JP2009021641A - 極限紫外線露光用マスク、極限紫外線露光用マスクブランク、およびパターン転写方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】前記緩衝用薄膜4は前記多層膜2上の全面に備えられていることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
また、本願は、平成15年2月27日に出願された特願2003−050793の分割出願に係るものである。
小川「EUVリソグラフィの反射型マスク用多層膜」(光技術コンタクト、 Vol.39,No.5、2001、日本オプトメカトロニクス協会)p.292
図2に示すように、本願発明のEUV露光用マスクの緩衝膜および多層膜より反射された露光光の反射率をRとする。これに対し、多層膜部のみからの反射率をR0とする。すなわち、
R :多層膜+緩衝膜の反射率
R0:多層膜部の反射率
であり、R0は従来構造マスクの多層膜部の反射率である。Rは多層膜上に緩衝膜を持つ本発明マスクの反射率であり、R0を100%としたときの値である。ここで、本発明の妥当性を、反射率比R/R0を計算して確認した結果で示す。
図3は、緩衝用薄膜の消衰係数(k)と膜厚(d)に対するR/R0の値を、露光波長13nmとして算出し、プロットしたものである。この波長域における屈折率(n)は多くの材料で1に近く、0.9〜1.05の範囲にあるので、n=1として計算した。図から解るように、kやdが大きくなるほどR/R0は低下する。この傾向はnを変えても変わらない。
本発明の主旨はR/R0が100〜90%(すなわち緩衝膜による反射率の低下が1割以内であり、多層膜2部の実質的な反射性能への影響がない)になるような、緩衝用薄膜の構造若しくは材料を規定することにある。
波長13nm付近における消衰係数(k)は多くの材料で0.001〜0.04の範囲にあるが、kの大きい材料でR/R0を100〜90%以内に抑えようとすると、その分dを小さくせざるを得ない。dは実際のマスク作製の工程では、薄く残そうとするほど制御が難しくなる。その厚さの下限はおよそ50Å程度と考えられる。逆にdを大きく残そうとすると、kの小さい材料を探さねばならず、選択できる材料が限られる。
▲1▼d=100Åのとき
図4は、d=100Åのとき、nをパラメタとして、kに対してR/R0を計算した結果をプロットしたものである。nの値は1.05(上限値)、0.9(下限値)としてそれぞれ実線と点線で示した。このようにR/R0が90%以上であるためにはkはおよそ0.006以下である必要がある。
図5は、d=50Åのとき、同様にnをパラメタとして、kに対してR/R0を計算した結果をプロットしたものである。nの値は1.05(上限値)、0.9(下限値)としてそれぞれ実線と点線で示した。両線はほぼ重なる。このようにkはおよそ0.015以下まで許容範囲となる。
▲1▼Zr(ジルコニウム、n=0.961、k=0.0035)の場合
図6は、材料としてZr(ジルコニウム、n=0.961、k=0.0035)を用いた場合、膜厚に対してR0を計算した結果をプロットしたものである。このようにdはほぼ150Åまで許容範囲となる。
また、Zrはフッ素系ガスや塩素系ガスなどの、吸収用薄膜のドライエッチングガスに対して、耐性が大きく、多層膜の保護という緩衝膜の機能上からも有力な材料である。
図7は、材料としてY(イットリウム、n=0.9757、k=0.0022)を用いた場合、膜厚に対してR/R0を計算した結果をプロットしたものである。このようにdはほぼ300Åまで許容範囲となる。
なお、実用上緩衝膜として適用可能な材料のうち、Yはもっともkの小さい材料に属している。
図8は、材料としてSi(シリコン、n=1.0019、k=0.0018)の場合を用いた場合、膜厚に対してR/R0を計算した結果をプロットしたものである。このようにdはほぼ300Åまで許容範囲となる。
図9は、材料としてHf(ハフニウム、n=0.964、k=0.033)を用いた場合、膜厚に対してR/R0を計算した結果をプロットしたものである。このように、dはほぼ10Å以下となり、実用上本発明マスクの緩衝膜とすることが難しい。
図10は、材料としてRu(ルテニウム、n=0.897、k=0.0142)を用いた場合、膜厚に対してR/R0を計算した結果をプロットしたものである。このように、dはほぼ50Å以下となり、本発明マスクの緩衝膜となり得るが余裕はない。
以上により、本発明による極限紫外線露光用マスクの緩衝膜の構造および材料規定の妥当性が示された。
尚、低反射用薄膜のドライエッチングにおいて、緩衝膜は下地多層膜の保護機能を有するとともに低反射用薄膜のオーバーエッチング時間に応じて薄くなり、図1(a)の構造となる。
2……高反射多層膜
3……低反射薄膜パターン
3’……低反射薄膜(吸収性薄膜)
4……緩衝膜
11……基板
12……高反射多層膜
13……低反射薄膜パターン
14……緩衝膜
Claims (6)
- 基板上に、露光光を反射する領域となる多層膜を有し、前記多層膜上に吸収用となるパターニングされた薄膜、さらに前記多層膜と吸収性薄膜の間に緩衝用となる薄膜を有する極限紫外線露光用マスクにおいて、
前記緩衝用膜を構成する材料が、Zr、Yからなる群から選ばれた一つ以上の材料を含む材料であること
を特徴とする極限紫外線露光用マスク。 - 請求項1に記載の極限紫外線露光用マスクであって、
前記緩衝用薄膜は前記多層膜上の全面に備えられていること
を特徴とする極限紫外線露光用マスク。 - 請求項1に記載の極限紫外線露光用マスクであって、
前記緩衝用薄膜は前記吸収用薄膜がパターニングの結果除去された多層膜上においても除去されずに残っていること
を特徴とする極限紫外線露光用マスク。 - 請求項1に記載の極限紫外線露光用マスクであって、
前記緩衝用薄膜の厚さは300オングストローム以下であること
を特徴とする極限紫外線露光用マスク。 - 請求項1に記載の極限紫外線露光用マスクを前記低反射領域となる吸収性薄膜のパターニングにより作製するための、基板上に、露光光の高反射領域となる前記多層膜を有し、前記多層膜上に緩衝用薄膜および低反射領域となる前記吸収性薄膜をこの順に有することを特徴とする極限紫外線露光用マスクブランク。
- 請求項1に記載の極限紫外線露光用マスクを露光装置に設置し、前記マスクを用いたリソグラフィ法による露光転写を行ない、パターン形成を行なうことを特徴とするパターン転写方法。
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