JP2010080136A - 収差補正装置および該収差補正装置を備える荷電粒子線装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】各極31a〜31lに励磁コイル32a〜32lを設置した二段の十二極子12、13を設ける。各極31a〜31lを順次1乃至12番目の極、並びにn=0、1、2として、(4n+1)番目の極の励磁コイルと(4n+2)番目の極の励磁コイルは交互に直列に接続され、光軸11に垂直な平面において、絶対値が等しく且つ当該光軸11に向かって互いの方向が反対となる磁場を発生する。(4n+3)番目の極の励磁コイルと(4n+4)番目の極の励磁コイルは交互に直列に接続され、光軸11に垂直な平面において、絶対値が等しく且つ当該光軸11に向かって互いの方向が反対となる磁場を発生する。これにより、光軸11の周りに回転可能な三回対称磁場及び六回対称磁場の重畳場を発生する。
【選択図】図2
Description
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三回対称の磁場または電場、若しくはその重畳場を生じる二段の多極子と対物レンズとによる光学系を想定する。この光学系において、二段の多極子によって生じた六回非点収差及び三回非点収差は、次の(1)式で表される関係を有する。
図1は本発明の収差補正装置の構成の一例を示す模式図、図2は本発明の第1実施形態に係る十二極子の一例を示す模式図である。図3は本発明の第1実施形態に係る回路の一例を示す図、図4は本発明の第1実施形態に係る十二極子を励磁した時の各極の極性の一例を示す図であり、(a)及び(c)は三回対称磁場を発生した場合、(b)及び(d)は六回対称磁場を発生した場合を示す。
本発明の第2実施形態について説明する。
本発明の第3実施形態は、上記第1及び第2実施形態の収差補正装置10及び20を複合したものであり、光軸11の周囲に、三回対称の磁場及び電場、並びに六回対称の磁場及び電場を発生する十二極子を二段設け、六回非点収差と球面収差を補正するものである。
本発明の第4実施形態について説明する。
11:光軸
12、13:十二極子
22、23:十二極子
31a〜31l、41a〜41l:極
32a〜32l:励磁コイル
33、34、43、44:電源
60:透過型電子顕微鏡
63:照射系収差補正装置
Claims (6)
- 荷電粒子線用の収差補正装置であって、
二段の十二極子と、
前記各十二極子の各極に設置された励磁コイルとを備え、
前記各十二極子の前記各極を順次1乃至12番目の極、並びにn=0、1、2として、
(4n+1)番目の極の励磁コイルと(4n+2)番目の極の励磁コイルは交互に直列に接続され、光軸に垂直な平面において絶対値が等しく且つ該光軸に対して方向が互いに反対となる磁場を発生し、
(4n+3)番目の極の励磁コイルと(4n+4)番目の極の励磁コイルは交互に直列に接続され、前記光軸に垂直な前記平面において絶対値が等しく且つ該光軸に対して方向が互いに反対となる磁場を発生し、
以って三回対称磁場及び六回対称磁場の重畳場を発生することを特徴とする収差補正装置。 - 各前記十二極子の前記各極は電極を兼ね、前記各極を順次1乃至12番目の極、並びにm=0、1、2として、
(4m+1)番目の極は全て電気的に接続され、
(4m+2)番目の極は全て電気的に接続され、
(4m+3)番目の極は全て電気的に接続され、
(4m+4)番目の極は全て電気的に接続され、
前記(4m+1)番目の極と前記(4m+2)番目の極は、光軸に垂直な平面において絶対値が等しく且つ該光軸に対して方向が互いに反対となる電場を発生し、
前記(4m+3)番目の極と前記(4m+4)番目の極は、前記光軸に垂直な前記平面において絶対値が等しく且つ該光軸に対して方向が互いに反対となる電場を発生し、以って三回対称電場及び六回対称電場の重畳場を発生する
ことを特徴とする請求項1に記載の収差補正装置。 - 荷電粒子線用の収差補正装置であって、
二段の十二極子を備え、
前記各十二極子の各極を順次1乃至12番目の極、並びにs=0、1、2として、
(4s+1)番目の極は全て電気的に接続され、
(4s+2)番目の極は全て電気的に接続され、
(4s+3)番目の極は全て電気的に接続され、
(4s+4)番目の極は全て電気的に接続され、
前記(4s+1)番目の極と前記(4s+2)番目の極は、光軸に垂直な平面において絶対値が等しく且つ該光軸に対して方向が互いに反対となる電場を発生し、
前記(4s+3)番目の極と前記(4s+4)番目の極は、前記光軸に垂直な前記平面において絶対値が等しく且つ該光軸に対して方向が互いに反対となる電場を発生し、以って三回対称電場及び六回対称電場の重畳場を発生する
ことを特徴とする収差補正装置。 - 請求項1に記載の収差補正装置を備える荷電粒子線装置。
- 請求項2に記載の収差補正装置を備える荷電粒子線装置。
- 請求項3に記載の収差補正装置を備える荷電粒子線装置。
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