JP2010135630A - 光素子モジュール及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 シリコン基板2の一方の面に光素子8と半導体回路素子9が搭載され、他方の面に、略45度傾斜するミラー面2aが形成されるとともに、ミラー面に対面する光ファイバ7が、他方の面に沿って形成されたV溝に配置される光素子モジュール1の製造方法であって、他方の面に対して、ミラー面2aと、V溝のV状側面とを第1の結晶異方性エッチングにより同時に形成する工程と、一方の面及び他方の面に略垂直で、V溝の先端側に形成されて光ファイバ7先端が突き当てられる当接面2bを、第1の結晶異方性エッチングとは異なる結晶面方位での第2の結晶異方性エッチングによって形成する工程とを含むことを特徴とする。
【選択図】 図13
Description
そのため、光通信モジュール、光インターコネクションモジュール、光計測モジュール等において、小型化、大容量化した機器により、容易に、かつ安価に、受発光素子と光ファイバを光学的に接続するための技術開発がなされている。
しかし、このような調芯手法は手間がかかり、受発光素子と光ファイバを光接続するための光素子モジュールの生産性、歩留まりを低下させる。
特に、複数の光素子を並列に配置した光素子アレイと、同じく複数を並列に配置した光ファイバアレイにおいて、それぞれの光素子と光ファイバとを調芯して光接続する場合には、その問題は顕著である。
また、別の問題として、光素子やそれと電気接続される半導体回路素子が配置される基板に対して、光ファイバが角度をなして接続されていると、例えばバックプレーンのように複数の基板を近接して配置せざるを得ない場合には、光ファイバが物理的な障害となる。
基板2’の表面には、光素子8’と半導体回路素子9’が搭載され、バンプ52’によって基板2の表面のメタル回路に電気的に接続されている。基板2’の同じく表面側には、V溝2B’が形成されていて、そこに光ファイバ7’が配置されている。光ファイバ7’と光素子8’との光接続経路には、同じく基板の表面側に形成された45度ミラー面2a’が形成されている。
そして、光素子8’をフリップチップボンディング等でのバンプ52’接続によって所定の位置に配置し、光ファイバ7’をV溝によって所定の位置に配置することで、上記のようなアクティブな調芯を行うことなく、光素子の受発光部と光ファイバとを位置合わせすることができる。
また、光素子8’と半導体回路素子9’を搭載した基板2’と光ファイバ7’とは平行であるから、複数の基板2’を近接配置する際にも、光ファイバ7’が設置の邪魔になることがない。
特に、光素子8’及び半導体回路素子9’については、外部環境の影響を避けるためにパッケージに組み込んで不活性ガスを封入するハーメチックパッケージ等の気密封止がなされることがあるが、同一面に近接配置される光ファイバ7’のために光ファイバから独立したパッケージが困難となる。光ファイバを同時にパッケージに組み込もうとすれば、封止の信頼性やコスト上の問題が生じる。
また、光ファイバ7’から光素子8’に光が伝達される場合を考えると、光ファイバ7’から空気中に出射されて、ミラー面2a’で反射され、光素子8’に入射される。そして、それぞれの境界と空気中での伝播において、光の反射や広がりを生じる。例えば、光ファイバ7’のクラッド径が125μmの場合、光ファイバ7’の先端での出射から45度傾斜ミラー2a’で反射されて光素子8’に入射されるまでの空気中での距離は、最小としても125μmであって、コア径や開口数によって異なるが、かなりの光の広がりが発生する。特に、マルチモード光ファイバの場合は、ビーム径の大きな広がりにより、ミラー面2a’での反射光の一部が光ファイバ7’に当たることを防止するために、光ファイバ7’をミラー面2a’からさらに離す必要が生じて、入射までの距離がますます大きくなる。
しかし、結晶異方性エッチングによる溝の形成を他のドライエッチングを利用して停止すること等が工夫されているに過ぎず、結晶異方性エッチングの特異性を用いて、複数箇所のエッチングを効率的に行う等の考慮はされていなかった。
