JP2006098189A - 試料作製方法および試料作製装置 - Google Patents
試料作製方法および試料作製装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006098189A JP2006098189A JP2004283802A JP2004283802A JP2006098189A JP 2006098189 A JP2006098189 A JP 2006098189A JP 2004283802 A JP2004283802 A JP 2004283802A JP 2004283802 A JP2004283802 A JP 2004283802A JP 2006098189 A JP2006098189 A JP 2006098189A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- ion beam
- sample material
- shielding material
- ion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/305—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating or etching
- H01J37/3053—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating or etching for evaporating or etching
- H01J37/3056—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating or etching for evaporating or etching for microworking, e.g. etching of gratings, trimming of electrical components
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/28—Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
- G01N1/32—Polishing; Etching
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/30—Electron or ion beam tubes for processing objects
- H01J2237/317—Processing objects on a microscale
- H01J2237/3174—Etching microareas
- H01J2237/31745—Etching microareas for preparing specimen to be viewed in microscopes or analyzed in microanalysers
Abstract
【解決手段】 イオン銃が左右に繰り返し傾斜され、z軸に対して左右にそれぞれ1.5度傾斜したイオンビームIBによって試料素材11はエッチングされる。図8(a)のあと図8(b)に示すように試料素材11はエッチングされる。その後、何回かイオン銃が左右に傾斜されて試料素材11のイオンエッチングが行われ、図8(c)のように試料素材11はエッチングされる。図8(c)に示した試料素材11のA部分が更にイオンエッチングされたため、図8(d)に示すように、試料素材11には貫通孔Hが開いている。貫通孔Hの周辺部分Kは100Å程の薄膜となっており、薄膜部分Kの厚さはTEM観察に適した厚さである。
【選択図】 図8
Description
A)バルク試料を薄膜化する方法(図1参照)
現在、バルク試料は、以下の1)〜5)の手順で薄膜化されている。
1)試料を約1mm厚に切断研磨した後、粗研磨して約100μmの厚さにする。(図1(a))
2)試料を3mmΦに打ち抜く。(図1(b))
3)試料の片面を平坦に鏡面研磨する。(図1(c))
4)鏡面研磨された試料面の反対面(粗研磨側)にディンプルグラインダーなどで窪みをつくり、その窪み中央部を厚さ約10μmの鏡面にする。(図1(d))
5)試料をイオンミリング装置にセットし、試料を連続回転させながら両側からアルゴンイオンを照射して、試料を薄膜化する。(図1(e))
B)断面試料の作製方法(図2参照)
集積回路が形成されたシリコンウエハーなどの断面試料は、以下の1)〜7)の手順で作製される。
1)シリコンウエハーから5〜10mm平方の試料を複数切り出し、切り出した試料同士をエポシキ樹脂で接着する。(図2(a))
2)超音波加工機で試料を打ち抜き、直径2.3mmの円柱状の試料を取り出す。(図2(b)参照)
3)取り出した2.3mmΦの試料を、外径3mm、内径2.3mmの金属パイプにエポシキ樹脂を付けて埋め込む。(図2(c))
4)金属パイプに埋め込んだ試料を、約1.0mmの厚さに切断機でスライスする。(図2(d))
5)試料の片面を鏡面研磨する。(図2(e))
6)鏡面仕上げした試料面の反対面を粗研磨して、試料を約100μmの厚さにする。その後、粗研磨された試料面にディンプルグラインダーで窪みをつくり、その窪み中央部を厚さ約10μmの鏡面に仕上げる。(図2(f))
7)試料をイオンミリング装置にセットし、試料を連続回転させながら両側からアルゴンイオンを照射して、試料を薄膜化する。(図2(g))
C)特許第3263920号公報(特許文献1)に記載の方法
特許文献1に記載されている方法においては、試料上に遮蔽材を配置し、遮蔽材の上方から遮蔽材と試料にイオビームを照射し、遮蔽材で遮蔽されなかった試料部分をイオンエッチングするようにしている。その際、薄膜試料が出来上がるように、遮蔽材を試料上で2段階に移動させて試料をエッチングするようにしている。
そして、試料台5がステージ3上に配置されている。図3に示すように、試料台5には切り欠き(イオンビーム通過部)5aが形成されている。また、試料台5の上面5bには、切り欠き5aを挟んで対向するようにガイドピン6a,6bが固定されている。さらに試料台5の上面5b上には、4つのプーリー7a〜7dが配置されている。このうち、プーリー7a〜7cは試料台5の上面5bに固定されており、残りのプーリー7dは、スプリング(図示せず)で矢印j方向に引っ張られて試料台5に取り付けられている。
これらのプーリー7a〜7dとガイドピン6a,6bには、ベルト状(言い換えればリボン状またはテープ状)かつリング状のイオンビーム遮蔽板(遮蔽材)8が引っ掛けられている。遮蔽板8は非晶質金属で出来ており、たとえばニッケル−リン(リン10%以上)のような非晶質金属で作られている。遮蔽板8の厚さtは10μm程度、幅wは2mm程度である。上述したようにプーリー7dは矢印j方向にスプリングで引っ張られているため、そのプーリー7dに引っ掛けられた遮蔽板8は1周にわたって弛みなく張られている。また、プーリー7dは、試料台5に組み込まれたモータ9(図4参照)の回転によって、軸kを中心として回転するように構成されている。このようにプーリー7dが回転されると、プーリー7dに引っ掛けられているベルト状遮蔽板8は自動送りされる。
