JP2010034179A - 反射型マスクおよび半導体デバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ウェーハ上に形成するパターンの寸法を精度良く制御できる反射型マスクおよび半導体デバイスの製造方法を得ること。
【解決手段】照射されるEUV光をマスクパターンの形状に応じた位置で反射することによってマスクパターンの形状をウェーハ上に縮小転写するマスクにおいて、EUV光が照射される側の面である上面側に配置されてEUV光を反射する反射膜5と、反射膜5の上面側に配置されるとともに反射膜5の全面を被覆するバッファ層3と、バッファ層3の上面側に配置されるとともに、照射されるEUV光を吸収する吸収体2によってマスクパターンが形成された非反射層と、を備える。
【選択図】 図1
【解決手段】照射されるEUV光をマスクパターンの形状に応じた位置で反射することによってマスクパターンの形状をウェーハ上に縮小転写するマスクにおいて、EUV光が照射される側の面である上面側に配置されてEUV光を反射する反射膜5と、反射膜5の上面側に配置されるとともに反射膜5の全面を被覆するバッファ層3と、バッファ層3の上面側に配置されるとともに、照射されるEUV光を吸収する吸収体2によってマスクパターンが形成された非反射層と、を備える。
【選択図】 図1
Description
本発明は、反射型マスクおよび半導体デバイスの製造方法に関するものである。
EUV(Extreme UltraViolet)リソグラフィは、13.5nm付近の非常に短い波長の光(X線)を用いた露光方法であり、従来の光露光(波長193nmや243nm)よりも、微細なパターンをウェーハ上に形成する方法として期待されている。
EUVリソグラフィでウェーハ上に形成するパターンは例えば50nmよりも小さなパターンであるので、ウェーハに転写するパターンを形成するためのマスクの欠陥検査や欠陥修正に求められる技術レベルは高くなる。たとえば、4倍体のマスクを用いて32nmの幅のパターンをウェーハ上に形成するためには、128nmのパターンをマスク上に形成しておく必要がある。そして、ウェーハ上のパターン寸法の変動を5%以内に抑えるには、マスクパターンの寸法変動を6.4nm以内に抑える必要がある。このため、6.4nm以下の精度でマスクパターンの検査を行なう必要がある。また、32nmよりも微細なパターンをウェーハ上に形成する場合には、6.4nmよりも厳しいスペックでのマスクパターンの検査が必要となる。
従来、EUV露光などに用いられる反射型マスクは、EUV光の吸収体(Ta化合物など)をマスク上に配置しておき、この吸収体を露光するパターンに応じてエッチング加工することによって作製される。このような反射型マスクには、エッチングのストップ層として、CrやCrNといったCr化合物などで構成されるバッファ層(緩衡層)が、吸収体層の下層に配置されている(例えば、特許文献1参照)。このバッファ層は、吸収体のエッチング時のみならず、電子顕微鏡によるマスクパターンの検査時にも、吸収体との信号コントラストを得るために必要とされている。バッファ層は、マスクパターン形成時には、吸収体とEUV光を反射するMo/Si多層膜との間で、マスク全体に存在している。このようなバッファ層は、反射光の強度を下げる要因となるので、吸収体パターンの形成後は、吸収体の無い部分のみエッチング除去してMo/Si多層膜を露出させる。
しかしながら、上記従来の技術では、マスクパターンの検査はバッファ層のエッチング除去前に行なわれ、検査後にバッファ層のエッチング除去が行なわれるので、このエッチング工程で発生する欠陥については検査がなされていない。バッファ層のエッチング工程で発生する欠陥としては、バッファ層材料の部分的(局所的)なエッチング除去残りや、除去されたバッファ層材料が吸収体パターンへ再付着することによるパターン寸法変化などが挙げられる。このため、欠陥の生じたマスクによってウェーハ上にパターンが形成されることとなり、所望の寸法でウェーハ上にパターンを形成することができないという問題があった。