本発明の製造方法によれば、光素子の受光部又は発光部とミラー面との間のシリコン基板に、たとえ長さが長いものであっても、ディープドライエッチングによって、円筒状の孔を形成でき、それによって、その間を通過する光が拡散することを防止することができる。
本発明の製造方法によれば、ミラー面とV溝のV状側面は、ともに断面が略45度の傾斜をなす面として同時に形成される。そして、それらの面の深さもほぼ同一に形成されることから、V溝に配置される光ファイバとミラー面との基板厚さ方向での相対的な位置が、エッチング条件等が変化しても一定であることから、光ファイバとミラー面との位置決めがさらに容易になる。
第1の結晶異方性エッチングによって、ミラーやV溝形成のための凹部が形成されたシリコン基板の他方の面に、新たなシリコン酸化膜のマスクを形成しようとすれば、シリコン酸化膜を成膜した後に、その上にレジスト膜を塗布してレジスト膜に開口をパターニングして、その開口をシリコン酸化膜に転写することになるが、レジストを凹部が形成された面に塗布することは困難である。本発明の製造方法の場合、そのような困難を生じることなく、シリコン酸化膜のマスクを用いることができる。
本発明の製造方法によれば、垂直な面及び前記光素子搭載面の少なくとも1面に光反射膜としてのシリコン窒化膜を効率よく形成することができる。
特に、光素子と半導体回路素子の半導体デバイスを基板の一方の面に搭載して、その面をハーメチックパッケージ等で気密封止して保護した状態で、他方の面での光ファイバの組み込みを行うことが可能な構成とできる。
また、光ファイバと光素子との間の光伝達経路は、空気中を通過することがほぼなく、シリコン基板の内部を通過することができることから、空気中におけるような光の広がりを防止することができる。
しかも、45度ミラー面と光素子の受発光面の間のシリコン基板内には、円筒状の孔からなる光ガイドが形成されていることから、シリコンと空気との光屈折率の相違から、光が光ガイドの外に拡散することを防止でき、基板の厚さが厚い場合であっても、効率のよい光伝達が可能である。
図1〜図13は、本発明の第1の実施形態の製造方法の説明図である。なお、各図とも、(a)図は上方から見た表面、(b)図はその中央部での縦断面、(c)図は、下方から見た裏面を表している。
光素子8は、ホトダイオード等の受光素子又は面発光レーザ等の発光素子であり、光素子8が受光素子の場合、半導体回路素子9は例えば増幅回路であり、光素子8が発光素子であれば、半導体回路素子9は例えばそのレーザ発振の駆動回路である。これらの光素子8及び半導体回路素子9は、シリコン基板2の表面側に搭載されている。
そして、裏面には、ミラー面形成凹部2Aが形成されていて、その図面右方の面がミラー面2aとなっている。このミラー面2aは、基板の表面及び裏面に45度の傾斜で形成されている。また、当然のことながら、基板2の厚さ方向に対しても45度となっている。
ミラー面2aに先端が対面するように、光ファイバ7が配置されている。光ファイバ7は、シリコン基板2の裏面に形成されたV溝内に、先端がシリコン基板2に形成され表面及び裏面に垂直な当接面2bに当接して装着されている。
図13においては、光素子8は受光素子であり、光ファイバ7から出射された光が、45度傾斜したミラー面2aで反射して、光ガイド2C内を通過して光素子8の受光部に入射するものとして、光を矢示している。
ここで、基板2の表面及び裏面は逆であってもよく、また表面と裏面は完全な平行である必要はなく、また、ミラー面2aの傾斜角度、当接面の角度とも完全な45度、垂直ではない略45度、略垂直の範囲となる。
シリコン基板2としては、両面が研磨された(100)シリコン単結晶を用いる。ここで、(100)シリコン単結晶は、表裏が(100)結晶面として作製されている。
このシリコン基板2の表面及び裏面に、熱酸化によってシリコン酸化膜41を成膜した後、裏面側のシリコン酸化膜41には、図1のとおりの開口をリソグラフィーによって形成する。そのためには、裏面側のシリコン酸化膜41の表面にレジストを塗布し、レジスト膜に開口を形成した後に、その開口の部分のシリコン酸化膜41をドライエッチングによって除去し、さらにレジスト膜を除去する。
