図1−2は、実施例1に係る紙素子の乾燥状態を示す概略図である。
図1−1に示すように、本実施例に係る紙素子からのイソプロピルアルコールの除去装置(以下、「IPA除去装置」という。)10Aは、イソプロピルアルコールでPCBを洗浄除去した例えば紙素子11を投入する洗浄籠12と、前記洗浄籠12内に洗浄水13を供給する洗浄水供給部であるシャワー部14と、洗浄後のIPAを含む洗浄水を受けると共に、外部へ洗浄排水15として排出する洗浄槽16と、洗浄排水15中のIPAの残量を判定する判定器17とを具備するものである。
次に、前記洗浄籠12内に洗浄水13をシャワー部14から十分供給する。
IPAは水溶性であるので、水中に移行し、紙素子11から除去される。
排出された洗浄排水15は判定器17により、紙素子からのイソプロピルアルコールが除去されたかを判定する。
また、判定によりIPAの除去が基準値以下となった場合には、電磁弁18を制御して洗浄を停止する。
このような目開きとすることで、紙くずの排出を防止することができるからである。
酸化により発生した二酸化炭素は、赤外線ガス分析部(NDIR)にて検出される。次いで、計測試料が精製空気で充満された燃焼炉へ運ばれ、ここで白金触媒と共に、680℃まで加熱させる。これにより、燃焼・分解し、二酸化炭素に変換される。
この変換された二酸化炭素は、冷却、除湿されNDIRにて検出される。別途測定した検量線式と比較することで、試料中のTC(全炭素濃度)を求める。
さらに酸性化した試料に通気処理することで、試料中のIC(無機炭素)を二酸化炭素に変換し、それをNDIRにより検出することで、IC濃度を求める。
求めたTC濃度からIC濃度を差し引くことで、TOC濃度を算出する。
本実施例に係るPCB処理システム100は、例えばPCBを含む安定器101を、樹脂製安定器とアスファルト製安定器とに仕分けする仕分け部102と、仕分けされた樹脂製安定器を破砕・分別処理する破砕・分別部103と、分別処理された分別品(素子104a、非鉄部材104b、鉄部材104c等)をそれぞれ予備洗浄する予備洗浄部105と、予備洗浄された素子104aから紙素子11とフィルム107とを分離する分離部108と、分離された紙素子11を有機溶剤(ヘキサン)で一次洗浄し、その後イソプロピルアルコール(IPA)で二次洗浄する一次・二次洗浄部109と、洗浄後のIPAが含まれる紙素子11からIPAを除去し、洗浄液を判定するIPA除去装置10Aとを具備するものである。
図6中、符号110は一次・二次洗浄部109に供給されるPCB洗浄液、111はPCB洗浄廃液、112は非鉄部材104bやフィルム107を真空・高温状態で加熱してPCBを除去する真空加熱部、113は一次・二次洗浄部109で処理された鉄をアルカリ洗浄するアルカリ洗浄部、114は真空加熱処理やアルカリ洗浄処理の後の部材中のPCBの有無を判断して、PCBが基準値以下であることを判定する卒業判定部、115は卒業判定された鉄、銅、アルミニウム等の卒業判定品、116は各処理部でのガス成分117中の微粒子等を浄化する排気処理部、118はさらにガス成分を浄化する活性炭フィルタ部を各々図示する。
図2は、実施例2に係る紙素子からのイソプロピルアルコールの除去装置の概略図である。図2に示すように、本実施例に係る紙素子からのイソプロピルアルコールの除去装置(以下、「IPA除去装置」という。)10Bは、イソプロピルアルコールでPCBを洗浄除去した紙素子11を投入する洗浄籠12と、前記洗浄籠12を洗浄水13内に浸漬させ、洗浄籠12を上下動しつつ洗浄し、洗浄後の洗浄排水15を外部へ排出する洗浄槽16と、洗浄排水15中のイソプロピルアルコールの残量を判定する判定器17とを具備するものである。
また、上下振動洗浄の際には、洗浄水13の上面より、露出しないように、洗浄するのが好ましい。これは、洗浄水13から露出すると、紙素子11同士が貼り付く結果、IPAの除去ができなくなるからである。
図3は、実施例3に係る紙素子からのイソプロピルアルコールの除去装置の概略図である。図3に示すように、本実施例に係る紙素子からのイソプロピルアルコールの除去装置(以下、「IPA除去装置」という。)10Cは、イソプロピルアルコールでPCBを洗浄除去した紙素子11を投入する洗浄籠12と、前記洗浄籠12を洗浄水13内に浸漬させ、上下動自在な上下動棒41の端部に設けられた圧搾板42で押圧しつつ洗浄し、洗浄後の洗浄排水15を外部へ排出する洗浄槽16と、洗浄排水15中のイソプロピルアルコールの残量を判定する判定器17とを具備するものである。
図4は、実施例4に係る紙素子からのイソプロピルアルコールの除去装置の概略図である。図4に示すように、本実施例に係る紙素子からのイソプロピルアルコールの除去装置(以下、「IPA除去装置」という。)10Dは、イソプロピルアルコールでPCBを洗浄除去した紙素子11を搬送する第1の搬送手段20と、前記搬送された紙素子11を不活性ガス21中で、通気乾燥する通気乾燥機22と、通気乾燥処理された通気処理物23を搬送する第2の搬送手段24と、第2の搬送手段24で搬送する際に、洗浄水13を供給する洗浄水供給部であるシャワー部14と、洗浄後のイソプロピルアルコールを含む洗浄水を受けると共に、外部へ洗浄排水15として排出する洗浄水受け部25と、洗浄排水15中のイソプロピルアルコールの残量を判定する判定器17とを具備するものである。
符号26、27は投入ホッパ、28はIPA除去後の紙素子を外部へ移動させるための払出コンテナである。
次に、通気乾燥機22内に例えば80℃以上の不活性ガス(例えばN2、CO2)21を導入し、通過する紙素子11を加温させ、IPAを気化させる。IPAの蒸気比重は2.1と空気よりも重いので、通気乾燥機22の下部に溜まり、通気乾燥機22の底部から排気ガス29として、外部に排出される。前記排気ガス29は別途活性炭フィルタを通過させて無害化浄化する。