本発明は、ウェーハ上に形成するパターンの寸法を精度良く制御できる反射型マスクおよび半導体デバイスの製造方法を得ることを目的とする。
本願発明の一態様によれば、照射されるEUV光をマスクパターンの形状に応じた位置で反射することによって前記マスクパターンの形状をウェーハ上に縮小転写する反射型マスクにおいて、前記EUV光が照射される側の面に配置されて前記EUV光を反射する反射層と、前記反射層の前記EUV光が照射される側に配置されるとともに前記反射層の全面を被覆するバッファ層と、前記バッファ層の前記EUV光が照射される側に配置されるとともに、照射されるEUV光を吸収する吸収体によってマスクパターンが形成された非反射層と、を備えることを特徴とする反射型マスクが提供される。
この発明によれば、ウェーハ上に形成するパターンの寸法を精度良く制御できるという効果を奏する。
以下に、本発明に係る反射型マスクおよび半導体デバイスの製造方法の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
(第1の実施の形態)
図1は、本発明の第1の実施の形態に係るマスクの構成を示す図である。図1では、マスク10の断面図を示している。マスク10は、EUV露光に用いられる反射型マスクであり、吸収体(非反射層)2、バッファ層3、キャッピング層4、反射膜(反射層)5を有している。なお、図1では、反射膜5の上面側に吸収体2が形成されているようマスク10を図示しているが、このマスク10を露光装置に装着する場合には、マスク10の上下を反転させて装着してもよい。すなわち、吸収体2を上面側にしてマスク10を露光装置に装着してもよいし、吸収体2を下面側にしてマスク10を露光装置に装着してもよい。
図1は、本発明の第1の実施の形態に係るマスクの構成を示す図である。図1では、マスク10の断面図を示している。マスク10は、EUV露光に用いられる反射型マスクであり、吸収体(非反射層)2、バッファ層3、キャッピング層4、反射膜(反射層)5を有している。なお、図1では、反射膜5の上面側に吸収体2が形成されているようマスク10を図示しているが、このマスク10を露光装置に装着する場合には、マスク10の上下を反転させて装着してもよい。すなわち、吸収体2を上面側にしてマスク10を露光装置に装着してもよいし、吸収体2を下面側にしてマスク10を露光装置に装着してもよい。
マスク10では、反射膜5がガラス基板(図示せず)上に配置されている。また、反射膜5の上側にキャッピング層4が配置され、キャッピング層4が反射膜5の全面を被覆している。また、キャッピング層4の上側には、バッファ層3が配置され、バッファ層3がキャッピング層4の全面を被覆している。さらに、バッファ層3の上側には、パターニングされた吸収体2が配置され、吸収体2がバッファ層3の一部を被覆している。マスク10を用いてEUV露光を行なう際には、吸収体2側(表面側)からEUV光を斜め入射させる。
反射膜5は、EUV光を反射する材質を含んで構成されている。反射膜5は、例えばMo/Si多層膜である。Mo/Si多層膜は、モリブデン(Mo)層とシリコン(Si)層を交互に例えば4nmずつ積層した多層膜である。Mo/Si多層膜の最上層の膜(キャッピング層4と直接接合する層)は、モリブデンであってもよいし、シリコンであってもよい。
キャッピング層4は、反射膜5をキャッピングする膜であり、例えばシリコン膜である。キャッピング層4は、反射膜5の全面を被覆することによって多層膜最上層の膜の酸化を防止する。キャッピング層4は、例えば10nmの膜厚を有している。
バッファ層3は、吸収体2をエッチング加工や欠陥修正する際のエッチストップ層であり、例えばCrやCr化合物である。したがって、バッファ層3は、吸収体2との間でエッチング加工時の選択比が大きな材質で構成しておく。バッファ層3は例えば3nmの膜厚を有している。吸収体2は、EUV光を吸収する材質を含んで構成されている。吸収体2は、例えばTa化合物である。吸収体2は、例えば70nmの膜厚を有している。