ここで、開口41Aはシリコン基板2にミラー面形成のための凹部を第1の結晶異方性エッチングによって形成するための開口であり、開口41B1は、それと同時にV溝を形成するための開口である。また、開口41B2は、その後での第2の結晶異方性エッチングによってシリコン基板に垂直な当接面を形成するための開口である。
これらの開口は、図1(c)における各開口の図面左右の横方向ラインが、結晶の〈100〉方位に一致するように設定する。そのためには、シリコン基板2のオリエンテーションフラット面が(110)面の場合、その面に垂直な線との間の角度が45度となるように横方向ラインを設定すればよい。
そのためには、シリコン窒化膜31をシリコン基板2の表面、裏面の全面に、低圧化学的気相成長法(LP−CVD)によって成膜し、その表面にレジストを塗布し、レジスト膜に開口を形成した後に、その開口の部分のシリコン窒化膜31をドライエッチングによって除去し、さらにレジスト膜を除去する。
ここで、開口31Aは、先に形成したシリコン酸化膜41の開口41Aより大きく形成することで、シリコン酸化膜41の開口41Aの周辺部が露出している。また、開口31B1は、先に形成したシリコン酸化膜41の開口41B1の幅より大きく形成されることで、シリコン酸化膜41の開口41Bの幅方向周辺部が露出している。
なお、シリコン酸化膜41の開口41B2は、シリコン窒化膜31によって覆われている。
なお、以下の説明では、結晶の(100)面、(010)面、(001)面を区別せずに等価なものとして表す場合、{100}面として記載する。{110}面、{111}面も同様である。
通常、(100)シリコン単結晶の結晶異方性エッチングにおいては、{111}面がエッチングレートが最も遅いことから、{111}面を横切るようなラインを開口としてエッチングをすると、{100}面に対して54.7度の傾斜を持った{111}面が出現する。
しかし、開口41A、41B1、41B2を上記のような方向に設定すると、開口のラインは{111}面を横切ることがなく、結晶異方性エッチングによっては、{111}面は出現しない。
そして、使用するエッチャントによって、{100}面と{110}面のエッチングレートが異なることから、エッチャントを選択することにより、エッチングレートの遅い方の{100}面又は{110}面を出現させることができる。
エッチャントとしては、水酸化カリウム(KOH)とイソプロピルアルコール(IPA)の混合液を使用しても{110}面を形成できるが、本実施形態では、シリコン酸化膜を開口41A、41B1の周縁のマスクとしており、シリコン酸化膜はKOHによって浸食されるために、KOHとIPA混合液を使用するのであれば、シリコン酸化膜を100μmエッチングについて0.5μm以上の厚みとして、厚みの大きいものとするか、後記の第2実施形態のようにシリコン酸化膜41をシリコン窒化膜31で覆うことにより、マスクの機能をシリコン窒化膜31にさせることが好ましい。
ここで、ミラー面形成凹部2AとV溝部2B1とのエッチングは、1回の同じエッチングによって、しかも結晶の同等な面についてなされることから、効率的なことはもちろんであるが、さらに、エッチャント、エッチング時間、温度等によって、当初設定していたよりも多くエッチングされたり、逆に少なくされた場合であっても、ミラー面形成凹部2AとV溝部2B1との深さは、常にほぼ同じとなる。そのため、光ファイバをV溝に配置した際の光ファイバとミラー面との相対的な位置はほぼ同じであり、この点でも、光ファイバの位置決めが容易になされ得る。
その後、シリコン窒化膜31を熱リン酸によって除去することで、図5のように、下層のシリコン酸化膜41が表面に現れ、図1の段階で既に形成されていた開口41B2が再び出現する。
この開口41B2を垂直な当接面2b形成のための第2の結晶異方性エッチングの際のマスクとする。
ここで、仮に、このようなマスクの形成ではなく、前の工程のミラー面形成凹部2AとV溝部2B1形成の第1の結晶異方性エッチングにおいて、そのためだけの1層のマスクを用いるとすれば、次の垂直面形性のための第2の結晶異方性エッチングにおいては、図5で示されるマスクを新たに形成する必要がある。
