JP2011023144A - 試料観察装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1の面に試料が保持される薄膜41と、該薄膜41の第2の面に接する雰囲気を減圧する真空室と、該真空室に接続され、前記薄膜41を介して試料20に1次線を照射する1次線照射手段と、該1次線の照射により試料から発生する2次的信号を検出する信号検出手段4を具備する試料観察装置において、前記薄膜41をその中央部に配置するシャーレ40と、該シャーレ40を支持する台座42’よりなる試料保持手段を有し、該試料保持手段の台座42’の真空室側に試料溶液が飛翔することを防止するための溶液飛翔防止壁47を設けて構成される。
【選択図】図1
Description
(1)請求項1記載の発明は、第1の面に試料が保持される薄膜と、該薄膜の第2の面に接する雰囲気を減圧する真空室と、該真空室に接続され、前記薄膜を介して試料に1次線を照射する1次線照射手段と、該1次線の照射により試料から発生する2次的信号を検出する信号検出手段を具備する試料観察装置において、前記薄膜をその中央部に配置するシャーレと、該シャーレを支持する台座よりなる試料保持手段を有し、該試料保持手段の台座の真空室側に試料溶液が飛翔することを防止するための溶液飛翔防止壁を設けたことを特徴とする。
(3)請求項3記載の発明は、前記溶液飛翔防止壁を、前記薄膜中央部から3〜20mmの位置に1〜2mmの高さで二重に設けることを特徴とする。
(7)請求項7記載の発明は、前記実験用刺激部材は、物理的刺激又は電気的刺激又は各種放射線による刺激、又は生化学的な刺激又はバクテリア等の微生物による刺激を試料に与えるように構成されたことを特徴とする。
(1)請求項1記載の発明によれば、シャーレ交換台座を用意することで、倒立SEM鏡筒へのシャーレ取り付け前に品質確認ができると共に、薄膜が破損した時に真空室内に試料溶液が飛翔することを防止することができる試料観察装置を提供することができる。
(3)請求項3記載の発明によれば、薄膜が破損した時に、真空室内に試料溶液が飛翔することを更に確実に防止することができる。
(6)請求項6記載の発明によれば、試料に対して物理的状態を変化させることができる。
図1は本発明の基礎となる試料観察装置の要部断面図である。本発明の全体の構成は図7に示す装置と同じである。図7と同一のものは、同一の符号を付して示す。図において、42は台座、40は該台座42の上に載置されるシャーレ(ディッシュ)である。以下、台座42をシャーレ交換台座ということもある。この実施例によれば、シャーレ40は台座42上に載置されているため、シャーレ40の交換は台座42を含めて交換する。このとき、台座42を両手で持つ必要があるため、シャーレ40を誤って落下させることがなくなる。
以上、説明した本発明の効果を列挙すれば、以下の通りである。
1)シャーレ交換台座を用意し、シャーレの装置取り付けをこの台座により行なうことで、シャーレの工作精度や薄膜性能に依存した不具合を図5に示す確認装置の上で確認することができ、倒立SEM鏡筒を備える装置へのシャーレ取り付け前の品質確認ができる。
2)シャーレ交換台座は適度な重量とサイズになり、両手での取り付け操作になる。これにより、シャーレ単体を片手で装置に取り付ける場合に比べて、中の溶液をうっかりこぼす危険を少なくすることができる。
3)シャーレ交換台座の下に溶液飛翔防止壁を設け、溶液受け皿の壁面と台座下側の間隙を減らし、溶液が受け皿の外に飛翔する受け皿外への汚染の危険を低減することができる。
4)3)の効果は、溶液受け皿の壁面を高くしてシャーレ交換台座の下側ぎりぎりに設ける場合に比べて、組み立ての容易性を向上することができ、かつ摩擦による問題を減らすことができる。
5)シャーレ交換台座の下に多重に溶液飛翔防止壁を作成すると、溶液の受け皿外への飛翔を更に減らすことができる。
6)薄膜破損での汚染部位にシャーレの取り付け台座も含まれ、これを取り外し、交換ないし洗浄できることは、保守性の向上につながる。
7)シャーレ交換台座に実験用刺激部材の取り付け穴を複数(2〜40個程度)用意し、ユーザが自作した様々な機器の先端部をシャーレの近傍に固定することができる。
8)シャーレ交換台座そのものが取り外し交換できるので、μTASなどの専用の実験流路を持つ専用の機器を取り付ける専用の台座の作成や交換を容易に行なうことができる。
4 反射電子検出器
20 試料
40 シャーレ
41 薄膜
42’ 改良台座
43 溶液受け皿
45 インナーパイプ
46 OLアパーチャホルダ
47 溶液飛翔防止壁
48 オリフィス
49 Oリング
Claims (8)
- 第1の面に試料が保持される薄膜と、該薄膜の第2の面に接する雰囲気を減圧する真空室と、該真空室に接続され、前記薄膜を介して試料に1次線を照射する1次線照射手段と、該1次線の照射により試料から発生する2次的信号を検出する信号検出手段を具備する試料観察装置において、
前記薄膜をその中央部に配置するシャーレと、該シャーレを支持する台座よりなる試料保持手段を有し、該試料保持手段の台座の真空室側に試料溶液が飛翔することを防止するための溶液飛翔防止壁を設けたことを特徴とする試料観察装置。 - 前記溶液飛翔防止壁は、前記台座の下面に少なくとも一重に設けることを特徴とする請求項1記載の試料観察装置。
- 前記溶液飛翔防止壁を、前記薄膜中央部から3〜20mmの位置に1〜2mmの高さで二重に設けることを特徴とする請求項1又は2記載の試料観察装置。
- 前記真空室の真空度を測定する真空ゲージを設け、該真空ゲージが真空室内の真空度の急激な劣化を検出したら、試料の下部に配置されている2次的信号を検出する信号検出手段を退避させる信号検出手段退避機構を設けたことを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の試料観察装置。
- 前記台座とシャーレと薄膜の正常性を確認するために、耐圧確認装置を用いて薄膜の状態を検査し、検査に合格した台座とシャーレと薄膜を本発明の試料観察装置に用いるようにしたことを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載の試料観察装置。
- 前記台座に試料に物理状態を変化させるためのマニピュレータとして機能する実験用刺激部材を取り付けたことを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載の試料観察装置。
- 前記実験用刺激部材は、物理的刺激又は電気的刺激又は各種放射線による刺激、又は生化学的な刺激又はバクテリア等の微生物による刺激を試料に与えるように構成されたことを特徴とする請求項6記載の試料観察装置。
- 前記1次線は電子線、前記2次的信号は反射電子であることを特徴とする請求項1乃至7の何れか1項に記載の試料観察装置。
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JP2018022592A (ja) * | 2016-08-02 | 2018-02-08 | 新日鐵住金株式会社 | 試料台およびそれを備えた電子顕微鏡 |
CN108433217A (zh) * | 2018-04-11 | 2018-08-24 | 山东星宇手套有限公司 | 一种丁腈假发泡防滑手套的制备方法 |
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2009
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