また、図3において10は試料ホルダであり、試料素材11を保持した試料ホルダ10は、試料台5の切り欠き5aの部分にセットされている。図3下方の(試料説明図)に示すように、試料素材11の縦方向の寸法d1は700μm程度、横方向の寸法d2は2.5mm程度、厚さd3は100μm程度である。この試料素材11はバルク試料から切り出されて粗研磨されたものであり、試料素材11は接着剤で試料ホルダ10に貼り付けられている。
このような試料素材11と前記遮蔽板8の試料台5へのセットにより、図3,4に示すように、ガイドピン6a,6bでガイドされた遮蔽板8は、試料素材11上に垂直に立てて配置される。図4に示すように、試料素材11上に張られた遮蔽板8はz軸上に位置しており、遮蔽板8の右側面8aと左側面8bはz軸に平行である。また、図4に示す状態、すなわちステージ傾斜がゼロの状態では、試料素材11上に張られた遮蔽板8の長手方向はx軸方向と一致している。
一方、図4に示す状態において、試料素材11の上面11aはz軸に直交、かつy軸上に位置している。試料素材11の上面11aと遮蔽板8との隙間は、わずか10〜30μm程度である。このように試料素材11上に接近して遮蔽板8が配置されることにより、試料素材11上には、図4下方の(イオン遮蔽説明図)に示すように、イオンビーム非照射面11bとその左右にイオンビーム照射面11c,11dが形成される。イオンビーム非照射面11bとは遮蔽板8で覆われた試料面であり、以下に説明するイオン銃12からのイオンビームが照射されない面である。
そのイオン銃12は、図4に示すように、真空チャンバ1上部に取り付けられたイオン銃傾斜機構13に保持されている。図4に示す状態は、イオン銃12の光軸Oがz軸と一致している状態である。前記イオン銃傾斜機構13は、x軸を中心としてイオン銃12を左右にθ傾斜させるためのもの、すなわち、イオン銃12をz軸に対して−y方向とy方向にθ傾斜させるためのものである。なお、イオン銃12としてガスイオン銃が用いられており、たとえばArガスを放電によりイオン化させてArイオンを放出させるガスイオン銃が用いられている。
また、図4において14は中央制御装置である。中央制御装置14は、その内部に、イオン銃制御回路14aと、イオン銃傾斜制御回路14bと、ステージ傾斜制御回路14cと、エッチング終了判定回路14dを備えている。そして中央制御装置14は、前記イオン銃12の電圧電源15と、前記イオン銃傾斜機構13の傾斜駆動源16と、前記ステージ傾斜機構4の傾斜駆動源17と、キーボードやマウスなどから成る入力手段18にそれぞれ電気的に接続されている。
さらに、図4において19はTVカメラであり、TVカメラ19は真空チャンバ1に取り付けられている。このTVカメラ19は、試料素材11のエッチング断面を−y方向から観察するためのものであり、TVカメラ19からの像信号は中央制御装置14のエッチング終了判定回路14dに供給されている。
以上、図3および図4の装置構成について説明した。以下、動作説明を行う。
まずオペレータが図4における入力手段18上で「エッチング開始」の入力を行うと、中央制御装置14のイオン銃傾斜制御回路14bは、イオン銃12を左(−y方向)に角度θ1(たとえば1.5度)傾斜させるための傾斜信号θ1を傾斜駆動源16に送る。傾斜駆動源16はその傾斜信号θ1に基づいてイオン銃傾斜機構13を傾斜させる。この結果、イオン銃12はz軸に対して左に1.5度傾斜する。なお、この傾斜角度θ1(1.5度)の値は、予めオペレータによって入力手段18上で入力設定されている。
また、前記「エッチング開始」の入力が行われると、中央制御装置14のステージ傾斜制御回路14cは、ステージ3をy軸を中心として繰り返し往復傾斜させるための傾斜信号θtを傾斜駆動源17に送る。たとえば、±30度の1往復傾斜(1往復傾斜にたとえば30秒)を繰り返し行わせるための傾斜信号θtが傾斜駆動源17に送られる。傾斜駆動源17はその傾斜信号θtに基づいてステージ傾斜機構4を傾斜させる。この結果、図5に示すように、試料素材11は遮蔽板8と一緒に矢印Tで示すように繰り返し往復傾斜される。なお、この傾斜角度±30度や傾斜速度30秒の数値は、予めオペレータによって入力手段18上で入力設定されている。
また、前記「エッチング開始」の入力が行われると、中央制御装置14のイオン銃制御回路14aは、イオン銃12からイオンビームIBを放出させるための信号を電圧電源15に送る。すると電圧電源15は、イオン銃12の各電極間に、イオンビームIBを放出させるための所定電圧を印加する。この結果、図6(a)に示すように、z軸に対して左に角度θ1(1.5度)傾斜したイオン銃12からイオンビームIBが放出される。
こうしてイオン銃12から放出され、z軸に対して左にθ1(1.5度)傾斜したイオンビームIBは、図6(a)に示すように、遮蔽板8の左斜め上方から遮蔽板8と試料素材11を照射する。このイオンビーム照射は所定時間(たとえば5分間)行われ、試料素材11はy軸を中心として傾斜されながらイオンエッチングされる。このように試料素材11を傾斜させながらイオンエッチングすれば、イオンエッチングされにくい物質mが試料素材中に存在しても、その物質mでイオンビームから隠れていた試料部分もエッチングされるようになる。このため、物質mの後方(イオン銃と反対側の方)に、エッチングされずに残った試料部分によって筋が形成されることはない。
さて、図6(b)は、イオンエッチング開始から5分後の試料素材11を示した図である。図6(b)に示すように、イオンビームIBが照射されたイオンビーム照射面11c,11dはイオンエッチングされている。一方、遮蔽板8で覆われてイオンビームIBが照射されなかったイオンビーム非照射面11bは、エッチングされずにそのまま残っている。そして、試料素材11に対して遮蔽板8の左斜め上方からイオンビームが照射されたため、イオンビーム照射面11c側がイオンビーム照射面11d側よりも多くエッチングされており、また、イオンビーム照射面11c側がイオンビーム照射面11d側よりも内側(z軸側)に深くエッチングされている。
なお、遮蔽板8はイオンエッチングされにくい材料で作られているが、それでも図6(b)に示すように、遮蔽板8の上部は少しだけイオンエッチングされている。これに対して、遮蔽板8の左側面8bおよび試料素材11の左側面11eに入射するイオンビームIBの入射角度は1.5度ときわめて小さいので、それらの面8b,11eはほとんどエッチングされていない。
以上のようにして、試料素材11に対して遮蔽板8の左上方からイオンビーム照射が行われると、次にイオン銃傾斜制御回路14bは、イオン銃12を右(y方向)に角度θ1(1.5度)傾斜させるための傾斜信号θ1を傾斜駆動源16に送る。傾斜駆動源16はその傾斜信号θ1に基づいてイオン銃傾斜機構13を傾斜させる。この結果、イオン銃12はz軸に対して右に1.5度傾斜する。
このイオン銃12の傾斜により、図7(a)に示すように、z軸に対して右にθ1(1.5度)傾斜したイオンビームIBが、遮蔽板8の右斜め上方から遮蔽板8と試料素材11を照射する。このイオンビーム照射は所定時間(たとえば5分間)行われ、前記同様、試料素材11は遮蔽板8と一緒に傾斜されながらイオンエッチングされる。
図7(b)は、イオン銃12を右に傾斜させ、試料素材11にイオンビームを5分間照射した後の試料素材11を示した図である。図7(b)に示すように、今度は、試料素材11のうちイオンビーム照射面11d側が大きくエッチングされている。一方、遮蔽板8で覆われてイオンビームIBが照射されなかったイオンビーム非照射面11bは、エッチングされずにそのまま残っている。
