JP2005174657A - 電子顕微鏡用メッシュ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 電子顕微鏡に用いる試料を保持するためのメッシュであって、前記試料を保持して観察するための領域と、前記領域を囲む周辺部を有し、前記領域と前記周辺部の親水性が異なる。前記領域の親水性が前記周辺部の親水性より大きい。スパッタリングによるその製造方法は、室内で親水処理用電極板をターゲット電極に被せる工程と、前記電極板の直下にカーボン膜面を上にしてプラスチック支持膜を張ったメッシュを置き、マスクをメッシュに載せる工程と、前記室内を排気した後、電圧を印加してグロー放電を起こしマスクで覆われていないメッシュの部分に親水処理を行う工程と、を有する。
【選択図】 図1
Description
(イ)陰イオン性の界面活性剤の水溶液をカーボン膜面に薄く塗布する。
(ロ)親水性のシリカ膜をカーボン膜面上に8nm以上蒸着する。
(ハ)カーボン膜面をグロー放電で処理する。
等が挙げられる。
(i)マグネトロンスパッタ装置51のベルジャー形室52内において、親水処理用電極板53をターゲット電極54に被せる。
(ii)試料台55上の横置片のメッシュケース56にカーボン膜面を上にしてプラスチック支持膜を張ったメッシュ57を置き、電極板53の直下に置く。
(iii)ベルジャー形室52内を1Pa程度に排気した後、電圧を印加してグロー放電を起こす。この時の電流は数mAで、10mA以上にはしない。
(iv)グロー放電が終わったらベルジャー形室52内に空気を入れ、メッシュケース56ごと取り出す。
(イ)陰イオン性の界面活性剤の水溶液をカーボン膜面に薄く塗布する。
(ロ)親水性のシリカ膜をカーボン膜面上に8nm以上蒸着する。
(ハ)カーボン膜面をグロー放電で処理する。
等が挙げられる。
(i)マグネトロンスパッタ装置51のベルジャー形室52内において、親水処理用電極板53をターゲット電極54に被せる。
(ii)次に本発明の特徴である所望の位置と所望以外の位置で親水性が異なり、作用的に異なる部分を作るために円形のマスク22をメッシュ21に載せ、横置片のメッシュケース34の中にカーボン膜面を上にしてプラスチック支持膜を張ったメッシュ21を置く。
(iii)ベルジャー形室52内を1Pa程度に排気した後、電圧を印加してグロー放電を起こす。この時の電流は数mAで、10mA以上にはしない。
(iv)グロー放電が終わったらベルジャー形室52内に空気を入れ、メッシュケース34ごと取り出す。
12…親水性部分
13…親水性の低い部分
21…メッシュ
22…マスク
33…治具
34…メッシュケース
51…マグネトロンスパッタ装置
Claims (5)
- 電子顕微鏡に用いる試料を保持するためのメッシュであって、
前記試料を保持して観察するための領域と、前記領域を囲む周辺部を有し、
前記領域と前記周辺部はその親水性が異なることを特徴とする電子顕微鏡用メッシュ。 - 前記領域の親水性が前記周辺部の親水性より大きいことを特徴とする請求項1に記載の電子顕微鏡用メッシュ。
- 前記メッシュは平板状であり、前記領域の親水性が前記メッシュの両面で前記周辺部の親水性より大きいことを特徴とする請求項2に記載の電子顕微鏡用メッシュ。
- 前記メッシュは平板状であり、前記領域における試料を保持する面の孔部の平均面積が、前記試料を保持する面とは反対側の面の孔部の面積より大きいことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の電子顕微鏡用メッシュ。
- スパッタリングによる請求項1に記載の電子顕微鏡用メッシュの製造方法であって、
室内で親水処理用電極板をターゲット電極に被せる工程と、前記電極板の直下にカーボン膜面を上にしてプラスチック支持膜を張ったメッシュを置き、マスクをメッシュに載せる工程と、前記室内を排気した後、電圧を印加してグロー放電を起こしマスクで覆われていないメッシュの部分に親水処理を行う工程と、を有することを特徴とする電子顕微鏡用メッシュの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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