マスク10を作製するには、マスクブランクスから吸収体2をエッチングして、吸収体2をパターニングする。ここでのマスクブランクスは、反射膜5、キャッピング層4、バッファ層3、パターニングされていない吸収体2を有した基板である。さらに吸収体2の層には吸収体層加工用のレジスト材料が塗布されている場合もある。したがって、マスクブランクスは、パターニング前の吸収体2がバッファ層3の全面を被覆している基板である。この後、本実施の形態では、バッファ層3をエッチングすることなく、マスク10の作製を完了する。したがって、本実施の形態のマスク10は、吸収体2の存在しない箇所(吸収体2がエッチングされた箇所)と、吸収体2の存在する箇所と、の両方(キャッピング層4の全面)に、バッファ層3が存在している。
マスク10に照射されたEUV光のうち、吸収体2の近傍に照射されたEUV光は吸収体2で吸収され、吸収体2以外の位置(バッファ層3)に照射されたEUV光はバッファ層3およびその下層の反射膜5で反射される。これにより、バッファ層3およびその下層の反射膜5で反射されたEUV光のみがウェーハ(図示せず)側へ送られることとなる。そして、吸収体2のパターンに対応するパターンがウェーハ上に縮小転写される。なお、ここではキャッピング層4と反射膜5とをそれぞれ別々の構成としたが、キャッピング層4と反射膜5とを一体に形成してもよい。
ウェーハにパターンを形成するために必要な露光量(ドーズ量)やコントラストは、バッファ層3の厚さによって変化する。このため、本実施の形態では、所定のコントラストを確保しつつ、所定のドーズ量となる適切な膜厚のバッファ層3をマスク10上に形成しておく。
ここで、ウェーハに照射されるEUV光のコントラストと、バッファ層3の膜厚との関係、およびウェーハ上にパターンを形成するために必要となるドーズ量とバッファ層3の膜厚との関係について説明する。ここでは、ウェーハへの転写パターンが32nmの間隔で並ぶライン&スペース(32nm幅で1:1の等間隔配列)である場合について説明する。
図2は、バッファ層の膜厚と露光条件との関係を説明するための図である。図2では、コントラストの計算結果と、最適ドーズ量の計算結果を示している。コントラストは、マスク10を介してウェーハに照射されるEUV光のコントラストである。コントラストは、例えばウェーハに照射されるEUV光の光強度の最大値(max)および最小値(min)を用いて算出される。ここでのコントラストCは、C=(max−min)/(max+min)によって算出した値である。最適ドーズ量は、ウェーハ上にパターンを形成するために必要となる露光量であり、ここでは規格化している。
図2では、従来のマスクでEUV露光した場合の計算結果と、本実施の形態のマスク10でEUV露光した場合の計算結果と、を示している。なお、従来のバッファ層の膜厚は、吸収体2の下部にあるバッファ層3の膜厚である。コントラストC1が、従来のマスクでEUV露光した場合のコントラストであり、コントラストC2が、本実施の形態のマスク10でEUV露光した場合のコントラストである。また、ドーズ量D1が、従来のマスクでEUV露光した場合の最適ドーズ量であり、ドーズ量D2が、本実施の形態のマスク10でEUV露光した場合の最適ドーズ量である。
ここで、従来のマスクの構成について説明する。図3は、従来のマスクの構成を示す図である。図3では、従来のマスク60の断面図を示している。従来のマスク60は、マスク60からバッファ層63の一部(吸収体2の下部以外)がエッチングされて吸収体2の下部以外のバッファ層63が除去されている。したがって、吸収体2が形成されている位置以外の箇所ではキャッピング層4が露出している。具体的には、マスク60では、反射膜5がガラス基板上に配置されている。また、反射膜5の上側にキャッピング層4が配置され、キャッピング層4が反射膜5の全面を被覆している。また、キャッピング層4の上側には、パターニングされたバッファ層63が配置され、バッファ層63がキャッピング層4の一部を被覆している。さらに、バッファ層63の上側には、パターニングされた吸収体2が配置され、吸収体2がバッファ層63の一部を被覆している。マスク60では、バッファ層63と吸収体2が同じ形状でパターニングされている。
バッファ層3,63の厚さを15nmから徐々に薄くしていくと、コントラストC1,C2が少しだけ変化していることがわかる。バッファ層3をEUV光の反射部(吸収体2の無い箇所)に残している場合(コントラストC2)と、バッファ層63をエッチング除去した場合(コントラストC1)とを比べても、両者に大きな差はない。
従来、バッファ層の膜厚は10〜15nmであり、この膜厚ではコントラストC2よりもコントラストC1の方が大きい。バッファ層3を反射部上に残している場合のコントラストC2であっても、従来のコントラストC1よりも大きなコントラストが得られるバッファ層3の膜厚条件が存在する。例えば、バッファ層3の膜厚が5〜6nmのときは、バッファ層3をエッチング除去しなくても、充分なコントラストが得られることがわかる。
また、反射光の強度が小さくなると、所望のパターンをウェーハ上に形成するために必要なEUV光の露光量(ドーズ量)が大きくなる。露光量を大きくするためには露光時間を長くする必要があるので、露光のスループットを低下させてしまうこととなる。そこで、本実施の形態では、露光のスループットを低下させないようなドーズ量でウェーハ上にパターン形成できる膜厚のバッファ層3を用いる。
図2では、バッファ層をエッチング除去した場合であってバッファ層の膜厚が15nmの場合に必要なドーズ量を基準にして、ドーズ量D1,D2を算出した場合を示している。ドーズ量D1に示すように、バッファ層63をエッチング除去した場合はバッファ層の膜厚によらず略一定のドーズ量が必要となる。一方、ドーズ量D2に示すように、バッファ層3をエッチング除去せず、反射部にバッファ層3を残している場合には、バッファ層3の膜厚が薄くなるにしたがって、必要なドーズ量も小さくなる。
ドーズ量D2の場合、バッファ層3の厚さが3nm以下になると、バッファ層63をエッチング除去した場合とほぼ同等のドーズ量でウェーハ上にパターンを形成できる。なお、若干のドーズ量の増加を許容するとすれば、バッファ層3が4〜5nmの膜厚の場合であってもバッファ層3のエッチング除去を省略することが可能となる。
このように、バッファ層3のエッチング除去を行なわないマスク構造(反射部にもバッファ層が残っているマスク構造)であっても、充分なコントラストを得ることができるとともに許容範囲内のドーズ量でEUV露光することができるバッファ層3の膜厚が存在することがわかる。
本実施の形態では、例えばバッファ層3の膜厚として例えば3nm以下の膜厚を適用することによってバッファ層3の膜厚を最適化する。このように最適なバッファ層3の膜厚を決定することによって、EUV用反射型マスク製造プロセスにおいて、バッファ層3のエッチング除去プロセスを省略することができる。このようにして作製されたマスク10をEUV露光処理に用いることよって、半導体デバイス(半導体装置)が作製される。
なお、本実施の形態では、32nmの間隔で並ぶライン&スペースをEUV露光する場合について説明したが、EUV露光するパターンの形状や大きさは、何れの形状や大きさであってもよい。また、EUV露光するパターンに複数種類のパターンが含まれている場合には、最も小さなパターン形状に対して最適化した膜厚を適用する。
また、本実施の形態では、マスク10がキャッピング層4を有している場合について説明したが、マスクはキャッピング層4を有していなくてもよい。図4は、第1の実施の形態に係るマスクの他の構成例を示す図である。図4では、マスク11の断面図を示している。マスク11は、吸収体2、バッファ層3、反射膜5を有している。
マスク11では、反射膜5がガラス基板上に配置されている。また、反射膜5の上側にバッファ層3が配置され、バッファ層3が反射膜5の全面を被覆している。また、バッファ層3の上側には、パターニングされた吸収体2が配置され、吸収体2がバッファ層3の一部を被覆している。