以後、前記同様にして、イオン銃12が左右に繰り返し傾斜され、z軸に対して左右にそれぞれ1.5度傾斜したイオンビームIBによって試料素材11はエッチングされる。図8はそのエッチングされていく試料素材11を示した図である。図7(b)のあと図8(a)のように試料素材11はエッチングされ、図8(a)のあと図8(b)に示すように試料素材11はエッチングされる。その後、何回かイオン銃12が左右に傾斜されて試料素材11のイオンエッチングが行われ、図8(c)のように試料素材11はエッチングされる。図8(a)から図8(c)に示すように、試料素材11のイオンビーム非照射面11bはエッチングされずに残ったままである。一方、そのイオンビーム非照射面11bの周囲の試料素材部分は徐々にエッチングされている。そして、図8(c)に示すように、試料素材11のA部分については、イオンビーム非照射面11bから下方(−z方向)に向かうに従って薄くなっている。
図8(d)は、図8(c)のあとイオン銃12の向きが変えられて、試料素材11に対して更にイオンビームIBが照射されている状態を示した図である。図8(c)に示した試料素材11のA部分が更にイオンエッチングされたため、図8(d)に示すように、試料素材11には貫通孔Hが開いている。この貫通孔Hの位置は試料素材11の上面から300μm程のところである。この貫通孔Hの開く位置はイオン銃12の傾斜角度に密接に関係している。すなわち、遮蔽材8と試料素材11に対してどの方向からイオンビームIBを照射するかによって、貫通孔Hの開く位置は大きく変わってくる。この例では、z軸に対して左右にそれぞれ1.5度傾斜したイオンビームIBで試料素材11はエッチングされたため、図8(d)に示した位置に貫通孔Hが開けられた。なお、図8(e)は、図8(d)の試料素材11を−y方向から(図4のTVカメラ19側から)見た図である。
さて、図4におけるTVカメラ19は、イオンエッチング開始時点から試料素材11を正面から撮影している。このTVカメラ19からの像信号は中央制御装置14のエッチング終了判定回路14dに送られており、エッチング終了判定回路14dは試料素材11の形状変化を常に監視している。そこでエッチング終了判定回路14dは、TVカメラ19から送られてくる像信号に基づき、図8(d)に示したように試料素材11に貫通孔Hが開いたことを検出すると、イオン銃制御回路14aへ「エッチング終了信号」を送る。このエッチング終了信号を受けたイオン銃制御回路14aは、イオン照射を停止させるための信号を電圧電源15に送る。これにより、イオン銃12よりのイオンビーム放出は停止される。
また、前記「エッチング終了信号」はエッチング終了判定回路14dからイオン銃傾斜制御回路14bとステージ傾斜制御回路14cにも送られる。すると、それらの制御回路14b,14cは傾斜停止信号をそれぞれの傾斜駆動源16,17に送るので、イオン銃12の傾斜とステージ3の傾斜は停止される。
以上のようにして、図8(d),(e)に示した本発明の薄膜試料11が出来上がる。図8(d)に示すように、出来上がった試料のA部分はイオンビーム非照射面11bから下方に向かうに従って薄くなっており、貫通孔Hの周辺部分Kは100Å程の薄膜となっている。このような薄膜部分Kの厚さはTEM観察に適した厚さである。
そして、アルゴンイオンを使用した本発明においては、軟らかい材料と硬い材料が混在している試料素材に対しても、試料素材表面を平坦に鏡面研磨することができる。このため、図8(d)における薄膜部分Kの表面は平坦に鏡面仕上げされている。なお、前記遮蔽板8は非晶質金属で作られているため、遮蔽板8がイオンエッチングされてもその表面に凹凸はできない。このことも、薄膜部分Kの表面を平坦に鏡面仕上げするのに重要なことである。
また、上述した本発明の試料作製においては、従来のようにディンプルグラインダーは使用されず、その代わりに、試料損傷をきわめて低く抑えられるアルゴンイオンが使用される。このため、試料素材にアルゴンイオンを照射して鏡面研磨しても、ディンプルグラインダーを使ったときのように歪みが試料結晶に生じることはない。
このように、本発明において作製された図8(d)に示す薄膜試料11は、試料結晶に歪みが生じておらず、表面が平坦に鏡面研磨されたTEM観察に適した試料である。従って、このように出来上がった薄膜試料11をTEMに移し替えて薄膜部分Kに電子線を照射するようにすれば、その薄膜部分Kの良好なTEM像を得ることができる。
また、上述した本発明の試料作製には熟練を必要とせず、誰でも簡単に良好な薄膜試料を作製することができる。
なお、上記例では、z軸に対して左右にそれぞれ1.5度傾斜されたイオンビームによって試料素材はエッチングされたが、たとえばz軸に対して左右に1度傾斜されたイオンビームによって試料素材をエッチングするようにすれば、図9に示すような薄膜試料が出来上がる。この場合、貫通孔Hは試料素材上面から500μm程のところに開いており、イオンビームの傾斜角度が小さくなった分、TEM観察に適した薄膜部分Kの領域は図8(d)の場合よりも広まっている。このため、図9に示す薄膜試料をTEMに移し替えて観察すれば、図8(d)の試料よりもより低倍で試料観察を行うことができる。
また、上記例では、z軸に対して左右にそれぞれ傾斜したイオンビームで試料素材をエッチングするようにしたが、z軸上を通るイオンビームで試料素材をエッチングする工程(すなわち遮蔽板の真上からイオンビームを照射する工程)と、z軸に対して左右どちらか一方に傾斜(たとえば3度)したイオンビームで試料素材をエッチングする工程を交互に繰り返し行うようにしても良い。
以上、図3,4の装置において、バルク試料から切り出された試料素材を薄膜化する場合について説明した。以下、図3,4の装置において、シリコンウエハーなどから切り出された試料素材を薄膜化して、断面試料を作製する場合について説明する。
その場合、まず図10(a)に示すように、300μm(d1)×2.5mm(d2)×100μm(d3)の試料素材20を用意する。この試料素材20はシリコンウエハーから切り出されて粗研磨されたものであり、試料素材20の下方は多層構造となっている。この多層構造部20aを薄膜化して断面試料を作製することがこの場合の目的であり、このように切り出された試料素材20は前記試料ホルダ10にセットされ、その試料ホルダは前記試料台5に取り付けられる。
図10(b)は、試料台5(図示せず)にセットされた試料素材20と前記遮蔽板8を示した図である。図10(b)に示すように、試料素材20の多層構造部20aは遮蔽板8から300μm程のところに位置している。そして、前記同様にしてイオン銃12が左右に繰り返し傾斜され、z軸に対して左右にそれぞれ1.5度傾斜したイオンビームIBによって試料素材20はエッチングされる。なお、このときも前記同様に試料素材20はy軸を中心として傾斜されている。
図10(c)は出来上がった薄膜試料20’を示しており、図10(d)は図10(c)の薄膜試料を−y方向から見た図である。図10(c)に示すように、薄膜試料20’は遮蔽板8から遠ざかるに従って薄く形成されており、多層構造部20aの部分が最も薄く、その厚さはTEM観察に適した100Å程度である。
ところで、このときのイオンエッチングの終了は、試料素材下端のエッジ部の形状を検出して行われる。すなわち、前記エッチング終了判定回路14dは、図10(d)に示すようにエッジ部20bがイオンエッチングによってギザギザ状になったことを検出すると、イオン銃からのイオンビームの放出を停止させる。
なお、この例では、縦方向の寸法d1が300μmの試料素材を用意し、z軸に対して左右に1.5度傾斜したイオンビームで試料素材をエッチングするようにした。これとは異なり、たとえば図10(e)に示すようにd1が700μmの試料素材21を用意したとすれば、z軸に対して左右に0.7度程傾斜したイオンビームで試料素材21をエッチングするようにすれば、多層構造部21aの部分が最も薄い断面試料21’を作製することができる。
以上、図3,4の装置の動作を説明した。なお、本発明は上記例に限定されるものではなく、その他の変形例も包含するものである。
たとえば上記例では、イオン銃12の傾斜方向を5分間隔で左右に切り替えたが、イオンエッチングの終わりの方ほどその間隔を短くするようにしてもよい。たとえば、最後の方は30秒間隔でイオン銃12の傾斜方向を左右に切り替えるようにしてもよい。このように短い時間で切り替えるようにすれば、現在エッチングされている試料面の反対側の面(先程までエッチングされていた面)が現在のエッチングによる飛散物で仮に汚れたとしても、その汚れはTEM観察に支障を来す程のものではない。
また上記例では、イオン銃12をx軸を中心として傾斜させるようにしたが、x軸の近くに位置する軸qであって、x軸に平行な軸qを中心としてイオン銃12を傾斜させるようにしてもよい。
また上記例では、ステージ3をy軸を中心として傾斜させるようにしたが、y軸の近くに位置する軸rであって、y軸に平行な軸rを中心としてステージ3を傾斜させるようにしてもよい。たとえば、作製しようとする薄膜の面にほぼ直交する軸r、またはその軸rに平行な軸を中心として試料素材を傾斜させながら、試料素材にイオンビームを照射するようにしてもよい。
また上記例では、遮蔽板8の厚さを10μmとしたが、たとえば厚さが5〜30μmの遮蔽板8を用いるようにしてもよい。また、上記例では遮蔽板8の幅を2mmとしたが、たとえば幅が1.5mm〜2.5mmの遮蔽板8を用いるようにしてもよい。
また上記例では、イオン銃12をz軸に対して1.5度や1度や0.7度に傾斜させるようにしたが、本発明はこの傾斜角度に限定されるものではない。その傾斜角度、すなわちイオンビームの照射方向は、前記イオンビーム非照射面から下方に向かうに従って薄くなる薄膜試料が出来るように、遮蔽材の厚さや試料素材の寸法に応じて適宜設定するようにすればよい。たとえば、遮蔽板の右斜め上方から試料素材を照射するイオンビームを、遮蔽板の左斜め上方から試料素材を照射するイオンビームに対して1〜10度の範囲で適宜傾斜させるようにすればよい。
また上記例ではイオン銃12を左右に傾斜させるようにしたが、2つのイオン銃を配置し、一方のイオン銃から発生したイオンビームを前記遮蔽材の左斜め上方から遮蔽材と試料素材に向けて照射し、他方のイオン銃から発生したイオンビームを前記遮蔽材の右斜め上方から遮蔽材と試料素材に向けて照射するようにしてもよい。そのようにすれば、上記例のおよそ2倍の速度で試料を作製することができる。
また上記例ではイオン銃12をz軸に対して左右に傾斜させるようにしたが、イオン銃側は傾斜させずに固定し、試料素材と遮蔽板を一緒に傾斜させるようにしてもよい。たとえば図11に示すように、イオン銃をその光軸Oがz軸と一致するように固定して配置し、試料素材11と遮蔽板8を載せた傾斜手段23をx軸を中心として左右に傾斜させながら、イオンビームIBを試料素材11に照射するようにしてもよい。
この場合、試料素材11が左にたとえば1.5度傾斜された状態で、イオンビームが5分間試料素材11に照射される。その後、今度は試料素材11が右にたとえば1.5度傾斜された状態で、イオンビームが5分間試料素材11に照射される。そして、このようなイオン照射が繰り返し行われる。このイオン照射の際、試料素材11と遮蔽板8は上述したようにy軸を中心として傾斜されている。なお、試料素材11と遮蔽板8を一緒にx軸を中心として左右に傾斜させる代わりに、試料素材11だけをx軸を中心として左右に傾斜させるようにしてもよい。
なお、図3,4の装置においては、ベルト状の遮蔽板8が長時間にわたるイオンエッチングによって切れないように、安全対策が施されている。すなわち図3,4の装置においては、使用されるイオン銃の加速電圧に応じてイオン電源オフ時間が設定されており、エッチング開始からそのイオン電源オフ時間が経過してもエッチング終了判定回路14dにおいてエッチング終了と判定されない場合には、強制的にイオン銃の電源をオフするように構成されている。イオン電源オフ時間は加速電圧が高いほど短く設定されている。
また、図3,4の装置を、集束イオンビーム装置(FIB装置)による試料作製の前処理装置としても利用することができる。このFIB装置は、集束イオンビーム(たとえばガリウムイオンビーム)を試料上で2次元的に走査させて試料加工を行うものである。この場合、まず12(a)に示すように、たとえば500μm(d1)×2.5mm(d2)×100μm(d3)の試料片22を用意する。この試料片22は前記試料ホルダ10にセットされ、その試料ホルダは前記試料台5に取り付けられる。
図12(b)は、試料台5(図示せず)にセットされた試料片22と前記遮蔽板8を示した図である。そして、遮蔽材8の真上から遮蔽材8と試料片22に向けてイオンビームIBが照射される。すなわち、イオン銃の傾斜角度が0度の状態でイオンビーム照射が行われる。図12(c)はイオンビーム照射後の試料片22を示しており、その上部fの厚さは遮蔽板8の厚さと同じ10μm程度である。
そして、図12(c)に示した試料片(試料素材)22はFIB装置にセットされ、図12(d)に示すように、前記fの部分にFIB加工が施される。このFIB加工により、試料素材22には厚さ300Å程度の薄膜が形成される。また、このFIB加工の際、間口の角が数ミクロン斜め研磨される(gの部分)。試料素材22の裏面も同様に斜め研磨される。
こうしてFIB加工が施された試料素材22はアルゴンイオンビーム照射装置(図3,4の装置とは別の装置)にセットされる。そして、図12(d)の矢印Hの方向からアルゴンイオンビームが試料素材22に向けて照射され(裏の面に対しても同様にアルゴンイオンビームが照射される)、前記300Å程度に薄膜化された部分はさらにエッチングされて100Å程度の薄膜となる。また、このアルゴンイオン照射により、FIB加工による試料ダメージが取り除かれる。このようにこの例では、図3,4の装置を用いて事前に試料片を10μm程度の厚さに加工するようにしているので、FIB加工時間を短縮することができる。
従来、図12(e)に示すように、機械研磨によって50μm程度に加工された試料片に対してFIB加工が行われていた。機械研磨では50μm程度に薄くするのが限界であり、このように50μmと厚い試料片を300Åの厚さにFIB加工するにはかなりの時間がかかっていた。これに対して本発明は短時間でFIB加工を行うことができる。
また、図12(e)に示した従来の試料素材においては、300Åの薄膜部分の周りは50μmとかなり厚い。また、現在のFIB加工では、集束イオンビームを最大に偏向しても、その薄膜部分の間口を10μm程しかとることができない。したがって、従来の図12(e)に示した試料素材は、間口が狭く奥行きが長いものであった。このような試料素材に対して矢印L方向からアルゴンイオンビームを照射しても、従来においては前記薄膜部分を良好に薄膜化できず、またその薄膜部分のFIB加工による試料ダメージをうまく取り除けなかった。なお、薄膜部分に対して矢印Mに示すように正面からアルゴンイオンビームを照射してしまうと、ハイスピードで薄膜部分がエッチングされてしまい、薄膜部分が必要以上にエッチングされてしまう。このため、そのような正面からのアルゴンイオンビーム照射はできなかった。
一方、本発明の図12(d)に示す試料素材では、薄膜部分の間口は10μm程であるが、その周りの試料の厚さは10μmと薄い。さらに、上述したように、間口の角が数ミクロン斜め研磨されている(gの部分)。このため、本発明においては、図12(d)の矢印Hの方向からアルゴンイオンビームを試料素材22に向けて照射すれば、薄膜部分はエッチングされて100Å程度の薄膜となり、このアルゴンイオン照射により、FIB加工による試料ダメージが完全に取り除かれる。
以上、図3,4の装置を、FIB装置による試料作製の前処理装置として利用する場合について説明したが、このFIB装置を図3,4の装置に組み込んで1つの試料作製装置として構成するようにしてもよい。また、その試料作製装置に、FIB加工の試料ダメージを取り除くためのアルゴンイオンビーム照射機構を備えるようにしてもよい。
Claims (20)
- 試料素材上にイオンビーム非照射面とその周囲にイオンビーム照射面を形成するための遮蔽材を、前記試料素材上に配置し、
遮蔽材の上方から遮蔽材と試料素材にイオンビームを照射し、
前記イオンビーム非照射面をイオンエッチングせずに残して、その周囲のイオンビーム照射面をイオンエッチングするようにした試料作製方法であって、
前記遮蔽材と試料素材に向けて異なる方向からイオンビームを照射するようにし、
前記イオンビーム非照射面から下方に向かうに従って薄くなる薄膜試料が出来るように、前記イオンビームの照射方向をそれぞれ設定するようにした
ことを特徴とする試料作製方法。 - ベルト状またはリボン状またはテープ状の遮蔽材を試料素材上にほぼ垂直に立てて配置し、その遮蔽材の左斜め上方または直上から遮蔽材と試料素材に向けてイオンビームを照射すると共に、遮蔽材の右斜め上方から遮蔽材と試料素材に向けてイオンビームを照射するようにした
ことを特徴とする請求項1記載の試料作製方法。 - ベルト状またはリボン状またはテープ状の遮蔽材の厚さは5〜30μm程度であり、
遮蔽材の右斜め上方から試料素材を照射するイオンビームは、遮蔽材の左斜め上方から試料素材を照射するイオンビームに対して1〜10度ほど傾斜している
ことを特徴とする請求項2記載の試料作製方法。 - 前記イオンビーム非照射面から下方に向かうに従って薄くなり、最終的に貫通孔があいた試料が出来るように、前記イオンビームの照射方向をそれぞれ設定するようにした
ことを特徴とする請求項1から3の何れかに記載の試料作製方法。 - 作製しようとする薄膜の面にほぼ直交する軸、またはその軸に平行な軸を中心として試料素材を傾斜させながら、試料素材にイオンビームを照射するようにした
ことを特徴とする請求項1から3の何れかに記載の試料作製方法。 - 試料素材と遮蔽材を一緒に傾斜させるようにしたことを特徴とする請求項5記載の試料作製方法。
- 試料素材上にイオンビーム非照射面とその左右にイオンビーム照射面を形成するための遮蔽材を、前記試料素材上に配置し、
前記遮蔽材の上方から遮蔽材と試料素材にイオンビームを照射し、
前記イオンビーム非照射面をイオンエッチングせずに残して、前記左右のイオンビーム照射面をイオンエッチングするようにした試料作製方法であって、
前記イオンビーム非照射面から下方に向かうに従って薄くなる薄膜試料が出来るように、前記試料素材を前記左右の方向に傾斜させながらイオンビームを試料素材に照射するようにした
ことを特徴とする試料作製方法。 - 試料素材と遮蔽材を一緒に傾斜させるようにしたことを特徴とする請求項7記載の試料作製方法。
- 試料素材をイオンビーム加工して薄膜試料を作製するようにした試料作製方法において、前記試料素材を以下の手順で作製するようにしたことを特徴とする試料作製方法
(i)試料素材のもととなる試料片上にイオンビーム非照射面を形成させるため、ベルト状またはリボン状またはテープ状の遮蔽材を前記試料片上にほぼ垂直に立てて配置する
(ii)前記遮蔽材の上方から遮蔽材と試料片にイオンビームを照射し、前記イオンビーム非照射面の左右の試料片部分をエッチングする。 - 試料素材上にイオンビーム非照射面とその周囲にイオンビーム照射面を形成するための遮蔽材を、前記試料素材上に配置し、
遮蔽材の上方から遮蔽材と試料素材にイオンビームを照射し、
前記イオンビーム非照射面をイオンエッチングせずに残して、その周囲のイオンビーム照射面をイオンエッチングするようにした試料作製装置において、
前記遮蔽材と試料素材に向けて異なる方向からイオンビームを照射するためのイオンビーム照射手段を備え、
前記イオンビーム非照射面から下方に向かうに従って薄くなる薄膜試料が出来るように、前記イオンビームの照射方向がそれぞれ設定されている
ことを特徴とする試料作製装置。 - 試料素材をイオンビーム加工して薄膜試料を作製する試料作製装置において、
試料素材上にイオンビーム非照射面とその左右にイオンビーム照射面を形成させるため、試料素材上にほぼ垂直に立てて配置されたベルト状またはリボン状またはテープ状の遮蔽材と、
その遮蔽材の左斜め上方から遮蔽材の左側面と試料素材に向けてイオンビームを照射する手段と、
前記遮蔽材の右斜め上方から遮蔽材の右側面と試料素材に向けてイオンビームを照射する手段とを備え、
前記イオンビーム非照射面から下方に向かうに従って薄くなる薄膜試料が出来るように、前記イオンビームの照射方向がそれぞれ設定されている
ことを特徴とする試料作製装置。 - ベルト状またはリボン状またはテープ状の遮蔽材の厚さは5〜30μm程度であり、
遮蔽材の右斜め上方から試料素材を照射するイオンビームは、遮蔽材の左斜め上方から試料素材を照射するイオンビームの照射方向に対して1〜10度ほど傾斜している
ことを特徴とする請求項11記載の試料作製装置。 - 前記イオンビーム非照射面の下方の試料素材部分に貫通孔があいたことを検出して、試料素材へのイオンビームの照射を停止させる手段を備えている
ことを特徴とする請求項10から12の何れかに記載の試料作製装置。 - 試料素材の下方端部の形状を検出して、試料素材へのイオンビームの照射を停止させる手段を備えている
ことを特徴とする請求項10から12の何れかに記載の試料作製装置。 - 作製しようとする薄膜の面にほぼ直交する軸、またはその軸に平行な軸を中心として試料素材を傾斜させながら、試料素材にイオンビームを照射するようにした
ことを特徴とする請求項10から12の何れかに記載の試料作製装置。 - 試料素材と遮蔽材を一緒に傾斜させるようにしたことを特徴とする請求項15記載の試料作製装置。
- イオンビームを発生するイオン銃を傾斜させて、前記遮蔽材の左斜め上方と右斜め上方から遮蔽材と試料素材に向けてイオンビームを照射するようにしたことを特徴とする請求項11記載の試料作製装置。
- 2つのイオン銃を備え、一方のイオン銃から発生したイオンビームを前記遮蔽材の左斜め上方から遮蔽材と試料素材に向けて照射し、他方のイオン銃から発生したイオンビームを前記遮蔽材の右斜め上方から遮蔽材と試料素材に向けて照射するようにしたことを特徴とする請求項11記載の試料作製装置。
- 試料素材上にイオンビーム非照射面とその周囲にイオンビーム照射面を形成するための遮蔽材を、前記試料素材上に配置し、
遮蔽材の上方から遮蔽材と試料素材にイオンビームを照射し、
前記イオンビーム非照射面をイオンエッチングせずに残して、その周囲のイオンビーム照射面をイオンエッチングするようにした試料作製装置において、
試料素材を前記左右の方向に傾斜させる傾斜手段と、
前記イオンビーム非照射面から下方に向かうに従って薄くなる薄膜試料が出来るように、イオンビーム照射中に前記傾斜手段を制御して試料素材を傾斜させる手段と
を備えていることを特徴とする試料作製装置。 - 試料素材と遮蔽材を一緒に傾斜させるようにしたことを特徴とする請求項19記載の試料作製装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004283802A JP4486462B2 (ja) | 2004-09-29 | 2004-09-29 | 試料作製方法および試料作製装置 |
US11/237,272 US7453073B2 (en) | 2004-09-29 | 2005-09-27 | Method and equipment for specimen preparation |
EP07006837.4A EP1804273B1 (en) | 2004-09-29 | 2005-09-28 | Method for specimen preparation |
DE602005022150T DE602005022150D1 (de) | 2004-09-29 | 2005-09-28 | Verfahren und Gerät zur Vorbereitung von Proben |
EP05256048A EP1643535B1 (en) | 2004-09-29 | 2005-09-28 | Method and equipment for specimen preparation |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004283802A JP4486462B2 (ja) | 2004-09-29 | 2004-09-29 | 試料作製方法および試料作製装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006098189A true JP2006098189A (ja) | 2006-04-13 |
JP4486462B2 JP4486462B2 (ja) | 2010-06-23 |
Family
ID=35563765
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004283802A Active JP4486462B2 (ja) | 2004-09-29 | 2004-09-29 | 試料作製方法および試料作製装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7453073B2 (ja) |
EP (2) | EP1643535B1 (ja) |
JP (1) | JP4486462B2 (ja) |
DE (1) | DE602005022150D1 (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008215979A (ja) * | 2007-03-02 | 2008-09-18 | Jeol Ltd | イオンミーリング試料作製装置用マスクおよび試料作製装置 |
JP2008292351A (ja) * | 2007-05-25 | 2008-12-04 | Sii Nanotechnology Inc | ドーパントプロファイル測定用薄片試料作成方法 |
JP2009025133A (ja) * | 2007-07-19 | 2009-02-05 | Nippon Steel Corp | 試料作製方法及び試料作製装置 |
JP2009074933A (ja) * | 2007-09-20 | 2009-04-09 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 断面観察試料の作製方法 |
JP2009109236A (ja) * | 2007-10-26 | 2009-05-21 | Masanori Owari | アトムプローブ用針状試料の加工方法及び集束イオンビーム装置 |
JP2012513597A (ja) * | 2008-12-23 | 2012-06-14 | コミッサリア ア レネルジ アトミック エ オー エネルジス アルテルナティヴス | リング内に部品を平らに取り付ける装置及び方法 |
JP2019164119A (ja) * | 2018-03-14 | 2019-09-26 | 住友金属鉱山株式会社 | 透過電子顕微鏡観察用試料およびその作製方法 |
US11315756B2 (en) | 2012-12-31 | 2022-04-26 | Fei Company | Fiducial design for tilted or glancing mill operations with a charged particle beam |
JP7285884B2 (ja) | 2021-06-04 | 2023-06-02 | 日本電子株式会社 | 試料加工装置および試料加工方法 |
JP7424204B2 (ja) | 2019-05-24 | 2024-01-30 | 住友金属鉱山株式会社 | 透過電子顕微鏡観察用試料の作製方法 |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4037809B2 (ja) * | 2003-08-20 | 2008-01-23 | 日本電子株式会社 | イオンミーリング試料作製装置用マスクおよび試料作製装置 |
JP5033314B2 (ja) * | 2004-09-29 | 2012-09-26 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | イオンビーム加工装置及び加工方法 |
DE102008042179B9 (de) * | 2008-09-17 | 2013-10-10 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Verfahren zur Analyse einer Probe |
GB201002645D0 (en) * | 2010-02-17 | 2010-03-31 | Univ Lancaster | Method and apparatus for ion beam polishing |
US8384050B2 (en) * | 2010-04-11 | 2013-02-26 | Gatan, Inc. | Ion beam sample preparation thermal management apparatus and methods |
US8283642B2 (en) * | 2010-04-11 | 2012-10-09 | Gatan, Inc. | Ion beam sample preparation apparatus and methods |
KR20110114026A (ko) * | 2010-04-12 | 2011-10-19 | 삼성전자주식회사 | 시편 제조 장치 및 방법 |
JP5657435B2 (ja) * | 2011-03-15 | 2015-01-21 | 日本電子株式会社 | 薄膜試料作製方法 |
US8506828B1 (en) * | 2011-06-28 | 2013-08-13 | Western Digital (Fremont), Llc | Method and system for providing a magnetic recording transducer using an ion beam scan polishing planarization |
JP6174584B2 (ja) * | 2011-09-12 | 2017-08-02 | エフ・イ−・アイ・カンパニー | 視射角ミル |
US20160189929A1 (en) * | 2014-10-29 | 2016-06-30 | Omniprobe, Inc. | Rapid tem sample preparation method with backside fib milling |
CA3003438C (en) | 2015-10-30 | 2024-01-02 | Johnson & Johnson Consumer Inc. | Aseptic aerosol misting device |
JP6911025B2 (ja) * | 2015-10-30 | 2021-07-28 | ジョンソン・アンド・ジョンソン・コンシューマー・インコーポレイテッドJohnson & Johnson Consumer Inc. | 単位用量無菌エアロゾルミスト噴霧装置 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01159949A (ja) * | 1987-12-16 | 1989-06-22 | Hitachi Ltd | 透過型電子顕微鏡結合加速器用試料ホールダ |
JPH03239945A (ja) * | 1990-02-19 | 1991-10-25 | Matsushita Electron Corp | イオンミリング装置 |
US5350499A (en) * | 1990-09-17 | 1994-09-27 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of producing microscopic structure |
JPH085528A (ja) * | 1994-06-23 | 1996-01-12 | Sharp Corp | 透過電子顕微鏡用断面試料作成用集束イオンビーム装置及び透過電子顕微鏡用断面試料作成方法 |
JP2000028800A (ja) * | 1998-07-08 | 2000-01-28 | Jeol Ltd | ビーム照射装置 |
JP2003173754A (ja) * | 2001-12-06 | 2003-06-20 | Jeol Ltd | 試料加工装置及び試料加工方法並びに試料観察装置及び試料観察方法 |
JP2004245841A (ja) * | 2003-02-15 | 2004-09-02 | Bal-Tec Ag | Temfib試料およびその製造のための方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5225771A (en) * | 1988-05-16 | 1993-07-06 | Dri Technology Corp. | Making and testing an integrated circuit using high density probe points |
JP3119959B2 (ja) * | 1993-02-05 | 2000-12-25 | セイコーインスツルメンツ株式会社 | 集束イオンビーム装置および加工観察装置 |
JP3041565B2 (ja) * | 1993-11-30 | 2000-05-15 | セイコーインスツルメンツ株式会社 | 試料加工方法 |
JP3221797B2 (ja) * | 1994-06-14 | 2001-10-22 | 株式会社日立製作所 | 試料作成方法及びその装置 |
JP3263920B2 (ja) * | 1996-02-01 | 2002-03-11 | 日本電子株式会社 | 電子顕微鏡用試料作成装置および方法 |
US5916424A (en) * | 1996-04-19 | 1999-06-29 | Micrion Corporation | Thin film magnetic recording heads and systems and methods for manufacturing the same |
US6020677A (en) * | 1996-11-13 | 2000-02-01 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Carbon cone and carbon whisker field emitters |
TW430871B (en) * | 1998-06-18 | 2001-04-21 | United Microelectronics Corp | Method for milling test piece of transmission electron microscope |
-
2004
- 2004-09-29 JP JP2004283802A patent/JP4486462B2/ja active Active
-
2005
- 2005-09-27 US US11/237,272 patent/US7453073B2/en active Active
- 2005-09-28 DE DE602005022150T patent/DE602005022150D1/de active Active
- 2005-09-28 EP EP05256048A patent/EP1643535B1/en active Active
- 2005-09-28 EP EP07006837.4A patent/EP1804273B1/en active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01159949A (ja) * | 1987-12-16 | 1989-06-22 | Hitachi Ltd | 透過型電子顕微鏡結合加速器用試料ホールダ |
JPH03239945A (ja) * | 1990-02-19 | 1991-10-25 | Matsushita Electron Corp | イオンミリング装置 |
US5350499A (en) * | 1990-09-17 | 1994-09-27 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of producing microscopic structure |
JPH085528A (ja) * | 1994-06-23 | 1996-01-12 | Sharp Corp | 透過電子顕微鏡用断面試料作成用集束イオンビーム装置及び透過電子顕微鏡用断面試料作成方法 |
JP2000028800A (ja) * | 1998-07-08 | 2000-01-28 | Jeol Ltd | ビーム照射装置 |
JP2003173754A (ja) * | 2001-12-06 | 2003-06-20 | Jeol Ltd | 試料加工装置及び試料加工方法並びに試料観察装置及び試料観察方法 |
JP2004245841A (ja) * | 2003-02-15 | 2004-09-02 | Bal-Tec Ag | Temfib試料およびその製造のための方法 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008215979A (ja) * | 2007-03-02 | 2008-09-18 | Jeol Ltd | イオンミーリング試料作製装置用マスクおよび試料作製装置 |
JP2008292351A (ja) * | 2007-05-25 | 2008-12-04 | Sii Nanotechnology Inc | ドーパントプロファイル測定用薄片試料作成方法 |
JP2009025133A (ja) * | 2007-07-19 | 2009-02-05 | Nippon Steel Corp | 試料作製方法及び試料作製装置 |
JP2009074933A (ja) * | 2007-09-20 | 2009-04-09 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 断面観察試料の作製方法 |
JP2009109236A (ja) * | 2007-10-26 | 2009-05-21 | Masanori Owari | アトムプローブ用針状試料の加工方法及び集束イオンビーム装置 |
JP2012513597A (ja) * | 2008-12-23 | 2012-06-14 | コミッサリア ア レネルジ アトミック エ オー エネルジス アルテルナティヴス | リング内に部品を平らに取り付ける装置及び方法 |
US11315756B2 (en) | 2012-12-31 | 2022-04-26 | Fei Company | Fiducial design for tilted or glancing mill operations with a charged particle beam |
JP2019164119A (ja) * | 2018-03-14 | 2019-09-26 | 住友金属鉱山株式会社 | 透過電子顕微鏡観察用試料およびその作製方法 |
JP7215147B2 (ja) | 2018-03-14 | 2023-01-31 | 住友金属鉱山株式会社 | 透過電子顕微鏡観察用試料 |
JP7424204B2 (ja) | 2019-05-24 | 2024-01-30 | 住友金属鉱山株式会社 | 透過電子顕微鏡観察用試料の作製方法 |
JP7285884B2 (ja) | 2021-06-04 | 2023-06-02 | 日本電子株式会社 | 試料加工装置および試料加工方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4486462B2 (ja) | 2010-06-23 |
EP1643535A3 (en) | 2006-06-07 |
EP1804273B1 (en) | 2016-11-23 |
DE602005022150D1 (de) | 2010-08-19 |
EP1804273A1 (en) | 2007-07-04 |
US7453073B2 (en) | 2008-11-18 |
EP1643535B1 (en) | 2010-07-07 |
EP1643535A2 (en) | 2006-04-05 |
US20060113496A1 (en) | 2006-06-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4486462B2 (ja) | 試料作製方法および試料作製装置 | |
US7297944B2 (en) | Ion beam device and ion beam processing method, and holder member | |
JP3957750B2 (ja) | 電子顕微鏡法のためのイオンビーム準備装置 | |
JP4557130B2 (ja) | 試料作製装置 | |
JP4675701B2 (ja) | イオンミリング装置およびイオンミリング方法 | |
JP3892360B2 (ja) | イオンビーム装置 | |
JP4553739B2 (ja) | 試料ホルダおよびイオンビーム加工装置 | |
JP2004087174A (ja) | イオンビーム装置およびイオンビーム加工方法 | |
JP2003524182A (ja) | 基板の断面の画像化装置 | |
KR20180018353A (ko) | SiC 웨이퍼의 생성 방법 | |
JP4398396B2 (ja) | イオンミリング装置 | |
JP5331342B2 (ja) | イオンミリング装置 | |
JP5657435B2 (ja) | 薄膜試料作製方法 | |
JP7160868B2 (ja) | イオンミリング装置および試料作製方法 | |
JP2009245783A (ja) | イオンミリング装置及びイオンミリング方法 | |
JP4675860B2 (ja) | イオンミリング装置及びその方法 | |
KR101539738B1 (ko) | 주사전자 현미경 | |
JP2007248091A (ja) | 試料作製装置及び試料作成方法 | |
JP2004095339A (ja) | イオンビーム装置およびイオンビーム加工方法 | |
WO2016121080A1 (ja) | イオンミリングのマスク位置調整方法、マスク位置を調整できる電子顕微鏡、試料ステージに搭載されるマスク調整装置、およびイオンミリング装置の試料マスク部品 | |
JP4455432B2 (ja) | イオンミリング装置およびイオンミリング方法 | |
WO2019168106A1 (ja) | 薄片試料作製装置および薄片試料作製方法 | |
WO2013121938A1 (ja) | 荷電粒子線装置、試料マスクユニット、および変換部材 | |
JP2023031351A (ja) | プラズマ処理装置用シリコン電極板の通気孔観察方法及び観察装置、並びに、プラズマ処理装置用シリコン電極板 | |
KR20040004931A (ko) | 투과전자현미경 분석용 시료 제작 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070327 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090626 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090804 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090924 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100119 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100202 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100316 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100326 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4486462 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130402 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130402 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140402 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |