JP2010056011A - 粒子線装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】粒子線装置は、粒子線源と粒子線源からの粒子線が通過するための粒子線通過パイプとを有し、粒子線通過パイプを通過した粒子線を先端から放出する鏡筒と、鏡筒の先端と繋がる真空室とを備え、鏡筒から放出された粒子線を試料に照射する粒子線装置において、鏡筒の先端側に位置する粒子線通過パイプ内部に管状部材が着脱自在に配置されている。
【選択図】図1
Description
Claims (23)
- 粒子線源と粒子線源からの粒子線が通過するための粒子線通過パイプとを有し、粒子線通過パイプを通過した粒子線を先端から放出する鏡筒と、鏡筒の先端と繋がる真空室とを備え、鏡筒から放出された粒子線を試料に照射する粒子線装置において、鏡筒の先端側に位置する粒子線通過パイプ内部に管状部材が着脱自在に配置されていることを特徴とする粒子線装置。
- 前記管状部材は、前記鏡筒の先端を介して着脱可能に配置されていることを特徴とする請求項1記載の粒子線装置。
- 前記管状部材には、前記鏡筒の先端の外側に位置する鍔部が設けられていることを特徴とする請求項2記載の粒子線装置。
- 前記管状部材の内部には、オリフィス部材が設けられていることを特徴とする請求項1乃至3何れか記載の粒子線装置。
- 前記管状部材の少なくとも一端には、オリフィス部材が設けられていることを特徴とする請求項1乃至3何れか記載の粒子線装置。
- 前記オリフィス部材は、前記管状部材の本体部から分離可能であることを特徴とする請求項4又は5記載の粒子線装置。
- 前記管状部材は、非磁性かつ導電性の素材から構成されることを特徴とする請求項1乃至6何れか記載の粒子線装置。
- 前記管状部材は、銅、燐青銅、又はアルミニウム合金から構成されることを特徴とする請求項1乃至6何れか記載の粒子線装置。
- 前記管状部材は、紙又は樹脂シートの表面にアルミニウムコーティングを施してなる導電シート、若しくはアルミニウム合金シートから構成されることを特徴とする請求項1乃至6何れか記載の粒子線装置。
- 前記管状部材は、前記導電シート若しくは前記アルミニウム合金シートの一枚又は数枚が多角形柱形状ないし円柱形状に丸められて構成されており、その折り合わせ部の幅が0.5mm以上あることを特徴とする請求項9記載の粒子線装置。
- 前記鏡筒内部において、開口が形成された絞り部材が前記管状部材の基端側に対応して配置されており、絞り部材には受け皿部が固定され、受け皿部と共に絞り部材が移動可能となっていることを特徴とする請求項1乃至10何れか記載の粒子線装置。
- 前記絞り部材の開口の中心軸が、前記鏡筒の軸に対して0.1mm以上偏芯していることを特徴とする請求項11記載の粒子線装置。
- 前記管状部材の内壁面には、プラズマ処理又はUV処理が施されていることを特徴とする請求項1乃至12何れか記載の粒子線装置。
- 前記管状部材の内壁面には、吸水性物質が設けられていることを特徴とする請求項1乃至12何れか記載の粒子線装置。
- 前記吸水物質は、高分子吸収剤からなることを特徴とする請求項14記載の粒子線装置。
- 前記高分子吸水剤は、カルボキシメチルセルロースナトリウム、アクリル酸・アクリル酸ナトリウム共重合体、ポリアクリル酸ナトリウム、ポリアクリル酸塩、若しくは以下の物質(ポリアクリル酸,ポリスチレンスルホン酸,カルボキシルメチルセルロース,マレイン酸無水物,セルロースエーテル,ポリエチレンオキサイド,ポリビニルアルコール)の中の少なくとも一つを架橋させたポリマーからなることを特徴とする請求項15記載の粒子線装置。
- 前記吸水物質は、シリカゲル、塩化カルシウム、塩化マグネシウム、若しくは塩化コバルトからなることを特徴とする請求項14記載の粒子線装置。
- 前記粒子線源が位置する側の前記鏡筒の基端部が、前記粒子線通過パイプの先端が位置する側の前記鏡筒の先端部に対して下方に位置することを特徴とする請求項1乃至17何れか記載の粒子線装置。
- 前記鏡筒から放出された粒子線は、該粒子線が通過する膜を介して試料に照射され、これにより試料から発生する二次的信号を検出する検出器を備えることを特徴とする請求項1乃至18何れか記載の粒子線装置。
- 前記膜の第一の面は真空雰囲気に接しており、前記膜の第二の面は外部からアクセス可能なように開放された大気圧雰囲気に接しており、前記粒子線は、前記膜の第二の面に保持された試料に対して、前記膜の第一の面側から該膜を介して照射されることを特徴とする請求項19記載の粒子線装置。
- 前記膜の第一の面が該膜の下面となっており、前記膜の第二の面が該膜の上面となっていることを特徴とする請求項20記載の粒子線装置。
- 前記膜は、ポリマー、ポリエチレン、ポリイミド、ポリプロピレン、カーボン、酸化シリコン、窒化シリコン、若しくは窒化ボロンのうちの少なくとも一つを含み、該膜の膜厚が10〜1000nmの範囲にあることを特徴とする請求項19乃至21何れか記載の粒子線装置。
- 前記試料から発生する二次的信号は、反射電子、二次電子、カソードルミネッセンス、蛍光、若しくはX線であることを特徴とする請求項19乃至22何れか記載の粒子線装置。
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