通常、レジストの塗布はスピンコーターによって基板を回転させて、その上にレジストを滴下して、遠心力でレジストを広げることで、レジスト膜が形成されることから、このような通常のレジスト塗布方法では、レジスト塗布は特に困難となる。
本実施形態では、第1の結晶異方性エッチングの工程のマスクとして、シリコン酸化膜41とシリコン窒化膜31を積層したマスクを用い、次の工程の第2の結晶異方性エッチングにおいては、前工程でエッチングされた保護すべき箇所に保護膜を成膜し、さらに上層のシリコン窒化膜31を除去することで、それまでシリコン窒化膜31で覆われていたシリコン酸化膜41における開口41B2を露出させることで、新たにレジスト塗布工程が必要なマスクを形成することなく、シリコン酸化膜41をマスクとして用いることができる。本実施形態では、2種類の異方性エッチングのマスクとして、このように、シリコン窒化膜とシリコン酸化膜で、予め仕込んでおくことで実現しているが、45度の結晶面を形成する工程を垂直面を形成する工程よりも先に行うならば、レジスト塗布にスプレーコータを用いることにより45度の結晶面を形成した後で、垂直面を形成するためのマスクを形成して行うこともできる。
ここでは、エッチャントとしては、{110}面に対するよりも{100}に対してのエッチングレートが遅くなる、TMAH(テトラメチル アンモニウム ヒドロキサイド、(CH3)4NOH)を用いる。
他にも、KOH(IPAは混合しない)、CsOH等によっても、{100}面を出すエッチングが可能である。
第1の結晶異方性エッチングにおいても述べたように、当接面2bについても、平滑な鏡面とする必要があり、TMAHを使用する場合、濃度22重量%以上の高濃度でエッチングすることが望ましく、KOHを使用する場合、前記第1の結晶異方性エッチングで、IPAとの混合液での条件と同様に、KOHについて30重量%以上の高濃度、温度約60℃でのエッチングが、ヒロックの出現を抑える上からも望ましい。
このエッチングにおいては、本来、開口41B2から基板2の厚さ方向(深さ方向)へのエッチングと開口41B2の周囲4辺が図6(c)において拡大する方向へのエッチングがなされ、直方体状の垂直面形成部2B2が形成されて、そのうちのミラー面2aに対面する垂直面が光ファイバ先端の当接面2bとなるものである。
しかし、実際上は、マスクの開口41B2のコーナー部から、Xの線で示すような{111}面の出現する異方性エッチングが進行する。そこで、本実施形態では、当接面2bをできるだけ広く維持するために、予め、開口41B2をミラー面2aに沿う方向に長く形成している。なお、場合によっては、結晶異方性エッチングにおけるコーナー部補償法を用いることもできる。
このシリコン窒化膜32の形成のためには、基板2の表面及び裏面の全面にLP−CVD又はプラズマCVDによってシリコン窒化膜32を成膜する。そして、基板2の表面において、レジストを塗布して、そのレジスト膜を3bに相当する箇所だけ残すパターニングをし、さらに他の箇所のシリコン窒化膜をドライエッチングで除去する。
ここで形成された表面側のシリコン酸化膜43は、絶縁膜として機能する。また、裏面側には、必ずしもシリコン酸化膜43を形成しなくてもよいが、表面だけに形成した場合は、その成膜による基板2の反りを生じることから、反りの最小化のためには、表裏を同じ厚さで裏面にも成膜しておくことが望ましい。
この際、開口MCの平面視中央部に残された円形のシリコン酸化膜43が、エッチングに対する保護膜として機能する。
このディープドライエッチングは、SF6をエッチャントとし、C4F8を保護膜形成のためのデポジション用ガスとして用いるBoschプロセスにより行う。すなわち、最初にSF6で等方性エッチングをし、エッチングされた面にC4F8により保護膜を形成し、次に、SF6のプラズマを電界によって開口の底面にスパッタして底面の保護膜を除去し、再度SF6の等方性エッチングによって、保護膜の除去された底面を掘り下げ、この工程を繰り返して深堀を行う。