マスク11のように構成することによって、バッファ層3がキャッピング層として機能することとなる。このように、マスク11がキャッピング層4を有していないので、マスク11はマスク10よりも簡易な構成のマスクとなる。また、マスク11はキャッピング層4を有していないので、マスク11の反射部はマスク10の反射部よりも大きな反射率でEUV光を反射することが可能となる。
また、本実施の形態では、バッファ層3やキャッピング層4をエッチングしないので、バッファ層3とキャッピング層4との間のエッチング選択比は小さくてもよい。したがって、キャッピング層4をシリコンとは異なる別の材料で構成してもよい。
また、マスク10の反射部に異物などが付着した場合であっても、反射部の上部をバッファ層3が被覆しているので、FIB(Focused Ion Beam)などの電子ビームやAFM(Atomic Force Microscope)による異物除去(吸収体2の欠陥修正)の際にキャッピング層4や反射膜5に与えるダメージを防止できる。これにより、マスク10の位相欠陥を低減できる。また、バッファ層3のエッチングを行なわないので、バッファ層3の除去残りに起因する欠陥の発生を防止できる。また、バッファ層3のエッチングを行なわないので、吸収体2に異物が堆積することを防止できる。このように、マスク10の作製工程を少なくすることができるので、寸法制御性を劣化させる要因になりうる工程も少なくなる。したがって、設計通りの寸法でウェーハ上にパターンを形成することが可能となる。これにより、マスク10を用いて半導体デバイスを作製する際の歩留まりが向上する。また、欠陥の発生を防止した微細なパターンを形成することが可能となるので、性能の良い半導体デバイスを作製することが可能となる。
また、バッファ層3のエッチング除去プロセスを省略することができるので、低コストでマスク10を作製できるとともに、短期間でマスク10を作製することが可能となる。すなわち、マスク製造工程の工程数削減によってマスク製造TAT(Turn Around Time)を短縮できるとともに製造コストを削減できる。この結果、マスク10やマスク10を用いて作製された半導体デバイスを市場に出すタイミングが早くなり、機会損失を低減することが可能となる。
このように第1の実施の形態によれば、マスク10,11のバッファ層3がエッチングされることなく反射膜5の上部側に配置されているので、マスク10,11によってウェーハにパターン形成する場合のパターンの寸法制御性が高くなる。
(第2の実施の形態)
つぎに、図5および図6を用いてこの発明の第2の実施の形態について説明する。第2の実施の形態ではバッファ層3を所定の膜厚だけエッチングして所望の膜厚を有したバッファ層3をマスク内に形成する。
つぎに、図5および図6を用いてこの発明の第2の実施の形態について説明する。第2の実施の形態ではバッファ層3を所定の膜厚だけエッチングして所望の膜厚を有したバッファ層3をマスク内に形成する。
図5は、本発明の第2の実施の形態に係るマスクの構成を示す図である。図5では、マスク12の断面図を示している。図5の各構成要素のうち図1に示す第1の実施の形態のマスク10と同一機能を達成する構成要素については同一番号を付しており、重複する説明は省略する。
マスク12は、反射膜5がガラス基板(図示せず)上に配置されている。また、反射膜5の上側にキャッピング層4が配置され、キャッピング層4が反射膜5の全面を被覆している。また、キャッピング層4の上側には、バッファ層3が配置され、バッファ層3がキャッピング層4の全面を被覆している。本実施の形態のバッファ層3は、マスクブランクスから所定の膜厚だけエッチングされている。したがって、マスク12の反射部と非反射部(吸収体2の下部)とでは、バッファ層3の膜厚が異なる。バッファ層3の上側には、パターニングされた吸収体2が非反射部として配置され、吸収体2がバッファ層3の一部を被覆している。
マスク10を作製するには、マスクブランクスから吸収体2をエッチングして、吸収体2をパターニングする。さらに、本実施の形態では、バッファ層3の膜厚が所定の膜厚(例えば3nm)となるよう、所定の厚さだけバッファ層3をエッチングする。これにより、マスク12に所定の厚さのバッファ層3を形成してマスク12の作製を完了する。したがって、本実施の形態のマスク12は、吸収体2の存在しない箇所と、吸収体2の存在する箇所と、の両方に、バッファ層3が存在している。
マスク12の非反射部におけるバッファ層3の膜厚は、図2で説明した第1の実施の形態と同様の算出方法によって求めた膜厚(例えば3nm以下)とする。これにより、第1の実施の形態のマスク10と同様の効果を有したマスク12を得ることができる。
なお、本実施の形態では、マスク12がキャッピング層4を有している場合について説明したが、マスクはキャッピング層4を有していなくてもよい。図6は、第2の実施の形態に係るマスクの他の構成例を示す図である。図6では、マスク13の断面図を示している。マスク13は、吸収体2、バッファ層3、反射膜5を有している。
マスク13では、反射膜5がガラス基板上に配置されている。また、反射膜5の上側にバッファ層3が配置され、バッファ層3が反射膜5の全面を被覆している。また、バッファ層3の上側には、パターニングされた吸収体2が配置され、吸収体2がバッファ層3の一部を被覆している。
マスク13のように構成することによって、バッファ層3がキャッピング層として機能することとなる。このように、マスク13はキャッピング層4を有していないので、マスク13はマスク12よりも簡易な構成のマスクとなる。また、マスク13はキャッピング層4を有していないので、マスク13の反射部はマスク12の反射部よりも大きな反射率でEUV光を反射することが可能となる。
このように第2の実施の形態によれば、マスク12,13のバッファ層3が所定の膜厚となるようエッチングされてバッファ層3の膜厚を最適化しているので、マスク12,13によってウェーハにパターン形成する場合のパターンの寸法制御性が高くなる。
また、バッファ層3をエッチングしているので、露光条件に応じた所望の膜厚を有したバッファ層3を容易に形成することができる。また、バッファ層3の膜厚を最適化しているので、最適ドーズ量を増加させることなくウェーハ上にパターンを形成することが可能となる。
2 吸収体、3 バッファ層、4 キャッピング層、5 反射膜、10〜13 マスク
Claims (5)
- 照射されるEUV光をマスクパターンの形状に応じた位置で反射することによって前記マスクパターンの形状をウェーハ上に縮小転写する反射型マスクにおいて、
前記EUV光が照射される側の面に配置されて前記EUV光を反射する反射層と、
前記反射層の前記EUV光が照射される側に配置されるとともに前記反射層の全面を被覆するバッファ層と、
前記バッファ層の前記EUV光が照射される側に配置されるとともに、照射されるEUV光を吸収する吸収体によってマスクパターンが形成された非反射層と、
を備えることを特徴とする反射型マスク。 - 前記バッファ層のうち前記非反射層が存在する場所に位置するバッファ層の膜厚は、前記バッファ層のうち前記バッファ層の前記EUV光が照射される側に前記非反射層が形成されていない位置の膜厚よりも厚いことを特徴とする請求項1に記載の反射型マスク。
- 前記反射層は、モリブデンとシリコンとを交互に積層したMO/Si多層膜であり、
前記反射層の最上層と前記バッファ層とが直接接合されていることを特徴とする請求項1または2に記載の反射型マスク。 - 前記バッファ層は、CrまたはCr化合物であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の反射型マスク。
- 請求項1〜4の何れか1つに記載の反射型マスクを用いて半導体デバイスを作製することを特徴とする半導体デバイスの製造方法。
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