イソプロピルアルコールは水溶性であるので、水中に移行し、紙素子11から除去される。
排出された洗浄排水15は判定器17により、紙素子11からのイソプロピルアルコールが除去されたかを実施例1と同様に判定する。
図5は、実施例5に係る紙素子からのイソプロピルアルコールの除去装置の概略図である。図5に示すように、本実施例に係る紙素子からのイソプロピルアルコールの除去装置(以下、「IPA除去装置」という。)10Eは、コンテナへの詰め替え作業の前の紙素子11が詰められた袋(通気性を有する)31の上部の開口部31aを開き、エアーバブルを混入した水(エアーバブル混入水)30と洗浄水13とを供給する。
エアーバブル混入水30を紙素子11が塊状となった中心部分に注入することで、紙素子11と洗浄水13との拡散効果を高め、空気と水との併用作用によりIPAを除去することができる。
洗浄液15は袋31底部分から滴り落ちるので、それを洗浄水受け部25で回収して、実施例1と同様に処理、判定する。
また、判定によりIPAの除去が基準値以下となった場合には、洗浄水13の供給を停止すると共に、電磁弁32を制御してエアーバブル混入水30の供給を停止する。
袋31は濾布等を用いて、水排出性が良好であるものが好ましい。また、二次洗浄後の保管に際して使用する保管袋と兼用することで、移し替えの手間を省くことができる。
11 紙素子
12 洗浄籠
13 洗浄水
14 シャワー部
15 洗浄排水
16 洗浄槽
17 判定器
Claims (6)
- PCBが付着した紙素子からPCBをイソプロピルアルコールで除去し、該イソプロピルアルコールを含む紙素子からのイソプロピルアルコールを除去する装置であって、
イソプロピルアルコールを含む紙素子に対し、洗浄水でイソプロピルアルコールを除去する洗浄部と、
洗浄後の洗浄排水中のイソプロピルアルコールの残量を判定する判定器とを具備することを特徴とする紙素子からのイソプロピルアルコールの除去装置。 - 請求項1において、
イソプロピルアルコールでPCBを洗浄除去した紙素子を投入する洗浄籠と、
前記洗浄籠内に洗浄水を供給する洗浄水供給部と、
洗浄後のイソプロピルアルコールを含む洗浄水を受けると共に、外部へ洗浄排水として排出する洗浄槽と、
洗浄排水中のイソプロピルアルコールの残量を判定する判定器とを具備することを特徴とする紙素子からのイソプロピルアルコールの除去装置。 - 請求項1において、
イソプロピルアルコールでPCBを洗浄除去した紙素子を投入する洗浄籠と、
前記洗浄籠を洗浄水内に浸漬させ、洗浄籠を上下動しつつ洗浄し、洗浄後の洗浄排水を外部へ排出する洗浄槽と、
洗浄排水中のイソプロピルアルコールの残量を判定する判定器とを具備することを特徴とする紙素子からのイソプロピルアルコールの除去装置。 - 請求項1において、
イソプロピルアルコールでPCBを洗浄除去した紙素子を投入する洗浄籠と、
前記洗浄籠を洗浄水内に浸漬させ、上下動自在な圧搾板で押圧しつつ洗浄し、洗浄後の洗浄排水を外部へ排出する洗浄槽と、
洗浄排水中のイソプロピルアルコールの残量を判定する判定器とを具備することを特徴とする紙素子からのイソプロピルアルコールの除去装置。 - 請求項2乃至4のいずれか一つにおいて、
前記洗浄籠の目開きが75μm〜150μmであることを特徴とする紙素子からのイソプロピルアルコールの除去装置。 - 請求項1において、
イソプロピルアルコールでPCBを洗浄除去した紙素子を搬送する第1の搬送手段と、
前記搬送された紙素子を不活性ガス中で、通気乾燥する通気乾燥機と、
通気乾燥処理された通気処理物を搬送する第2の搬送手段と、
第2の搬送手段で搬送する際に、洗浄水を供給する洗浄水供給部と、
洗浄後のイソプロピルアルコールを含む洗浄水を受けると共に、外部へ洗浄排水として排出する洗浄水受け部と、
洗浄排水中のイソプロピルアルコールの残量を判定する判定器とを具備することを特徴とする紙素子からのイソプロピルアルコールの除去装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008315014A JP5199851B2 (ja) | 2008-12-10 | 2008-12-10 | 紙素子からのイソプロピルアルコールの除去装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008315014A JP5199851B2 (ja) | 2008-12-10 | 2008-12-10 | 紙素子からのイソプロピルアルコールの除去装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010137156A true JP2010137156A (ja) | 2010-06-24 |
JP5199851B2 JP5199851B2 (ja) | 2013-05-15 |
Family
ID=42347758
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008315014A Expired - Fee Related JP5199851B2 (ja) | 2008-12-10 | 2008-12-10 | 紙素子からのイソプロピルアルコールの除去装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5199851B2 (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013094727A (ja) * | 2011-10-31 | 2013-05-20 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 非鉄・金属類以外のpcb汚染物質の処理装置 |