その後、マスクMを除去し、図13のとおり、基板表面には、光素子8及び半導体回路9を、フリップチップボンディング等でのバンプ52を介した接続によって、メタル配線5の電極箇所に電気接続して搭載し、裏面には、光ファイバ7をV状側面2dによる側方の位置決めと当接面2bによる前後方向の位置決めをして配置する。
この際、光素子8及び半導体回路素子9については、ハーメチックパッケージに組み込んで保護を図った後に、光ファイバ7を接着剤によってガイド溝2Bに固定する。
光ファイバ7の固定においては、光ファイバ7の先端を当接面2bに突き当てる際に、光ファイバと同じ屈折率1.5の紫外線硬化樹脂を塗布して、端面の損傷を防止するとともに、光ファイバ7の側面をV溝に固定するときの接着剤に同じ紫外線硬化樹脂を用いて、作業の容易化を図ることもできる。
また、光ファイバ7と光素子8との間の光伝達経路は、空気中を通過することなく、シリコン基板の内部を通過することができることから、空気中におけるような光の広がりを防止することができる。しかも、45度ミラー面2aと光素子8の受発光面の間のシリコン基板2内には、円筒状の孔からなる光ガイド2Cが形成されていることから、シリコンと空気との光屈折率の相違から、光が光ガイド2Cの外に拡散することを防止でき、基板の厚さが厚い場合であっても、効率のよい光伝達が可能となる。
上記のように、第1の結晶異方性エッチングにおいては、KOHとIPAとの混合液をエッチャントとし、シリコン酸化膜をマスクとしても、{110}面を出現させることができるが、その場合、シリコン酸化膜の厚さを厚くする必要がある。
そのために、本実施形態では、第1の結晶異方性エッチングのマスクをシリコン窒化膜とする。
図14に示すように、第1の実施形態の場合よりも、シリコン酸化膜41の開口41Aを大きく、開口41B1の幅を広く形成する。そして、その上面に形成するシリコン窒化膜31の開口31Aをそれよりも小さく形成し、開口31B1の幅も狭く形成することで、図のように、シリコン酸化膜41が各開口で露出しないようにする。
その後、第1実施形態と同様に、図16のように、エッチングしたミラー面形成凹部2AとV溝部2B1の周囲の面に熱酸化によってシリコン酸化膜を成膜する。
次に、第17図のとおり、熱リン酸によって、シリコン窒化膜31を除去することにより、第1実施形態の図5と同じく、第2の結晶異方性エッチングのための、開口41B2を有するシリコン酸化膜41のマスクを表面に出すことができる。
以上の説明以外は、第1の実施形態と同様である。
例えば、図18においては、アンダーエッチングがL1まで達していることから、エッチングされた面にシリコン酸化膜42を成膜すると、その膜が基板2裏面のシリコン酸化膜41と連続することになって、第2の結晶異方性エッチングにおける保護膜が形成される。
しかし、アンダーエッチングが、開口の縁部L2に達しないL3の位置までとすれば、エッチングされた面にシリコン酸化膜42を成膜しても、L2とL3の間には、開口が形成されてしまい、この箇所で不要な第2の結晶異方性エッチングがなされてしまうことになる。なお、第1の結晶異方性エッチングにおける{110}面と{100}面とのエッチングレートは、ほぼ1:10であるので、例えば、100μmエッチングする場合は10μm程度のアンダーエッチングを見込んで設定しておけばよい。
この実施形態においては、(110)シリコン単結晶をシリコン基板2として使用する。
そして、第1の実施形態における図1のシリコン酸化膜41の開口41Aの図(c)上下方向のライン(ミラー面2aの延びる方向)を(100)面を横切る方向に設定する。
この場合、第1の結晶異方性エッチングによって、ミラー面2aには、{100}面が出現し、基板2の表裏面(110)に対して、45度のミラー面2aが形成される。一方、V溝部2B1のV状壁面2dには、35.3度の傾斜の{111}面が出現する。
第2の結晶異方性エッチングにおいては、当接面2bとなる垂直面には、{110}面が出現する。そして、垂直面形成部2B2においてそれと直交する面は、図にXで示すような{111}面が出現している。
以上説明した以外は、実施形態1で説明したことと同様である。
ただし、この実施形態においては、{110}面の垂直面を出すエッチングに、実施形態1,2における垂直面のエッチングに対して10倍程度の時間を要する。また、V状壁面2dが表裏面となす傾斜角度が35.3度と小さいことから、第1,第2実施形態と同様の深さに光ファイバを配置しようとすれば、溝を深くすることが必要になる。
集光レンズを形成する場合には、シリコン基板2の表裏面にシリコン酸化膜41を形成する前に、光ガイド2Cを後に形成する箇所に、先ず、集光レンズの形成を行う。形成方法としては、例えば、特開平6−194502号公報に開示されるような方法を用いればよい。すなわち、レンズ形成部を開口した保護膜の開口部に、平面視円形になるようにレジストを配置し、そのレジストを熱変形温度以上に加熱することで、レジストを熱変形と表面張力を利用して、所定の曲率半径の凸面形状にする。その上方から、シリコン基板に対して反応性イオンエッチング(RIE)を施すことで、レジストの凸面形状をシリコン基板の表面に転写して、レンズを形成することができる。
Claims (6)
- シリコン基板の表面又は裏面の一方の面に光素子と半導体回路素子が搭載され、他方の面に、当該一方の面及び他方の面に略45度傾斜するミラー面が形成されるとともに、前記ミラー面に対面する光ファイバが、前記他方の面に沿って形成されたV溝に配置される光素子モジュールの製造方法であって、
前記他方の面に対して、前記ミラー面と、前記V溝のV状側面とを第1の結晶異方性エッチングにより同時に形成する工程と、
前記一方の面及び他方の面に略垂直で、前記V溝の先端側に形成されて前記光ファイバ先端が突き当てられる当接面を、前記第1の結晶異方性エッチングとは異なる結晶面方位での第2の結晶異方性エッチングによって形成する工程とを含むことを特徴とする光素子モジュールの製造方法。 - 前記光素子の受光部又は発光部と前記ミラー面との間の前記シリコン基板内に、前記一方の面から基板厚さ方向に延びる円筒状の光ガイドを、ディープドライエッチングにより形成する工程を、さらに含むことを特徴とする請求項1に記載の光素子モジュールの製造方法。
- 前記シリコン基板は、(100)シリコン単結晶であって、前記第1の結晶異方性エッチングは{110}面を出現させるエッチングであり、前記第2の結晶異方性エッチングは{100}面を出現させるエッチングであることを特徴とする請求項1又は2に記載の光素子モジュールの製造方法。
- 前記第1の結晶異方性エッチングを、シリコン酸化膜とその上にシリコン窒化膜を積層したマスクによって行い、その後エッチングされた面に保護膜を成膜した後に、前記第2の結晶異方性エッチングを、前記シリコン窒化膜を除去することで前記シリコン酸化膜の開口を露出させたマスクによって行うことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の光素子モジュールの製造方法。
- 前記当接面及び前記一方の面の少なくとも1面における光通過箇所に、光反射膜としてのシリコン窒化膜を形成する工程を、さらに含むことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の光素子モジュールの製造方法。
- 光素子及び半導体回路素子を表面及び裏面の一方の面に搭載し、他方の面に光ファイバを搭載するシリコン基板と、
前記一方の面に搭載され、当該一方の面に形成されたメタル配線にバンプを介して接続される光素子及び半導体回路素子と、
前記他方の面に、当該他方の面に沿って搭載される光ファイバとを備え、
前記シリコン基板の前記他方の面には、前記一方の面及び他方の面に略45度傾斜するミラー面と、前記ミラー面に対面する光ファイバを前記他方の面に沿って位置決め配置するためのV溝と、V溝の先端側に形成されて前記光ファイバ先端が当接される前記一方の面及び他方の面に略垂直な当接面とが形成され、
前記シリコン基板の前記一方の面には、前記光素子の受光部又は発光部と前記ミラー面との間に、前記一方の面から基板厚さ方向に延びる円筒状の孔からなる光ガイドが形成されていることを特徴とする光素子モジュール。
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