JP2004245841A - Temfib試料およびその製造のための方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 固体材料のTEM FIB試料は、汚染および破壊されることなく、後続処理のステップのイオンビームを用いた試料表面の交互の側での打込みによって、非常に薄くされる。これによって、TEMを用いた高解像度の観察および試料材料の分析が可能となる。
【選択図】 図4
Description
P. Gnauck, P. Hoffrogge, ICEM 15, Durban, (Suppl. 1: Proceedings), (2002)3, 32 Max V. Siderov, Microsc. Microanal. 8 (Suppl. 2: Proceedings), (2002) 560 CD
この発明によると、課題は、特許請求される装置および特許請求される方法を行なうアプローチによって解決される。さらに有利な実施例および方法のステップも特許請求される。
固体材料、たとえば、半導体ウェハからのFIB試料の製造では、試料片12が摘出され、機械的なのこ引きによって、たとえば、図1に示されるようにウェブ11が大まかに作られる。試料片12の長さは約2600μmであり、ウェブの幅は約20μmである。薄片試料5が生成される部分的な領域のウェブ11の前面には、保護コーティングが適用され、下にある薄片5のマスキングの役割を果たし、後にエッチングで取除かれる。集束イオンビーム(FIB)がウェブの前面に垂直に衝突すると、薄片5が深いエッチングによって露出される。これは、図2の「FIBエッチング」と表示された矢印によって概略
的に示される。
Claims (24)
- 固体材料のTEM FIB試料であって、その表面(6a、b)への後続処理のステップで所望の厚みに調節され、前記厚みは<40nmである、TEM FIB試料。
- 前記厚みは<20nmである、請求項1に記載のTEM FIB試料。
- 前記試料(5)は、その表面(6a、b)上に実質的に全く汚染がない、請求項1に記載のTEM FIB試料。
- 前記試料(5)は、主に乱れていないもともとの材料構造からなる、請求項1に記載のTEM FIB試料。
- 前記試料表面(6a、b)の両側の乱れた構造の部分の乱れの深さは、最大10nmである、請求項4に記載のTEM FIB試料。
- 前記試料表面(6a、b)の両側の乱れた構造の部分の乱れの深さは、最大5nmである、請求項4に記載のTEM FIB試料。
- 前記試料(5)は、半導体材料から構成される、請求項1に記載のTEM FIB試料。
- 固体材料のTEM FIB試料の製造のための方法であって、両方の側への後続の加工のステップによって、前記試料(5)を相対的なある角度(α)で前記試料(5)の一方の側(6a)と他方の側(6b)とに交互に案内されるイオンビーム(8)を用いて所望の厚みにするエッチングするステップを含む、TEM FIB試料の製造のための方法。
- 固体材料のTEM FIB試料の製造のための方法であって、両方の側への後続の加工のステップによって、前記試料(5)を、打込み角度+αで前記試料(5)の一方の側(6a)に、打込み角度−αで他方の側(6b)に交互に案内されるイオンビーム(8)を用いて所望の厚みにするエッチングするステップを含む、TEM FIB試料の製造のための方法。
- 前記試料(5)および/または前記イオンビーム(8)は、試料堆積平面(9)を基準として角度±αでの前記試料(5)に対する振子の態様で相対的に動かされる、請求項8または9に記載のTEM FIB試料の製造のための方法。
- 振子の動きは、連続的な動きで行なわれる、請求項10に記載のTEM FIB試料の製造のための方法。
- 打込み角度(α)は、±4°から±45°の範囲の値に設定される、請求項8に記載のTEM FIB試料の製造のための方法。
- 前記打込み角度(α)は、±4°から±20°の範囲の値に設定される、請求項8に記載のTEM FIB試料の製造のための方法。
- 打込み角度αは、4°から45°の範囲の値に設定される、請求項9に記載のTEM FIB試料の製造のための方法。
- 前記打込み角度αは、4°から20°の範囲の値に設定される、請求項9に記載のTE
M FIB試料の製造のための方法。 - 前記FIB試料(5)の構造的に乱れた表面領域(6a、b)は、残りの試料(5)が主に乱れていないもともとの材料から構成されるように除去される、請求項8または9に記載のTEM FIB試料の製造のための方法。
- 残りの乱れの深さは、最大10nmである、請求項16に記載のTEM FIB試料の製造のための方法。
- 前記残りの乱れの深さは、最大5nmである、請求項16に記載のTEM FIB試料の製造のための方法。
- 後続処理を行なわれた試料(5)の厚みは<40nmである、請求項17に記載のTEM FIB試料の製造のための方法。
- 前記後続処理を行なわれた試料(5)の厚みは<20nmである、請求項17に記載のTEM FIB試料の製造のための方法。
- 前記後続処理は、前記試料表面(6a、b)に実質的に全く汚染がないように行なわれる、請求項8または9に記載のTEM FIB試料の製造のための方法。
- 前記イオンビーム(8)は、200eVから10keVのエネルギで動作され、前記試料(5)上で優先的な走査は起こらない、請求項8または9に記載のTEM FIB試料製造のための方法。
- 前記試料(5)は、半導体材料である、請求項8または9に記載のTEM FIB試料製造のための方法。
- 前記試料(5)の交互の側での後続処理は、プロセス制御を用いて自動化される、請求項8または9に記載のTEM FIB試料の製造のための方法。
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