JP2013094728A (ja) * | 2011-10-31 | 2013-05-20 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Pcb汚染フィルム素子の処理装置 |
JP2014050826A (ja) * | 2012-09-10 | 2014-03-20 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Pcb汚染フィルム素子の処理装置 |
JP2015164734A (ja) * | 2015-06-22 | 2015-09-17 | 三菱重工業株式会社 | 非鉄・金属類以外のpcb汚染物質の処理装置 |
JP2016156752A (ja) * | 2015-02-25 | 2016-09-01 | 国立大学法人名古屋大学 | 炭素同位体分析装置および炭素同位体分析方法 |
JP2016156706A (ja) * | 2015-02-25 | 2016-09-01 | 国立大学法人名古屋大学 | 炭素同位体分析装置および炭素同位体分析方法 |
JP2018004656A (ja) * | 2015-03-04 | 2018-01-11 | 国立大学法人名古屋大学 | 炭素同位体分析装置および炭素同位体分析方法 |
JP2020065981A (ja) * | 2018-10-25 | 2020-04-30 | 竹田 修 | 洗浄システムおよび洗浄方法 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07214014A (ja) * | 1994-01-28 | 1995-08-15 | Ishikawa Seisakusho:Kk | 洗浄装置 |
JPH08117703A (ja) * | 1994-10-18 | 1996-05-14 | Mitsubishi Kasei Eng Co | 油付着物の洗浄方法 |
JPH1066670A (ja) * | 1996-06-18 | 1998-03-10 | Azuma Kogyo Kk | 水拭き用清掃具 |
JP2001179231A (ja) * | 1999-12-22 | 2001-07-03 | Toshiba Plant Kensetsu Co Ltd | Pcb含有コンデンサの処理方法 |
JP2001327982A (ja) * | 2000-05-23 | 2001-11-27 | Japan Organo Co Ltd | Pcbに汚染された衣服の除染システム |
JP2002075948A (ja) * | 2000-08-29 | 2002-03-15 | Tokyo Electron Ltd | 温度調節シール機構付処理装置 |
JP2002172374A (ja) * | 2000-12-05 | 2002-06-18 | Shinko Pantec Co Ltd | Pcb汚染物質の洗浄方法および装置 |
JP2003112160A (ja) * | 2001-10-05 | 2003-04-15 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 汚染土壌の浄化装置 |
JP2006278685A (ja) * | 2005-03-29 | 2006-10-12 | Nomura Micro Sci Co Ltd | 洗浄装置 |
JP2008078501A (ja) * | 2006-09-22 | 2008-04-03 | Toshiba Corp | 半導体基板の乾燥装置及び乾燥方法 |
-
2008
- 2008-12-10 JP JP2008315014A patent/JP5199851B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07214014A (ja) * | 1994-01-28 | 1995-08-15 | Ishikawa Seisakusho:Kk | 洗浄装置 |
JPH08117703A (ja) * | 1994-10-18 | 1996-05-14 | Mitsubishi Kasei Eng Co | 油付着物の洗浄方法 |
JPH1066670A (ja) * | 1996-06-18 | 1998-03-10 | Azuma Kogyo Kk | 水拭き用清掃具 |
JP2001179231A (ja) * | 1999-12-22 | 2001-07-03 | Toshiba Plant Kensetsu Co Ltd | Pcb含有コンデンサの処理方法 |
JP2001327982A (ja) * | 2000-05-23 | 2001-11-27 | Japan Organo Co Ltd | Pcbに汚染された衣服の除染システム |
JP2002075948A (ja) * | 2000-08-29 | 2002-03-15 | Tokyo Electron Ltd | 温度調節シール機構付処理装置 |
JP2002172374A (ja) * | 2000-12-05 | 2002-06-18 | Shinko Pantec Co Ltd | Pcb汚染物質の洗浄方法および装置 |
JP2003112160A (ja) * | 2001-10-05 | 2003-04-15 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 汚染土壌の浄化装置 |
JP2006278685A (ja) * | 2005-03-29 | 2006-10-12 | Nomura Micro Sci Co Ltd | 洗浄装置 |
JP2008078501A (ja) * | 2006-09-22 | 2008-04-03 | Toshiba Corp | 半導体基板の乾燥装置及び乾燥方法 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013094727A (ja) * | 2011-10-31 | 2013-05-20 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 非鉄・金属類以外のpcb汚染物質の処理装置 |
JP2013094728A (ja) * | 2011-10-31 | 2013-05-20 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Pcb汚染フィルム素子の処理装置 |
JP2014050826A (ja) * | 2012-09-10 | 2014-03-20 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Pcb汚染フィルム素子の処理装置 |
JP2016156752A (ja) * | 2015-02-25 | 2016-09-01 | 国立大学法人名古屋大学 | 炭素同位体分析装置および炭素同位体分析方法 |
JP2016156706A (ja) * | 2015-02-25 | 2016-09-01 | 国立大学法人名古屋大学 | 炭素同位体分析装置および炭素同位体分析方法 |
JP2018004656A (ja) * | 2015-03-04 | 2018-01-11 | 国立大学法人名古屋大学 | 炭素同位体分析装置および炭素同位体分析方法 |
JP2015164734A (ja) * | 2015-06-22 | 2015-09-17 | 三菱重工業株式会社 | 非鉄・金属類以外のpcb汚染物質の処理装置 |
JP2020065981A (ja) * | 2018-10-25 | 2020-04-30 | 竹田 修 | 洗浄システムおよび洗浄方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5199851B2 (ja) | 2013-05-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5199851B2 (ja) | 紙素子からのイソプロピルアルコールの除去装置 | |
JP2003112160A (ja) | 汚染土壌の浄化装置 | |
CN104759462A (zh) | 一种具有尾气处理功能的土壤淋洗提质修复装置 | |
JP2012005937A (ja) | Pcb汚染廃電気機器の処理システム | |
JP4733525B2 (ja) | Pcb廃棄物の処理方法 | |
JP2003245643A (ja) | 汚染土壌の浄化方法 | |
JP5794894B2 (ja) | 非鉄・金属類以外のpcb汚染物質の処理装置 | |
JP4258144B2 (ja) | 廃蛍光管等の水銀除去方法 | |
JP2012232277A (ja) | Pcb汚染廃電気機器の処理装置 | |
JP6271651B2 (ja) | 非鉄・金属類以外のpcb汚染物質の処理装置 | |
JP4066164B2 (ja) | 廃棄物の再資源化方法 | |
JP3924142B2 (ja) | 汚染土壌の浄化装置及び方法 | |
JP3703367B2 (ja) | 汚染土壌、スラリー等の浄化方法 | |
JP2008238050A (ja) | 移動式排ガス処理装置及び排ガス処理方法 | |
TWM427381U (en) | Improvement of oil mud processing equipment | |
JP2006334572A (ja) | Pcb混入絶縁油を含有する変圧器の無害化処理方法 | |
JP6573587B2 (ja) | Pcb処理方法 | |
JP2003103245A (ja) | 汚染対象物の浄化装置 | |
JP2008271999A (ja) | 電気機器絶縁油中のpcb無害化方法及び電気機器絶縁油の浄化方法 | |
JP2014108408A (ja) | Pcb汚染汚泥又は残渣類の脱水処理装置及びそれを用いたpcb処理システム | |
JP2004261767A (ja) | 汚染土壌のリサイクルシステム及び汚染土壌の保管装置 | |
JP5766591B2 (ja) | Pcb汚染フィルム素子の処理方法 | |
JP2003245646A (ja) | 汚染土壌の浄化装置及び方法 | |
JP2011143406A (ja) | Pcb廃棄物の処理方法 | |
JP2004195344A (ja) | 油汚染土壌の浄化処理方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101222 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120514 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120605 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120806 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130115 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130208 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160215 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5199851 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160215 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |