JP2000195455A - 電子顕微鏡用グリッドメッシュ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 電子顕微鏡等の測定に用いる試料保持用のグ
リッドメッシュであって、特にミクロトーム等によって
得られる微細で極薄膜切片状の検体を的確に且つ迅速に
保持できるグリッドメッシュを提供することである。 【解決手段】 電子顕微鏡に用いる検体を固定させるグ
リッドメッシュにおいて、グリッドメッシュ２の片面に
吸水性の部材１を設けた電子顕微鏡用グリッドメッシュ
である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、測定試料（検体）
を固定（保持）するグリッドメッシュに関し、更に詳し
くは、電子顕微鏡等の測定に用いる試料支持用のグリッ
ドメッシュであり、特にミクロトーム等によって得られ
る微細で極薄膜切片状の検体を的確に且つ迅速に保持で
きるグリッドメッシュに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、電子顕微鏡を用いて物体（検
体）の形状、粒径、粒度分布及びその断面等を観察・測
定するに際しては、メッシュ状の支持板上に、その粒子
状又は薄切片状の検体を分散又は保持させて各種の測定
に供している。通常、この支持板は図１（ａ）の平面図
に示すようなメッシュ状であり、その上に検体を支持さ
せるに適した種々の形状の開孔を有しているものが一般
的に使用されている。

【０００３】また、このようなメッシュを用いて、例え
ば、微細な粒子又は極薄膜切片等の検体を採取（保持）
する方法として、従来から、通常、押し付け法、すくい
取り法等を挙げることができる。前者は、水面に浮かん
でいる検体の上にメッシュを載せて（押し付けて）採取
する方法であり、後者は、水中にメッシュを入れて水面
に浮かんでいる検体をメッシュ上にすくい取る方法であ
る。

【０００４】それぞれ一長一短のある採取方法である
が、例えば、前者では押し付けの際に、通常、検体の付
着を容易にするためから支持膜の付いたメッシュを使用
する。この場合には、検体と支持膜の間に空気層を包含
したり、また、支持膜をも透過した像が観察されたりし
て、測定の精度を低下させることが避けられず、支持膜
の付いたグリッドメッシュを用いることは、必ずしも適
切でない場合もある。また、支持膜を設けない場合に
は、押し付けただけでは検体が的確にメッシュに保持さ
れないこともある。一方、後者においても水に浮かんで
いる検体をすくい取る際に、界面での表面張力等の影響
から、検体がメッシュから逃れて保持されなかったり、
保持されてもメッシュ面の端部に遍在してしまう等の問
題があった。従って、従来から、何れの採取方法におい
ても、効率よく、的確に、しかも測定に支障を来さぬ形
でメッシュ検体を作製することは、熟練を要するもので
あった。

【０００５】そこで、メッシュを用いて電子顕微鏡等に
用いる検体を効率よく作製する方法として、例えば、特
開平６−３２５７１６号公報には、検体を採取するに際
して、メッシュの持ち運びを容易にし、更には測定装置
に装着しやすくするためから、把手部を設けたメッシュ
が記載されている。即ち、検体作製、測定装置への装
着、取り外し等のハンドリング性を容易にさせて、取り
扱い時にメッシュ上の検体に支障を来さないため等か
ら、把手部を設けたメッシュが提案されている。しかし
ながら、この提案では、確かにメッシュを扱うハンドリ
ング性を著しく向上させることができるが、いぜんとし
て微細片のメッシュ上に更に微細粉末又は微細で極薄切
片の検体を支障なく採取してメッシュ上に固定すること
に関しては、従来と全く変わりなく、メッシュに検体を
効率よく確実に採取する点に関しては未だ未解決のまま
である。

【０００６】また、特開平９−２１７３３号公報には、
透過型電子顕微鏡による品質検査用に切削加工装置（ミ
クロトーム）のナイフボート水面に切り出された検体を
メッシュに採取する方法が記載されている。しかしなが
ら、この提案においても、ナイフボート水面に浮かせた
補助具によって連続して切り出された多数個の検体を集
めて、次いで順次検体をメッシュにすくい上げてメッシ
ュ上に検体を保持させる方法である。確かに特定の回収
補助具をメッシュ検体の作製工程に組み入れることによ
り、品質検査用として連続して検体をメッシュ上に採取
する効率を向上させることができるものの、メッシュ上
に微細で極薄膜切片の検体を支持するために特別の補助
具を用いて操作することから、作製工程が増えて煩雑に
なってしまう。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上述するように、従来
から電子顕微鏡等に使用されるメッシュ検体を作製する
には、未だ多くの課題が未解決のままである。上記公報
の記載からも明らかなように、メッシュ検体を作製する
に際し、それ自体微細片であるメッシュに係わるハンド
リング性を改善する提案が種々なされている。しかしな
がら、このような微細片のメッシュに極微細な検体を効
率よく、確実に、しかも得られたメッシュ検体で観察・
測定される像に支障を来さぬ検体を、特に熟練を必要と
せずに通常の簡単な操作で、容易にメッシュ検体を作製
することが未だ達成されていないのが実状である。

【０００８】このような状況下で、本発明は、電子顕微
鏡で検体の形状、粒径、分布状態、断面の状態（薄膜切
片）等を測定、観察をするに当たって、微細片のメッシ
ュ上に、検体の形状に影響されず、しかも、簡単な操作
でその検体を効率よく、確実に採取・固定されるグリッ
ドメッシュを提供することを目的とするものである。よ
り具体的には、従来から用いられている押し付け法によ
り、水面上に浮かぶ微細で、極薄膜切片状の検体を、支
持膜の無いグリッドメッシュ上に、通常の操作で容易
に、効率よく、確実に、採取・固定できるグリッドメッ
シュを提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明者等は、上記課題
に鑑み上記グリッドメッシュ上に検体が効率よく、保持
される等の条件を鋭意検討した結果、特別な装置を用い
ることなく、大幅にその採取の効率及び確実さを向上さ
せ、しかも、従来から、押し付け法を用いることによっ
て起きる種々なる問題を防止できるグリッドメッシュを
見出し、本発明を完成させるに至った。すなわち、本発
明は、電子顕微鏡法に使用する検体を固定させるグリッ
ドメッシュにおいて、前記グリッドメッシュの片面に吸
水性の部材を設けたことを特徴とする電子顕微鏡用グリ
ッドメッシュを提供するものである。

【００１０】本発明によるグリッドメッシュは、図１
（ａ）の上面図及び（ｂ）の断面図に示す如く、グリッ
ドメッシュ面２に、吸水性の部材１を設けることによ
り、例えば、このメッシュの試料採取面４を水面に浮く
所定の検体上に軽く押し付けることにより、グリッドメ
ッシュの孔３には毛管現象を伴って水が入り、直ちに上
部に設けた吸水性部材１の吸水力によって水が孔３中に
加速されて吸い上げられる。この時生ずる水流にそって
水面に浮く薄片状の該検体が、グリッドメッシュ面４に
吸い寄せられるようにして的確に採取（保持）されるの
である。

【００１１】従って、このような本発明のメッシュが有
する作用によって、メッシュの試料採取面４には、従来
のようにメッシュ面に、特に検体の採取を助ける支持膜
を設けることなくこの試料採取面４には、検体が確実に
採取されるのである。これによって、支持膜を使うこと
に起因する検体と支持膜間に空気層を包含し、これによ
る支持膜を透過する像が形成されることもなく、電子顕
微鏡観察の精度を向上させられる。

【００１２】

【発明の実施の形態】既に述べているように、本発明に
よるグリッドメッシュ（以後、単にメッシュと記す）
は、電子顕微鏡等で測定・観察する試料（検体）をメッ
シュ上に保持させる支持板として使用されるものであ
る。通常、直径２〜３ｍｍの銅又はニッケル製の穴
（孔）の開いた円形の細片であり、本発明においては、
図１に示す如くその片面に吸水性の部材１を設けている
ことを特徴としている。このような本発明のメッシュを
使って、既に、上述する如く、例えば、従来から公知で
ある押し付け法により、検体、例えば、ミクロトームに
よって切り出され、付属のナイフボートの水面に浮かぶ
極薄膜切片（超薄膜切片）の検体を効率よく、確実にメ
ッシュ上に採取されて電子顕微鏡等に用いられる良好な
メッシュ検体にすることができるものである。

【００１３】以下に、本発明の実施例である図１〜図３
を参照して、本発明による電子顕微鏡に用いるグリッド
メッシュの実施の形態について詳細に説明する。

【００１４】本発明に使用するこのような部材１の形状
は、特に限定されるものでなく、円形（真円形、楕円
形）、角形（三角形、台形、正四角形、多角形）等の何
れかを適宜選んで使用することができる。また、その大
きさは、好ましくはメッシュ面の大きさよりも半分以下
程度の平面を有する部材であれば好適に使用される。即
ち、実際の測定に際して、メッシュを固定する試料ホル
ダにもよるが、メッシュ面の径方向の外縁部２割相当の
領域は、メッシュを支持する試料ホルダの支持台部に重
なりその領域分だけ実際の観察視野から外れるからであ
る。また、その厚さも、特に特定することはなく、メッ
シュ検体を作製するに支障を来さぬ程度の厚さを有して
いればよく、通常、０．０５〜１ｍｍの厚さであれば使
用することができる。

【００１５】また、部材１の材料としては、吸水性を有
するものであれば、特に限定することなく使用され、例
えば、天然、合成の繊維質からなる紙、織布、不織布、
吸水性ポリマーシート等を挙げることができる。

【００１６】そこで、本発明において、メッシュ上に設
ける吸水性の部材１は、好ましくは、この部材１の大き
さが、図１（ａ）に示す如く、このメッシュ面の大きさ
よりも小さいことが好適である。これにより、既に上述
した作用によって部材１が位置する所定の箇所に検体を
吸い寄せられてメッシュ上に保持することができるので
ある。

【００１７】また、図１（ａ）に示すように、この部材
１の大きさは適度に小さく、且つメッシュ上に設ける部
位は、より好ましくは、メッシュ中央部位に設けること
が好適である。即ち、押し付け法において、検体作製時
にメッシュの試料保持面４を水面に浮かぶ検体から多少
ずれた位置に置いたとしても、部材１の吸水性に基づく
吸引力によって、水面上の検体は部材１が位置するメッ
シュの中央部に引き寄せられて保持される。これによっ
て、検体の採取を的確にメッシュの所定の位置に保持す
ることができ、検体作製の効率を著しく高めることがで
きる。また、得られたメッシュを測定に供した場合に、
検体がメッシュ面の中央部にあることからターゲトの測
定視野を容易に見出すことができ、測定を容易にさせ
る。

【００１８】また、本発明において、部材１をメッシュ
上に設けるに際しては、部材１をメッシュに安定に保持
させるためから、好ましくは、部材１をメッシュ２に載
せた後、その上部に適度の圧力を加えて圧着させること
が好適である。これにより、図２に示す如く、部材１の
１部がメッシュのバー５面に圧着され、且つ部材１の他
の部分がメッシュ孔３に嵌め込まれて部材１全体がメッ
シュに安定に保持されるのである。

【００１９】なお、上記するように部材１をメッシュに
圧着させるに際しては、メッシュ孔３に嵌め込まれた部
材１が反対側に面出ししない程度に圧着させることが重
要である。部材１が、メッシュ孔３から反対側にはみ出
して検体に直接接触させないためからである。そのた
め、部材１をメッシュ面に圧着させるに際して、その圧
着加減を以下のように決めることができる。図２におい
て、メッシュ孔３の深さ（Ｈ）、メッシュ孔に嵌め込ま
れた部材１の深さ（Ｓ）とすると、Ｓ＜Ｈであって、且
つＳ＋１μｍ＜Ｈであることを満たす程度にすることが
よい。これは、薄膜状の検体がメッシュ面の保持された
時に、たわんでメッシュ孔３中に入ることを考慮したも
のである。

【００２０】また、以上のように本発明の吸水性の部材
１を設けたメッシュを用いて、押し付け法で水面上の検
体を吸引・保持させて得られた検体を、試料ホルダーに
挿入するに当たって、電子顕微鏡観察時に不用であるメ
ッシュ上の部材１をメッシュから引き剥がさなければな
らない。そこで、本発明においては、このような剥ぎ取
りを容易にするためから、メッシュ上の部材１を、例え
ば、ピンセット等で摘まみ易いような突起部を予め部材
１のメッシュに接しない面に設けておくことができる。
そこで、本発明において、例えば、図３に示す如く、そ
の突起部６として部材１の端部を予め折り曲げておくこ
とでも、上記する目的を十分達成することができるもの
である。

【００２１】また、本発明において、検体をメッシュ上
に安定に保持させるためから、好ましくは、検体を載せ
るメッシュ面を予め粗な面にしておくことが好適であ
る。即ち、例えば、特に微細片で、極薄膜切片状である
ような検体は、濾紙上でメッシュ検体を乾燥させる等の
取り扱い時に、引っかけて所定の位置に保持されていた
検体のずれ等を防止することができるからである。この
ように面に施す粗さとしては、好ましくは、中心線平均
粗さで、０．５〜５μｍの範囲であれば上記の目的を十
分に満たすことができる。

【００２２】

【発明の効果】本発明によれば、グリッドメッシュに吸
水性部材を設けるこにより、例えば、水面上に浮かぶ検
体を従来の押し付け法で、容易に、的確に、しかもグリ
ッドメッシュの所定の位置に固定させることができる。
これによって、メッシュ検体の作製に特に熟練を必要と
しないばかりでなく、吸水性部材を予めグリッドメッシ
ュ面の中心部に設けるこにより、吸水性部材の吸水・吸
引作用により、検体を容易にグリッドメッシュ面の中心
部に固定することができ、実際に電子顕微鏡で観察され
る視野におけるタ−ゲット探しを容易にさせる。また、
この吸水性部材を設けるこによる吸水・吸引作用効果に
よりグリッドメッシュ面に従来のように、特に高分子支
持膜を塗布することなく、容易に、的確に検体を採取で
きるグリッドメッシュを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の吸水性部材を設けたグリッドメッシュ
の実施例を表し、図（ａ）及び図（ｂ）は、それぞれ上
面図と断面図を示す。

【図２】本発明の吸水性部材をグリッドメッシュに圧着
させた実施例の断面図を示す。

【図３】本発明の吸水性部材に突起部を設けた実施例の
概念図を示す。

【符号の説明】

１．吸水性部材 ２．グリッドメッシュ ３．孔（穴） ４．検体採取面 ５．バー ６．折り曲げ突起部

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電子顕微鏡に用いる検体を固定させるグ
   リッドメッシュにおいて、前記グリッドメッシュの片面
   に吸水性の部材を設けたことを特徴とする電子顕微鏡用
   グリッドメッシュ。
2. 【請求項２】 前記グリッドメッシュ面に前記部材を圧
   着させ、且つグリッドメッシュ面に接する前記部材がグ
   リッドメッシュの孔に嵌入して設けられている請求項１
   に記載する電子顕微鏡用グリッドメッシュ。
3. 【請求項３】 前記グリッドメッシュの前記部材を設け
   ていない片面が、粗な面になっている請求項１に記載す
   る電子顕微鏡用グリッドメッシュ。